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文檔簡介

1、研華半導體光伏設備SECS聯(lián)網(wǎng)協(xié)議標準化解決方案Page 2WebAccess SECS Gateway可提供各式extra sensor &既有PLC等的數(shù)據(jù)收集,大大降低開發(fā)時間與成本應用范圍半導體晶圓廠半導體封裝測試廠面板廠機臺設備供貨商半導體設備,廠務資料收集的新概念整合繁雜的數(shù)據(jù)源: 各種偵測器,表頭, PLC, PAC半導體標準通信接口:HSMS/SECS實時數(shù)據(jù)提供先進制程立即分析,快速反應以設定方式整合,大量減少系統(tǒng)開發(fā)時間及成本PAC整合半導體設備廠SECS 先進制程協(xié)議SECSSECS- 半導體光伏 制程再優(yōu)化的關鍵智慧研華SECS資料采集與機臺監(jiān)控解決方案什么是SECS?

2、為何半導體/ PCB 制程需要導入? SECS 是PCB &半導體制程設備的標準通訊協(xié)定 ,主要是將設備的信息傳至主計算機(FDC/EAP)在 FAB廠內(nèi)使用該通訊協(xié)議 , 可進行啟動或停止制程設備, 收集設備的制程數(shù)據(jù) , 改變制程參數(shù)以及進行選擇生產(chǎn)產(chǎn)品的制程配方等透過SECS (SEMI Equipment Communications Standard)GEM (Generic Equipment Model) 的標準通訊協(xié)議與數(shù)據(jù)庫整合半導體設備通訊標準SECS解決方案半導體制程SECS聯(lián)網(wǎng)與機臺狀態(tài)監(jiān)測FDC / EAPSERVERDatabasesLAN ( SECS 通訊協(xié)議)

3、 集中式IO數(shù)據(jù)采集器通訊轉換平臺 分布式IO數(shù)據(jù)采集器ADAM-5510/TCP-SECSADAM-5510E/TCP-SECSUNO-2483G-SECSAPAX-5620-SECSSensor Sensor Serial PLC Modbus-RTUMeter Sensor APAX-5580-SECS半導體光伏設備SECS聯(lián)網(wǎng) 完整解決方案SECS分布式I/O資料收集器PAC : APAX-5620SECS集中式I/O資料收集器PAC : ADAM-5510SECS通訊轉換平臺UNO-2483APAX-5580SECS各種HSMS/SECS整合解決方案ADAM-5510-SECS可程序

4、規(guī)劃之數(shù)據(jù)收集器具備以太網(wǎng)絡接口10/100Base-T 支援 4/8 固定 I/O 模塊槽位 ADAM-5017P-SECS 8通道 AI 模塊 0-10V , 4-20mAADAM-5018P-SECS 8通道 熱電偶 與4-20mAADAM-5051S-SECS 16通道 DI 24Vdc 輸入模塊SECS InterfaceSocket LibrarySECS ClientADAM-5510 SeriesLibrary 123集中式ADAM-5510SECS數(shù)據(jù)采集方案APAX I/OFDC / EAPLANLANLANLANAPAX-5000-SECSI/O ModulesI/O M

5、odulesI/O ModulesAPAX-5000-SECSUp to 32 I/O moduleUp to 32 I/O module系統(tǒng)架構特點:最大I/O數(shù)達32片具高彈性的IO分散配置星型、樹狀、Bus type 混合式組合分布式APAX-5620-SECS 數(shù)據(jù)采集方案支持200多種工業(yè)通訊協(xié)議GE CorporationMitsubishi Electric CorpOmron CorporationSiemens AG / Yamatake /Yaskawa FDC / EAPCOMEthernetCOMEthernetSECSSECS Interface通訊轉換平臺UNO-2

6、000通訊轉換平臺APAX-5580SECSSECS通訊協(xié)議轉換平臺方案SECS 圖示化之各種人機操作界面PLC SECS Gatewaydemo box ADAM-SECS + APAX-SECSDemo box 12半導體設備SECS聯(lián)網(wǎng)與機臺監(jiān)控-DEMO BOX半導體設備SECS聯(lián)網(wǎng)與機臺監(jiān)控系統(tǒng)優(yōu)勢特點 基于半導體標準通信協(xié)議接口SECS,實現(xiàn)整合繁雜的數(shù)據(jù)源, 提供先進制程立即分析,快速反應以設定方式整合,大量減少系統(tǒng)開發(fā)時間及成本優(yōu)勢 - 精簡單設定、即插即用,快速整合半導體制造與廠務設備,有效縮短開發(fā)時間、化繁為簡。隨時掌握廠房信息與設備狀態(tài),提升制程監(jiān)控效率、節(jié)省維護成本。 效益 - 使用者僅需透過簡單的設定便能完成軟硬件安裝,不再需要軟件編程就能取得現(xiàn)場生產(chǎn)信息,有效縮短半導體廠設備聯(lián)機建置時間,更能提升制程監(jiān)控效率、節(jié)省維護成本。軟件非常容易安裝與設定,讓MIS/制程工程師容易進行數(shù)據(jù)收集 產(chǎn)業(yè)應用: 半導體晶圓廠半導體封裝測試廠面板廠機臺設備供貨商13產(chǎn)品料號(名稱)描述數(shù)量ADAM-5510SECS集中式SECS數(shù)據(jù)采集器

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