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1、第二章 薄膜的力學性質(zhì)(續(xù)) 第四講 2.4 內(nèi)應力的測試方法1、懸臂梁法測量時常用基片云母片、玻璃片 尺寸：152 0.0565 10 0.15mm3測量方法：目鏡直視法、各種光學法、電感法、電容法、 機電法等，其中電容法的靈敏度最高。薄膜內(nèi)應力：2、彎盤法采用圓形基片，分別測量出在淀積薄膜前后的基片的曲率半徑R1和R2，那么薄膜單位寬度的應力為：基片：玻璃、石英、單晶硅 尺寸：0.1318-0.2230，光學拋光測量方法：牛頓環(huán)法(常用)、x射線衍射法、光纖法等。3、 x射線衍射法測試前，用標準的硅單晶樣品標定裝置誤差。薄膜厚度30nm,觀測衍射峰最大值所對應的布拉格Bragg角，并比較薄

2、膜的和塊狀的角。 2.5 薄膜的機械強度分為抗張強度、耐壓強度用硬度表示薄膜常開裂薄膜的斷裂是它的應力應變曲線的終點抗張強度與應力應變關系緊密。2.5.1 薄膜的應力應變曲線塊材：先線性彈性階段非線性彈性階段 塑性變形薄膜：有可能發(fā)生蠕變，因為薄膜內(nèi)的缺陷較多，受到內(nèi)部彈性能的活化而發(fā)生了一些變化。 與塊材不同2.5.2 薄膜的抗張強度薄膜的斷裂機理：在薄膜的內(nèi)部局限區(qū)域中發(fā)生塑 性變形，導致在該處變薄，結果這個區(qū)域中內(nèi) 應力增大，出 現(xiàn)小的裂紋，最后發(fā)生斷裂。薄膜特點：缺陷較多，外表積與體積之比很大， 本身有內(nèi)應力。薄膜的屈服強度：薄膜的屈服強度比塊材大，因為薄膜的外表效應，如薄膜的外表積很

3、大，抑制位錯運動和消除位錯源。d強度2.6 機械強度的試驗方法2.6.1 引張法 采用微張力測試儀，觀察樣品在較輕負載下的很小伸長率。用靈敏的光學儀器測量伸長率0.5nm2.6.2 膨脹法#樣品制法： 將待測薄膜從基片上剝離下來安裝在銅管上； 將待測薄膜淀積在塑料膜上，然后溶去塑料膜； 在NaCl基片100面上沉積薄膜如金膜， 然后在薄膜質(zhì)量最正確處，用噴水法對基片進行鉆 孔，直到在孔底只剩下薄膜位置。#用干預圖像法測量膨脹面曲率半徑在起始態(tài)和膨脹態(tài)的變化，從而求出薄膜所受的應力與應變分別為： 離心法該法可測量薄膜的附著力和抗張強度，但不能測量應力-應變曲線。轉(zhuǎn)子由磁力懸浮在真空中，外加旋轉(zhuǎn)磁場，使

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