SCU400員工培訓(xùn)

1、SCU400多晶爐用于將太陽能級硅熔煉和結(jié)晶為光伏用硅錠。該爐子的規(guī)格允許使用不同大小的加熱器，如有需要坩堝的大小可以改變。SCU400爐子每一次循環(huán)可熔煉和結(jié)晶一個硅錠（400Kg硅錠）。 ALD爐子簡介ALDALD爐子圖爐子圖SCU400SCU400設(shè)計特點設(shè)計特點在工藝生產(chǎn)過程中，模殼是固定的設(shè)有上、下兩個加熱器，底部帶有冷源，保證高效可控結(jié)晶側(cè)邊不需要加熱器打開爐蓋進(jìn)出料SCU400SCU400設(shè)計特點設(shè)計特點5、在可控氣氛下，光伏硅的工藝步驟：啟動、熔煉、結(jié)晶、退火、冷卻將在PLC的控制下自運執(zhí)行6、PLC的控制系統(tǒng)被證實適用于工業(yè)化批量生產(chǎn)的所有SCU爐子，該軟件可利用數(shù)據(jù)對中央控

2、制系統(tǒng)進(jìn)行控制7、帶有前級干泵的真空系統(tǒng)減少了維修和保養(yǎng)工作SCU400SCU400技術(shù)參數(shù)技術(shù)參數(shù)每爐次生產(chǎn)能力： 400 kg-680kg原料等級： 太陽能級硅硅錠尺寸：約840 x 840 x250 mm硅錠固體密度： 2.33 kg/dm3 硅液體密度： 2.53 kg/dm3 一爐所需時間： 約56-65小時SCU400SCU400技術(shù)參數(shù)技術(shù)參數(shù)7、最大爐溫： 15708、爐內(nèi)氣體： 真空或惰性氣體9、溫度測量： 兩個高溫計和2個熱電偶10、高溫計位置： 硅錠中心上方；坩 堝石墨支撐板中心底部11、熱電偶位置：位于熱場的不同區(qū)域 輔助件參數(shù)輔助件參數(shù)坩堝尺寸：880 x 880 x

3、 420mm坩堝石墨板： 側(cè)板：約900 x 400 x 15 mm 底板：約940 x 940 x 20 mm石墨模支撐板:約1000 x 1000 x 60 mm石墨隔熱材料： 石墨硬氈材料輔助件參數(shù)輔助件參數(shù)5、一臺多晶爐的系統(tǒng)外形尺寸： 總長：約 6.0 m 總寬：約 3.2 m 總高：約 4.2 m6、行吊吊鉤最低高度：約 5.8 m真空系統(tǒng)參數(shù)真空系統(tǒng)參數(shù)1、前置泵流量： 約 Seff = 70 m3/h2、羅茨泵流量： 約 Seff = 500 m3/h3、極限真空泵設(shè)置： Pabs 810-2 mbar Pabs 8 Pa真空系統(tǒng)參數(shù)真空系統(tǒng)參數(shù)4、泄漏率和解吸率，以壓升測試來

4、衡量： 810-2 mbar l/s 8 Pa l/s5、操作壓力： Pabs = 1 - 900 mbar供電參數(shù)供電參數(shù)低壓配電：低壓配電： 電壓：3 x 400 VAC 10 %, 50Hz 額定功率： 220 kVA加熱器：加熱器： 上端加熱器： P 110 kW 下端加熱器： P 80 kW供氣參數(shù)供氣參數(shù)1.1.工藝氣體供給：工藝氣體供給： 氣體類型：氬氣 氬氣流量：約 30 NL/min. 氬氣消耗：每周期氬氣消耗總計約 60 Nm2.2.壓縮氣體供給：壓縮氣體供給： 壓力：pe = 5 bar 最大壓降：每60秒1 bar 供水參數(shù)供水參數(shù)供水系統(tǒng)：供水系統(tǒng)： 入口： 最小 p

5、e 3,5bar 背壓： 最大 pe 0,5 bar 流量： 約 190 L/min. 平均T：約 8 正常運行時的入口溫度： T = 20 - 35 供水參數(shù)供水參數(shù)冷卻水條件：冷卻水條件： 絲網(wǎng)的機(jī)械純凈 /寬度：0.38 mm 化學(xué) pH 值：7.0 8.5 pH 碳酸根硬度： 8 DHSCUSCU多晶爐的周圍條件多晶爐的周圍條件外部溫度： T 10 35 濕度 (非冷凝)：20 80 %SCU400SCU400爐子的組成爐子的組成爐體室 爐蓋頂部加熱系統(tǒng)底部加熱系統(tǒng)設(shè)備安全措施散熱系統(tǒng)SCU400SCU400爐子的組成爐子的組成電控及操作系統(tǒng)氣體控制內(nèi)部冷卻水系統(tǒng)壓縮空氣系統(tǒng)平臺和鋼結(jié)

6、構(gòu)真空系統(tǒng)爐體室組成爐體室組成爐體室-水冷雙層結(jié)構(gòu)，頂蓋有配套法蘭；一個泵組連接的抽氣口；一個加熱器用大電流電極端口；兩個熱電偶測量用電極端口。爐蓋組成爐蓋組成爐蓋帶有法蘭；一個加熱器用大電流電極接口；一套用于測量、輔助裝置和儀器的標(biāo)準(zhǔn)接口。頂部加熱系統(tǒng)組成頂部加熱系統(tǒng)組成一套與可控硅控制器相連的石墨加熱器；一套連接真空電極與變壓器輸出的電纜；一套由真空電極伸出銅管與石墨加熱器相連；頂部加熱系統(tǒng)組成頂部加熱系統(tǒng)組成4.一套石墨保溫層；5.一個作為石墨加熱器的電流的大電流變壓器；6.連續(xù)輸出的可調(diào)的SCR。底部加熱器系統(tǒng)組成底部加熱器系統(tǒng)組成一套與加熱控制元件相連的石墨加熱器；從加熱器讀取溫度的

7、熱電偶冷卻區(qū)域；一套高強(qiáng)石墨保溫層；底部加熱器系統(tǒng)組成底部加熱器系統(tǒng)組成4、一套連接真空電極與變壓器輸出的電纜；5、一套由真空電極伸出銅管與石墨加熱器相連；6、一個大電流變壓器；7、連續(xù)輸出的可調(diào)的SCR。設(shè)備安全措施設(shè)備安全措施水監(jiān)測系統(tǒng)用于檢測相關(guān)的水漏以便監(jiān)測系統(tǒng)的安全；一套覆蓋爐子底部的銅板用以在坩堝泄漏時吸收熱量。氣體控制氣體控制質(zhì)量流量控制器便于控制工藝氣體；氣動控制氣體填充閥；壓力開關(guān)用于監(jiān)測進(jìn)口壓力?？刂浦行慕M成控制中心組成可視化圖形顯示設(shè)定值和真實值的數(shù)據(jù)及工藝參數(shù)所有的爐子的重要條件和互鎖所有相應(yīng)的工作條件所有報警信號工藝名稱什么階段剩余時間在線和歷史參數(shù)趨勢登陸數(shù)據(jù)主控制

8、柜組成主控制柜組成帶有通訊界面的頂部加熱器可控硅控制器帶有通訊界面的底部加熱器可控硅控制器PLC控制系統(tǒng)（中央處理器，數(shù)字/模擬輸入輸出）UPS電源內(nèi)部冷卻水系統(tǒng)內(nèi)部冷卻水系統(tǒng)水排用于提供和排除冷卻水一套截至閥，水流量繼電器壓縮空氣系統(tǒng)壓縮空氣系統(tǒng)帶表頭和三聯(lián)體（排水器的過濾，減壓潤滑）壓力開關(guān)用于監(jiān)測進(jìn)口壓力一套三聯(lián)體出口到氣動操作閥的管路散熱系統(tǒng)組成散熱系統(tǒng)組成保溫層擋板，水平可移動；一套擋板移動的真空電極；保溫層擋板的電動馬達(dá)驅(qū)動；散熱片，水冷銅結(jié)構(gòu)設(shè)計。進(jìn)爐前準(zhǔn)備進(jìn)爐前準(zhǔn)備(1)、真空泵檢查、每次開始生產(chǎn)前，派 1 個人前往泵房檢查真空泵的水、電連接，確保無誤。、觀察羅茨泵和真空泵的油

9、位，確保油位在 Min 與 Max 之間，視窗油位在 1/3 至1/2的位置。(2)、壓縮空氣、氬氣壓縮空氣壓強(qiáng)要求大于 5bar，其壓強(qiáng)變化不能在 60 秒內(nèi)有 1bar 的變動。氬氣壓強(qiáng)要求 46bar，頂?shù)琢髁繛?10001050mL/min。(3)、冷卻水要求進(jìn)水溫度在 310.2，進(jìn)水壓強(qiáng) 5.0-6.0Bar。多晶爐各個部位的水流量要求如下：爐蓋40L/min；爐膛40L/min；冷卻板90L/min；盲法蘭10L/min；水溫表頂部加熱器15L/min；底部加熱器15L/min。冷卻水出水壓力在 1.0-2bar(4)、電控柜 、確認(rèn)電控柜是否已合閘，包括電控柜內(nèi)主閘及門上的開關(guān)

10、，并將電控柜門鎖上。 、確認(rèn)變壓器蓋板及加熱器套盒已蓋好。 (5)、投爐前點檢 檢查多晶爐鑄錠點檢表各項，作投爐前點檢工作。 多晶爐室清掃頂?shù)赘邷赜嫴Ａ河脽o塵紙吸取無水乙醇輕擦，直至玻璃片上無污點 爐蓋上殘留真空脂 ：無塵紙吸取無水乙醇擦爐體密封圈 ：先用無塵紙吸取無水乙醇擦一次，涂上真空脂，用無塵紙吸取無水乙醇再擦一次 爐蓋頂板的下板及爐膛上沿黃、白色氧化物 ：先用鏟刀鏟除再用吸塵器吸 支撐板上氧化物 ：吸塵器吸爐膛底部側(cè)板及其與支撐板的間隙處 ：吸塵器吸 備注備注：清理過程應(yīng)戴手套、口罩，進(jìn)入爐膛須穿鞋套。爐蓋表面須在每天早上打掃衛(wèi)生時用毛巾擦拭干凈。如發(fā)現(xiàn)異常情況，出爐后應(yīng)立即清理或

11、維修。如成品率經(jīng)以上清理后仍較差，須吊起爐膛對爐體內(nèi)壁氧化物及熱門周圍碳?xì)职暹M(jìn)行清理。清理完須由班長或工藝師確認(rèn)，并運行烘烤菜單。運行烘烤菜單時須將 Charge No 按相應(yīng)規(guī)定修改。注意不要將任何物品遺漏到爐體內(nèi) 多晶爐操作多晶爐操作1、 作業(yè)準(zhǔn)備作業(yè)準(zhǔn)備 (1)(1)、進(jìn)入多晶車間須穿戴好潔凈工作服、鞋。、進(jìn)入多晶車間須穿戴好潔凈工作服、鞋。(2)(2)、準(zhǔn)備好梯形碳纖維板。、準(zhǔn)備好梯形碳纖維板。 (3)(3)、準(zhǔn)備好一次性潔凈手套、耐高溫手套、毛巾、無塵紙、酒精、吸塵管、防塵口、準(zhǔn)備好一次性潔凈手套、耐高溫手套、毛巾、無塵紙、酒精、吸塵管、防塵口罩等。罩等。(4)(4)、準(zhǔn)備好吊鉤碳纖

12、維板和吊裝硅錠的專用工具（硅錠四爪夾具）。、準(zhǔn)備好吊鉤碳纖維板和吊裝硅錠的專用工具（硅錠四爪夾具）。投料過程投料過程投料時，由一人控制行車（站在北側(cè)），兩人在爐子兩側(cè)（南側(cè)和東側(cè)）控制吊裝夾具，東側(cè)的一人并負(fù)責(zé)指揮，夾具的操縱桿應(yīng)在東北側(cè)，由指揮者操作。硅料投爐過程中注意小心輕放，以防損壞頂部熱電偶。坩堝放置于爐膛中心，鉬絲結(jié)方向應(yīng)對著東北角，放置完成后，用吸塵管將坩堝四周清理干凈。一切處理完成后，由兩人同時將覆蓋在坩堝上的無塵布拿掉，其他人用蘸有酒精的無塵紙將爐蓋與爐體接觸的兩個面擦拭干凈，然后均勻的涂上一層真空脂。合上爐蓋，在爐蓋合上后稍微將爐蓋抬起 1-2cm 再合上。如需要更換熱電偶，

13、則注意安裝熱電偶時一定要保證安裝到位。自動控制生產(chǎn)過程自動控制生產(chǎn)過程 整個生產(chǎn)過程主要是自動控制，操作工注意生產(chǎn)過程中的報警及參數(shù)記錄，再者就是修改參數(shù)，修改的參數(shù)主要是熔料和結(jié)晶過程中的參數(shù)。報警主要包括兩種情況：一種是生產(chǎn)過程中每個階段的轉(zhuǎn)換提示報警，只要正常切換后按reset鍵即可，另一種為生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的設(shè)備異常情況，出現(xiàn)該情況時需要報告班長或當(dāng)班工藝師，班長核實問題，及時處理，不能處理的問題盡快上報上級處理。 (1)、抽空檢漏要求爐子漏氣速率1mbarl/s，則可選擇再次進(jìn)行抽空檢漏，若仍不合格則打開真空室泄氣閥，使真空室達(dá)到常壓，檢查頂?shù)赘邷赜?、熱電偶安裝接口，如無問題，打開爐蓋

14、重新清潔爐蓋與爐體接觸的兩個面，合上爐蓋重新檢漏。檢漏合格進(jìn)入加熱熔料工序。如再次不合格報告維修人員處理，并進(jìn)行相應(yīng)記錄。(2)、熔料過程中功率在上升，但在熔料后期，頂部加熱器的功率出現(xiàn)明顯下降，一般出現(xiàn)在菜單的第九部，此時根據(jù)曲線更改參數(shù)，更改的依據(jù)是出現(xiàn)頂部加熱器功率下降開始到開始結(jié)晶的時間控制在 70 分鐘（第九步延長 35 分鐘）。在功率出現(xiàn)下降后，需查看頂部高溫計是否對準(zhǔn)，對準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)是高溫計鏡頭里的黑圈與視野中的黑斑重合。(3)、結(jié)晶過程中的第九部也需要進(jìn)行參數(shù)修正，在頂部高溫計溫度在結(jié)晶階段是穩(wěn)定的，但在后期會出現(xiàn)溫度陡然下降，此時需要查看高溫計，如果視野中黑斑已經(jīng)偏向一邊或者不在視野中，則表明硅錠已經(jīng)冒頂，參數(shù)的修改依據(jù)是頂部高溫計曲線出現(xiàn)下降后將第九部再維持 120 分鐘。(4)、正常條件下第九步的時間設(shè)定是 300 分鐘，如果在這 300 分鐘內(nèi)觀察不到冒頂，則需要將第九步的時間