潔凈室設(shè)計培訓教程

1、 目 錄 二、潔凈室設(shè)計 1 2 3 潔凈室基礎(chǔ)知識 3.1 潔凈室的定義 3.2 潔凈室的四大技術(shù)要素 3.3 潔凈室的分類 3.3.1 按潔凈室氣流流型潔凈室的分類 3.3.2 按潔凈室主要的控制對象潔凈室的分類 3.4 潔凈室潔凈度的等級標準（ISO 14644-1）4 潔凈室的消防、節(jié)能和環(huán)保 4.1 潔凈室的消防 4.1.1 潔凈室的建筑消防 4.1.2 潔凈室的水消防 4.1.3 潔凈室的電氣消防 4.1.4 潔凈室的防排煙4.2 潔凈室的節(jié)能 4.2.1 潔凈室的空調(diào)負荷 4.2.2 潔凈室的空調(diào)負荷特點 4.2.3 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施 4.3 潔凈室的環(huán)保工程 4.3

2、.1 潔凈室的廢水處理 4.3.2 潔凈室的廢氣處理5 潔凈室設(shè)計（案例） 5.1 潔凈室凈化空調(diào)設(shè)計的程序步驟 5.1.1 設(shè)計前的準備工作及應收集的數(shù)據(jù)和資料 5.1.2 工藝平面和建筑平面的規(guī)劃 5.1.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)和排風系統(tǒng)的劃分原則 5.1.4 空調(diào)負荷計算（熱濕、風量、水力三大平衡計算） 5.1.5 七個典型的空氣處理系統(tǒng)即空氣處理過程的優(yōu)化 5.1.6 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷、熱源 5.1.7 空調(diào)和凈化設(shè)備選擇 5.1.8 施工圖的繪制 5.1.9 施工現(xiàn)場的工地工作 5.1.10 潔凈室竣工驗收調(diào)試和測試5.2 三個凈化工程的典型案例 5.2.1 大面積ISO 6級頂送頂

3、回非單向流潔凈室的工程案例 5.2.2 深圳清溢精密光電有限公司的ISO 2級潔凈室工程案例 5.2.3 北京航天光學遙感特殊高大實驗室矢流潔凈室的設(shè)計3 潔凈室的基礎(chǔ)知識 3.1 潔凈室的定義 潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式可最大限度減少房間進入的、產(chǎn)生的和滯留的粒子。房間內(nèi)的溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)均按要求受控（ISO 14644-6）。3.2 潔凈室的四大技術(shù)要素 潔凈室的四大技術(shù)要素是 一、送風至少經(jīng)過三級過濾（粗效、中效和高效），并且高效過濾器應設(shè)置在系統(tǒng)的末端。 二、潔凈室應有足夠的凈化和空調(diào)的送風量。 三、潔凈室應維持必要的壓力梯度（正壓梯度或負壓梯度

4、）。 四、潔凈室應有合理的氣流組織。3.3 潔凈室的分類 3.3.1 按氣流流型潔凈室的分類 按氣流流型潔凈室可劃分為： 單向流潔凈室 非單向流潔凈室 混合流潔凈室 矢流潔凈室一、單向流潔凈室 1、單向流（層流）潔凈室，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。圖1 單向流氣流流型 2、單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。 垂直單向流是氣流以一定的速度（0.25m/s0.5m/s）從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創(chuàng)造100級、10級、1級或更高潔凈級別。但其初投資很高、運行費很高，工程中盡量將其面積壓縮

5、到最小，用到必須用的部位。 水平單向流是氣流以一定的速度（0.3m/s0.5m/s）從一面墻流向?qū)γ娴膲Φ臍饬髁餍?。該氣流可?chuàng)造100級的凈化級別。其初投資和運行費低于垂直單向流流型。二、非單向流潔凈室1、非單向流潔凈室的氣流流型又可分為頂送下回；頂送下側(cè)回；頂送頂回等。圖2 非單向流氣流流型 2、非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風口頂部送風；回風的型式有下部回風、側(cè)下部回風和頂部回風等。依不同送風換氣次數(shù)，實現(xiàn)不同的凈化級別，其初投資和運行費用也不同。三、混合流潔凈室圖3 混合流氣流流型 混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構(gòu)成的氣流流型。這種氣流的特

6、點是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節(jié)省初投資和運行費。四、矢流（對角流）潔凈室 選上側(cè)圓弧型高效過濾器風口送風，對側(cè)下回風口回風的氣流流型。圖4 矢流氣流流型 矢流潔凈室的氣流是以放射型的流線流出，流線之間沒有豎向交叉，可用相對少量的送風獲得較高級別的潔凈度。多用在醫(yī)藥、醫(yī)療和電子等行業(yè)的小潔凈室中。在某些特殊的實驗室中也得到廣泛的應用。五、各種氣流流型潔凈室的風量、冷量、初投資和運行費的比較（僅供參考）不同潔凈級別潔凈廠房的送風量、冷量投資耗電的指標氣流流型潔凈級別（級）送風量（m/s）（次/h）耗冷指標（W/m2）投資指標（元/ m2）耗電指標（W/m2）

7、單向流垂直101000.25m/s1300150010000130001.251.35水平1000.3m/s8001000500060000.91.0非單向流10005060次/h 600700280030000.250.33100002530次/h500600200022000.220.261000001520次/h350400140016000.130.16注：表中的送風量、單向流以斷面風速表示， 非單向流以換氣次數(shù)表示。 表中冷量指標一般指電子工業(yè)潔凈廠房。表中的初投資包括潔凈廠房的圍護、冷凍供應系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)，不含土建結(jié)構(gòu)和自動控制的投資。表中的耗電量系指制冷系統(tǒng)和空調(diào)送風系統(tǒng)耗電

8、，不含電加熱和電加濕的耗電量。3.3.2 按潔凈室主要的控制對象潔凈室的分類 按潔凈室主要控制對象劃分潔凈室又可劃分為： 工業(yè)潔凈室 生物潔凈室一、工業(yè)潔凈室 1、工業(yè)潔凈室主要的控制對象是灰塵粒子（不分有生命的、無生命的）。 2、工業(yè)潔凈室主要應用在電子、航天、航空、機械、化工、化學制藥、能源、納米等工業(yè)中。尤其是電子工業(yè)和光電子工業(yè)更是離不開潔凈室和潔凈技術(shù)。 二、生物潔凈室 1、生物潔凈室主要控制對象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等對人類、動物、環(huán)境有害的粒子。 2、生物潔凈室廣泛地應用在醫(yī)療（潔凈手術(shù)室、潔凈病房）、生物制藥、實驗動物飼養(yǎng)、生物安全實驗室、衛(wèi)生防疫檢疫的事業(yè)中

9、。生物潔凈室的發(fā)展速度非常快，而且得到了各方的認同和重視。三、工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別表比較項目工業(yè)潔凈室生物潔凈室研究對象（主要）灰塵、粒子只有一次污染。微生物、病菌等活的粒子不斷生長繁殖，會誘發(fā)二次污染（代謝物、糞便）。控制方法凈化措施主要是采取過濾方法。粗、中、高三級過濾，粗、中、高、超高四級過濾和化學過濾器等。主要是采?。虹P除微生物生長的條件，控制微生物的孳生、繁殖和切斷微生物的傳播途徑。過濾和滅菌等。控制目標控制有害粒徑粒子濃度?？刂莆⑸锏漠a(chǎn)生、繁殖和傳播，同時控制其代謝物。對生產(chǎn)工藝的危害關(guān)鍵部位只要一顆灰塵就能造成產(chǎn)品的極大危害。有害的微生物達到

10、一定的濃度以后才能夠成危害。對潔凈室建筑材料的要求所有材料（墻、頂、地等）不產(chǎn)塵、不積塵、耐磨擦所有材料應耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖條件。對人和物進入的控制人進入要換鞋、更衣、吹淋。物進入要清洗、擦拭。人和物要分流，潔污要分流。人進入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌；物進入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過濾、滅菌，人物分流，潔污分流。檢測灰塵粒子可用粒子計數(shù)器檢測瞬時粒子濃度并顯示和打印。微生物檢測不能測瞬時值，須經(jīng)48小時培養(yǎng)才能讀出菌落數(shù)量。3.4 潔凈室潔凈度等級標準ISO 14644-1 一、ISO-14644是國際標準，現(xiàn)在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標準，美國原來應用的是

11、美國聯(lián)邦標準209A、B、C、D、E，現(xiàn)在美國也不用了。原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源自美國聯(lián)邦標準FS 209B，現(xiàn)在它們分別被國際標準ISO-14644標準中的5級、6級、7級和8級所替代?？諝鉂崈舳鹊燃墸∟）表中粒徑的最大濃度限值（個/m3）0.1m0.2m0.3m0.5m1m5m1102/210024104/31000237102358/4100002370102035283/81000002370010200352083229610000002370001020003520083202937/3520008320029308/352000083

12、2000293009/352000008320000293000 ISO-14644的潔凈度等級標準列如下 潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級ISO-14644 注： 每點應至少采樣3次。 本標準不適用于表征懸浮粒子的物理、化學、放射及生命性。 根據(jù)工藝要求可確定12粒徑。 根據(jù)要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1m5m） （個/m3） 式中N為潔凈度等級在19級中間可以0.1為最小單位遞增量插入。 2.08Nn(0.1/D)10C二、國標潔凈等級標準ISO- 14644與各國潔凈度等級標準的比較如下 國際標準ISO-14644與各國標準的比較表國際標準ISO-14644中國

13、標準GB 50073美國標準FS 209E俄國標準TOCT 50766日本標準TIS 9920德國標準/P0/11/P11122/P22233M1.5P33344M2.5P44455M3.5P55566M4.5P66677M5.5P77788M6.5P88899/P9/9注：美國聯(lián)邦標準FS 209E已經(jīng)停止使用4 潔凈室的消防、節(jié)能和環(huán)保 4.1 潔凈室的消防 4.1.1 潔凈室的建筑消防 一、潔凈室建筑不利于防火的因素 1、空間密閉、圍護結(jié)構(gòu)氣密性好，一旦火災溫度會迅速上升，大量煙氣不易排出，令人窒息又不利于疏散和撲救。 2、潔凈室建筑內(nèi)各種關(guān)卡多，對外出口少，疏散通道不暢，延長了疏散距離

14、和時間。 3、潔凈室建筑裝修有一些高分子的合成材料會產(chǎn)生濃煙和毒氣。工藝生產(chǎn)中往往會使用大量的易燃易爆的化學物質(zhì)也是潔凈室潛在的火災威脅。 因此潔凈室的防火和人員疏散非常重要。二、潔凈室建筑耐火等級 1、甲乙類潔凈室建筑的耐火等級應為一級或二級，宜為單層建筑，其最大占地面積不易超過3000 m2。 2、丙、丁、戊類潔凈室建筑的耐火等級可為一級或二級，可為單層或多層，除丙類建筑占地面積不應超過8000 m2（單層、二級）；6000 m2（多層、二級）；4000 m2（多層、三級）外，丁類和戊類占地面積不限 三、潔凈室人員的安全疏散 在進行潔凈室平面規(guī)劃時考慮人員疏散的原則 1、疏散路線要簡捷明了

15、，便于尋找和識別。 2、疏散路線要做到步步安全（著火房間房間門疏散走道樓梯間室外）。 3、撲救線路不要與疏散路線交叉。 4、疏散通道要通暢，少曲線，少高低不平，少寬窄變化。 5、疏散方向至少有2個可供人員疏散。 6、疏散門的開啟方向應有利于人員的疏散逃生。四、潔凈室建筑材料的防火 1、潔凈室內(nèi)部的裝修材料應盡量避免采用在燃燒時產(chǎn)生大量濃煙和有毒氣體的高分子合成材料。根據(jù)“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”規(guī)定：潔凈室的頂棚和壁板（包括夾心材料）應為不燃燒體，且不得采用有機復合材料。頂棚的耐火極限不應低于0.4 h，疏散走道的耐火極限不應低于1.0 h。 2、特別要重視參觀走廊的隔墻（包括大面積玻璃窗）的耐火極

16、限問題。 3、技術(shù)豎井的井壁的耐火極限也不應低于1.0 h。4.1.2 潔凈室的水消防 一、室內(nèi)外消火栓系統(tǒng) 室內(nèi)、外消火栓供水系統(tǒng)的用水量應根據(jù)潔凈室生產(chǎn)工作間火災危險性類別，建筑物的耐火等級以及建筑物的體積等因素目前應根據(jù)“建筑設(shè)計防火規(guī)范”確定，當“消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范”頒布后應按新規(guī)范執(zhí)行。 二、自動噴水滅火系統(tǒng) 自動噴水滅火系統(tǒng)的用水量應根據(jù)潔凈室的火災危險性等級和“自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范”確定。自動噴水滅火系統(tǒng)宜采用預作用式自動噴水滅火系統(tǒng)。 三、潔凈室各個場所必須配置滅火器，其設(shè)計應滿足“建筑滅火器配置規(guī)范”的要求。除消防給水外，還應設(shè)置必要氣體滅火系統(tǒng)等。4.1.3

17、潔凈室電氣消防 一、潔凈室的電源和供配電 根據(jù)“建筑設(shè)計防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”的要求。 1、消防電源的負荷分級應符合國家標準“供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范”的要求。 2、消防用電的設(shè)備應采用專用的供電回路，當生產(chǎn)、生活用電切斷時，應仍能保證消防用電，其配電設(shè)備應有明顯的標志。 3、消防用電設(shè)備的管線應滿足火災時連續(xù)供電，并且管線應有防火要求。 4、消防應急照明燈具和疏散指示標志燈的備用電源的連續(xù)供電時間應滿足實際消防要求。二、潔凈室的消防照明 1、潔凈室內(nèi)應設(shè)置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散通道的轉(zhuǎn)角處應按“規(guī)范”設(shè)置疏散標志（疏散指示燈）。 2、在專用的消防口處應設(shè)置紅色應急照明燈

18、。 3、消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機房、配電室、防排煙機房以及發(fā)生火災時仍需正常堅持工作的其他房間應設(shè)置應急照明。 三、潔凈室的消防報警和控制 1、潔凈室的生產(chǎn)區(qū)（包括技術(shù)夾層）、機房、站房等均應設(shè)置火災探測器（感溫探測器、感煙探測器或空氣采樣器等），及早預知、早報警。 2、潔凈室生產(chǎn)區(qū)及走廊應設(shè)置手動火災報警按鈕。 3、潔凈室應設(shè)置消防值班室（或控制室），消防控制室應設(shè)置消防專用電話總機。 4、消防控制設(shè)備及線路連接應可靠，應有合格的顯示功能。5、消防報警應進行核實，并應進行如下消防聯(lián)動控制 啟動消防水泵（除自控外還應設(shè)手動控制裝置）。 關(guān)閉電動防火閥，停止空調(diào)風機、排風機、新風機，并

19、收其反饋信號。 關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門或防火卷簾門。 點亮應急照明燈和疏散標志燈。 手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。 啟動火災應急擴音器，進行人工和自動廣播。 控制電梯降至首層，并接收反饋信號。4.1.4 潔凈室的防排煙 一、根據(jù)“建筑設(shè)計防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”的要求：潔凈室的疏散走廊和面積大于300 m2的潔凈室均應設(shè)置機械防排煙措施。 二、最新報批的“電子工廠潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”中對潔凈室的防排煙系統(tǒng)的要求作了一些修訂，內(nèi)容是：潔凈廠房的疏散走廊應設(shè)置防排煙系統(tǒng)，但對于大面積的電子工廠的潔凈廠房當每50 m2內(nèi)不超過一個工作人員時可不設(shè)置防排煙系統(tǒng)。4.2 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能

20、 4.2.1 潔凈室的空調(diào)負荷 潔凈室的凈化空調(diào)負荷由下面幾部分組成： 一、室內(nèi)負荷 主要包括： 1、室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負荷。 2、室內(nèi)照明燈具的散熱負荷。 3、潔凈室圍護結(jié)構(gòu)（墻、頂、地、門、窗）的傳熱、傳濕負荷。 4、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負荷。 二、潔凈室新風處理的熱、濕負荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。 三、空氣循環(huán)時風機（或FFU）的溫升和水泵的溫升負荷。 4.2.2 潔凈室的空調(diào)負荷特點 一、高級別潔凈室（100級，10級，1級）是垂直單向流潔凈室，其送風機的風量非常大，高達400500次/h換氣，而且風機的壓頭也很高，一般多在10001500Pa，因此風機溫升

21、的負荷大。按理論計算：在集中送風方式的系統(tǒng)中，風機的溫升為1.5，僅此一項的負荷就是500700W/m2；如果采用FFU送風方式，風機溫升的負荷也要250350 W/m2。因此，風機溫升的負荷大是其一個負荷特點。 二、服務(wù)于微電子和光電子的高級別潔凈室因工藝排風量大，所以新風量也很大，新風量一般在1020次/h換氣；因此，處理如此多新風的負荷大約為400800 W/m2；個別工藝的排風量更大，固新風負荷也還會更大。因此新風負荷大是其第二個負荷特點。 三、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負荷大，是高級別潔凈室的第三個負荷特點。生產(chǎn)負荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風以及水冷

22、卻的情況有關(guān)。 四、圍護結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項負荷相對比較小，三項負荷之和還不足總空調(diào)負荷的10%（其中：照明負荷大約2530 W/m2；圍護結(jié)構(gòu)負荷大約2030 W/m2；作業(yè)人員負荷大約1015 W/m2），這是高級別潔凈室第四個負荷特點。4.2.3 潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的節(jié)能措施 研究高級別潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)節(jié)能，應首先從分析其空調(diào)負荷特點入手，抓住空調(diào)負荷中的主要矛盾，才能事半功倍。從前面可知，高級別潔凈室空調(diào)負荷中占90%以上的負荷是：新風負荷、風機溫升負荷和工藝設(shè)備和工藝過程負荷三項。這是它的主要矛盾。 一、降低新風空調(diào)負荷的節(jié)能措施 1、減少排風量。改

23、進工藝和工藝設(shè)備，盡可能不排風，少排風。采取密閉式排風罩在同等的排風效果下盡量減少排風量。 2、減少正壓漏風量。加強潔凈室圍護結(jié)構(gòu)的密封性，既能保持潔凈室必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風量。 3、提高新風空氣處理設(shè)備的效率。二、降低風機溫升負荷的節(jié)能措施 1、在確保潔凈室潔凈度的前提下，盡量減少送風量，盡量用局部高凈化來替代全面高凈化。 2、加強空調(diào)設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風量。 3、采取凈化送風與空調(diào)送風分離的送風方案，使90%的凈化送風量就近循環(huán)以減少風機溫升負荷。 4、采用FFU加新風機組加干盤管的送風方式以減少風機溫升負荷。 5、提高風機效率，采取變頻措施。 三、工藝設(shè)備和工

24、藝過程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問題，只能依靠工藝自己來解決。四、除上述措施之外，還可采取如下措施 1、合理選擇和確定潔凈室內(nèi)的工藝參數(shù)（溫度、濕度、潔凈度） 潔凈室的凈化空調(diào)是重點能耗大戶，因此在選擇和確定潔凈室的潔凈度和溫、濕度時要慎之又慎。即在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，不應過高過嚴要求。否則，其能耗會大幅度上升。有專家分析計算潔凈室內(nèi)溫度放寬1時其能耗可節(jié)省3%左右；其相對濕度放寬5%時其能耗又可節(jié)省3%左右。另外負荷計算時安全裕量不應留有過大，否則設(shè)備的耗電會大大增加，為了今后的發(fā)展最好留有動力設(shè)備的空位。2、優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過程 凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過程的優(yōu)化對節(jié)能的效果十分明顯

25、，優(yōu)化的目的就是減少或消除冷熱抵消現(xiàn)象和降低風機溫升。 在“潔凈手術(shù)部和醫(yī)用氣體設(shè)計與安裝”的國家標準圖的例題中的計算結(jié)果是這樣的：對于一級潔凈手術(shù)室（北京）夏季耗冷量，當采用一次回風系統(tǒng)時是60 kW，而采用二次回風系統(tǒng)時只有25 kW，當采用新風機組深冷抽濕處理時其耗冷量只有20 kW。3、合理選擇凈化空調(diào)設(shè)備 設(shè)計建造潔凈室時要選用高效率的凈化空調(diào)設(shè)備（冷機、風機、水泵）。 選擇低阻高效的過濾設(shè)備，風機和水泵的壓頭選擇不宜過高。 電動設(shè)備最好采取變頻措施。 4、低位熱能的利用和廢熱的回收 低位熱能和廢熱回收的潛力非常大?，F(xiàn)在很多專家在這方面進行了大量研究，如：工藝冷卻水的回收和利用；噴水

26、氣化潛熱的利用；冷凍機、空壓機廢熱的回收以及利用冷凍水和中溫水回水混合制造中溫水等等。 5、加強水管和風管的保溫。 6、減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。 7、采取熱回收，充分利用廢熱。 8、盡量利用天然能源作空調(diào)系統(tǒng)的預冷和預熱，如：太陽能、地下水、土壤能等。 9、利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。 4.3 潔凈室的環(huán)保工程 4.3.1 潔凈室的廢水處理 一、工業(yè)潔凈室特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢水主要成份有：含酸廢水、含堿廢水、含氟廢水、含磷廢水、有機廢水等不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其廢水的成份不同，但都必須進行處理，處理后的廢水達到國家排放標準方能排放。集水池泵排放含酸廢水中和池集水池泵集水池泵反應

27、池沉淀池過濾器污泥濃縮污泥脫水泥餅外運半導體集成電路工廠的廢水處理大都采用化學中和沉淀法處理。其典型流程如下： 二、生物潔凈室特別是生物安全實驗室排出的廢水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物質(zhì)，而且產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝不同廢水的成份也不同。因此含有害微生物的廢水應按成份分別收集，分別滅活、消毒滅菌后達標才能排放。4.3.2 潔凈室的廢氣處理 一、工業(yè)潔凈室，特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢主要成份有：一般廢氣、熱廢氣、有機廢氣、酸堿廢氣、含磷等特殊廢氣、含粉塵的廢氣等，不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其排放的廢氣的成份不同，但都必須處理達到國家排放標準后方能排到室外。 1、一般由生活用房、值班室、衛(wèi)生

28、間排出的一般廢氣可直接排到室外。 2、排放的有機廢氣超標時必須經(jīng)過有機廢氣處理設(shè)備處理達標后再排放有機廢氣，處理方法有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等。 3、含酸堿廢氣在生產(chǎn)工藝中排放的較多，一般都是經(jīng)過淋液濕式洗氣吸收塔進行中和處理達標排放。 4、排放的熱廢氣一般情況下可直接排放，如果溫度較高必須采取隔熱措施以免傷人。 5、含塵廢氣必須經(jīng)過適當?shù)某龎m裝置除塵后再排至大氣。 6、含磷、含砷等特殊廢氣首先防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學反應并通過專用的廢氣處理設(shè)備處理后達標排放。通常處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等等。 二、生物潔凈室尤其是生物安全實驗室的排風一般含有活性的有毒有害的

29、病菌等微生物。因此這類排風須經(jīng)過過濾滅菌后再排放。如手術(shù)室的排風須經(jīng)過中效過濾方能排到室外；P3實驗室的排風須經(jīng)過高效過濾器過濾后方能排到室外；P4實驗室的排風須經(jīng)過兩級高效過濾器過濾后才能排到室外。為了安全最好采用袋進袋出的高效過濾器裝置。 5 潔凈室設(shè)計 5.1 潔凈室凈化空調(diào)設(shè)計程序步驟 5.1.1 設(shè)計前的準備工作及應收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料 一、收集國家和地方有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策，標準，規(guī)范 1、潔凈度等級的國家標準和國際標準ISO 14644 2、“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”GB 50073-2001 3、“電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”（修訂中） 4、“制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”（修訂中） 5、

30、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB 50333-2002 6、“實驗動物環(huán)境及設(shè)施”GB 14925-2001 7、“生物安全實驗室建筑技術(shù)規(guī)范”GB 50346-2004 8、“潔凈室施工驗收規(guī)范”JGJ 71-90 9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗收規(guī)范”（制訂中） 10、“采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范”GB 50019-2003 11、“通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范”GB 50243-2002 12、“建筑設(shè)計防火規(guī)范” GB 50016-2008 13、“高層民用建筑設(shè)計防火規(guī)范”GB 50045-2001等。 二、該項目的“可行性研究報告”以及上級主管部門對報告的批復意見；該項目的“設(shè)

31、計任務(wù)書”和建設(shè)方對該項目建造的有關(guān)要求、意見和建議。 三、該項目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。 四、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料： 1、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單，以及工藝對吊頂高度的要求。 2、工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對濕度及精度、正壓、振動、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求，越具體越好。 3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設(shè)備的安裝功率、效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時使用系數(shù)等。 4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。

32、 5、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運行的班次、運行規(guī)律、生產(chǎn)的最大班人數(shù)。五、潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù) 1、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。 2、潔凈室圍護結(jié)構(gòu)（墻、地、頂、門、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。 3、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力，尤其是舊建筑的改造項目結(jié)構(gòu)的安全十分重要。六、全廠冷源、熱源、電源的情況及供應 1、冷熱源的性質(zhì)、參數(shù)和供應量。有無加濕用的蒸汽等。 2、電源的性質(zhì)、參數(shù)和供應量。 七、地方消防、環(huán)保部門對該項目建設(shè)的要求和意見。 八、其他相關(guān)專業(yè)（給水排水、氣體動力、建筑結(jié)構(gòu)、強電弱電等）的要求和意見。 九、設(shè)計時所用的設(shè)備、材

33、料、配件的性能、參數(shù)和價格的資料。5.1.2 工藝平面和建筑平面的規(guī)劃 工藝平面一般由甲方工藝技術(shù)人員根據(jù)工藝流程和工藝設(shè)備以及工藝生產(chǎn)的需要進行合理規(guī)劃。 工藝平面規(guī)劃后在滿足工藝平面規(guī)劃的前提下，布置換鞋、更衣、吹淋、廁所等人流輔助生活用房、物流吹淋輔助用房和走廊參觀以及消防疏散等通道，最大限度地保證生產(chǎn)工藝的流程短捷和火災時人員的安全疏散。5.1.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)和排風系統(tǒng)的劃分原則 根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。 一、凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則 1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近

34、的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。 2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。 3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。 4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。 5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。 6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設(shè)計為一個系統(tǒng)。 7、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。 8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設(shè)系統(tǒng)，而且應為不回風的直流系統(tǒng)。 9、一個凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大。一般情況下，凈化送風量不宜

35、超過100,000 m3/h，否則空氣處理設(shè)備過大、噪聲大、送回風管道大、占空間和面積大，使用也不靈活。 10、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時還應考慮到送風管、回風管、排風管以及水,電,氣等管線的布置，盡量作到合理、短捷、使用管理方便，盡量減少交叉和重疊。 11、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的熱濕和凈化處理可集中也可分散設(shè)置。二、工藝設(shè)備局部排風系統(tǒng)的劃分原則 1、工藝設(shè)備的局部排風系統(tǒng)不宜過大，每個排風系統(tǒng)的排風點數(shù)不宜過多，這樣排風管理調(diào)節(jié)方便，排風效果好。 2、一個排風系統(tǒng)不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。 3、混合后產(chǎn)生劇毒、爆炸、火災、凝水、結(jié)晶和有害物的排風不應合為一個排風系統(tǒng)。 4、使用規(guī)律不同房間

36、和設(shè)備的排風不應合為一個排風系統(tǒng)。5.1.4 空調(diào)負荷計算（熱濕、風量、水力三大平衡計算） 一、潔凈室的熱負荷計算（熱平衡計算） 1、潔凈室的熱負荷包括下列各項: 圍護結(jié)構(gòu)的傳熱負荷計算：tFKQii傳 （kW） 式中：Ki 圍護結(jié)構(gòu)的傳熱系數(shù)（W/m2） Fi 潔凈室圍護結(jié)構(gòu)的面積（m2） t 潔凈室內(nèi)外溫差（） 室內(nèi)人員的熱負荷計算 人員的顯熱負荷 Q人顯 = nq人顯（kW） 人員的潛熱負荷 Q人潛 = nq人潛（kW） 人員的全熱負荷 Q人全 = Q人顯+ Q人潛（kW） 式中：n 室內(nèi)的人數(shù)（人） q顯 每個人的顯熱負荷（kW/人） q潛 每個人的潛熱負荷（kW/人） 室內(nèi)的照明負荷

37、計算 （kW） 式中：N 照明設(shè)備的功率（kW） n0 整流器消耗的功率系數(shù)（n0=1.01.2） n1 安裝系數(shù)（明裝n1=1.0，暗裝n1=0.60.8 ） n3 照明設(shè)備的同時使用系數(shù)。NnnnQ310燈 室內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)熱負荷計算 電熱設(shè)備熱負荷 Q設(shè)熱 = n1n3n4N（kW） 電動設(shè)備熱負荷 Q設(shè)動 = n1n2n3N/（kW） 電子設(shè)備熱負荷 Q設(shè)電 = n1n2n3N（kW） 式中：N 設(shè)備的功率 n1 安裝系數(shù)（n1= 0.70.9） n2 負荷系數(shù)（n2 = 0.30.7） n3 同時使用系數(shù)。 n 4 通風保溫系數(shù)。 、潔凈室總的熱負荷計算 總顯熱負荷 總?cè)珶嶝摵?FFUQ

38、QQQQQ設(shè)燈人顯傳顯FFUQQQQQQ設(shè)燈人全傳顯二、潔凈室的濕負荷計算（濕平衡計算） 潔凈室的濕負荷包括下列各項： 1、室內(nèi)人員產(chǎn)濕計算： （kg/h） 式中：w人 每個人的濕負荷（kg/h人） 2、室內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)濕計算 （kg/h） 式中：F 產(chǎn)濕設(shè)備的水蒸發(fā)面積（m2） 產(chǎn)濕設(shè)備單位面積的水蒸發(fā)量（kg/m2h） 3、潔凈室總的濕負荷計算 人人wnW設(shè)設(shè)wFW設(shè)人WWW 三、潔凈室的風量計算（風平衡計算） 1、潔凈室的送風量的計算 潔凈室的送風量不僅僅能消除潔凈室的總的余熱，余濕以保證潔凈室的溫度和相對濕度；而且，潔凈室的送風量還應能消除室內(nèi)產(chǎn)生的灰塵等粒子的污染，以保證潔凈室的潔凈度等

39、級。因此，潔凈室的送風量應為消除余熱的送風量，消除余濕的送風量和消除粒子污染的凈化送風量三者之間最大的送風量為該潔凈室的送風量。 t i 消除潔凈室內(nèi)余熱的送風量計算： （m3/h） 式中：Q顯，Q全分別為潔凈室的顯熱和全熱負荷（kW） c 空氣的比熱（1.01 kJ/kg） 空氣的密度（1.2 kg/ m3） 潔凈室的送風溫差（） 潔凈室的送風焓差（kJ/kg） i/Qtc/QL全顯熱 消除潔凈室內(nèi)余濕的送風量計算： （m3/h） 式中：W 潔凈室的濕負荷（g/h） 空氣的密度（1.2 kg/ m3） 送風的絕對含濕量差（g/kg） 消除（稀釋）室內(nèi)產(chǎn)生粒子的凈化送風量計算： 在一般情況下，

40、由于室內(nèi)產(chǎn)塵量G很難準確，因此,在工程中都不用上述公式計算送風量。而采用斷面風速法（單向流潔凈室）和換氣次數(shù)法（非單向流潔凈室）進行凈化送風量的計算。d/W1000L濕 氣流流型和送風量（靜態(tài)）空氣潔凈度等級氣流流型平均風速（m/s）換氣次數(shù)（次/時）14單向流0.30.5/5單向流0.20.5/6非單向流/50607非單向流/152589非單向流/1015注： 表中換氣次數(shù)適應于層高小于4.0m的潔凈室。 室內(nèi)人員少、熱源少時，宜采用下限值。2、潔凈室的新風量計算 潔凈室的新風量不僅僅要補充潔凈室的排風量和維持潔凈室正壓的泄漏風量，同時還要保證潔凈室內(nèi)工作人員每人每小時不小于40m3的新鮮空

41、氣量的要求。因此 L新 = L排+L正n40 （m3/h） 式中：L排 潔凈室總的排風量（m3/h） L正 維持潔凈室正壓的總泄漏風量（m3/h） n 潔凈室內(nèi)人數(shù) 潔凈室內(nèi)設(shè)備局部排風量計算 L排 = 3600FV （m3/h） 式中：F 排風罩的開口面積（m2） V 開口部的平均風速（m/s） 潔凈室正壓泄漏風量計算： 正壓泄風量可用縫隙法和換氣次數(shù)法進行計算： 縫隙法 式中：q 單位縫隙長度的漏風量可查表（m3/hm） l 縫隙長度（m） 漏風系數(shù) 換氣次數(shù)法可查表得到。 lqL正 圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風量表（m3/hm） 門窗形式壓差（Pa）非密閉門密閉門單層密閉固定鋼窗單層密閉

42、開啟鋼窗傳遞窗壁板5170.3102461.04.53.00.6153081.36.04.00.8203691.57.05.01.02540101.78.05.51.230441.43548122.19.07.01.54052132.310.07.51.74555152.510.58.01.95060162.611.09.02.0 潔凈室的壓差值與房間換氣次數(shù)表（次/時）壓差（Pa）有外窗密封較差有外窗密封較差無外窗土建式50.9203.02.52.1253.63.02.5304.03.32.7354.53.

43、83.0405.04.23.2450四、凈化空調(diào)系統(tǒng)的水力計算（水力平衡計算） 凈化空調(diào)系統(tǒng)的水力計算包括水系統(tǒng)和風系統(tǒng)的水力計算兩大部分。水系統(tǒng)（冷凍水和冷卻水系統(tǒng)）的水力計算，其目的是為了進行水系統(tǒng)的阻力平衡（減少失調(diào)）選擇管徑和水泵；風系統(tǒng)（送風系統(tǒng)、回風系統(tǒng)、新風系統(tǒng)、排風系統(tǒng)）的水力計算主要目的是為了確定風管的管徑（尺寸）和選擇風機（送風機、排風機）。 系統(tǒng)的水力計算其實就是系統(tǒng)的阻力計算。 系統(tǒng)的總阻力H總= （Pa） 式中： 各管段的磨擦阻力（Pa）。 Z 各部件的局部阻力（Pa）。 ZPm 1、磨擦阻力 （Pa） 式中： 磨擦阻力系數(shù)。 D

44、 管道的“直徑”（m） 圓形管道D即是圓的直徑。 矩形管道D為當量直徑 a和b均為矩形的邊長（m）。 v 流體在管道中的平均流速（m/s）。 流體的密度（kg/m3）。 L 管道的長度（m）。 流體的動壓頭（Pa）。 2、局部阻力 （Pa） 式中： 空調(diào)凈化系統(tǒng)中配件的局部阻力系數(shù)。L2vDP2mba2abD2v2（Pa） 2vZ25.1.5 七個典型的空氣處理系統(tǒng)即空氣處理過程的優(yōu)化 此方案的凈化空調(diào)機組（空氣處理機組AHU）集中設(shè)置在空調(diào)機房內(nèi)，全部的凈化空調(diào)送風均在凈化空調(diào)機組內(nèi)進行凈化和熱、濕處理，然后由龐大的送風管道將全部的送風輸送到潔凈室的吊頂上部，再經(jīng)過設(shè)在潔凈室

45、吊頂上的終端高效過濾器或高效過濾器送風口過濾后送到潔凈室內(nèi)，來實現(xiàn)潔凈室工藝生產(chǎn)所需要的溫度、濕度、潔凈度和房間的壓差，潔凈室的回風經(jīng)回風口、回風管再接回到空調(diào)機房的凈化空調(diào)機組內(nèi)與新風混合后重復進行凈化和熱、濕處理。 此方案又可分為全新風送風方案（直流系統(tǒng)）；一次回風方案；一、二次回風方案和(MAU)加(FFU)方案等四種不同的凈化空調(diào)送風型式。 這種送風方案是當前潔凈室特別是非單向流潔凈室應用最廣泛的凈化空調(diào)送風方案。這種送風方案的系統(tǒng)劃分明確，風量和溫、濕度控制調(diào)節(jié)都單一。 但是潔凈度級別較高、送風量較大時，存在著空調(diào)機房占面積大，送、回風管體積大占面積和占空間大，送、回風管道長，送風機

46、的余壓高，噪音大,風量輸送耗電量大等問題。因此，這種送風方案較適用在低級別的非單向流潔凈室的送風，對5級以上的單向流潔凈室送風就不太經(jīng)濟合理了。一、AHU全新風的凈化空調(diào)送風方案（直流系統(tǒng)） 全新風凈化空調(diào)送風方案是用于特殊的不允許回風的潔凈室的送風方案中。如：潔凈室內(nèi)工藝生產(chǎn)類別為甲、乙類火災危險等級或工藝過程產(chǎn)生有劇毒等有害物不允許回風的潔凈送風系統(tǒng)中。其原理圖和焓濕圖如下。 示意圖 焓濕(i-d)圖空調(diào)機組（AHU）全新風空氣處理方案示意圖及焓濕圖 二、AHU 一次回風的凈化空調(diào)送風方案 一次回風的送風方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風量大于、等于或近于凈化

47、送風量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。此方案的原理圖和焓濕圖如下：示意圖 焓濕(i-d)圖空調(diào)機組（AHU）一次回風空氣處理方案示意圖及焓濕圖三、AHU 一、二次回風的凈化空調(diào)送風方案 為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消，在潔凈室凈化送風量大于其消除余熱、余濕的空調(diào)送風量時，最好采用一、二次回風方案，將二次混合點設(shè)計在系統(tǒng)送風點上,該方是最節(jié)能、最經(jīng)濟的送風方案。其原理圖和焓濕圖如下：示意圖 焓濕(i-d)圖空調(diào)機組（AHU）一、二次回風空氣處理方案示意圖及焓濕圖四、MAU+RAU的凈化空調(diào)送風方案 此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近

48、，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個循環(huán)機組,循環(huán)機組的送風量是凈化送風量,并且在機組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。 由于循環(huán)機組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短小；但是，要注意循環(huán)機組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風機組設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風全部由新風機組（MAU）進行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機組內(nèi)與其回風混合。 新風機組的新風量不僅僅要補充各潔凈室的排風還

49、要保證每個潔凈室的正壓。新風機組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機械露點上，如果將新風熱濕處理點低于潔凈室的機械露點作到新風不僅承擔新風本身的濕負荷，而且還將潔凈室的濕負荷也消除掉，此時循環(huán)機組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。此方案的原理圖和焓濕圖如下：示意圖 焓濕(i-d)圖MAU加RAU空氣處理方案示意圖及(i-d)圖 凈化送風和空調(diào)送風分離的方案，此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風方案。 為了大大地節(jié)省運行時的能耗，將消除潔凈室內(nèi)余熱、余濕的空調(diào)送風量（通常大大地小于潔凈室的凈化送風量），由設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)的新風機組（MAU）進行必要的凈化和熱濕處理，而將占總送風量5090%的

50、保證潔凈室潔凈度的凈化送風量由設(shè)在潔凈室附近的循環(huán)機組進行凈化和補充的熱、濕處理，或直接采用吊頂上的FFU（風機過濾器機組）和干盤管來解決潔凈室的潔凈度等級和溫度的微調(diào)節(jié)。 此種凈化送風與空調(diào)送風相分離的送風方案，不僅可節(jié)省運行的能耗，而且大大地減少了空調(diào)機房面積，省掉了龐大的送、回風管道，降低了潔凈室的空間高度。此種凈化空調(diào)送風方案又可分為：空調(diào)機組(AHU)加風機過濾器機組(FFU)方案,新風機組（MAU）加循環(huán)機組（RAU）加（FFU）方案；新風機組（MAU）加風機過濾器機組（FFU）加干冷盤管(DC)方案等三種送風方案。 一、空調(diào)機組AHU(MAU）加風機過濾器機組（FFU）的凈化空調(diào)

51、送風方案 此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、濕負荷（潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負荷及新風的熱、濕負荷）全部由設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)的空調(diào)機組來負擔。此時，空調(diào)機組的送風量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風量（其中包括全部新風和部分回風，但遠遠小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風量），它應能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度的恒定。 而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室吊頂上的風機過濾器機組（FFU）將凈化送風量就地循環(huán)過濾來保證。此方案中應該注意的是，F(xiàn)FU運行過程中所產(chǎn)生的熱量也應由空調(diào)機組來承擔。此方案更適合用于在大面績非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。 其送風原理圖和焓濕圖如下：示意圖 焓濕(i-d)圖

52、AHU加FFU空氣處理方案示意圖及焓濕圖二、新風機組（MAU）加循環(huán)機組（RAU）加風機過濾器單元（FFU）凈化空調(diào)送風方案 此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個循環(huán)機組,循環(huán)機組的送風量是凈化送風量,并且在機組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。 。由于循環(huán)機組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短小；但是，要注意循環(huán)機組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在

53、凝結(jié)水排放的處理上。 此方案的新風機組設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風全部由新風機組（MAU）進行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機組內(nèi)與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔凈室的排風還要保證每個潔凈室的正壓。 新風機組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機械露點上，如果將新風熱濕處理點低于潔凈室的機械露點作到新風不僅承擔新風本身的濕負荷，而且還將潔凈室的濕負荷也消除掉，此時循環(huán)機組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。 當多個潔凈室中有若干個1級、10級、100級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時，為了減少循環(huán)機組（RAU）的負擔和送、回風管道的斷面，此時循環(huán)機組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)

54、送風量，以保證潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而占90以上的絕大部分送風量有設(shè)在潔凈室吊頂上的FFU來負擔，以保證潔凈室的高潔凈度級別。此方案的原理圖和焓濕圖如下：示意圖 焓濕(i-d)圖MAU加RAU加FFU空氣處理方案示意圖及(i-d)圖三、新風機組（MAU）加風機過濾器機組（FFU）加干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風方案 此方案是新風機組將新風處理到潔凈室熱濕比線與相對濕度95%線交點以下，新風機組不僅將本身的濕負荷去掉，而且還負擔潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負荷，新風機組要確保潔凈室所需要的相對濕度。而新風機組熱處理不足部分的干冷負荷將由設(shè)在潔凈室吊頂上（或夾道內(nèi)）的干表冷器來補充。因干表冷器

55、是設(shè)在FFU循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，干表冷所彌補的干冷負荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。 由新風機組處理過的新風用管道以最能與FFU循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風靜壓箱內(nèi)。 FFU布置在潔凈室的吊頂上，與新風混合的循環(huán)風經(jīng)FFU被高效過濾器過濾后送到潔凈室內(nèi)，以保證潔凈室的潔凈度。FFU的規(guī)格以1200mm600mm和1200mm1200mm居多，其斷面風速應為0.45m/s，余壓應120Pa，噪聲應50dB(A)為好。FFU的風機風量應可調(diào)，高效過濾器應可更換。 干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力鋁翅片間距3mm，阻力損失應為3040Pa，循環(huán)風通過干盤管的面風速 2m/s，

56、最好為1.5m/s。進入干盤管冷水的進水溫度應高于潔凈室露點溫度2,通常稱為中溫冷凍水。雖然叫干盤管，但在起始運行時還可能有凝結(jié)水產(chǎn)生，因此干盤管還應有凝結(jié)水滴水盤和排水措施。 此方案中，潔凈室的相對濕度由新風機組（MAU）來保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來保證，潔凈室的潔凈度由FFU來保證。 這種MAU加FFU加DC的凈化空調(diào)送風方案，目前在我國和外國的微電子（集成電路）工業(yè)、光電子（TFT-LCD、LCD、LED等）工業(yè)等大面積、高潔凈度等級的潔凈廠房中得以廣泛應用，它具有調(diào)節(jié)方便，節(jié)能顯著，適應工藝的更新?lián)Q代，又大大地節(jié)省了非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間的優(yōu)點。而且，隨著潔凈技術(shù)和潔凈設(shè)備的不斷發(fā)

57、展和進步，F(xiàn)FU風機的效率不斷提高，耗電量不斷降低,整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風方案基本持平,但運行費卻大大節(jié)省.MAU加FFU加DC方案的原理圖和焓濕圖如下。 而且，隨著潔凈技術(shù)和潔凈設(shè)備的不斷發(fā)展和進步，F(xiàn)FU風機的效率不斷提高，耗電量不斷降低,整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風方案基本持平,但運行費卻大大節(jié)省.MAU加FFU加DC方案的原理圖和焓濕圖如下。 示意圖 焓濕(i-d)圖MAU加FFU加DC空氣處理方案示意圖及焓濕圖5.1.6 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷、熱源 凈化空調(diào)系統(tǒng)冷源的選擇 一、集中冷凍站和分散獨立冷源的比較和選擇。 大型規(guī)?；?/p>

58、生產(chǎn)工廠集中設(shè)置冷凍站，對建造投資和運行管理都是比較有利的。但是由于一些溫、濕要求差別比較大供冷參數(shù)不同；運行規(guī)律、運行時間不同的潔凈車間來說，在集中冷凍站基礎(chǔ)上，就近設(shè)置分散、獨立、專用的制冷機組，這對節(jié)省能源，保證參數(shù)和方便運行管理都有極大的好處。 二、冷媒采用冷凍水還是氟立昂直接蒸發(fā)。 對于大型的工廠由集中的冷凍站供給冷凍水作為凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷媒較為有利。因冷凍水輸送方便，輸送過程冷損失較??；而且，冷凍水作冷媒對凈化空調(diào)系統(tǒng)參數(shù)的控制、調(diào)節(jié)和維護管理也都比較有利。但是小的獨立分散的制冷機組可采用水冷冷水機組，也可采用風冷直接蒸發(fā)的制冷機組。這要根據(jù)具體項目的具體情況而定。 三、采用壓縮式

59、制冷機還是采用直燃式溴化鋰吸收式制冷機。 活塞式、離心式、螺桿式制冷機都是壓縮式制冷機，在凈化空調(diào)設(shè)計中最多采用的還是離心、螺桿等壓縮制冷機。因為其投資低，運行管理方便，但其運行耗電很高。壓縮式制冷機組的冷凍水供水溫度可調(diào)，最低供水溫度可為4。但是，在供電緊張而燃氣和煤供應較為方便的地區(qū)，尤其是有廢熱廢蒸汽可以利用的場合，采用直燃式溴化鋰吸收式制冷機更為經(jīng)濟，尤其是這種制冷機組在供冷的同時還可供熱。四、凈化空調(diào)系統(tǒng)冷凍水的溫度的確定 當以冷凍水作為凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷媒時，在一般的情況下，冷凍水的初溫（表冷器冷凍水的進口溫度）應比處理后空氣的終溫（設(shè)計計算中確定）至少要低3.5；如果是以冷凍方式去

60、濕降溫為目的空氣處理系統(tǒng)，冷凍水的終溫（表冷器冷凍水的出口溫度）應比處理后空氣的終溫低0.7；用作干式冷盤管的冷凍水的初溫（進口溫度）應比潔凈室內(nèi)空氣的露點溫度至少高2。 凈化空調(diào)系統(tǒng)冷源的選擇 一、以冬季防凍為目的新風預熱加熱器的熱媒最好采用電加熱或蒸汽加熱，一般不宜采用熱水作熱媒，這樣預熱器本身可能有被凍壞的危險。 二、空調(diào)機組內(nèi)加熱器的熱媒可采用熱水、蒸汽或電加熱，其中電加熱控制靈活方便，溫度控制精確度高，但運行費昂貴，一般在沒有熱水和蒸汽供應的地方才用電加熱；用熱水作熱媒時不僅調(diào)節(jié)和管理方便、而且控制精度也高是加熱器最常用的熱媒；當溫度的精度要求不高（如）也可采用蒸汽作加