機械設(shè)備項目方案【參考范文】

1、泓域咨詢/機械設(shè)備項目方案機械設(shè)備項目方案xxx（集團）有限公司目錄 TOC o 1-3 h z u HYPERLINK l _Toc108544116 第一章 項目緒論 PAGEREF _Toc108544116 h 9 HYPERLINK l _Toc108544117 一、 項目名稱及建設(shè)性質(zhì) PAGEREF _Toc108544117 h 9 HYPERLINK l _Toc108544118 二、 項目承辦單位 PAGEREF _Toc108544118 h 9 HYPERLINK l _Toc108544119 三、 項目定位及建設(shè)理由 PAGEREF _Toc108544119

2、h 10 HYPERLINK l _Toc108544120 四、 報告編制說明 PAGEREF _Toc108544120 h 15 HYPERLINK l _Toc108544121 五、 項目建設(shè)選址 PAGEREF _Toc108544121 h 17 HYPERLINK l _Toc108544122 六、 項目生產(chǎn)規(guī)模 PAGEREF _Toc108544122 h 17 HYPERLINK l _Toc108544123 七、 建筑物建設(shè)規(guī)模 PAGEREF _Toc108544123 h 17 HYPERLINK l _Toc108544124 八、 環(huán)境影響 PAGEREF

3、_Toc108544124 h 17 HYPERLINK l _Toc108544125 九、 項目總投資及資金構(gòu)成 PAGEREF _Toc108544125 h 17 HYPERLINK l _Toc108544126 十、 資金籌措方案 PAGEREF _Toc108544126 h 18 HYPERLINK l _Toc108544127 十一、 項目預(yù)期經(jīng)濟效益規(guī)劃目標(biāo) PAGEREF _Toc108544127 h 18 HYPERLINK l _Toc108544128 十二、 項目建設(shè)進(jìn)度規(guī)劃 PAGEREF _Toc108544128 h 19 HYPERLINK l _To

4、c108544129 主要經(jīng)濟指標(biāo)一覽表 PAGEREF _Toc108544129 h 19 HYPERLINK l _Toc108544130 第二章 背景及必要性 PAGEREF _Toc108544130 h 22 HYPERLINK l _Toc108544131 一、 干法刻蝕是芯片制造的主流技術(shù) PAGEREF _Toc108544131 h 22 HYPERLINK l _Toc108544132 二、 高密度等離子體刻蝕 PAGEREF _Toc108544132 h 23 HYPERLINK l _Toc108544133 三、 高效暢通經(jīng)濟循環(huán)，積極拓展國內(nèi)市場 PAGE

5、REF _Toc108544133 h 24 HYPERLINK l _Toc108544134 四、 實施創(chuàng)新驅(qū)動戰(zhàn)略，建設(shè)更高水平創(chuàng)新型城市 PAGEREF _Toc108544134 h 27 HYPERLINK l _Toc108544135 第三章 市場分析 PAGEREF _Toc108544135 h 30 HYPERLINK l _Toc108544136 一、 等離子體刻蝕面臨的問題 PAGEREF _Toc108544136 h 30 HYPERLINK l _Toc108544137 二、 原子層刻蝕為未來技術(shù)發(fā)展方向 PAGEREF _Toc108544137 h 30

6、 HYPERLINK l _Toc108544138 三、 反應(yīng)離子刻蝕 PAGEREF _Toc108544138 h 33 HYPERLINK l _Toc108544139 第四章 建設(shè)規(guī)模與產(chǎn)品方案 PAGEREF _Toc108544139 h 35 HYPERLINK l _Toc108544140 一、 建設(shè)規(guī)模及主要建設(shè)內(nèi)容 PAGEREF _Toc108544140 h 35 HYPERLINK l _Toc108544141 二、 產(chǎn)品規(guī)劃方案及生產(chǎn)綱領(lǐng) PAGEREF _Toc108544141 h 35 HYPERLINK l _Toc108544142 產(chǎn)品規(guī)劃方案一

7、覽表 PAGEREF _Toc108544142 h 35 HYPERLINK l _Toc108544143 第五章 建筑工程方案 PAGEREF _Toc108544143 h 37 HYPERLINK l _Toc108544144 一、 項目工程設(shè)計總體要求 PAGEREF _Toc108544144 h 37 HYPERLINK l _Toc108544145 二、 建設(shè)方案 PAGEREF _Toc108544145 h 37 HYPERLINK l _Toc108544146 三、 建筑工程建設(shè)指標(biāo) PAGEREF _Toc108544146 h 38 HYPERLINK l _

8、Toc108544147 建筑工程投資一覽表 PAGEREF _Toc108544147 h 38 HYPERLINK l _Toc108544148 第六章 法人治理 PAGEREF _Toc108544148 h 40 HYPERLINK l _Toc108544149 一、 股東權(quán)利及義務(wù) PAGEREF _Toc108544149 h 40 HYPERLINK l _Toc108544150 二、 董事 PAGEREF _Toc108544150 h 42 HYPERLINK l _Toc108544151 三、 高級管理人員 PAGEREF _Toc108544151 h 46 HY

9、PERLINK l _Toc108544152 四、 監(jiān)事 PAGEREF _Toc108544152 h 49 HYPERLINK l _Toc108544153 第七章 發(fā)展規(guī)劃分析 PAGEREF _Toc108544153 h 52 HYPERLINK l _Toc108544154 一、 公司發(fā)展規(guī)劃 PAGEREF _Toc108544154 h 52 HYPERLINK l _Toc108544155 二、 保障措施 PAGEREF _Toc108544155 h 53 HYPERLINK l _Toc108544156 第八章 SWOT分析說明 PAGEREF _Toc1085

10、44156 h 56 HYPERLINK l _Toc108544157 一、 優(yōu)勢分析（S） PAGEREF _Toc108544157 h 56 HYPERLINK l _Toc108544158 二、 劣勢分析（W） PAGEREF _Toc108544158 h 58 HYPERLINK l _Toc108544159 三、 機會分析（O） PAGEREF _Toc108544159 h 58 HYPERLINK l _Toc108544160 四、 威脅分析（T） PAGEREF _Toc108544160 h 60 HYPERLINK l _Toc108544161 第九章 環(huán)保方

11、案分析 PAGEREF _Toc108544161 h 65 HYPERLINK l _Toc108544162 一、 編制依據(jù) PAGEREF _Toc108544162 h 65 HYPERLINK l _Toc108544163 二、 環(huán)境影響合理性分析 PAGEREF _Toc108544163 h 65 HYPERLINK l _Toc108544164 三、 建設(shè)期大氣環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108544164 h 66 HYPERLINK l _Toc108544165 四、 建設(shè)期水環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108544165 h 67 HYPERLI

12、NK l _Toc108544166 五、 建設(shè)期固體廢棄物環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108544166 h 68 HYPERLINK l _Toc108544167 六、 建設(shè)期聲環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108544167 h 68 HYPERLINK l _Toc108544168 七、 環(huán)境管理分析 PAGEREF _Toc108544168 h 69 HYPERLINK l _Toc108544169 八、 結(jié)論及建議 PAGEREF _Toc108544169 h 71 HYPERLINK l _Toc108544170 第十章 組織機構(gòu)、人力資源分析 PA

13、GEREF _Toc108544170 h 73 HYPERLINK l _Toc108544171 一、 人力資源配置 PAGEREF _Toc108544171 h 73 HYPERLINK l _Toc108544172 勞動定員一覽表 PAGEREF _Toc108544172 h 73 HYPERLINK l _Toc108544173 二、 員工技能培訓(xùn) PAGEREF _Toc108544173 h 73 HYPERLINK l _Toc108544174 第十一章 節(jié)能分析 PAGEREF _Toc108544174 h 76 HYPERLINK l _Toc108544175

14、 一、 項目節(jié)能概述 PAGEREF _Toc108544175 h 76 HYPERLINK l _Toc108544176 二、 能源消費種類和數(shù)量分析 PAGEREF _Toc108544176 h 77 HYPERLINK l _Toc108544177 能耗分析一覽表 PAGEREF _Toc108544177 h 78 HYPERLINK l _Toc108544178 三、 項目節(jié)能措施 PAGEREF _Toc108544178 h 78 HYPERLINK l _Toc108544179 四、 節(jié)能綜合評價 PAGEREF _Toc108544179 h 80 HYPERLI

15、NK l _Toc108544180 第十二章 技術(shù)方案分析 PAGEREF _Toc108544180 h 81 HYPERLINK l _Toc108544181 一、 企業(yè)技術(shù)研發(fā)分析 PAGEREF _Toc108544181 h 81 HYPERLINK l _Toc108544182 二、 項目技術(shù)工藝分析 PAGEREF _Toc108544182 h 83 HYPERLINK l _Toc108544183 三、 質(zhì)量管理 PAGEREF _Toc108544183 h 84 HYPERLINK l _Toc108544184 四、 設(shè)備選型方案 PAGEREF _Toc108

16、544184 h 85 HYPERLINK l _Toc108544185 主要設(shè)備購置一覽表 PAGEREF _Toc108544185 h 86 HYPERLINK l _Toc108544186 第十三章 原輔材料供應(yīng)、成品管理 PAGEREF _Toc108544186 h 88 HYPERLINK l _Toc108544187 一、 項目建設(shè)期原輔材料供應(yīng)情況 PAGEREF _Toc108544187 h 88 HYPERLINK l _Toc108544188 二、 項目運營期原輔材料供應(yīng)及質(zhì)量管理 PAGEREF _Toc108544188 h 88 HYPERLINK l

17、_Toc108544189 第十四章 投資估算及資金籌措 PAGEREF _Toc108544189 h 90 HYPERLINK l _Toc108544190 一、 編制說明 PAGEREF _Toc108544190 h 90 HYPERLINK l _Toc108544191 二、 建設(shè)投資 PAGEREF _Toc108544191 h 90 HYPERLINK l _Toc108544192 建筑工程投資一覽表 PAGEREF _Toc108544192 h 91 HYPERLINK l _Toc108544193 主要設(shè)備購置一覽表 PAGEREF _Toc108544193 h

18、 92 HYPERLINK l _Toc108544194 建設(shè)投資估算表 PAGEREF _Toc108544194 h 93 HYPERLINK l _Toc108544195 三、 建設(shè)期利息 PAGEREF _Toc108544195 h 94 HYPERLINK l _Toc108544196 建設(shè)期利息估算表 PAGEREF _Toc108544196 h 94 HYPERLINK l _Toc108544197 固定資產(chǎn)投資估算表 PAGEREF _Toc108544197 h 95 HYPERLINK l _Toc108544198 四、 流動資金 PAGEREF _Toc10

19、8544198 h 96 HYPERLINK l _Toc108544199 流動資金估算表 PAGEREF _Toc108544199 h 97 HYPERLINK l _Toc108544200 五、 項目總投資 PAGEREF _Toc108544200 h 98 HYPERLINK l _Toc108544201 總投資及構(gòu)成一覽表 PAGEREF _Toc108544201 h 98 HYPERLINK l _Toc108544202 六、 資金籌措與投資計劃 PAGEREF _Toc108544202 h 99 HYPERLINK l _Toc108544203 項目投資計劃與資金

20、籌措一覽表 PAGEREF _Toc108544203 h 99 HYPERLINK l _Toc108544204 第十五章 經(jīng)濟效益及財務(wù)分析 PAGEREF _Toc108544204 h 101 HYPERLINK l _Toc108544205 一、 基本假設(shè)及基礎(chǔ)參數(shù)選取 PAGEREF _Toc108544205 h 101 HYPERLINK l _Toc108544206 二、 經(jīng)濟評價財務(wù)測算 PAGEREF _Toc108544206 h 101 HYPERLINK l _Toc108544207 營業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表 PAGEREF _Toc1085442

21、07 h 101 HYPERLINK l _Toc108544208 綜合總成本費用估算表 PAGEREF _Toc108544208 h 103 HYPERLINK l _Toc108544209 利潤及利潤分配表 PAGEREF _Toc108544209 h 105 HYPERLINK l _Toc108544210 三、 項目盈利能力分析 PAGEREF _Toc108544210 h 106 HYPERLINK l _Toc108544211 項目投資現(xiàn)金流量表 PAGEREF _Toc108544211 h 107 HYPERLINK l _Toc108544212 四、 財務(wù)生存

22、能力分析 PAGEREF _Toc108544212 h 109 HYPERLINK l _Toc108544213 五、 償債能力分析 PAGEREF _Toc108544213 h 109 HYPERLINK l _Toc108544214 借款還本付息計劃表 PAGEREF _Toc108544214 h 110 HYPERLINK l _Toc108544215 六、 經(jīng)濟評價結(jié)論 PAGEREF _Toc108544215 h 111 HYPERLINK l _Toc108544216 第十六章 風(fēng)險評估 PAGEREF _Toc108544216 h 112 HYPERLINK l

23、 _Toc108544217 一、 項目風(fēng)險分析 PAGEREF _Toc108544217 h 112 HYPERLINK l _Toc108544218 二、 項目風(fēng)險對策 PAGEREF _Toc108544218 h 114 HYPERLINK l _Toc108544219 第十七章 招標(biāo)方案 PAGEREF _Toc108544219 h 117 HYPERLINK l _Toc108544220 一、 項目招標(biāo)依據(jù) PAGEREF _Toc108544220 h 117 HYPERLINK l _Toc108544221 二、 項目招標(biāo)范圍 PAGEREF _Toc1085442

24、21 h 117 HYPERLINK l _Toc108544222 三、 招標(biāo)要求 PAGEREF _Toc108544222 h 117 HYPERLINK l _Toc108544223 四、 招標(biāo)組織方式 PAGEREF _Toc108544223 h 120 HYPERLINK l _Toc108544224 五、 招標(biāo)信息發(fā)布 PAGEREF _Toc108544224 h 121 HYPERLINK l _Toc108544225 第十八章 項目綜合評價 PAGEREF _Toc108544225 h 123 HYPERLINK l _Toc108544226 第十九章 附表附錄

25、 PAGEREF _Toc108544226 h 125 HYPERLINK l _Toc108544227 主要經(jīng)濟指標(biāo)一覽表 PAGEREF _Toc108544227 h 125 HYPERLINK l _Toc108544228 建設(shè)投資估算表 PAGEREF _Toc108544228 h 126 HYPERLINK l _Toc108544229 建設(shè)期利息估算表 PAGEREF _Toc108544229 h 127 HYPERLINK l _Toc108544230 固定資產(chǎn)投資估算表 PAGEREF _Toc108544230 h 128 HYPERLINK l _Toc10

26、8544231 流動資金估算表 PAGEREF _Toc108544231 h 129 HYPERLINK l _Toc108544232 總投資及構(gòu)成一覽表 PAGEREF _Toc108544232 h 130 HYPERLINK l _Toc108544233 項目投資計劃與資金籌措一覽表 PAGEREF _Toc108544233 h 131 HYPERLINK l _Toc108544234 營業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表 PAGEREF _Toc108544234 h 132 HYPERLINK l _Toc108544235 綜合總成本費用估算表 PAGEREF _Toc10

27、8544235 h 132 HYPERLINK l _Toc108544236 固定資產(chǎn)折舊費估算表 PAGEREF _Toc108544236 h 133 HYPERLINK l _Toc108544237 無形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷估算表 PAGEREF _Toc108544237 h 134 HYPERLINK l _Toc108544238 利潤及利潤分配表 PAGEREF _Toc108544238 h 135 HYPERLINK l _Toc108544239 項目投資現(xiàn)金流量表 PAGEREF _Toc108544239 h 136 HYPERLINK l _Toc108544240

28、 借款還本付息計劃表 PAGEREF _Toc108544240 h 137 HYPERLINK l _Toc108544241 建筑工程投資一覽表 PAGEREF _Toc108544241 h 138 HYPERLINK l _Toc108544242 項目實施進(jìn)度計劃一覽表 PAGEREF _Toc108544242 h 139 HYPERLINK l _Toc108544243 主要設(shè)備購置一覽表 PAGEREF _Toc108544243 h 140 HYPERLINK l _Toc108544244 能耗分析一覽表 PAGEREF _Toc108544244 h 140本報告為模板

29、參考范文，不作為投資建議，僅供參考。報告產(chǎn)業(yè)背景、市場分析、技術(shù)方案、風(fēng)險評估等內(nèi)容基于公開信息；項目建設(shè)方案、投資估算、經(jīng)濟效益分析等內(nèi)容基于行業(yè)研究模型。本報告可用于學(xué)習(xí)交流或模板參考應(yīng)用。項目緒論項目名稱及建設(shè)性質(zhì)（一）項目名稱機械設(shè)備項目（二）項目建設(shè)性質(zhì)本項目屬于擴建項目項目承辦單位（一）項目承辦單位名稱xxx（集團）有限公司（二）項目聯(lián)系人蘇xx（三）項目建設(shè)單位概況公司全面推行“政府、市場、投資、消費、經(jīng)營、企業(yè)”六位一體合作共贏的市場戰(zhàn)略，以高度的社會責(zé)任積極響應(yīng)政府城市發(fā)展號召，融入各級城市的建設(shè)與發(fā)展，在商業(yè)模式思路上領(lǐng)先業(yè)界，對服務(wù)區(qū)域經(jīng)濟與社會發(fā)展做出了突出貢獻(xiàn)。 經(jīng)過

30、多年的發(fā)展，公司擁有雄厚的技術(shù)實力，豐富的生產(chǎn)經(jīng)營管理經(jīng)驗和可靠的產(chǎn)品質(zhì)量保證體系，綜合實力進(jìn)一步增強。公司將繼續(xù)提升供應(yīng)鏈構(gòu)建與管理、新技術(shù)新工藝新材料應(yīng)用研發(fā)。集團成立至今，始終堅持以人為本、質(zhì)量第一、自主創(chuàng)新、持續(xù)改進(jìn)，以技術(shù)領(lǐng)先求發(fā)展的方針。公司堅持提升企業(yè)素質(zhì)，即“企業(yè)管理水平進(jìn)一步提高，人力資源結(jié)構(gòu)進(jìn)一步優(yōu)化，人員素質(zhì)進(jìn)一步提升，安全生產(chǎn)意識和社會責(zé)任意識進(jìn)一步增強，誠信經(jīng)營水平進(jìn)一步提高”，培育一批具有工匠精神的高素質(zhì)企業(yè)員工，企業(yè)品牌影響力不斷提升。本公司秉承“顧客至上，銳意進(jìn)取”的經(jīng)營理念，堅持“客戶第一”的原則為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。公司堅持“責(zé)任+愛心”的服務(wù)理念，將誠

31、信經(jīng)營、誠信服務(wù)作為企業(yè)立世之本，在服務(wù)社會、方便大眾中贏得信譽、贏得市場。“滿足社會和業(yè)主的需要，是我們不懈的追求”的企業(yè)觀念，面對經(jīng)濟發(fā)展步入快車道的良好機遇，正以高昂的熱情投身于建設(shè)宏偉大業(yè)。項目定位及建設(shè)理由目前全球半導(dǎo)體設(shè)備的市場主要由國外廠商高度壟斷。根據(jù)芯智訊發(fā)布的基于各公司財報統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，在未剔除FPD設(shè)備及相關(guān)服務(wù)收入、以2021年度中間匯率為基準(zhǔn)進(jìn)行計算，2021年全球前十五大半導(dǎo)體設(shè)備廠商中僅有一家ASMPacificTechnology來自中國香港，2021年銷售額為17.39億美元，位列榜單第14位。整體來看目前全球半導(dǎo)體設(shè)備市場主要被外國市場壟斷?？涛g設(shè)備投資占比

32、不斷，成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第一大設(shè)備。先進(jìn)集成電路大規(guī)模生產(chǎn)線的投資可達(dá)100億美元，75%以上是半導(dǎo)體設(shè)備投資，其中最關(guān)鍵、最大宗的設(shè)備是等離子體刻蝕設(shè)備。根據(jù)SEMI的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2018年晶圓加工設(shè)備價值構(gòu)成中，刻蝕、光刻、CVD設(shè)備占比分別為22.14%、21.30%、16.48%，刻蝕設(shè)備成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第一大設(shè)備。過去50年中，人類微觀加工能力不斷提升，從電子管計算機到現(xiàn)在的14納米、7納米器件，微觀器件的基本單元面積縮小了一萬億倍。由于光的波長限制，20納米以下微觀結(jié)構(gòu)的加工更多使用等離子體刻蝕和薄膜沉積的組合。集成電路芯片的制造工藝需要成百上千個步驟，其中等離子體刻蝕就需要幾十到上百個步

33、驟，是在制造過程中使用次數(shù)頻多、加工過程非常復(fù)雜的重要加工技術(shù)。泛林半導(dǎo)體占據(jù)刻蝕設(shè)備半壁江山“十四五”時期，我國發(fā)展仍處于重要戰(zhàn)略機遇期，但機遇和挑戰(zhàn)有新的發(fā)展變化，全市上下必須牢記囑托、胸懷全局，增強機遇意識、風(fēng)險意識，深刻認(rèn)識錯綜復(fù)雜的國際環(huán)境帶來的新矛盾新挑戰(zhàn)，深刻認(rèn)識新發(fā)展階段的新特征新要求，深刻認(rèn)識危與機并存、危中有機、?？赊D(zhuǎn)機，保持戰(zhàn)略定力，樹立底線思維，把握發(fā)展規(guī)律，在危機中育先機、于變局中開新局，堅決奪取“十四五”發(fā)展新勝利，為全面建設(shè)社會主義現(xiàn)代化開好局、起好步。國際環(huán)境面臨深刻復(fù)雜變化。新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革深入發(fā)展，新一代信息技術(shù)、人工智能、數(shù)字經(jīng)濟和生物經(jīng)濟為代表的

34、技術(shù)變革處于顛覆性關(guān)口，國際產(chǎn)業(yè)分工格局加快調(diào)整，中高端制造業(yè)向發(fā)達(dá)國家回流和中低端制造業(yè)向發(fā)展中國家分流態(tài)勢明顯。和平與發(fā)展仍然是時代主題，人類命運共同體理念深入人心。國際力量對比深刻調(diào)整，世界格局正在經(jīng)歷一段不穩(wěn)定、充滿矛盾斗爭的調(diào)整過程。國際環(huán)境日趨復(fù)雜，不穩(wěn)定性不確定性明顯增加，新冠肺炎疫情影響廣泛深遠(yuǎn)，經(jīng)濟全球化遭遇逆流，世界進(jìn)入動蕩變革期，單邊主義、保護(hù)主義、霸權(quán)主義對世界和平與發(fā)展構(gòu)成威脅。國內(nèi)發(fā)展呈現(xiàn)新的階段性特征。我國已轉(zhuǎn)向高質(zhì)量發(fā)展階段，發(fā)展方式正從規(guī)模速度型轉(zhuǎn)向質(zhì)量效率型，經(jīng)濟結(jié)構(gòu)從增量擴能為主轉(zhuǎn)向調(diào)存量、優(yōu)增量并舉，發(fā)展動力從主要依靠資源和低成本勞動力優(yōu)勢等轉(zhuǎn)向創(chuàng)新驅(qū)動

35、。中國率先成功控制新冠肺炎疫情蔓延，制度優(yōu)勢顯著、發(fā)展環(huán)境穩(wěn)定是我們能夠持續(xù)發(fā)展最為可靠的前提。我國廣闊的市場空間、豐富的人力資源、雄厚的物質(zhì)基礎(chǔ)與完備的產(chǎn)業(yè)鏈體系使經(jīng)濟擁有強勁的發(fā)展韌性，經(jīng)濟穩(wěn)中向好、長期向好的大勢沒有根本性變化，同時以國內(nèi)大循環(huán)為主體、國內(nèi)國際雙循環(huán)相互促進(jìn)的新發(fā)展格局正在加速形成。南通面臨難得歷史機遇?！笆奈濉逼陂g國家長三角一體化、“一帶一路”和長江經(jīng)濟帶三大國家戰(zhàn)略在南通疊加并向縱深實施，滬蘇通長江公鐵大橋及滬蘇通鐵路、鹽通高鐵開通，北沿江高鐵、南通新機場、過江通道等一批具有格局性的重大戰(zhàn)略項目加快實施將有效提升南通樞紐地位能級；通州灣新出?？陂_工建設(shè)將全面帶動南通

36、沿海高質(zhì)量發(fā)展，開發(fā)區(qū)體制機制改革激發(fā)更大活力，有效促進(jìn)區(qū)域高質(zhì)量發(fā)展；長江經(jīng)濟帶發(fā)展戰(zhàn)略的實施使南通沿海區(qū)域?qū)μK南乃至長江沿線重特大基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的吸引力進(jìn)一步增強，沿海臨港基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)將加速集聚；作為江北唯一城市納入上海“1+8”都市圈，伴隨區(qū)劃調(diào)整實施，南通中心城市發(fā)展格局將不斷優(yōu)化，更好地實現(xiàn)與上海、蘇南同城化發(fā)展，在長三角城市群中的地位必將實現(xiàn)進(jìn)一步躍升。面臨的困難和挑戰(zhàn)明顯增加。中美經(jīng)貿(mào)摩擦和疫情全球爆發(fā)交織影響深遠(yuǎn)，穩(wěn)增長面臨前所未有的壓力；新舊動能轉(zhuǎn)換更加緊迫，對標(biāo)蘇南先進(jìn)城市，我市產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)仍處于全球價值鏈中低端，創(chuàng)新能力整體不強，龍頭型、創(chuàng)新型企業(yè)總數(shù)不多，開發(fā)園區(qū)集聚度、支撐度、貢獻(xiàn)

37、度亟待提升，高質(zhì)量追趕超越面臨較大壓力；城鎮(zhèn)化率低于全省平均水平，基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)仍有不少短板，中心城市集聚輻射作用不強；水、大氣等環(huán)境治理還存在薄弱環(huán)節(jié)，生態(tài)環(huán)?；A(chǔ)還不夠牢固；發(fā)展空間、能耗、環(huán)境容量等剛性約束越來越強，要素瓶頸制約比較突出；人口老齡化程度逐年升高，人口結(jié)構(gòu)亟待優(yōu)化；重大公共衛(wèi)生突發(fā)事件、安全生產(chǎn)、生態(tài)安全、金融安全、產(chǎn)業(yè)鏈安全等風(fēng)險防控面臨較大壓力，社會治理有待進(jìn)一步完善?！笆奈濉睍r期，南通將進(jìn)入充滿挑戰(zhàn)的重要戰(zhàn)略機遇期，我市將堅定扛起新的歷史使命，闊步邁向現(xiàn)代化；加快實現(xiàn)戰(zhàn)略機遇轉(zhuǎn)化，全面融入長三角一體化；深入推進(jìn)江海聯(lián)動，江河時代加速邁向江海時代，經(jīng)濟社會發(fā)展將呈現(xiàn)以下

38、階段特征：闊步邁向現(xiàn)代化的起步期。“十四五”時期是我國“兩個一百年”奮斗目標(biāo)的歷史交匯期，是在全面建成小康社會基礎(chǔ)上邁向第二個百年奮斗目標(biāo)的重要時期。這一時期的重大任務(wù)是確保全面現(xiàn)代化建設(shè)開好局、起好步，為全市率先實現(xiàn)社會主義現(xiàn)代化走在前列打好基礎(chǔ)。全面融入長三角一體化的關(guān)鍵期?！笆奈濉睍r期是南通加速貫徹落實長三角一體化國家戰(zhàn)略，特別是推動納入規(guī)劃的北沿江高鐵、南通新機場、通州灣新出?？诘纫慌卮蠡A(chǔ)設(shè)施工程加快規(guī)劃建設(shè)、投運的重要時期，這些項目的實施、建成對南通深度融入長三角一體化將起到格局性作用。江河時代邁入江海時代的加速期?！笆奈濉睍r期是南通深化江海聯(lián)動，推動市域生產(chǎn)力、城鎮(zhèn)、交通等

39、重大布局優(yōu)江拓海，統(tǒng)籌長江大保護(hù)和沿海高質(zhì)量發(fā)展，優(yōu)化生產(chǎn)、生活、生態(tài)空間布局，加快構(gòu)建江海相擁、內(nèi)外相融大城市格局的重要時期。中心城市空間將進(jìn)一步優(yōu)化，由江河之城邁向江海之城，實現(xiàn)城市能級整體躍升。創(chuàng)新驅(qū)動高質(zhì)量發(fā)展的攻堅期?！笆奈濉睍r期是南通實施創(chuàng)新驅(qū)動戰(zhàn)略，加速新舊動能轉(zhuǎn)換的重要攻堅階段，各方面資源力量都需聚焦到高質(zhì)量發(fā)展上來，以改革創(chuàng)新帶動產(chǎn)業(yè)規(guī)模質(zhì)效不斷提升，在更高平臺上繼續(xù)保持高質(zhì)量增長，打贏轉(zhuǎn)型升級攻堅戰(zhàn)，才能牢牢抓住未來發(fā)展的主動權(quán)。市域治理現(xiàn)代化的探索期。“十四五”時期要突出數(shù)字賦能、制度供給，突破制約高質(zhì)量發(fā)展、高品質(zhì)生活的體制機制障礙，落實好有利于提高資源配置效率、有利

40、于調(diào)動全社會積極性的改革舉措，把改革成果轉(zhuǎn)化為治理效能，全面提升社會建設(shè)水平、城鄉(xiāng)一體化發(fā)展水平，力爭市域治理現(xiàn)代化走在全省乃至全國前列。報告編制說明（一）報告編制依據(jù)1、一般工業(yè)項目可行性研究報告編制大綱;2、建設(shè)項目經(jīng)濟評價方法與參數(shù)(第三版);3、建設(shè)項目用地預(yù)審管理辦法;4、投資項目可行性研究指南;5、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄。（二）報告編制原則為實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的目標(biāo)，報告確定按如下原則編制：1、認(rèn)真貫徹國家和地方產(chǎn)業(yè)發(fā)展的總體思路：資源綜合利用、節(jié)約能源、提高社會效益和經(jīng)濟效益。2、嚴(yán)格執(zhí)行國家、地方及主管部門制定的環(huán)保、職業(yè)安全衛(wèi)生、消防和節(jié)能設(shè)計規(guī)定、規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)。3、積極采用新工

41、藝、新技術(shù)，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時，力求節(jié)能降耗。4、堅持可持續(xù)發(fā)展原則。（二） 報告主要內(nèi)容根據(jù)項目的特點，報告的研究范圍主要包括：1、項目單位及項目概況；2、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃及產(chǎn)業(yè)政策；3、資源綜合利用條件；4、建設(shè)用地與廠址方案；5、環(huán)境和生態(tài)影響分析；6、投資方案分析；7、經(jīng)濟效益和社會效益分析。通過對以上內(nèi)容的研究，力求提供較準(zhǔn)確的資料和數(shù)據(jù)，對該項目是否可行做出客觀、科學(xué)的結(jié)論，作為投資決策的依據(jù)。項目建設(shè)選址本期項目選址位于xxx（以選址意見書為準(zhǔn)），占地面積約66.00畝。項目擬定建設(shè)區(qū)域地理位置優(yōu)越，交通便利，規(guī)劃電力、給排水、通訊等公用設(shè)施條件完備，非常適宜本期項目建設(shè)。項目生產(chǎn)規(guī)模

42、項目建成后，形成年產(chǎn)xx套機械設(shè)備的生產(chǎn)能力。建筑物建設(shè)規(guī)模本期項目建筑面積76889.77，其中：生產(chǎn)工程48714.60，倉儲工程17714.40，行政辦公及生活服務(wù)設(shè)施7803.61，公共工程2657.16。環(huán)境影響本項目的建設(shè)符合國家的產(chǎn)業(yè)政策，該項目建成后落實本評價要求的污染防治措施，認(rèn)真履行“三同時”制度后，各項污染物均可實現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放，且不會降低評價區(qū)域原有環(huán)境質(zhì)量功能級別。因而從環(huán)境影響的角度而言，該項目是可行的。項目總投資及資金構(gòu)成（一）項目總投資構(gòu)成分析本期項目總投資包括建設(shè)投資、建設(shè)期利息和流動資金。根據(jù)謹(jǐn)慎財務(wù)估算，項目總投資26627.41萬元，其中：建設(shè)投資20489

43、.13萬元，占項目總投資的76.95%；建設(shè)期利息421.85萬元，占項目總投資的1.58%；流動資金5716.43萬元，占項目總投資的21.47%。（二）建設(shè)投資構(gòu)成本期項目建設(shè)投資20489.13萬元，包括工程費用、工程建設(shè)其他費用和預(yù)備費，其中：工程費用17296.92萬元，工程建設(shè)其他費用2660.60萬元，預(yù)備費531.61萬元。資金籌措方案本期項目總投資26627.41萬元，其中申請銀行長期貸款8609.30萬元，其余部分由企業(yè)自籌。項目預(yù)期經(jīng)濟效益規(guī)劃目標(biāo)（一）經(jīng)濟效益目標(biāo)值（正常經(jīng)營年份）1、營業(yè)收入（SP）：55100.00萬元。2、綜合總成本費用（TC）：42586.32萬

44、元。3、凈利潤（NP）：9166.14萬元。（二）經(jīng)濟效益評價目標(biāo)1、全部投資回收期（Pt）：5.52年。2、財務(wù)內(nèi)部收益率：26.05%。3、財務(wù)凈現(xiàn)值：17244.65萬元。項目建設(shè)進(jìn)度規(guī)劃本期項目按照國家基本建設(shè)程序的有關(guān)法規(guī)和實施指南要求進(jìn)行建設(shè)，本期項目建設(shè)期限規(guī)劃24個月。十四、項目綜合評價本期項目技術(shù)上可行、經(jīng)濟上合理，投資方向正確，資本結(jié)構(gòu)合理，技術(shù)方案設(shè)計優(yōu)良。本期項目的投資建設(shè)和實施無論是經(jīng)濟效益、社會效益等方面都是積極可行的。主要經(jīng)濟指標(biāo)一覽表序號項目單位指標(biāo)備注1占地面積44000.00約66.00畝1.1總建筑面積76889.771.2基底面積26840.001.3投

45、資強度萬元/畝293.882總投資萬元26627.412.1建設(shè)投資萬元20489.132.1.1工程費用萬元17296.922.1.2其他費用萬元2660.602.1.3預(yù)備費萬元531.612.2建設(shè)期利息萬元421.852.3流動資金萬元5716.433資金籌措萬元26627.413.1自籌資金萬元18018.113.2銀行貸款萬元8609.304營業(yè)收入萬元55100.00正常運營年份5總成本費用萬元42586.326利潤總額萬元12221.527凈利潤萬元9166.148所得稅萬元3055.389增值稅萬元2434.7010稅金及附加萬元292.1611納稅總額萬元5782.2412

46、工業(yè)增加值萬元19023.8813盈虧平衡點萬元18242.08產(chǎn)值14回收期年5.5215內(nèi)部收益率26.05%所得稅后16財務(wù)凈現(xiàn)值萬元17244.65所得稅后背景及必要性干法刻蝕是芯片制造的主流技術(shù)刻蝕設(shè)備處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上游由為設(shè)計、制造和封測環(huán)節(jié)提供軟件及知識產(chǎn)權(quán)、硬件設(shè)備、原材料等生產(chǎn)資料的核心產(chǎn)業(yè)組成。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的中游可以分為半導(dǎo)體芯片設(shè)計環(huán)節(jié)、制造環(huán)節(jié)和封裝測試環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的下游為半導(dǎo)體終端產(chǎn)品以及其衍生的應(yīng)用、系統(tǒng)等?？涛g的基本目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確的復(fù)制掩模圖形?？涛g是指使用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程，并保證有圖

47、形的光刻膠在刻蝕中不受到腐蝕源顯著的侵蝕。常用來代表刻蝕效率的參數(shù)主要有：刻蝕速率、刻蝕剖面、刻蝕偏差和選擇比等。刻蝕速率指刻蝕過程中去除硅片表面材料的速度；刻蝕剖面指的是刻蝕圖形的側(cè)壁形狀，通常分為各向同性和各向異性剖面；刻蝕偏差指的是線寬或關(guān)鍵尺寸間距的變化，通常由橫向鉆蝕引起；選擇比指的是同一刻蝕條件下兩種材料刻蝕速率比，高選擇比意味著不需要的材料會被刻除。刻蝕技術(shù)按工藝分類可分為濕法刻蝕和干法刻蝕，其中干法刻蝕是最主要的用來去除表面材料的刻蝕方法，濕法刻蝕主要包括化學(xué)刻蝕和電解刻蝕。由于在濕法刻蝕技術(shù)中使用液體試劑，相對于干法刻蝕，容易導(dǎo)致邊側(cè)形成斜坡、要求沖洗或干燥等步驟。因此干法刻

48、蝕被普遍應(yīng)用于先進(jìn)制程的小特征尺寸精細(xì)刻蝕中，并在刻蝕率、微粒損傷等方面具有較大的優(yōu)勢。目前先進(jìn)的集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層最主要的刻蝕方法是單片處理的高密度等離子體刻蝕技術(shù)。一個等離子體刻蝕機的基本部件包括發(fā)生刻蝕反應(yīng)的反應(yīng)腔、產(chǎn)生等離子體氣的射頻電源、氣體流量控制系統(tǒng)、去除生成物的真空系統(tǒng)?？涛g中會用到大量的化學(xué)氣體，通常用氟刻蝕二氧化硅，氯和氟刻蝕鋁，氯、氟和溴刻蝕硅，氧去除光刻膠。高密度等離子體刻蝕在先進(jìn)的集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層最主要的刻蝕方法是單片處理的高密度等離子體刻蝕技術(shù)。根據(jù)產(chǎn)生等離子體方法的不同，等離子體刻蝕主要分為電容性等離子體刻蝕（CCP）、電感性等離子體

49、刻蝕(ICP)、電子回旋加速震蕩（ECR）和雙等離子體源。電子回旋加速震蕩（ECR）反應(yīng)器是最早商用化的高密度等離子體反應(yīng)器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一次使用是在20世紀(jì)80年代初。它在現(xiàn)代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸圖形的刻蝕。ECR反應(yīng)器的一個關(guān)鍵是磁場平行于反應(yīng)劑的流動方向，這使自由電子由于磁力作用做螺旋形運動。增加了電子碰撞的可能性，從而產(chǎn)生高密度的等離子體。優(yōu)點在于能產(chǎn)生高的各向異性刻蝕圖形，缺點是設(shè)備復(fù)雜度較高。耦合等離子體刻蝕機包括電容耦合（CCP）與電感耦合（ICP），相比ECR結(jié)構(gòu)簡單且成本低。電容耦合等離子體刻蝕機（CCP）通過電容產(chǎn)生等

50、離子體，而電感耦合等離子體刻蝕機（ICP）通過螺旋線圈產(chǎn)生等離子體。硅片基底為加裝有低功率射頻偏置發(fā)生器的電源電極，用來控制轟擊硅片表面離子的能量，從而使得整個裝置能夠分離控制離子的能量與濃度。電容性等離子體刻蝕（CCP）主要是以高能離子在較硬的介質(zhì)材料上，刻蝕高深寬比的深孔、深溝等微觀結(jié)構(gòu)；而電感性等離子體刻蝕（ICP）主要是以較低的離子能量和極均勻的離子濃度刻蝕較軟的和較薄的材料。這兩種刻蝕設(shè)備涵蓋了主要的刻蝕應(yīng)用。雙等離子體源刻蝕機主要由源功率單元、上腔體、下腔體和可移動電極四部分組成。這一系統(tǒng)中用到了兩個RF功率源。位于上部的射頻功率源通過電感線圈將能量傳遞給等離子體從而增加離子密度，

51、但是離子濃度增加的同時離子能量也隨之增加。下部加裝的偏置射頻電源通過電容結(jié)構(gòu)能夠降低轟擊在硅表面離子的能量而不影響離子濃度，從而能夠更好地控制刻蝕速率與選擇比。高效暢通經(jīng)濟循環(huán)，積極拓展國內(nèi)市場把實施擴大內(nèi)需戰(zhàn)略與供給側(cè)結(jié)構(gòu)性改革有機結(jié)合，注重需求側(cè)管理，以創(chuàng)新驅(qū)動、高質(zhì)量供給引領(lǐng)和創(chuàng)造新需求，增強發(fā)展內(nèi)生動力，持續(xù)提振消費，擴大有效投資，建設(shè)現(xiàn)代流通體系，暢通國民經(jīng)濟循環(huán)，積極拓展國內(nèi)大市場，增強經(jīng)濟發(fā)展動力和韌性。（一）釋放消費新潛力培育消費新增長點。增強消費對經(jīng)濟發(fā)展的基礎(chǔ)性作用，精準(zhǔn)對接居民多元消費需求，保障基本消費綠色安全，拓展中高端消費市場。推進(jìn)幸福產(chǎn)業(yè)培育工程，加快衣食住行等實物

52、消費提升品質(zhì)，促進(jìn)文旅休閑、健康養(yǎng)老、教育培訓(xùn)、家政托育等服務(wù)消費提質(zhì)擴容，培育本土零售、餐飲品牌，推動線上線下消費雙向融合。發(fā)展消費新場景，拓展網(wǎng)絡(luò)消費、信息消費、夜間消費，鼓勵發(fā)展體驗經(jīng)濟、首店經(jīng)濟、夜間經(jīng)濟、非接觸經(jīng)濟、網(wǎng)紅經(jīng)濟等各類消費新業(yè)態(tài)、新模式。提振歷史經(jīng)典產(chǎn)業(yè)，保護(hù)促進(jìn)老字號轉(zhuǎn)型發(fā)展，推動傳統(tǒng)文化與年輕潮流互動融合。積極支持綜保區(qū)進(jìn)口商品直銷中心增加優(yōu)質(zhì)消費品進(jìn)口。引導(dǎo)培育健康消費習(xí)慣。（二）強化有效投資支撐優(yōu)化投資結(jié)構(gòu)，保持投資合理增長，有效支持高質(zhì)量發(fā)展。完善重大項目建設(shè)和儲備機制，進(jìn)一步加強對基礎(chǔ)性、關(guān)鍵性、戰(zhàn)略性、引領(lǐng)性重大項目的研究和推進(jìn)，圍繞落實國家和區(qū)域發(fā)展戰(zhàn)略、

53、推進(jìn)新型城鎮(zhèn)化、實施鄉(xiāng)村振興等重點領(lǐng)域，實施一批生態(tài)環(huán)保、綜合交通、能源、水利、自然災(zāi)害防治、基本公共服務(wù)等打基礎(chǔ)、利長遠(yuǎn)、補短板的重大項目，加快推進(jìn)城市更新、老舊小區(qū)改造等重大項目，著力解決城市發(fā)展不平衡問題。發(fā)揮重大產(chǎn)業(yè)項目“壓艙石”作用，圍繞重點產(chǎn)業(yè)補鏈、強鏈、延鏈，集中精力招引、實施、儲備一批百億級龍頭型基地型產(chǎn)業(yè)項目。積極推動企業(yè)設(shè)備更新和技術(shù)改造，擴大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)投資，持續(xù)突破一批高端綠色制造業(yè)項目。堅持要素跟著項目走、項目跟著規(guī)劃走，構(gòu)建項目與資金、用地、用海、用能等要素匹配機制。深化投融資體制改革，發(fā)揮政府投資撬動作用，激發(fā)民間投資活力。增強投資有效性，讓更多基礎(chǔ)設(shè)施投資形成

54、優(yōu)質(zhì)資產(chǎn)、產(chǎn)業(yè)投資形成實體企業(yè)、民生投資形成消費潛力。（三）增強供需適配能力深化供給側(cè)結(jié)構(gòu)性改革，著力化解結(jié)構(gòu)性、體制性、周期性矛盾，注重質(zhì)量變革、效率變革、動力變革，大力優(yōu)化市場環(huán)境，聚焦優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)，強化產(chǎn)品創(chuàng)新，提升產(chǎn)品質(zhì)量，改善供給質(zhì)量，形成需求牽引供給、供給創(chuàng)造需求的更高水平動態(tài)平衡。推進(jìn)進(jìn)口產(chǎn)品替代，力爭在新一代信息技術(shù)、高端裝備、生物醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵領(lǐng)域取得突破，在國內(nèi)大循環(huán)中發(fā)揮更重要作用。開展質(zhì)量提升行動，支持國際國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)對接，打造一批消費品領(lǐng)域品牌。鼓勵企業(yè)以增進(jìn)用戶體驗為中心，通過提升產(chǎn)品質(zhì)量，開發(fā)新產(chǎn)品和新服務(wù)，擴大面向消費者的優(yōu)質(zhì)終端產(chǎn)品供給。鼓勵通商群體協(xié)同拓展國內(nèi)市場，

55、建立健全出口產(chǎn)品轉(zhuǎn)內(nèi)銷精準(zhǔn)支持體系，提高市場占有率和品牌影響力。（四）促進(jìn)要素循環(huán)暢通著力提升物流效率。依托重大交通基礎(chǔ)設(shè)施布局，加快布局和完善物流樞紐體系，提升物流樞紐能級，打造立足長三角、鏈接“一帶一路”和長江經(jīng)濟帶的雙循環(huán)重要樞紐支點。依托新基建，發(fā)展智慧物流，形成高效率物流組織方式。加快制造業(yè)與物流業(yè)深度融合，增強供應(yīng)鏈控制力和競爭力。完善流通領(lǐng)域制度規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。推進(jìn)綠色低碳物流發(fā)展。支持具備條件的流通企業(yè)整合進(jìn)口和國內(nèi)業(yè)務(wù)，減少中間環(huán)節(jié)，降低成本，促進(jìn)消費。強化應(yīng)急運輸服務(wù)功能，暢通區(qū)域性應(yīng)急綠色通道，構(gòu)建平急結(jié)合、高效共享、保障有力的應(yīng)急物流體系。實施創(chuàng)新驅(qū)動戰(zhàn)略，建設(shè)更高水平創(chuàng)新

56、型城市突出創(chuàng)新在現(xiàn)代化建設(shè)全局中的核心地位，深入實施創(chuàng)新驅(qū)動、科教強市、人才強市戰(zhàn)略，大力推進(jìn)區(qū)域創(chuàng)新協(xié)同化、科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)化、創(chuàng)新體系生態(tài)化，全面促進(jìn)創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈雙向融合，加強高質(zhì)量科技供給，積極培育發(fā)展新動能，加快成為長三角區(qū)域創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新首選。（一）優(yōu)化區(qū)域創(chuàng)新布局實施創(chuàng)新載體績效提升工程。打造以南通創(chuàng)新區(qū)為引領(lǐng)，以國家級高新區(qū)為龍頭，省級高新區(qū)、特色產(chǎn)業(yè)基地為支撐的具有科技創(chuàng)新策源功能、高端產(chǎn)業(yè)引領(lǐng)功能和示范帶動效應(yīng)的創(chuàng)新高地。規(guī)劃建設(shè)沿江科創(chuàng)帶，打造科創(chuàng)資源集中承載區(qū)和創(chuàng)新經(jīng)濟發(fā)展引領(lǐng)區(qū)。高水平建設(shè)南通創(chuàng)新區(qū)科創(chuàng)中心，啟動高教園區(qū)規(guī)劃建設(shè)，高質(zhì)量發(fā)展高新區(qū)等創(chuàng)新載體。支持南通創(chuàng)新區(qū)加快

57、招引國內(nèi)外一流高校、知名科研院所、高層次人才團隊共建研發(fā)機構(gòu)與研究生培養(yǎng)基地，打造長三角產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的重要策源地。按照“一區(qū)一戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)”推動各高新區(qū)做大做強特色主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，支持海安高新區(qū)、如皋高新區(qū)、如東經(jīng)濟開發(fā)區(qū)和市北高新區(qū)創(chuàng)建國家級高新區(qū)，支持海門臨江新區(qū)、啟東高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)創(chuàng)建省級高新區(qū)。深化創(chuàng)新型城市建設(shè)，支持各地創(chuàng)建國家創(chuàng)新型縣（市），營造新經(jīng)濟發(fā)展場景，打造科技服務(wù)生態(tài)示范區(qū)、校地和軍民融合發(fā)展先行區(qū)、科技產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新核心區(qū)。（二）加快培育創(chuàng)新企業(yè)集群壯大創(chuàng)新型企業(yè)隊伍。實施創(chuàng)新型企業(yè)培育計劃，構(gòu)建科技創(chuàng)新型企業(yè)、高成長性科技企業(yè)、科創(chuàng)板上市培育企業(yè)發(fā)展梯隊。發(fā)揮大企業(yè)引領(lǐng)支撐作用，

58、支持創(chuàng)新型中小微企業(yè)加速成長。開展產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新行動，加快建立以企業(yè)為主體、市場為導(dǎo)向、產(chǎn)學(xué)研深度融合的技術(shù)創(chuàng)新體系。實施高新技術(shù)培育“小升高計劃”，加快培育一批核心技術(shù)能力突出、集成創(chuàng)新能力強的創(chuàng)新型領(lǐng)軍企業(yè)、獨角獸企業(yè)和瞪羚企業(yè)，著力培育以高新技術(shù)企業(yè)為主力軍的創(chuàng)新型企業(yè)集群。實施更大力度的研發(fā)費用加計扣除、科研儀器加速折舊等政策，支持企業(yè)開展應(yīng)用基礎(chǔ)研究，承擔(dān)科技重大專項和科技計劃項目。到2025年，高新技術(shù)企業(yè)達(dá)3000家。（三）實施人才強市戰(zhàn)略深入實施江海英才計劃。堅持推動人才優(yōu)先發(fā)展，加快推進(jìn)人才發(fā)展體制機制改革和政策創(chuàng)新，構(gòu)建更加開放、更高效率、更有競爭力的人才政策制度體系，建設(shè)

59、具有長三角乃至全國影響力的人才發(fā)展高地。修訂實施南通市江海英才引進(jìn)計劃實施辦法，堅持高端引領(lǐng)、梯次配備、整體開發(fā)，構(gòu)建“塔尖亮、塔身壯、塔基牢”的完備人才梯隊。集聚更多高層次科技領(lǐng)軍人才和高水平創(chuàng)新團隊。加強人才發(fā)展軟環(huán)境建設(shè)，加強江海英才計劃與省級引才工程項目銜接，聚焦全市重點產(chǎn)業(yè)，大力引進(jìn)以帶技術(shù)、帶項目、帶資金為特征的高層次創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才、青年科技人才、經(jīng)營管理人才。構(gòu)建企業(yè)家政策服務(wù)體系，培育壯大創(chuàng)新型企業(yè)家、青年及大學(xué)生創(chuàng)業(yè)者、企業(yè)高管及連續(xù)創(chuàng)業(yè)者、科技人員創(chuàng)業(yè)者、留學(xué)歸國創(chuàng)業(yè)者等創(chuàng)業(yè)群體。到2025年，高層次人才占比達(dá)到8.5%。市場分析等離子體刻蝕面臨的問題隨著當(dāng)前先進(jìn)芯片關(guān)鍵

60、尺寸的不斷減小以及FinFET與3DNAND等三維結(jié)構(gòu)的出現(xiàn)，不同尺寸的結(jié)構(gòu)在刻蝕中的速率差異將影響刻蝕速率，對于高深寬比的圖形窗口來說，化學(xué)刻蝕劑難以進(jìn)入，反應(yīng)生成物難以排出。另外，薄膜堆棧一般由多層材料組成，不同材料的刻蝕速率不同，很多刻蝕工藝都要求具有極高的選擇比。第三個問題在于當(dāng)達(dá)到期望深度之后，等離子體中的高能離子可能會導(dǎo)致硅片表面粗糙或底層材料損傷。干法刻蝕通常不能提供對下一層材料足夠高的刻蝕選擇比。在這種情況下，一個等離子體刻蝕機應(yīng)裝上一個終點檢測系統(tǒng)，使得在造成最小的過刻蝕時停止刻蝕過程。當(dāng)下一層材料正好露出來時，重點檢測器會觸發(fā)刻蝕機控制器而停止刻蝕。原子層刻蝕為未來技術(shù)發(fā)展