微電子學(xué)專業(yè)介紹

1、內(nèi)容1. 什么是微電子學(xué)？2. 我們的條件是什么？3. 學(xué)習(xí)什么知識(shí)？4. 畢業(yè)后去哪里？什么是微電子學(xué)？ 微（微小、微觀）電子學(xué) micro-electronics micro-meter(m) 微電子學(xué)的特點(diǎn)包括:（1） 它是電子學(xué)的一門分支學(xué)科（2） 以實(shí)現(xiàn)電路和系統(tǒng)的集成為目的，故實(shí)用性極強(qiáng)（3） 其空間尺度通常是以微米（um，1um = 10-6m）和納米（nm， 1nm = 10-9m）為單位的（4） 它是信息領(lǐng)域的重要基礎(chǔ)學(xué)科（5） 微電子學(xué)是一門綜合性很強(qiáng)的邊緣學(xué)科,涉及物理、化學(xué)、電路理論、信號(hào)處理、和計(jì)算機(jī)等多個(gè)學(xué)科（6） 微電子學(xué)是一門發(fā)展極為迅速的學(xué)科，高集成度、低功耗

2、、高可靠性是微電子學(xué)的發(fā)展方向（7） 微電子學(xué)的滲透性極強(qiáng)，它可以與其它學(xué)科結(jié)合而誕生出一系列新的交叉學(xué)科，例如微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、生物芯片等微電子學(xué) 學(xué)科：理學(xué) 門類：電子信息科學(xué)類 專業(yè)名稱：微電子學(xué) 業(yè)務(wù)培養(yǎng)目標(biāo)：本專業(yè)培養(yǎng)掌握微電子學(xué)專業(yè)所必需的基礎(chǔ)知識(shí)、基本理論和基本實(shí)驗(yàn)技能，能在微電子學(xué)及相關(guān)領(lǐng)域從事科研、教學(xué)、科技開(kāi)發(fā)、工程技術(shù)、生產(chǎn)管理與行政管理等工作的高級(jí)專門人才。 業(yè)務(wù)培養(yǎng)要求：本專業(yè)學(xué)生主要學(xué)習(xí)微電子學(xué)的基本理論和基本知識(shí)，受到科學(xué)實(shí)驗(yàn)與科學(xué)思維的基本訓(xùn)練，具有良好科學(xué)素養(yǎng)，掌握大規(guī)模集成電路及新型半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)、制造及測(cè)試所必需的基本理論和方法，具有電路分析、工藝

3、分析、器件性能分析和版圖設(shè)計(jì)等的基本能力。畢業(yè)生應(yīng)獲得以下幾方面的知識(shí)和能力： 1掌握數(shù)學(xué)、物理等方面的基本理論和基本知識(shí)； 2掌握固體物理學(xué)、電子學(xué)和VLSI設(shè)計(jì)與制造等方面的基本理論和基本知識(shí)，掌握集成電路和其它半導(dǎo)體器件的分析與設(shè)計(jì)方法，具有獨(dú)立進(jìn)行版圖設(shè)計(jì)、器件性能分析和指導(dǎo)VLSI工藝流程的基本能力； 3了解相近專業(yè)的一般原理和知識(shí)； 4熟悉國(guó)家電子產(chǎn)業(yè)政策、國(guó)內(nèi)外有關(guān)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)及其它法律法規(guī)； 5了解VLSI和其它新型半導(dǎo)體器件的理論前沿、應(yīng)用前景和最新發(fā)展動(dòng)態(tài)，以及電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r； 6掌握資料查詢、文獻(xiàn)檢索及運(yùn)用現(xiàn)代信息技術(shù)獲取相關(guān)信息的基本方法；具有一定的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，創(chuàng)造實(shí)驗(yàn)條

4、件，歸納、整理、分析實(shí)驗(yàn)結(jié)果，撰寫論文，參與學(xué)術(shù)交流的能力。 主干學(xué)科：電子科學(xué)與技術(shù) 主要課程：半導(dǎo)體物理及實(shí)驗(yàn)、半導(dǎo)體器件物理、集成電路設(shè)計(jì)原理、集成電路工藝原理、集成電路CAD、微電子學(xué)專業(yè)實(shí)驗(yàn)和集成電路工藝實(shí)習(xí)等。 主要實(shí)踐性教學(xué)環(huán)節(jié)：包括生產(chǎn)實(shí)習(xí)、畢業(yè)論文(設(shè)計(jì))等，一般安排10-20周。 修業(yè)年限：四年 授予學(xué)位：理學(xué)或工學(xué)學(xué)士 微電子專業(yè)內(nèi)容專業(yè)內(nèi)容1.1.半導(dǎo)體材料半導(dǎo)體材料：SiSi、GaAsGaAs、ZnSeZnSe2.2.半導(dǎo)體物理：半導(dǎo)體物理：3.3.半導(dǎo)體器件：元器件半導(dǎo)體器件：元器件( (電子和電子和光電子光電子）、集成電）、集成電路路4.4.半導(dǎo)體工藝半導(dǎo)體工藝：

5、制造工藝、測(cè)試技術(shù)、微機(jī)械：制造工藝、測(cè)試技術(shù)、微機(jī)械5.5.計(jì)算機(jī)輔助器件計(jì)算機(jī)輔助器件、工藝模擬、工藝模擬6.6.新型器件、微系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)新型器件、微系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)7.7.設(shè)計(jì)軟件的開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)軟件的開(kāi)發(fā)用什么做？做什么？怎么做？?jī)?nèi)容1. 什么是微電子學(xué)？2. 我們的條件是什么？3. 畢業(yè)后去哪里？4. 學(xué)習(xí)什么知識(shí)？我們的條件 50th 五校聯(lián)辦 半導(dǎo)體專業(yè) 80th 第一批博士點(diǎn)：半導(dǎo)體物理與半導(dǎo)體器件物理 90th 凝聚態(tài)物理（理科二級(jí)） 03年 微電子學(xué)與固體電子學(xué)（工科 二級(jí)） 211第一批重點(diǎn)學(xué)科（一期二期） 985第一批重點(diǎn)學(xué)科（1/9) 1956年，國(guó)家制定了年，國(guó)家制定了12年科學(xué)

6、發(fā)展規(guī)劃，將半導(dǎo)體列為重要發(fā)展技術(shù)之一。同年在年科學(xué)發(fā)展規(guī)劃，將半導(dǎo)體列為重要發(fā)展技術(shù)之一。同年在北京大學(xué)成立了由北京大學(xué)成立了由北京大學(xué)、廈門大學(xué)、南京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)和吉林大學(xué)北京大學(xué)、廈門大學(xué)、南京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)和吉林大學(xué)組成的半組成的半導(dǎo)體培訓(xùn)班。導(dǎo)體培訓(xùn)班。1958年，劉士毅、吳伯僖、陳金富老師，以及黃美純、鄭健生、周必年，劉士毅、吳伯僖、陳金富老師，以及黃美純、鄭健生、周必忠等幾位首屆畢業(yè)生回校建立了半導(dǎo)體專業(yè)。忠等幾位首屆畢業(yè)生回校建立了半導(dǎo)體專業(yè)。 1966年由高教部批準(zhǔn)成立了半導(dǎo)體研究室。承擔(dān)了許多科研項(xiàng)目，國(guó)家和地方的重年由高教部批準(zhǔn)成立了半導(dǎo)體研究室。承擔(dān)了許多科研項(xiàng)目，國(guó)

7、家和地方的重點(diǎn)或重大科研任務(wù)，培養(yǎng)了一批又一批的學(xué)生點(diǎn)或重大科研任務(wù)，培養(yǎng)了一批又一批的學(xué)生 1976年后還培養(yǎng)了相當(dāng)數(shù)量的年后還培養(yǎng)了相當(dāng)數(shù)量的“半導(dǎo)體物理與器件物理半導(dǎo)體物理與器件物理”的碩士生和博士生，的碩士生和博士生， 1996年年 “半導(dǎo)體物理與器件半導(dǎo)體物理與器件”專業(yè)改為專業(yè)改為“凝聚態(tài)物理凝聚態(tài)物理”專業(yè)專業(yè) 2006年年 批準(zhǔn)設(shè)立批準(zhǔn)設(shè)立“微電子學(xué)與固體電子學(xué)微電子學(xué)與固體電子學(xué)”博士點(diǎn)博士點(diǎn)物理系物理系“微電子學(xué)微電子學(xué)”專業(yè)的基礎(chǔ)和優(yōu)勢(shì)專業(yè)的基礎(chǔ)和優(yōu)勢(shì)2001年獲得年獲得“微電子學(xué)與固體電子學(xué)微電子學(xué)與固體電子學(xué)”碩士學(xué)位授予權(quán)，碩士學(xué)位授予權(quán)，2006年年獲得的博士授予

8、權(quán)，確定了三個(gè)具有特色和優(yōu)勢(shì)的研究方向：獲得的博士授予權(quán)，確定了三個(gè)具有特色和優(yōu)勢(shì)的研究方向：1. 半導(dǎo)體物理半導(dǎo)體物理2. 集成電路與微電子系統(tǒng)設(shè)計(jì)、集成電路與微電子系統(tǒng)設(shè)計(jì)、3. 信息光電子學(xué)，信息光電子學(xué)， 研究隊(duì)伍中以獲得博士學(xué)位的年輕人占多數(shù)，主要成員有豐研究隊(duì)伍中以獲得博士學(xué)位的年輕人占多數(shù)，主要成員有豐富的經(jīng)驗(yàn)積累和較高的學(xué)術(shù)水平，已完成一批國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、意富的經(jīng)驗(yàn)積累和較高的學(xué)術(shù)水平，已完成一批國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、意義重大的研究成果；實(shí)驗(yàn)設(shè)備和實(shí)驗(yàn)室條件良好，軟件工具義重大的研究成果；實(shí)驗(yàn)設(shè)備和實(shí)驗(yàn)室條件良好，軟件工具豐富，圖書資料齊全。豐富，圖書資料齊全。近五年，在科研方面，物理系在微電子

9、領(lǐng)域承擔(dān)有國(guó)家近五年，在科研方面，物理系在微電子領(lǐng)域承擔(dān)有國(guó)家“973”和和“863”計(jì)劃課題、國(guó)家半導(dǎo)體照明工程計(jì)劃課題、國(guó)家半導(dǎo)體照明工程“十五十五”攻關(guān)計(jì)劃重攻關(guān)計(jì)劃重大任務(wù)、國(guó)家自然科學(xué)基金重大、重點(diǎn)課題和面上項(xiàng)目、福大任務(wù)、國(guó)家自然科學(xué)基金重大、重點(diǎn)課題和面上項(xiàng)目、福建省重大和重點(diǎn)基金項(xiàng)目等建省重大和重點(diǎn)基金項(xiàng)目等90多多項(xiàng)項(xiàng)研究任務(wù)，總經(jīng)費(fèi)達(dá)研究任務(wù)，總經(jīng)費(fèi)達(dá)2000多萬(wàn)元，取得許多重要成果。其中有的多萬(wàn)元，取得許多重要成果。其中有的獲得省部級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)獲得省部級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)6項(xiàng)、項(xiàng)、省部級(jí)省部級(jí)以上鑒定以上鑒定7項(xiàng)、專利項(xiàng)、專利18項(xiàng)、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化6項(xiàng)，取得顯著項(xiàng)，取得顯著的經(jīng)濟(jì)效

10、益。在國(guó)內(nèi)外重要學(xué)術(shù)刊物上正式發(fā)表論文約的經(jīng)濟(jì)效益。在國(guó)內(nèi)外重要學(xué)術(shù)刊物上正式發(fā)表論文約1000篇，其中被篇，其中被SCI收錄收錄300多多篇篇、被、被EI收錄收錄200多多篇篇。出版專著幾。出版專著幾部。部。一 我校進(jìn)入“211工程” 500萬(wàn)元 “信息光電子材料與信息技術(shù)”被確定為重點(diǎn)學(xué)科之一，在“211工程”建設(shè)基金的資助下，物理系建立了“211工程”重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，主要建設(shè)微電子材料和器件的設(shè)計(jì)、制備、測(cè)試研究。二 “211工程”二期，1100萬(wàn)元， 用于“信息光電子材料與信息技術(shù)”的補(bǔ)充三 “211工程”十一五 投入是2000萬(wàn)元，形成微電子的完善工藝四 “985” 投入 “薩本棟微機(jī)電

11、研究中心”， 一期（2000年-2003年）3500多萬(wàn)， 中心建立以硅為基礎(chǔ)的微電子機(jī)械加工工藝實(shí)驗(yàn)室和微電子設(shè)計(jì)研究室，有先進(jìn)的集成電路平面工藝和測(cè)試所需的設(shè)備及設(shè)計(jì)環(huán)境和軟件工具，為微電子學(xué)科研和教學(xué)提供了一 個(gè)良好的基地。 “985”第二期（2004年-2006年） 計(jì)劃投 入建設(shè)經(jīng)費(fèi)3000萬(wàn)。 一 “光子學(xué)研究中心” ，已投入2100多萬(wàn)元建設(shè)經(jīng)費(fèi)， 建設(shè)有英國(guó)Thomas Swan科學(xué)儀器公司GaN 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（MOCVD）、國(guó)內(nèi)組裝的激光誘導(dǎo)雙生長(zhǎng)室超高精度化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（UHV-CVD）、德國(guó)Omicro公司分子束外延（MBE）、美國(guó)的高精度光學(xué)鍍膜機(jī)等半導(dǎo)體

12、光電子材料與器件生長(zhǎng)系統(tǒng)。以 “光子學(xué)研究中心”為依托的“光電信息材料與器件”已批準(zhǔn)列為“985”第二期重點(diǎn)項(xiàng)目，計(jì)劃投入建設(shè)經(jīng)費(fèi)6000萬(wàn)。近幾年微電子的投入，“211”和“985” 在物理系系從事半導(dǎo)體工作的在職教師和在物理系系從事半導(dǎo)體工作的在職教師和實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員30多位，其中近二分之一是多位，其中近二分之一是獲得博士學(xué)位的年輕教師。獲得博士學(xué)位的年輕教師。 目前在物理系從事微電子領(lǐng)域教學(xué)與科目前在物理系從事微電子領(lǐng)域教學(xué)與科 研的主要教授有：研的主要教授有： 王啟明教授王啟明教授 院士。自70年代以來(lái)，一直致力于半導(dǎo)體光電子學(xué)領(lǐng)域的研究?，F(xiàn)正參與主持國(guó)家自然科學(xué)基金委重大研

13、究計(jì)劃項(xiàng)目“網(wǎng)絡(luò)與信息安全”和承擔(dān)國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究規(guī)劃“支撐高速率、大容量信息光網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)的光子集成基礎(chǔ)研究”項(xiàng)目課題。 余金中教授，余金中教授，博士生導(dǎo)師目前從事的研究領(lǐng)域?yàn)椋喊雽?dǎo)體光電子集成和Si基光電子學(xué)，正在研究的課題有國(guó)家重大基金項(xiàng)目、“863” 項(xiàng)目、“973” 項(xiàng)目等。張保平教授，閩江學(xué)者， 吳正云教授，吳正云教授，博士生導(dǎo)師主要從事納米低維半導(dǎo)體材料及器件的研制和光電性質(zhì)的研究?？悼∮陆淌?，康俊勇教授，博士生導(dǎo)師。從事半導(dǎo)體光電信息材料科研。 朱賢方教授朱賢方教授 博士生導(dǎo)師。主要研究方向?yàn)橥ㄟ^(guò)非平衡熱力學(xué)過(guò)程來(lái)制備、改性、組裝納米結(jié)構(gòu)和器件。朱梓忠教授朱梓忠教授 博士生導(dǎo)師。研

14、究方向：計(jì)算凝聚態(tài)物理，主要是從量子力學(xué)基本原理的角度出發(fā)對(duì)材料，特別是各類新材料的物理性質(zhì)進(jìn)行理論計(jì)算以及計(jì)算機(jī)的模擬 劉寶林教授劉寶林教授博士生導(dǎo)師。主要從事半導(dǎo)體光電材料和器件的研究，用于半導(dǎo)體照明相關(guān)的器件。 陳松巖教授陳松巖教授 主要研究方向?yàn)楣怆娂善骷?。李成教授李成教?主要研究方向?yàn)镾i基發(fā)光和光電集成器件。專業(yè)發(fā)展的主要方向?qū)I(yè)發(fā)展的主要方向 根據(jù)我系的基礎(chǔ)和優(yōu)勢(shì)，以及對(duì)學(xué)生業(yè)務(wù)的培養(yǎng)目標(biāo)，本專業(yè)規(guī)劃根據(jù)我系的基礎(chǔ)和優(yōu)勢(shì)，以及對(duì)學(xué)生業(yè)務(wù)的培養(yǎng)目標(biāo)，本專業(yè)規(guī)劃三個(gè)主要發(fā)展方向：三個(gè)主要發(fā)展方向：1. 1. 半導(dǎo)體的材料研究半導(dǎo)體的材料研究 Si GaN ZnO Si GaN Z

15、nO 在微電子技術(shù)發(fā)展的過(guò)程中，半導(dǎo)體材料一直扮演著一個(gè)主要的角在微電子技術(shù)發(fā)展的過(guò)程中，半導(dǎo)體材料一直扮演著一個(gè)主要的角色，材料特性是器件特性的基礎(chǔ)。本方向培養(yǎng)學(xué)生掌握半導(dǎo)體材料的基色，材料特性是器件特性的基礎(chǔ)。本方向培養(yǎng)學(xué)生掌握半導(dǎo)體材料的基本物理問(wèn)題：新型材料，如微結(jié)構(gòu)材料、光電集成材料的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制本物理問(wèn)題：新型材料，如微結(jié)構(gòu)材料、光電集成材料的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制備方法與工藝原理；材料特殊性能和新型材料的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用；材料測(cè)試備方法與工藝原理；材料特殊性能和新型材料的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用；材料測(cè)試與分析；材料制備與加工過(guò)程對(duì)材料物理特性的影響；材料特性與器件與分析；材料制備與加工過(guò)程對(duì)材料物理特性的影

16、響；材料特性與器件特性之間的聯(lián)系；在器件制造過(guò)程中常用的一些材料特性檢測(cè)方法與技特性之間的聯(lián)系；在器件制造過(guò)程中常用的一些材料特性檢測(cè)方法與技術(shù)。同時(shí)，培養(yǎng)學(xué)生掌握一些現(xiàn)代材料制備與測(cè)試設(shè)備的基本原理與使術(shù)。同時(shí)，培養(yǎng)學(xué)生掌握一些現(xiàn)代材料制備與測(cè)試設(shè)備的基本原理與使用方法，例如：磁控濺射機(jī)、金屬有機(jī)化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)（用方法，例如：磁控濺射機(jī)、金屬有機(jī)化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)（MOCVD）、）、低壓化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)（低壓化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)（LPCVD）、）、等離子化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)等離子化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)（PECVD）、）、真空鍍膜機(jī)、拉普拉斯缺陷譜儀、光伏譜儀、電化學(xué)真空鍍膜機(jī)、拉普拉斯缺陷譜儀、光伏譜儀、

17、電化學(xué)C-V測(cè)試儀、測(cè)試儀、X光電子能譜儀（光電子能譜儀（XPS）、）、掃描電子顯微鏡（掃描電子顯微鏡（SEM）等等。等等。 2.2.集成電路技術(shù)集成電路技術(shù) 集成電路技術(shù)是微電子技術(shù)領(lǐng)域中的最重要的技術(shù)，它主要包含設(shè)計(jì)和制集成電路技術(shù)是微電子技術(shù)領(lǐng)域中的最重要的技術(shù)，它主要包含設(shè)計(jì)和制造技術(shù)。集成電路的迅速發(fā)展，除了工藝技術(shù)、設(shè)備、原材料等方面的不斷改造技術(shù)。集成電路的迅速發(fā)展，除了工藝技術(shù)、設(shè)備、原材料等方面的不斷改進(jìn)以外，采用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)（進(jìn)以外，采用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)（CAD）或設(shè)計(jì)自動(dòng)化（或設(shè)計(jì)自動(dòng)化（DA）技術(shù)也是重要的技術(shù)也是重要的原因之一。本方向培養(yǎng)學(xué)生掌握專用集成電路和其他集成

18、器件的原因之一。本方向培養(yǎng)學(xué)生掌握專用集成電路和其他集成器件的CAD技術(shù)，包技術(shù)，包含器件模擬、電路設(shè)計(jì)、版圖設(shè)計(jì)、驗(yàn)證和測(cè)試；掌握集成電路電子設(shè)計(jì)自動(dòng)含器件模擬、電路設(shè)計(jì)、版圖設(shè)計(jì)、驗(yàn)證和測(cè)試；掌握集成電路電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化（化（EDA）軟件系統(tǒng)。同時(shí)培養(yǎng)學(xué)生掌握工藝原理、工藝設(shè)備原理和制造方法。軟件系統(tǒng)。同時(shí)培養(yǎng)學(xué)生掌握工藝原理、工藝設(shè)備原理和制造方法。 近年來(lái)，除了在學(xué)校近年來(lái)，除了在學(xué)校“211工程工程”建設(shè)基金資助下引進(jìn)了可實(shí)現(xiàn)全定制集建設(shè)基金資助下引進(jìn)了可實(shí)現(xiàn)全定制集成電路（成電路（IC）設(shè)計(jì)的美國(guó)設(shè)計(jì)的美國(guó)Mentor公司公司EDA軟件工具外（內(nèi)含版圖設(shè)計(jì)輸入、軟件工具外（內(nèi)含版圖設(shè)

19、計(jì)輸入、自動(dòng)布線及版圖驗(yàn)證等工具），我系技術(shù)物理所自動(dòng)布線及版圖驗(yàn)證等工具），我系技術(shù)物理所“EDA研究室研究室”積極加強(qiáng)同國(guó)積極加強(qiáng)同國(guó)外大學(xué)和公司合作，先后獲得各種捐贈(zèng)的價(jià)值約外大學(xué)和公司合作，先后獲得各種捐贈(zèng)的價(jià)值約400多萬(wàn)元的多萬(wàn)元的EDA工具，擁有工具，擁有的的EDA工具與國(guó)內(nèi)高校中從事相同方向研究的實(shí)驗(yàn)室比較，相對(duì)齊全而且比較工具與國(guó)內(nèi)高校中從事相同方向研究的實(shí)驗(yàn)室比較，相對(duì)齊全而且比較先進(jìn)，例如：復(fù)旦大學(xué)專用集成電路與系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、清華大學(xué)微波數(shù)先進(jìn)，例如：復(fù)旦大學(xué)專用集成電路與系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、清華大學(xué)微波數(shù)字通訊國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、北京大學(xué)電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)室、國(guó)防科技

20、大學(xué)電子字通訊國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、北京大學(xué)電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)室、國(guó)防科技大學(xué)電子系統(tǒng)系統(tǒng)CAD實(shí)驗(yàn)室。實(shí)驗(yàn)室?！癊DA研究室研究室”有能力和條件培養(yǎng)學(xué)生的設(shè)計(jì)技術(shù)。有能力和條件培養(yǎng)學(xué)生的設(shè)計(jì)技術(shù)。 “薩薩本棟微機(jī)電研究中心本棟微機(jī)電研究中心”、 “光子學(xué)研究中心光子學(xué)研究中心”和我系的和我系的“211重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室” 、 “半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室”可以培養(yǎng)學(xué)生的工藝制造技術(shù)?？梢耘囵B(yǎng)學(xué)生的工藝制造技術(shù)。 3.3. 半導(dǎo)體光電子學(xué)半導(dǎo)體光電子學(xué) 半導(dǎo)體光電子學(xué)是研究作為當(dāng)今和未來(lái)信息社會(huì)的兩個(gè)主要微觀信息體，即半導(dǎo)體光電子學(xué)是研究作為當(dāng)今和未來(lái)信息社會(huì)的兩個(gè)主要微觀信息體，即光子和電子的運(yùn)動(dòng)

21、與物質(zhì)的相互作用及其信息的產(chǎn)生、傳輸、接收、處理、存儲(chǔ)光子和電子的運(yùn)動(dòng)與物質(zhì)的相互作用及其信息的產(chǎn)生、傳輸、接收、處理、存儲(chǔ)和加工的科學(xué)。它在信息領(lǐng)域中具有響應(yīng)速度快、傳輸容量大、存儲(chǔ)密度高、誤和加工的科學(xué)。它在信息領(lǐng)域中具有響應(yīng)速度快、傳輸容量大、存儲(chǔ)密度高、誤碼率低、可靠性好、并易于集成、微型化等一系列明顯的優(yōu)點(diǎn)。它是當(dāng)今信息高碼率低、可靠性好、并易于集成、微型化等一系列明顯的優(yōu)點(diǎn)。它是當(dāng)今信息高科技發(fā)展的主流之一和熱點(diǎn)課題，它將與微電子技術(shù)相輔相成，直至互相滲入融科技發(fā)展的主流之一和熱點(diǎn)課題，它將與微電子技術(shù)相輔相成，直至互相滲入融為一體。為一體。 本方向可以作為培養(yǎng)學(xué)生了解本學(xué)科及相關(guān)

22、交叉學(xué)科的新成就的一個(gè)重本方向可以作為培養(yǎng)學(xué)生了解本學(xué)科及相關(guān)交叉學(xué)科的新成就的一個(gè)重要內(nèi)容。要內(nèi)容。 LED和光伏產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)內(nèi)容1. 什么是微電子學(xué)？2. 我們的條件是什么？3. 學(xué)習(xí)什么知識(shí)？4. 畢業(yè)后去哪里？物理系電子學(xué)專業(yè)大類教學(xué)計(jì)劃表物理系電子學(xué)專業(yè)大類教學(xué)計(jì)劃表（學(xué)（學(xué) 制制 4 4 年）年） 微電子學(xué)專業(yè)方向性課程微電子學(xué)專業(yè)方向性課程 半導(dǎo)體物理半導(dǎo)體物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理集成電路原理與設(shè)計(jì)集成電路原理與設(shè)計(jì) 集成電路集成電路CAD 微電子學(xué)專業(yè)實(shí)驗(yàn)微電子學(xué)專業(yè)實(shí)驗(yàn) 微電子學(xué)專業(yè)方向性必修課程微電子學(xué)專業(yè)方向性必修課程 半導(dǎo)體材料半導(dǎo)體材料 微電子制造科學(xué)原理微

23、電子制造科學(xué)原理 微電子學(xué)專業(yè)方向性任選課微電子學(xué)專業(yè)方向性任選課 電子設(shè)計(jì)電子設(shè)計(jì) 算法與數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)算法與數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu) 單片機(jī)原理與實(shí)驗(yàn)單片機(jī)原理與實(shí)驗(yàn) 物理學(xué)前沿專題物理學(xué)前沿專題 微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn) 微電子學(xué)專業(yè)實(shí)驗(yàn)微電子學(xué)專業(yè)實(shí)驗(yàn) 是微電子學(xué)專業(yè)學(xué)生的基礎(chǔ)課。根據(jù)物理系半導(dǎo)是微電子學(xué)專業(yè)學(xué)生的基礎(chǔ)課。根據(jù)物理系半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室的基礎(chǔ)，體實(shí)驗(yàn)室的基礎(chǔ)， “微電子學(xué)專業(yè)微電子學(xué)專業(yè)”擬安排以下幾個(gè)實(shí)驗(yàn)擬安排以下幾個(gè)實(shí)驗(yàn): 名 稱需要增添的儀器設(shè)備實(shí)驗(yàn)一表面光電壓法測(cè)量硅少數(shù)載流子擴(kuò)散長(zhǎng)度鎖相放大器實(shí)驗(yàn)二用橢圓偏振儀測(cè)量半導(dǎo)體表面介質(zhì)薄膜的厚度和折射率橢圓偏振儀實(shí)驗(yàn)三高頻MOS電容-電壓關(guān)系

24、測(cè)量半導(dǎo)體CV參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)四硅單晶中晶體缺陷的腐蝕顯示Olympus顯微鏡實(shí)驗(yàn)五四探針?lè)y(cè)電阻率四探針電阻率測(cè)試儀實(shí)驗(yàn)六真空鍍膜電子束鍍膜機(jī)，磁控濺射臺(tái)實(shí)驗(yàn)七熱氧化氧化擴(kuò)散系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)八二氧化硅光刻光刻機(jī)實(shí)驗(yàn)九硼擴(kuò)散氧化擴(kuò)散系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)十晶體管特性參數(shù)測(cè)試晶體管IV圖示儀實(shí)驗(yàn)十一超凈室實(shí)驗(yàn)培訓(xùn)（微機(jī)電研究中心）內(nèi)容1. 什么是微電子學(xué)？2. 我們的條件是什么？3. 學(xué)習(xí)什么知識(shí)？4. 畢業(yè)后去哪里？ 微電子產(chǎn)業(yè)是當(dāng)今世界上最富有生命力、增長(zhǎng)最為迅微電子產(chǎn)業(yè)是當(dāng)今世界上最富有生命力、增長(zhǎng)最為迅速的產(chǎn)業(yè)之一速的產(chǎn)業(yè)之一，是現(xiàn)代工業(yè)的基礎(chǔ)是現(xiàn)代工業(yè)的基礎(chǔ) 60年代開(kāi)始，經(jīng)歷了半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展，半導(dǎo)體微年代

25、開(kāi)始，經(jīng)歷了半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展，半導(dǎo)體微電子應(yīng)用已深入到國(guó)民經(jīng)濟(jì)及軍事應(yīng)用的各個(gè)領(lǐng)域，電子應(yīng)用已深入到國(guó)民經(jīng)濟(jì)及軍事應(yīng)用的各個(gè)領(lǐng)域，微電子技術(shù)的發(fā)展日新月異，使電子工業(yè)發(fā)生了革命微電子技術(shù)的發(fā)展日新月異，使電子工業(yè)發(fā)生了革命性的變化，對(duì)整個(gè)人類產(chǎn)生了巨大的影響。當(dāng)世界進(jìn)性的變化，對(duì)整個(gè)人類產(chǎn)生了巨大的影響。當(dāng)世界進(jìn)入入21世紀(jì)的今天，人類進(jìn)入了以微電子為基礎(chǔ)、計(jì)算世紀(jì)的今天，人類進(jìn)入了以微電子為基礎(chǔ)、計(jì)算機(jī)為核心、光纖和衛(wèi)星通訊為先導(dǎo)的信息時(shí)代。世界機(jī)為核心、光纖和衛(wèi)星通訊為先導(dǎo)的信息時(shí)代。世界上發(fā)達(dá)國(guó)家都競(jìng)相發(fā)展和提高信息技術(shù)水平，大力發(fā)上發(fā)達(dá)國(guó)家都競(jìng)相發(fā)展和提高信息技術(shù)水平，大力發(fā)展信息產(chǎn)業(yè)，

26、特別是微電子產(chǎn)業(yè)，從而獲得巨大的經(jīng)展信息產(chǎn)業(yè)，特別是微電子產(chǎn)業(yè)，從而獲得巨大的經(jīng)濟(jì)利益。微電子產(chǎn)業(yè)是當(dāng)今世界上最富有生命力、增濟(jì)利益。微電子產(chǎn)業(yè)是當(dāng)今世界上最富有生命力、增長(zhǎng)最為迅速的產(chǎn)業(yè)之一。長(zhǎng)最為迅速的產(chǎn)業(yè)之一。 福建廈門地區(qū)的微電子產(chǎn)業(yè)福建廈門地區(qū)的微電子產(chǎn)業(yè)我校位于東南沿海開(kāi)放城市我校位于東南沿海開(kāi)放城市福建廈門。這個(gè)地區(qū)福建廈門。這個(gè)地區(qū)的微電子產(chǎn)業(yè)正在蓬勃興起。的微電子產(chǎn)業(yè)正在蓬勃興起。福建建立了國(guó)家級(jí)的閩東南電子與信息產(chǎn)業(yè)基地，政福建建立了國(guó)家級(jí)的閩東南電子與信息產(chǎn)業(yè)基地，政府批準(zhǔn)在福州大學(xué)和廈門大學(xué)分別成立了集成電路設(shè)府批準(zhǔn)在福州大學(xué)和廈門大學(xué)分別成立了集成電路設(shè)計(jì)中心，并已計(jì)

27、劃投入計(jì)中心，并已計(jì)劃投入大量的資金支助大量的資金支助。廈門市又是臺(tái)灣微電子技術(shù)進(jìn)入大陸的前沿陣地。廈廈門市又是臺(tái)灣微電子技術(shù)進(jìn)入大陸的前沿陣地。廈門經(jīng)濟(jì)特區(qū)的長(zhǎng)遠(yuǎn)規(guī)劃是發(fā)展成為教育城、信息港和門經(jīng)濟(jì)特區(qū)的長(zhǎng)遠(yuǎn)規(guī)劃是發(fā)展成為教育城、信息港和電子城，政府對(duì)發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)給予高度的重視和大電子城，政府對(duì)發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)給予高度的重視和大力的支持，制定了許多優(yōu)惠政策。已興辦了微電子集力的支持，制定了許多優(yōu)惠政策。已興辦了微電子集成研究中心，微電子科技園、元順微電子公司、三安成研究中心，微電子科技園、元順微電子公司、三安電子公司、華聯(lián)電子公司等等微電子產(chǎn)業(yè)公司。電子公司、華聯(lián)電子公司等等微電子產(chǎn)業(yè)公司。

28、 福順公司已在福州建立了福順公司已在福州建立了6英寸片的集成電路生產(chǎn)線，英寸片的集成電路生產(chǎn)線， 集順公司正在廈門集美籌建年產(chǎn)集順公司正在廈門集美籌建年產(chǎn)36萬(wàn)萬(wàn)6英寸片的英寸片的0.35- 0.8微米集成電路生產(chǎn)線。微米集成電路生產(chǎn)線。 廈門市已成為國(guó)家照明工程基地之一。廈門市已成為國(guó)家照明工程基地之一。 廈門有良好的整機(jī)產(chǎn)業(yè)，大大小小的電子企業(yè)逾百家，廈門有良好的整機(jī)產(chǎn)業(yè)，大大小小的電子企業(yè)逾百家，如廈華公司、廈新公司、如廈華公司、廈新公司、Dell公司等電子企業(yè)，有些公司等電子企業(yè)，有些企業(yè)的小家用電器產(chǎn)量在世界上可以說(shuō)是數(shù)一數(shù)二，企業(yè)的小家用電器產(chǎn)量在世界上可以說(shuō)是數(shù)一數(shù)二，但是缺少專

29、用集成電路芯片開(kāi)發(fā)的能力，主要原因是但是缺少專用集成電路芯片開(kāi)發(fā)的能力，主要原因是缺乏這方面的人才。缺乏這方面的人才。 畢業(yè)后的去向 福建省關(guān)于進(jìn)一步促進(jìn)福建省關(guān)于進(jìn)一步促進(jìn)LED和太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)和太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的行動(dòng)方案（展的行動(dòng)方案（20092014年）年） 2008年全省LED和太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值約100億元，其中LED產(chǎn)值約70億元、太陽(yáng)能光伏產(chǎn)值約30億元。 全省LED和太陽(yáng)能光伏企業(yè)已超過(guò)200家，生產(chǎn)產(chǎn)品涵蓋LED外延、芯片生產(chǎn)、LED器件及配套材料、LED道路照明、LED背光源、LED屏幕顯示等應(yīng)用產(chǎn)品；多晶硅、單晶硅、薄膜太陽(yáng)能電池及組件、太陽(yáng)能光伏LED應(yīng)用產(chǎn)品等

30、。 總產(chǎn)量占全國(guó)30%以上 推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作，加快產(chǎn)業(yè)人才培養(yǎng)推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作，加快產(chǎn)業(yè)人才培養(yǎng)支持省內(nèi)高等院校開(kāi)設(shè)光電子專業(yè)和專業(yè)技能課程，為我省培養(yǎng)光電專業(yè)人才和高技能人才。 全國(guó)有6000家 LED產(chǎn)業(yè)，700億產(chǎn)值 ，并以40%以上速度增長(zhǎng) 福順公司已在福州建立了福順公司已在福州建立了6英寸片的集成電路生產(chǎn)線，英寸片的集成電路生產(chǎn)線， 集順公司正在廈門集美籌建年產(chǎn)集順公司正在廈門集美籌建年產(chǎn)36萬(wàn)萬(wàn)6英寸片的英寸片的0.35- 0.8微米集成電路生產(chǎn)線。微米集成電路生產(chǎn)線。 廈門市已成為國(guó)家照明工程基地之一。廈門市已成為國(guó)家照明工程基地之一。 廈門有良好的整機(jī)產(chǎn)業(yè)，大大小小的電子企業(yè)逾百家

31、，廈門有良好的整機(jī)產(chǎn)業(yè)，大大小小的電子企業(yè)逾百家，如廈華公司、廈新公司、如廈華公司、廈新公司、Dell公司等電子企業(yè)，有些公司等電子企業(yè)，有些企業(yè)的小家用電器產(chǎn)量在世界上可以說(shuō)是數(shù)一數(shù)二，企業(yè)的小家用電器產(chǎn)量在世界上可以說(shuō)是數(shù)一數(shù)二，但是缺少專用集成電路芯片開(kāi)發(fā)的能力，主要原因是但是缺少專用集成電路芯片開(kāi)發(fā)的能力，主要原因是缺乏這方面的人才。缺乏這方面的人才。 內(nèi)容1. 什么是微電子學(xué)？2. 我們的條件是什么？3. 畢業(yè)后去哪里？4. 學(xué)習(xí)什么知識(shí)？廈門大學(xué)廈門大學(xué)薩本棟微機(jī)電研究中心薩本棟微機(jī)電研究中心 實(shí)驗(yàn)室設(shè)施：實(shí)驗(yàn)室設(shè)施： 具備體硅機(jī)械技術(shù)、表面硅機(jī)械技術(shù)和集成電路技術(shù)具備體硅機(jī)械技術(shù)

32、、表面硅機(jī)械技術(shù)和集成電路技術(shù)所需要的基本條件，可以開(kāi)展一些所需要的基本條件，可以開(kāi)展一些MEMS中的單個(gè)微型結(jié)中的單個(gè)微型結(jié)構(gòu)、微型傳感器及微型電機(jī)的研制，也可以開(kāi)展一些微機(jī)構(gòu)、微型傳感器及微型電機(jī)的研制，也可以開(kāi)展一些微機(jī)械、微執(zhí)行器、微傳感器與中小規(guī)模微電子線路合為一體械、微執(zhí)行器、微傳感器與中小規(guī)模微電子線路合為一體的的MEMS的研制。的研制。4473 四管微控?cái)U(kuò)散爐4371-LPCVD低壓化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)PECVD-2型等離子體淀積臺(tái)ICP-2B刻蝕機(jī)JC500-3/D磁控濺射鍍膜機(jī) JS-3X-100B 磁控濺射臺(tái)Karlsuss MA6/BA6光刻鍵合對(duì)準(zhǔn)機(jī)ZXS-500A電子束鍍膜機(jī)純水間純水間氮氮/氧氧/氬純化系統(tǒng)氬純化系統(tǒng)廢氣廢氣/水處理水處理C63200/TJ 硅片拋光機(jī)單頭精縮機(jī)X61 385-1B 硅片磨片機(jī)初縮機(jī)精縮機(jī)四探針電阻測(cè)試多頭探針Dektak 3 測(cè)厚儀Olympus OLS1200激光掃描共聚焦顯微鏡 Nikon L150金相顯微鏡Keithley4200-SCS半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀Keithley590 C-V測(cè)試儀設(shè)計(jì)室基礎(chǔ)設(shè)施設(shè)計(jì)室基礎(chǔ)設(shè)施:設(shè)計(jì)室為校內(nèi)師生提供設(shè)計(jì)室為校內(nèi)師生提供MEMSMEMS和和ICIC計(jì)算計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)的工作平臺(tái)。機(jī)輔助設(shè)計(jì)的工作平