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文檔簡介

1、0 前言*公司介紹:公司成立于 年。是一家 公司被上海市科委認定為高新技術(shù)企業(yè),客戶包括 企業(yè)開展清潔生產(chǎn)的背景:公司自建立以來,一貫積極響應(yīng)國家節(jié)能減排的要求,長期采取各類有效措施,扎扎實實開展節(jié)能降耗工作。為貫徹科學(xué)發(fā)展觀,推進清潔生產(chǎn),發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟,建設(shè)資源節(jié)約型和環(huán)境友好型社會, 40 / 41文檔可自由編輯打印1 企業(yè)概況1.1 企業(yè)基本情況1.1.1企業(yè)基本信息企業(yè)地址: 占地面積: 企業(yè)類型: 所屬行業(yè): 法人代表: 主要產(chǎn)品: 企業(yè)年總產(chǎn)值: ) 年末職工總數(shù): 技術(shù)人員總數(shù): 建廠日期: 投資日期: 聯(lián)系人: 聯(lián)系電話及傳真: 郵編: 1.2 組織機構(gòu)為公司的最高權(quán)力機構(gòu),公

2、司實行董事會領(lǐng)導(dǎo)下的總經(jīng)理責(zé)任制。總經(jīng)理下設(shè) 部門和 辦公室,公司目前的環(huán)保管理部門為 ,主要職能為: 公司組織機構(gòu)圖如下所示: 圖1-1 公司組織機構(gòu)圖參考2 審核準(zhǔn)備2.1 審核小組為配合清潔生產(chǎn)審核工作的順利實施,中航光電子成立了以副總經(jīng)理朱燕林為組長的清潔生產(chǎn)領(lǐng)導(dǎo)小組和以張建總經(jīng)理助理為副組長的清潔生產(chǎn)審核工作小組,小組成員涵蓋了企業(yè)高層、廠務(wù)部、采購部、三廠、財務(wù)部等部門的負責(zé)人,并明確了各自的職責(zé)。具體見表2-1及表2-2。表2-1 清潔生產(chǎn)審核領(lǐng)導(dǎo)小組審核領(lǐng)導(dǎo)小組職務(wù)姓名部門及職務(wù)審核中職責(zé)組長領(lǐng)導(dǎo)組織公司清潔生產(chǎn)工作副組長協(xié)調(diào)各部門清潔生產(chǎn)工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作

3、組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作組員協(xié)調(diào)本部門參加清潔生產(chǎn)審核工作表2-2 清潔生產(chǎn)審核工作小組 審核小組職務(wù)姓名部門職務(wù)審核中職責(zé)組長領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)清潔生產(chǎn)審核工作、資源保證和審批中/高費方案,參與討論領(lǐng)導(dǎo)小組的各項工作。干事全過程參與,參與備選方案的產(chǎn)生,推動清潔生產(chǎn)工作,匯總文件資料干事主持清潔生產(chǎn)技術(shù)策劃,中/高費方案的擬

4、訂和實施,組織物料能源平衡測試等,負責(zé)推行無低費方案組員協(xié)助參與中/高費方案實施,協(xié)助、參與無低費方案實施組員物料平衡資料的提供,組員提供水、電統(tǒng)計資料、計量等,參與環(huán)境相關(guān)資料的提供組員協(xié)助參與中/高費方案實施,協(xié)助、參與無低費方案實施組員財務(wù)統(tǒng)計工作2.2審核工作計劃根據(jù)清潔生產(chǎn)審核的要求和公司的實際情況,制訂了清潔生產(chǎn)審核工作計劃。詳見表2-3。表2-3 清潔生產(chǎn)審核工作計劃表階段工作內(nèi)容完成時間責(zé)任部門及負責(zé)人產(chǎn) 出審核準(zhǔn)備1. 取得領(lǐng)導(dǎo)支持2. 組建審核小組3. 制定工作計劃4. 開展宣傳教育企業(yè)領(lǐng)導(dǎo)及審核領(lǐng)導(dǎo)小組1.領(lǐng)導(dǎo)的參與;2.明確審核小組成員職責(zé);3.制定工作計劃和開展宣傳教

5、育工作,爭取廠內(nèi)廣大職工的支持。預(yù)審核進行現(xiàn)場調(diào)研考察,評價生產(chǎn)情況,確定審核重點,設(shè)置清潔生產(chǎn)目標(biāo)及提出清潔生產(chǎn)方案制造部、總經(jīng)辦及相關(guān)部門1.對生產(chǎn)狀況和環(huán)保狀況進行調(diào)查和現(xiàn)場考察,得出結(jié)論;2.確定審核重點;3.明確清潔生產(chǎn)目標(biāo);4. 提出及實施無/低費方案。審核實測物料平衡,建立物料平衡,分析廢棄物產(chǎn)生原因,研究提出改進方法,繼續(xù)實施無低費方案制造部及相關(guān)部門1.編制物料平衡圖;2.編制審核重點工藝流程圖;3.分析廢棄物產(chǎn)生原因;4.實施無/低費方案。方案的產(chǎn)生和篩選產(chǎn)生方案并對方案進行研究篩選,核定無低費方案實施效果主管及相關(guān)部門1.完成方案征集和匯總;2.編制重點方案的研制說明。3

6、. 核定無低費方案實施效果方案的確定進行市場調(diào)查,對技術(shù)、環(huán)境及經(jīng)濟情況進行評估,推薦可實施的重點方案總經(jīng)辦及相關(guān)部門1.論證方案的技術(shù)可行性;2環(huán)境可行性分析 3.經(jīng)濟可行性分析;4.確定最佳可行的重點方案方案的實施組織方案實施,對無低費方案效果進行匯總,對中高費方案成果進行驗證相關(guān)部門1.推薦方案的實施;2.匯總實施方案的環(huán)境效益和經(jīng)濟效益。持續(xù)清潔生產(chǎn)完善清潔生產(chǎn)組織及管理制度,制定持續(xù)清潔生產(chǎn)計劃,編寫清潔生產(chǎn)審核報告清潔生產(chǎn)主管人員1.成立清潔生產(chǎn)組織機構(gòu);2.建立清潔生產(chǎn)管理制度;3.制定持續(xù)清潔生產(chǎn)計劃。4.編寫清潔生產(chǎn)審核報告2.3宣傳和教育企業(yè)于2010年4月開展了全公司員工

7、的清潔生產(chǎn)普及培訓(xùn),由環(huán)安部主導(dǎo)并編制教材,由清潔生產(chǎn)工作組成員對各部門員工進行了清潔生產(chǎn)的基礎(chǔ)培訓(xùn),進過培訓(xùn)員工對清潔生有了概念性的了解,為進一步的開展工作奠定了基礎(chǔ)。公司還將派出一至二名清潔生產(chǎn)審核工作小組成員參加上海市推進清潔生產(chǎn)生產(chǎn)辦公室2010年11月舉辦的內(nèi)審員培訓(xùn)班。圖2-1 公司2010年4月7日專題培訓(xùn)的照片2.3.1全員參與為使全體員工及時了解清潔生產(chǎn)內(nèi)容,自覺貫徹到實際生產(chǎn)活動中去,公司廣泛運用宣傳欄及公司的局域網(wǎng)等平面媒介進行宣傳,利用各種專題會議、現(xiàn)場培訓(xùn)等形式,讓各部門領(lǐng)導(dǎo)和全體員工及時了解什么是清潔生產(chǎn)、怎樣進行清潔生產(chǎn)、清潔生產(chǎn)的目的和意義等基本知識。圖2-2

8、公司宣傳欄布置的清潔生產(chǎn)專題內(nèi)容2.3.2克服障礙企業(yè)開展清潔生產(chǎn)審核的過程中,往往會遇到各種各樣的障礙。本輪清潔生產(chǎn)審核得到了公司領(lǐng)導(dǎo)層和員工的大力支持。企業(yè)自落戶開發(fā)區(qū)以來,以清潔生產(chǎn)的思路來進行投資及管理,采用先進的生產(chǎn)工藝和設(shè)備、推行節(jié)能降耗。所以此次開展清潔生產(chǎn)審核工作障礙較小,通過各類宣傳教育都能得以解決。公司領(lǐng)導(dǎo)和全體員工都非常認真積極地、自覺地投入到本輪清潔生產(chǎn)審核工作中。3 預(yù)審核預(yù)審核階段是發(fā)現(xiàn)問題和解決問題的起點,清潔生產(chǎn)審核小組會同審核師對公司全貌進行調(diào)查分析,并組成內(nèi)審組進行現(xiàn)場考察,重點關(guān)注清潔生產(chǎn)審核的八個方面,分析和發(fā)現(xiàn)清潔生產(chǎn)的潛力和機會。從而確定本輪清潔生產(chǎn)

9、審核的重點,設(shè)置清潔生產(chǎn)的目標(biāo),提出無/低費方案。3.1 企業(yè)生產(chǎn)概況3.1.1企業(yè)概況企業(yè)發(fā)展史: 公司地處 路 號,占地 萬平方米,其中綠地面積占總面積的30%。公司總建筑面積約 萬平方米,由辦公樓、 廠房、 廠房、 廠房、 等組成, 。公司目前有各種用工形式的員工 余人。公司擁有一支 余人的專業(yè)技術(shù)人員隊伍,長期從事 生產(chǎn),積累了豐富的生產(chǎn)、管理經(jīng)驗。公司在吸收、消化國內(nèi)外同行先進技術(shù)的基礎(chǔ)上,積極組織研發(fā)力量,投入資金,著力突破高端核心生產(chǎn)工藝,形成了獨特的生產(chǎn)工藝,為建立擁有自己的知識產(chǎn)權(quán)的工藝技術(shù)創(chuàng)造了良好條件。公司高度重視清潔生產(chǎn)和環(huán)保管理工作,已于2010年通過了ISO9001

10、:2000質(zhì)量管理體系認證、 ISO14001:2004環(huán)境管理體系認證和OHSAS 18001:1999職業(yè)衛(wèi)生安全管理體系認證。企業(yè)今后的發(fā)展規(guī)劃: 成為 行業(yè)的領(lǐng)跑者而努力,力爭從行業(yè)一流邁向行業(yè)領(lǐng)先,從優(yōu)秀邁向卓越,實現(xiàn)公司發(fā)展和地方經(jīng)濟的共贏。企業(yè)所在地的自然環(huán)境和生態(tài)環(huán)境:位于 區(qū) 區(qū)的西南面,廠區(qū)西 ,東靠 ,北依 ,南側(cè)為市政規(guī)劃道路和農(nóng)田。 。公司周邊3000米范圍內(nèi)沒有居民區(qū)、學(xué)校等敏感目標(biāo)。-工業(yè)區(qū)是 企業(yè)平面布置圖:廠區(qū)由辦公樓、 廠房、廢水處理廠房和中央變電站等建筑物組成,總建筑面積約為 平方米。 具體平面布置如下:陣列廠房動力廠房廢水處理模塊模盒廠房辦公大樓中央變電

11、站3號門1號門2號門第二期用地顓 興 路聯(lián) 農(nóng) 路東南西北華 寧路圖3-1 公司平面布置圖3.1.2 企業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)狀3.1.2.1主要產(chǎn)品產(chǎn)量和產(chǎn)值公司的主要產(chǎn)品為 企業(yè)近三年產(chǎn)品產(chǎn)量及產(chǎn)值匯總表表3-1 企業(yè)近三年產(chǎn)品產(chǎn)量及產(chǎn)值匯總表產(chǎn)品名稱近三年年產(chǎn)量(片)200 8 年2009 年20010年產(chǎn)量 產(chǎn)值(萬元)產(chǎn)量 產(chǎn)值(萬元)產(chǎn)量 產(chǎn)值(萬元)備注: 3.1.2.2各生產(chǎn)車間情況公司的全套生產(chǎn)線全部從 引進, 生產(chǎn)管理的現(xiàn)狀:公司嚴(yán)格按照法律法規(guī)的相關(guān)要求,建立了覆蓋公司運行各個方面的管理制度,公司的管理手冊總的明確了公司各部門的職責(zé),同時制定了各項規(guī)定來保證公司制造生產(chǎn)、財務(wù)運營、人事

12、管理等方面的正常有序開展。其中有生產(chǎn)運行控制規(guī)定對生產(chǎn)運行過程實施控制,確保受控條件下,進行生產(chǎn)運行活動;對于工作人員在潔凈房內(nèi)的工作有潔凈房勞動、工藝紀(jì)律規(guī)定來規(guī)范;對于重要的動力和環(huán)保設(shè)備有專人24小時值班以及設(shè)備運行與維護管理規(guī)定來保證設(shè)備平穩(wěn)運行。所有規(guī)定和規(guī)格書都需經(jīng)相關(guān)部門會簽后正式發(fā)行和執(zhí)行,并在公司內(nèi)部網(wǎng)上建立了文控中心,方便各相關(guān)部門隨時查閱。公司高度重視清潔生產(chǎn)和環(huán)保管理工作,已于2010年通過了ISO9001:2000質(zhì)量管理體系認證、ISO14001:2004環(huán)境管理體系認證和OHSAS 18001:1999職業(yè)衛(wèi)生安全管理體系認證。公司的環(huán)境管理體系能正常有序地運行。

13、對生產(chǎn)管理的改進意見:公司有些工藝和設(shè)備進行了技術(shù)改造或工藝變更,但相對應(yīng)的一些管理規(guī)定和規(guī)格書還未及時更改。公司的整合、廠務(wù)、環(huán)安等相關(guān)部門已認識到這一情況,正在著手對這些管理規(guī)定和規(guī)格書進行改版以保證生產(chǎn)、設(shè)備運行正常有序。 圖3-2 生產(chǎn)工藝布置平面圖3.1.2.3生產(chǎn)工藝流程說明1)陣列 陣列工程是使用專用玻璃基板,在充分清潔后在其清潔干凈的表面上通過化學(xué)氣相沉積(CVD)的方法形成半導(dǎo)體膜或隔離膜,通過濺射鍍膜的方法形成金屬膜。然后對柵極、漏極島、接觸、像素逐一進行形成感光性有機膜的涂敷、曝光、顯影并在濕法刻蝕、干法刻蝕后形成雜孔或接觸孔,剝離掉多余的涂敷膠體,經(jīng)熱處理把半導(dǎo)體特性作

14、均一化處理后即作成陣列玻璃基板。模塊工程驅(qū)動用TCP和信號基板連接組裝老化檢查成盒工程陣列基板 彩色濾光片配向膜封裝形成 散布墊料液晶滴下真空粘貼檢查貼偏光板盒分割圖3-3主要工藝流程圖陣列工程投入玻璃清洗CVD 濺射涂 膠曝 光顯 影剝 離檢查退火濕法刻蝕、干法刻蝕2)成盒 成盒工程是陣列基板和彩色濾光片經(jīng)清洗,表面經(jīng)配向處理,陣列基板經(jīng)封裝形成和滴入液晶,彩色濾光片作散布墊料后兩基板在真空中粘合、固化,即成盒。再根據(jù)下游廠家的需求進行盒分割,再貼上偏光片,加入電信號作圖像檢查后即成為LCD面板。3)模塊 模塊工程實際上是一個TFT-LCD的裝配工藝流程,向LCD面板連接驅(qū)動芯片和信號基板,

15、組裝背光源和防護罩,在加溫狀態(tài)下作老化處理,在作最后電氣特性檢查后即成為LCD模塊。此模塊可提供給下游廠家使用。3.1.3 企業(yè)近三年原輔材料和能源資源消耗3.1.3.1生產(chǎn)的原輔材料生產(chǎn)的主要原輔材料有 表3-2 主要原輔料年用量表序號材料名稱單位年用量20082009201012345789101112131415*說明:(對原輔材料消耗的說明)對主要原輔材料的消耗和產(chǎn)量的關(guān)聯(lián)分析比對:圖3-4 異丙醇近三年使用量比對圖(單位:升)3.1.3.2能源資源的消耗公司生產(chǎn)主要消耗電和天然氣,資源主要消耗水。表3-3 近三年能源資源消耗匯總序號能源資源品種單位用量2008年2009年2010年1

16、電萬度2天然氣萬m33水萬噸4蒸汽百萬千焦5折合標(biāo)煤噸6萬元產(chǎn)值綜合能耗噸標(biāo)煤/萬元7單位產(chǎn)品能耗噸標(biāo)煤/萬片107.0799.145295.05說明:企業(yè)生產(chǎn)主要消耗的能源有電力、蒸汽、天然氣三種。其中,電力由春申變電站、金都變電站和閔北變電站四條線路供電;蒸汽由外部管網(wǎng)購入,其供氣壓力為0.81.2MPa,溫度為180290;天然氣由大眾燃氣公司通過天然氣管網(wǎng)送入,各種能源消耗比例見圖3-5。圖3-5 能源消耗比例圖由圖可見,企業(yè)的主要用能為電力,占總用能的88%,其次為外購蒸汽,占總能耗的10%,天然氣最少為2%。 供水系統(tǒng)如圖3-6所示,城市管網(wǎng)給水通過生產(chǎn)消防水池和生活蓄水池給各部門

17、供水,在綜合動力站有造純水系統(tǒng),給陣列廠房與成盒/模塊廠房提供純水清洗,廢水進入廢水處理設(shè)施處理后排出。圖3-6 供水系統(tǒng)圖主要供水設(shè)備見表3-4,主要包括4臺原水泵、4臺過濾水泵、5臺RO水泵(反滲透水泵)、4臺DI水泵(純水泵)及其它制純水設(shè)備。表3-4 主要供水設(shè)備項目設(shè)備名稱規(guī)格、參數(shù)、容量所屬部門12345678910111213各部門用新水比例見下圖(因循環(huán)水循環(huán)利用,循環(huán)水未計入其中),陣列工程部用水比例最多,主要用于基板清洗。圖3-7 各部門用新水比例對近三年生產(chǎn)產(chǎn)量和能、資源消耗的關(guān)聯(lián)進行分析比對:表3-5近三年生產(chǎn)產(chǎn)量與能源資源消耗比對表單位2007 年2008 年2009

18、 年產(chǎn)量片電萬度天然氣萬m3水萬噸蒸汽百萬千焦折合標(biāo)煤噸萬元產(chǎn)值綜合能耗噸標(biāo)煤/萬元單位產(chǎn)品能耗噸標(biāo)煤/萬片3.1.4主要設(shè)備一覽表公司的主要設(shè)備如下表: 表3-6 主要用能設(shè)備一覽表序號設(shè)備名稱型號規(guī)格功率(kw)臺數(shù)投運時間123456789企業(yè)沒有國家明令需淘汰的設(shè)備。對公司用能狀況的分析:公司用電量最大的設(shè)備是冷凍機和空壓機,用電量占到了總用電量的30%,由廠務(wù)部負責(zé)日常運行管理,有節(jié)能改造的潛能。冷凍機組位于動力棟1樓,其中2500USRT(1250USRT*2)冷凍機4組,1250USRT(單獨)2臺,共計10臺冷凍機。目前冷凍機系統(tǒng)送水溫度10,回水溫度16,所提供的冷凍水主要用

19、于潔凈房內(nèi)的空調(diào)系統(tǒng)以調(diào)節(jié)潔凈房內(nèi)的溫濕度,夏季最大用量時8臺冷凍機運行已足夠,其余臺冷凍機作為備機來對應(yīng)如設(shè)備維保檢修,制冷量需求突然增大等異常情況。冷凍機組的維修保養(yǎng)目前由特靈空調(diào)系統(tǒng)(江蘇)有限公司上海分公司負責(zé)承擔(dān)。空壓機組位于動力棟2樓,根據(jù)產(chǎn)出壓縮空氣壓力的不同分為DA/HA系統(tǒng)和HHA系統(tǒng)。共計13臺空壓機,其中DA/HA系統(tǒng)依靠水冷無油離心式空壓機5臺、水冷無油螺桿式空壓機3臺,提供最高0.79Mpa最大50000Nm3/hr的壓縮空氣。壓縮空氣經(jīng)空氣罐穩(wěn)壓后、再經(jīng)6臺無熱干燥機除濕,最后經(jīng)過高效過濾器除去微粒后分成DA、HA兩路系統(tǒng),DA系統(tǒng)供氣給A/C棟設(shè)備,大宗氣體分析儀

20、,原氣風(fēng)機進氣閥,氣浮槽;HA系統(tǒng)供氣給A/C棟設(shè)備控制儀表、氣動閥, A/C棟純水終端控制儀表、氣動閥,造排水控制儀表,氣動閥藥品控制儀表、氣動閥等。HHA(高高壓空氣)系統(tǒng)是依靠水冷無油螺桿式空壓機5臺將外界空氣壓縮,經(jīng)由空氣罐、干燥器、過濾器,成為壓力在0.91MPa,露點為-40的潔凈無油的空氣,通過管道供給到A棟爆光機??諌簷C組的維修保養(yǎng)由阿特拉斯科普柯(上海)貿(mào)易有限公司負責(zé)承擔(dān)。表3-6 主要用能設(shè)備一覽表中其余設(shè)備都是潔凈房內(nèi)所用的生產(chǎn)設(shè)備,由設(shè)備所在的部門(陣列、成盒)負責(zé)運行管理。對設(shè)備管理現(xiàn)狀的評價企業(yè)設(shè)備管理由一整套的管理體系支撐,從設(shè)備選型采購安裝調(diào)試至驗收通過可以按

21、照設(shè)備的采購規(guī)格書、驗收規(guī)格書進行,設(shè)備的操作有具體的操作SOP,設(shè)備的運行與維護可參照設(shè)備運行與維護管理規(guī)定進行,每年會針對具體的設(shè)備制定維養(yǎng)計劃,每月會對設(shè)備的變動情況進行統(tǒng)計分析并制定相應(yīng)的對策。3.2產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析3.2.1 陣列車間產(chǎn)污環(huán)節(jié)陣列工藝流程有對玻璃基板表面的清洗、濺射涂金屬膜、涂光刻膠、曝光、顯影、濕法刻蝕、化學(xué)氣相沉積(CVD)、剝離等工序,形成柵極、漏極島、接觸、像素等過程,形成的陣列基板供成盒工藝使用。(1) 清洗清洗是TFT生產(chǎn)過程中非常重要的一道生產(chǎn)環(huán)節(jié),圍繞玻璃面板進行。有玻璃基板清洗、濺射涂金屬膜后的清洗、化學(xué)氣相沉積(CVD)后的清洗、剝離時清洗。對玻璃面板

22、清洗是完全清除玻璃面板表面的塵埃顆粒、有機物殘留薄膜和吸附在表面的金屬離子。最主要的清洗方式是將玻璃面板沉浸在液體槽內(nèi)逆流清洗。由于TFT-LCD生產(chǎn)對污染控制的要求非常嚴(yán)格,因而通常使用特殊過濾和純化的半導(dǎo)體級化學(xué)試劑、有機溶劑和純水等作為清洗劑。在所有的清洗液中,純水的用量最多,其次為IPA(異丙醇),再次為稀TMAH(四甲基氫氧化氨)。異丙醇清洗液部分揮發(fā)以廢氣形式排出,部分作為廢液排出回收,部分排放到廢水中;純水、四甲基氫氧化銨清洗液部分揮發(fā)以廢氣形式排出,其余排放到廢水中。(2) 濺射在玻璃基板上以蒸汽形式沉積金屬膜作為電路的內(nèi)引線和半導(dǎo)體薄膜,沉積的方法為濺射。本項目TFT-LCD

23、生產(chǎn)采用Cr靶材、ITO靶材、Al靶材作為濺射的材料。部分多余的沉積金屬在后道工序刻蝕和清洗后被帶到廢水里。(3) 涂膠、曝光、顯影涂膠、曝光、顯影是光刻過程的內(nèi)容。涂膠是在玻璃基板表面均勻涂上光刻膠的過程;曝光是使用光刻機,并透過光掩膜版對涂膠的玻璃基板進行光照,使部分光刻膠得到光照,另外部分光刻膠得不到光照,從而改變光刻膠性質(zhì);顯影是對曝光后的光刻膠進行去除,使光刻膠上形成了溝槽。為涂復(fù)光刻膠,需要用70%的單甲基醚丙二醇 (PGME)和30%的 丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)作稀釋劑,用2.38%的四甲基氫氧化銨作顯影液。在光刻過程中將會產(chǎn)生有機廢氣、堿性廢氣、堿性廢水、稀釋劑廢液等。(

24、4) 化學(xué)氣相沉積(CVD)在一定的溫度下通過無機氣體進行化學(xué)反應(yīng)在玻璃基板上沉積氧化硅、氮化硅和多晶硅的過程,形成晶體管薄膜。無機氣體有硅烷(SiH4),磷化氫(PH3),氫氣(H2),氨(NH3),六氟化硫(SF6)等。硅烷中的硅部分沉積在玻璃基板上,部分硅烷和其他氣體一起最終以有害廢氣形式排出。(5) 濕法刻蝕和干法刻蝕濕法刻蝕是酸作刻蝕劑通過化學(xué)反應(yīng)的方法對基材腐蝕的過程,對不同的去除物質(zhì)使用不同的材料。本項目使用的有Al刻蝕液, Cr刻蝕液,ITO刻蝕液。廢Al刻蝕液作為廢液,其他廢刻蝕液排入到廢水里,揮發(fā)部分成為廢氣。干法刻蝕(DE)是在等離子氣態(tài)氛圍中選擇性腐蝕基材的過程,刻蝕氣

25、體通常含有氟等離子體和或碳等離子體,因此刻蝕氣體使用的有SF6、HCl氣體。這些氣體最終以廢氣形式排出。(6) 剝離剝離的過程是使用剝離液把玻璃基板上多余的光刻膠剝離的過程,并用異丙醇漂洗。剝離液采用70%的二甲基亞砜 (DMSO)和30%2-氨基乙醇(MEA)。剝離液大部分作為廢液,少部分排入到廢水和揮發(fā)到廢氣中,廢異丙醇作為廢液回收,因剝離過程操作溫度在60-70,使后工序的異丙醇清洗溫度也有40-50,從而使易揮發(fā)的異丙醇有相當(dāng)一部分進入到廢氣中。3.2.2 成盒車間產(chǎn)污環(huán)節(jié)由陣列工藝來的玻璃基板經(jīng)表面清洗、燒結(jié)配向膜、基板磨擦、成框(盒)后滴入液晶、邊框燒結(jié),此時在大張玻璃上已形成多個

26、液晶顯示屏單體,再根據(jù)不同尺寸切割、貼偏光片,液晶顯示屏單體完成。在成盒工藝中排放的廢氣主要有有機廢氣、剝離廢氣和堿性廢氣;廢水有有機廢水、堿性廢水、剝離廢水和含SS廢水;固體廢物有廢異丙醇和碎玻璃。3.2.3 模塊車間產(chǎn)污環(huán)節(jié)模塊工藝流程實際上是一個TFT-LCD的裝配工藝流程,由成盒工藝來的液晶顯示屏單體經(jīng)過安裝電子零件、框板和背光源,最終成為TFT-LCD的產(chǎn)品。在模塊工藝流程中,沒有廢氣和廢水排放,固體廢物偶爾有廢電子零件產(chǎn)生。下圖是生產(chǎn)工藝流程和廢物產(chǎn)生的框圖。清洗濺射后涂敷、曝光、顯影刻蝕、脫膜、清洗化學(xué)氣相沉積脫膜后清洗檢查后入庫基板清洗配向膜印刷、燒結(jié)、摩擦后清洗Seal_Ag

27、涂布、粘合固化切割、偏光板貼復(fù)TCP安裝安裝板框、背光源檢查后入庫廢水廢水廢水、廢氣、固廢廢水、廢氣、固廢廢水、廢氣廢水、廢氣、固廢廢水、廢氣、固廢廢水、廢氣固廢固廢固廢陣列工程成盒工程模塊工程循環(huán)圖3-8 工藝流程框圖和廢物產(chǎn)生示意圖3.3污染物治理措施公司高度重視清潔生產(chǎn)和環(huán)保管理工作,已建立環(huán)境管理體系,并于2010年ISO14001:2004環(huán)境管理體系認證和OHSAS 18001:1999職業(yè)衛(wèi)生安全管理體系認證。公司的環(huán)保管理部門為環(huán)安部和廠務(wù)部,環(huán)境管理體系能有序運行。表3-7企業(yè)執(zhí)行的環(huán)境標(biāo)準(zhǔn):廢氣大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)GB16297-1996廢水污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(D

28、B31/445-2009)噪聲工業(yè)企業(yè)廠界噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)GB12348-90III類標(biāo)準(zhǔn)3.3.1廢氣污染治理措施 (1) 有機廢氣的處理對含有有機物如異丙醇等的有機廢氣,采用濃縮、燃燒的方法進行處理,濃縮轉(zhuǎn)子中的吸附材料為疏水性沸石,濃縮倍數(shù)10-15倍,燃料采用天然氣。一般燃燒溫度為700,把其中大多數(shù)有機污染物經(jīng)燃燒后變?yōu)镃O2和水,因此,污染物總處理效率可以達到9095%。裝置有活性炭吸附、再生、溶劑廢液回收、排風(fēng)等裝置組成。采用的凈化技術(shù)是目前IT行業(yè)普遍采用的比較先進,且技術(shù)比較成熟,目前上海中芯國際、臺積電等大型IT企業(yè)均采用該方法處理該類排氣量大、濃度低、污染物危險大的有機廢氣。

29、要使排放氣體能夠較好地轉(zhuǎn)化為無害的CO2和水,控制適當(dāng)?shù)娜紵郎囟群蜌怏w燃燒停留時間是保證有害氣體充分氧化、無害化的基本保證,一般經(jīng)該設(shè)施處理后,有機廢氣95%以上能轉(zhuǎn)化為無害的CO2和水,從而減少對環(huán)境的污染影響。(2) 酸堿廢氣生產(chǎn)過程中排出的含酸廢氣(包括剝離廢氣)采用噴淋洗滌塔處理,利用稀NaOH/NaClO溶液作為中和吸收液來凈化酸霧,對含NH3的堿性廢氣,則采用NaClO作吸收劑進行噴淋洗滌處理,達標(biāo)后從排氣筒排放。噴淋廢液排向工業(yè)廢水處理池處理。酸性廢氣和堿性廢氣這兩種廢氣凈化工藝是成熟的, 這是沿用多年的凈化技術(shù),處理后能達到排放要求。 (3) 有害廢氣的處理在化學(xué)氣相沉積(CV

30、D)和干法刻蝕(DE)過程中因使用SiH4、PH3、H2、NH3、SF6等特殊氣體,這些氣體對人體有毒,需要進行無害化處理。采用燃燒氧化和濕式洗滌塔的方式進行處理,塔內(nèi)排出的堿性廢液和氧化劑廢液排向廢水處理池處理。從處理過程看,有毒廢氣凈化工藝是成熟的,目前上海的其他IT制造企業(yè)基本也采用相同的方法處理有毒廢氣。(4) 粉塵廢氣的處理粉塵廢氣來自陣列過程對玻璃基板的研磨工序,含有微量SiO2顆粒物,采用過濾網(wǎng)除塵后尾氣返回車間。在過濾網(wǎng)的孔徑選擇合適的情況下,濾網(wǎng)的除塵效率一般可以達到99%以上。各種廢氣處理方法見表3-8,廢氣處理流程示意圖見圖3-5。表3-8 公司對廢氣污染物的治理方法內(nèi)容

31、實際運行采取的措施酸性、剝離廢氣酸性廢氣洗滌塔噴淋中和, 剝離廢氣先進行冷凝堿性廢氣堿性廢氣洗滌塔噴淋中和有機廢氣有機廢氣冷凝濃縮、燃燒處理特殊氣體(CVD、DE)特殊氣體燃燒、濕式洗滌NaOH濕式洗滌燃燒氧化特殊廢氣排入環(huán)境空氣NaClO吸收洗滌塔堿性廢氣排入環(huán)境空氣燃燒脫臭裝置濃縮裝置有機廢氣排入環(huán)境空氣圖3-5 廢氣污染物治理工藝流程NaOH/NaClO吸收洗滌塔冷凝排入環(huán)境空氣酸性和剝離廢氣冷凝3.3.2廢氣污染物治理效果上海市儀表電子工業(yè)環(huán)境監(jiān)測站對廢氣各排放口的監(jiān)測結(jié)果見下表。表3-9廢氣處理裝置處理效果和排放情況名稱廢氣類型污染物名稱治理方法排放濃度(mg/m3)排放速率(kg/

32、h)排放標(biāo)準(zhǔn)濃度(mg/m3)速率(kg/h)陣列棟有機廢氣非甲烷總烴濃縮、燃燒12020.6堿性廢氣氨氣噴淋洗滌8.7酸性廢氣氯氣650.18氮氧化物2401.64氯化氫1000.53氟化物90.21剝離廢氣非甲烷總烴濃縮、燃燒12020.6CVD濕式除害廢氣氮氧化物噴淋洗滌2401.64二氧化硫5505.37氟化物90.21氨氣8.7DE濕式除害廢氣氮氧化物2401.64二氧化硫5505.37氟化物90.21氨氣8.7成盒棟剝離廢氣非甲烷總烴濃縮、燃燒12020.6有機廢氣非甲烷總烴12020.6堿性廢氣氨氣8.7由表可見,各車間生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的各類污染物經(jīng)相關(guān)的方法處理后處理效果明顯,各

33、污染物均能達到國家相關(guān)污染物的排放標(biāo)準(zhǔn)要求,而且遠均低于標(biāo)準(zhǔn)限值。表3-10廢氣排放口近三年監(jiān)測數(shù)據(jù)對比表名稱廢氣類型污染物名稱2010年2009年2008年排放標(biāo)準(zhǔn)濃度速率濃度速率濃度速率濃度(mg/m3)速率(kg/h)陣列棟有機廢氣非甲烷總烴78.91.641063.33964.4312020.6堿性廢氣氨氣0.110.002020.250.0040.2230.00398.7酸性廢氣氯氣4.580.110.120.00310.230.0061650.18氮氧化物5.950.1366.20.169.340.2492401.64氯化氫17.70.4440.20.00510.0770.0021

34、1000.53氟化物0.80.020.640.0160.07710.0020690.21剝離廢氣非甲烷總烴1.460.02743.350.0494550.8912020.6CVD濕式除害廢氣氮氧化物2.360.01164.20.02713.40.08942401.64二氧化硫2.580.01730.0910.000531.360.009085505.37氟化物1.730.008530.2120.001172.080.013990.21氨氣0.10.0005070.120.000660.30.0028.7DE濕式除害廢氣氮氧化物2.230.003431.20.00294.20.01142401.

35、64二氧化硫4.460.007320.310.000750.560.00155505.37氟化物2.220.003411.20.00290.9380.0025590.21氨氣1.130.001740.360.000870.280.000768.7成盒棟剝離廢氣非甲烷總烴2.060.005513.350.04949.320.10812020.6有機廢氣非甲烷總烴17.40.1957.940.131111.7512020.6堿性廢氣氨氣3.30.01580.6180.003470.40.00498.7從對比表中可以看出公司近三年各項廢氣監(jiān)測項目均低于大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)的要求,且數(shù)據(jù)穩(wěn)定波動不大

36、。這表明,現(xiàn)有的廢氣處理方法是可行的,效果是明顯的,公司各廢氣處理系統(tǒng)運行管理措施是有效的。3.3.3廢水污染治理措施生產(chǎn)廢水可分為有機廢水廢水、剝離高濃廢水、含氟酸性廢水、重金屬含鉻廢水、研磨廢水以及純水再生廢水。這些廢水依托公司現(xiàn)有的處理設(shè)施進行處理。1) 含氟酸性廢水含氟酸性廢水中含有HF和磷酸鹽,采用凝聚沉淀脫氮凝聚活性碳吸附法進行處理。經(jīng)過上述流程處理,廢水中的F和磷的去除率可以達到98%以上。2) 重金屬含鉻廢水含鉻廢水通過還原混凝凝聚的方法處理。經(jīng)調(diào)節(jié)pH,將Cr+6還原為低價Cr,同時根據(jù)低價鉻的物化性能,在一定酸堿度的條件下形成沉淀物,同時加入凝聚劑,加速沉淀物顆粒的長大和沉

37、淀,可以有效地降低廢水中總Cr和Cr+6濃度。這是經(jīng)典的常用方法,技術(shù)成熟,去除效率較高。3) 剝離高濃廢水剝離高濃廢水主要污染物為二甲基亞砜、2-氨基乙醇和異丙醇等。其CODcr濃度極高。采用生物處理的方法進行治理。治理之后,尚不達標(biāo)的CODcr將采用活性碳吸附的方法作進一步處理。該股廢水有機物濃度相當(dāng)高,且廢水B/C比相當(dāng)高,采用生物處理有較好的處理效果,最后通過活性碳吸附方法,進一步處理廢水中殘余的有機污染物,可以實現(xiàn)達標(biāo)排放。4) 有機廢水、有機溶劑排水有機廢水、有機溶劑排水因含有四甲基氫氧化銨、異丙醇,其污染物主要是CODcr、BOD5和NH3-N,且濃度非常高,采用硝化、脫氮的方法

38、進行治理,若治理之后,不達標(biāo)的CODcr和BOD5將采用活性碳吸附的方法作進一步治理。該股廢水提供了脫氮所需的大量的氫源,有利于生物脫氮。直接采用生物脫氮處理方案。同時該股廢水硝化階段與其他廢水混合,已有效降低了有機污染物濃度,最后廢水通過活性碳吸附,可以有效地保證排水達到排放標(biāo)準(zhǔn)要求。5) 研磨廢水/堿性廢水和純水RO排水研磨廢水、堿性廢水和純水RO排水,主要污染物為SS和酸堿度,采取凝聚沉淀和調(diào)節(jié)pH的方法進行處理。本水處理工藝是常規(guī)的,經(jīng)過上述流程處理,廢水中的SS去除率可以達到90%以上。各類廢水污染治理措施歸納見表3-11。表3-11公司廢水污染物治理措施廢水類型治理方法重金屬廢水還

39、原、絮凝沉淀含氟廢水反應(yīng)、絮凝沉淀有機廢水、溶劑廢水硝化、反硝化、活性炭吸附剝離濃厚廢水曝氣、沉淀含固研磨廢水絮凝、沉淀堿廢水pH調(diào)節(jié)3.3.4廢水污染物治理效果2010年3月上海市儀表電子工業(yè)環(huán)境監(jiān)測站對各類廢水排放口的監(jiān)測結(jié)果見表3-12。表3-12公司現(xiàn)有廢水處理裝置處理效果和結(jié)果監(jiān)測點位置監(jiān)測項目污染物濃度(mg/l)處理效率(%)排放標(biāo)準(zhǔn)(mg/l)進口出口重金屬廢水處理系統(tǒng)六價鉻100.00499.96%0.5總鉻14.30.0199.93%1.5氨氮44.2/氟廢水處理系統(tǒng)氟化物11.91.389.08%活性污泥處理系統(tǒng) (剝離高濃度廢水槽)化學(xué)需氧量71747.393.40%五

40、日生化需氧量19712.893.50%硝化脫氮系統(tǒng)有機溶劑廢水槽化學(xué)需氧量31.76.4879.56%五日生化需氧量8.551.8078.95%生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)總出口化學(xué)需氧量25.9/500五日生化需氧量7.05/300pH值6.81/69懸浮物32/400石油類0.1/20氟化物0.379/20六價鉻0.108/0.5總鉻0.116/1.5氨氮2.62/40由表可見,各類廢水經(jīng)過不同的處理方法后,各類污染物去除效果明顯,重金屬廢水中的六價鉻、總鉻濃度在車間排放口達標(biāo);其他各類污染物經(jīng)預(yù)處理后再集中處理后在公司總排放口均能達到上海市污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的要求。表3-13廢水總排口近三年

41、監(jiān)測數(shù)據(jù)對比表監(jiān)測點位置監(jiān)測項目污染物濃度(mg/l)排放標(biāo)準(zhǔn)(mg/l)2010年2009年2008年生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)總出口化學(xué)需氧量51.147.154.9500五日生化需氧量13.6223300pH值7.047.477.2869懸浮物3626128400石油類0.1310.960.75520氟化物0.6466.292.0720六價鉻0.0860.0040.040.5總鉻0.0870.0040.0561.5氨氮13.716.114.240從對比表中可以看出公司近三年各項廢水監(jiān)測項目排放濃度均低于上海市污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的要求,且數(shù)據(jù)穩(wěn)定,波動不大。這表明現(xiàn)有的廢水污染物處理方法是可

42、行的,效果是明顯的,公司各污水處理系統(tǒng)運行管理措施是有效的。3.3.5 噪聲防治措施公司的生產(chǎn)設(shè)備基本不產(chǎn)生噪聲,噪聲主要來自送排風(fēng)機、冷凍機、空氣壓縮機等輔助動力設(shè)備。各設(shè)備產(chǎn)生的噪聲源強見下表。表3-14噪聲源及源強和降噪措施 單位:dB(A)污染源治理前聲級治理措施治理后聲級冷凍機70 利用廠房的建筑隔聲廠房外:60空壓機8095 利用空壓機房、動力廠房的雙重建筑隔聲廠房外:65空調(diào)系統(tǒng)7075利用廠房技術(shù)夾層、廠房的雙重建筑隔聲廠房外:50風(fēng)機70采用鐵質(zhì)密封隔聲罩降噪機外:60表3-15為上海市儀表電子工業(yè)環(huán)境監(jiān)測站于2008年至2010年三年在公司噪聲監(jiān)測點監(jiān)測的結(jié)果。由表可見,公

43、司廠界噪聲全部能夠達到GB12348-90III類標(biāo)準(zhǔn)的要求。同時又好于III類標(biāo)準(zhǔn),說明公司現(xiàn)有的機械設(shè)備運行時產(chǎn)生的噪聲對廠界未構(gòu)成影響。表3-15公司廠界噪聲近三年監(jiān)測對比表測點號測點位置主要噪聲源監(jiān)測時段GB12348-90 III類標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)背景值修正后的測量值達標(biāo)2010年2009年2008年情況1東邊界外1m交通環(huán)境晝間6558.458.955.2達標(biāo)夜間5553.154.249.82南邊界外1m環(huán)境晝間6556.355.354.1達標(biāo)夜間5548.748.548.23西(南)邊界外1m環(huán)境晝間6555.454.754.2達標(biāo)夜間5549.349.249夜間5549.849.749.

44、3晝間6555.754.653.93.3.6 固體廢物的分類生產(chǎn)中產(chǎn)生的固體廢物可分為兩大類:一般廢棄物,危險廢棄物,生活垃圾可歸入一般廢棄物內(nèi)。公司針對固體廢物的管理制定了固體廢棄物管理規(guī)定,其中明確規(guī)定了各部門的職責(zé)和管理流程。危險廢棄物公司對所產(chǎn)生的固體廢棄物進行了匯總整理,對其中的危險廢棄物進行識別,其依據(jù)是列入國家危險廢物名錄或者根據(jù)國家規(guī)定的危險廢物鑒別標(biāo)準(zhǔn)和鑒別方法認定的具有危險特性的固體廢物。公司的危險廢棄物主要是生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢化學(xué)藥液,日光燈管及重金屬廢水處理后產(chǎn)生的含鉻污泥,表3-16為近三年公司危險廢棄物的產(chǎn)生量明細表。名稱單位2009年2008年2007年廢液噸3.

45、67 4.3397.77過濾器、潔凈布噸2.79 12.662.33汞燈、日光燈個1580.00 930419重金屬污泥噸38.461363.25157.54廢酸噸333.15166.241014.1表3-16危險廢棄物近三年產(chǎn)生量明細表一般廢棄物一般廢棄物主要包括生產(chǎn)中產(chǎn)生的玻璃基板包裝物,包括廢紙、廢紙質(zhì)包裝材料和鐵質(zhì)材料及廢塑膠、碎玻璃等。這些由專門的廠商進行回收。生活垃圾主要是辦公室產(chǎn)生的垃圾,包括廢紙屑、廢棄的空瓶空罐等;此外還有工廠職工食堂等生活設(shè)施產(chǎn)生垃圾,主要有食堂下腳料、廚余及果皮等。生活垃圾也由專門的公司回收處理。需要特別說明的是特殊氣體使用的是高壓鋼瓶;化學(xué)品異丙醇使用不

46、銹鋼儲槽;單甲基醚丙二醇、丙二醇甲醚醋酸脂使用不銹鋼儲桶;二甲基亞砜、2-氨基乙醇使用不銹鋼儲槽;氫氧化四甲銨使用聚乙烯內(nèi)襯不銹鋼儲槽;Al刻蝕液、Cr刻蝕液使用不銹鋼儲槽;ITO刻蝕液聚乙烯內(nèi)襯不銹鋼儲槽。這些容器價格較高,將反復(fù)使用,不會使用一次后作為固體廢物排出,另外,這些容器外也不使用紙質(zhì)包裝材料。3.3.7 固體廢物的處置 危險廢棄物的處置:根據(jù)公司現(xiàn)行的危險廢物聯(lián)單管理流程和危險廢物備案管理流程,在上海市固體廢物管理中心對相應(yīng)的危險廢棄物進行了備案和聯(lián)單管理。相應(yīng)的職責(zé)部門對不同的危險廢棄物都委托給經(jīng)上海市環(huán)保局審核確定有危險廢物處理資質(zhì)的單位集中處置。一般廢棄物的處置:對于生產(chǎn)中

47、產(chǎn)生的一般廢棄物,由專門的公司進行回收。對于臨時存放的廢棄品倉庫,依據(jù)制定的廢棄品倉庫管理規(guī)格書進行管理。食堂產(chǎn)生的餐廚垃圾和辦公產(chǎn)生的生活垃圾現(xiàn)都委托上海莘工環(huán)衛(wèi)綜合服務(wù)有限公司統(tǒng)一處理。各種廢液、固體廢物處理處置措施見表3-17。序號固體廢棄物種類廢物類別處置方式1廢液稀釋液HW42安智電子材料(蘇州)有限公司2異丙醇3剝離液 4Al刻蝕液(廢酸)HW34上海潔申實業(yè)有限公司5廢有機溶劑HW42 上海市金依環(huán)保工程有限公司6配向膜HW42上海潔申實業(yè)有限公司7NMPHW42上海潔申實業(yè)有限公司8廢液晶HW42上海潔申實業(yè)有限公司9清邊液HW42上海潔申實業(yè)有限公司10過濾器潔凈布HW49上

48、海潔申實業(yè)有限公司11廢渣(含SiO2)HW49上海潔申實業(yè)有限公司12六羰化鎢HW49上海潔申實業(yè)有限公司13廢化學(xué)空瓶HW49上海潔申實業(yè)有限公司14廢日光燈管等HW29上海電子廢棄物交投中心有限公司15含鉻污泥HW21上海市固體廢物處置中心16廢塑料一般廢物陳艮廢舊物資回收經(jīng)營部17碎玻璃18廢包裝材料陳艮廢舊物資回收經(jīng)營部19廢鐵質(zhì)材料20垃圾生活垃圾上海市生活垃圾處理收費中心表3-17 固體廢物及其處置措施 3.4 企業(yè)清潔生產(chǎn)水平評估3.4.1 生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品液晶顯示器TFT-LCD與傳統(tǒng)玻殼顯象管(CRT)比較,具有顯示質(zhì)量高、沒有電磁輻射、可視面積大、畫面效果好、有數(shù)字式接口和功率消耗小等優(yōu)點,液晶顯示器在使用中是一種消耗資源和能源較低的清潔產(chǎn)品。液晶顯示器是我國近年發(fā)展起來的新興技術(shù)產(chǎn)品,目前產(chǎn)品的廢棄量較低,其廢棄物目前也未列入我國的危險固體廢物名錄中,目前生產(chǎn)廠家的廢品液晶顯示器一般處置方法均送廢品回收站回收處理作為廢玻璃經(jīng)高溫?zé)珊笤倮?。由于液晶顯示器是由玻璃面板、液晶材料、封口膠等有機化合物組成,在高溫條件下,有機化合物將變?yōu)槎趸己退AЫ?jīng)燒后再利用,一般不會對環(huán)境造成不可逆轉(zhuǎn)的污染,其產(chǎn)品的最終處置也符合清潔生

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