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文檔簡介
1、第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料7.1 碳化硅耐火材料概述7.2 碳化硅質(zhì)耐火材料的制備7.3 碳化硅質(zhì)耐火材料的應(yīng)用7.1 碳化硅耐火材料概述 SiC具有強(qiáng)度高,導(dǎo)熱性好等優(yōu)點(diǎn),廣泛用作耐火材料 SiC是極強(qiáng)的共價(jià)鍵化合物 燒結(jié)過程中不會(huì)出現(xiàn)液相 燒結(jié)性能差,必須采用特殊工藝 (如熱壓燒結(jié),熱等精壓燒結(jié)) 第二相結(jié)合的方法燒結(jié)。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 粘土結(jié)合SiC 二氧化硅結(jié)合碳化硅(SiO2/SiC) 莫來石結(jié)合SiC 自結(jié)合SiC 氮化硅結(jié)合碳化硅(Si3N4/SiC) 氮氧化硅結(jié)合碳化硅(Si2N2O/SiC) 塞隆結(jié)合氮化硅(Sialon/SiC)第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料7.2 碳化硅質(zhì)
2、耐火材料的制備1.粘土結(jié)合碳化硅材料 粘土結(jié)合的碳化硅棚板 常壓下的空氣中燒成 使用部位用作窯具隔焰的馬弗爐板明焰燒成電瓷產(chǎn)品的窯具材料。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC隔焰輥道窯結(jié)構(gòu)圖1-工作通道 2-輥?zhàn)?3-輥軸承 4-隔焰板 5-火道1)粘上結(jié)合碳化硅質(zhì)材料生產(chǎn)工藝: 碳化硅+結(jié)合粘土,成型、燒成。結(jié)合粘土不超過15%。 粘土做結(jié)合劑時(shí)粘土中鋁氧與碳化硅在11001150反應(yīng)引起膨脹 2Al2O3+SiC=4AlO+SiO+CO 4AlO+O2=2Al2O3SiO+O
3、2=2SiO2燒成溫度:13501400 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC 配 料組 成, 碳化硅顆粒組成 1.40.5mm 0.3mm 碳化硅 粘 土 數(shù)量,(100碳化硅)979080 3 10 204050 60 60 50 40碳化硅顆粒組成與粘土結(jié)合碳化硅制品配料組成的關(guān)系第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC碳化硅粘土質(zhì)制品在隧道窯中燒成的溫度制度燒成各階段各階段末的溫度升溫的平均速度 /時(shí)各階段所需時(shí)間 小時(shí)從開始燒成起的時(shí)間,小時(shí) 干 燥 預(yù) 熱 預(yù) 熱 燒 成 保 溫 冷 卻 235 450 550 1420 14255 5080 40 30 17 48 45 5.25
4、 6.75 6.00 18.00 1.50 30.00 5.25 12.00 18.00 36.00 37.50 67.50第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC間歇式窯中燒成粘土結(jié)合碳化硅制品的溫度制度 溫度間隔, 升溫速度,時(shí) 時(shí) 間, 小時(shí) 20120 120200 200380 3801100 11001190 11901330 13301350 1350保溫 10 20 30 40 30 20 10 10 4 6 18 3 7 2 68 燒成總計(jì) 5658第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC粘土結(jié)合SiC生產(chǎn)注意點(diǎn):a燒成碳化硅粘土質(zhì)制品的最高溫度:13501425b結(jié)合粘土的燒結(jié)
5、溫度偏高并在隧道窯中燒成時(shí),須提高止火溫度,隧道窯中只能有暫短的保溫時(shí)間。c 結(jié)合粘土是低溫?zé)Y(jié)的,則燒成的止火溫度也要降低d 在間歇式與室式窯中燒成時(shí),采用較低的燒成溫度 和較長的保溫時(shí)間。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC粘土結(jié)合SiC生產(chǎn)注意點(diǎn): e 燒成的粘土結(jié)合碳化硅制品著有赤褐色,由于結(jié)合劑與含硫的氣體發(fā)生作用而生成硅的硫化物的緣故。f 形成硫化硅時(shí),二硫化物SiS2存在,一硫化硅SiS于940時(shí)蒸發(fā),在冷卻時(shí)分解成為SiS2與Si。g采用合理的工藝時(shí),含適量粘土的碳化硅制品具有優(yōu)異的質(zhì)量。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC粘土結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合Si
6、C2.二氧化硅結(jié)合碳化硅材料1)二氧化硅結(jié)合碳化硅材料概述在碳化硅中加入一定量的二氧化硅(二氧化硅微粉和石英粉),在沒有其他礦物添加劑時(shí),借助燒成時(shí)碳化硅顆粒接觸表而氧化生成的二氧化硅簿膜,將碳化硅顆粒結(jié)合起來生產(chǎn)工藝流程圖: 碳化硅原料+二氧化硅+結(jié)合劑混練成型烘干 燒成揀選成品。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料特點(diǎn):SiO2結(jié)合SiC優(yōu)點(diǎn)原料純度較高低熔物等雜質(zhì)含量少制品性能較粘土結(jié)合的好。機(jī)械強(qiáng)度高、導(dǎo)熱性好、熱穩(wěn)定性好SiO2結(jié)合SiC缺點(diǎn):氧化產(chǎn)物方石英在冷熱循環(huán)過程中發(fā)生體積變化使棚板結(jié)構(gòu)疏松,掉屑,直到開裂。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合
7、碳化硅材料2) SiO2結(jié)合SiC材料原理:在較低溫度下(9001000)SiC質(zhì)制品氧化并生成SiO2,隨著溫度的升高,氧化進(jìn)行越來越劇烈,在SiC表面生成SiO2薄膜在13501500溫度區(qū)間燒成,它借助燒成時(shí)碳化硅顆粒接觸表面氧化生成的二氧化硅薄膜,將碳化硅顆粒結(jié)合起來,具有很好的抗氧化性。反應(yīng)如下: SiC+2O2SiO2+CO2SiC+3CO2SiO2+4COSiC+3H2OSiO2+CO+3H2第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料 SiO2結(jié)合SiC窯具制備方法 a 普通的SiO2結(jié)合SiC窯具抗氧化能力強(qiáng)高溫抗折強(qiáng)度高適于制
8、作棚板類窯具 配方: 8590的碳化硅1015的硅石細(xì)粉添加適量的BaCO3燒成溫度: 1500第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料 SiO2結(jié)合SiC 制品中SiO2組成:加入的硅石細(xì)粉SiC本身的氧化。SiO2在高溫下呈SiO2薄膜而覆蓋SiC顆粒阻止其繼續(xù)氧化,提高其壽命。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料b新型SiO2結(jié)合SiC窯具: 配方: 1 622#SiC26, 80#SiC 35150180#SiC 26, 硅灰13,硅灰取代硅石細(xì)粉,不用加入助熔劑。 燒成溫度: 14601470 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料加入硅灰的優(yōu)點(diǎn):硅灰有較好的
9、流動(dòng)性與填充顆粒間隙能力使SiC窯具更致密抗氧化能力更強(qiáng);降低成型壓力普通SiO2結(jié)合SiC的80100MPa加硅灰的SiO2結(jié)合SiC的60MPa左右;燒成溫度降至1500以下不添加助熔物,燒后強(qiáng)度極高第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料新型SiO2結(jié)合SiC窯具應(yīng)用在陶瓷窯中使用時(shí)表面光滑,無鼓泡現(xiàn)象不掉渣,對瓷器的污染較輕使用溫度可達(dá)1400。目前國內(nèi)外使用較多的硅酸鹽結(jié)合SiC窯具,第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料氧化硅結(jié)合的碳化硅制品的燒成溫度制度 溫 度 范 圍,升溫速度,/小時(shí) 時(shí)間,小時(shí) 20120 120200 200380 3801100 11001
10、190 11901330 13301380 1380保溫 總計(jì)燒成 10 20 30 40 30 20 10 10 4 6 18 3 7 5 57 5860第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料 制品快速冷卻的,間歇式窯的特殊條件使冷卻減緩,因而延續(xù)至3個(gè)晝夜: 當(dāng)間歇式窯不可能強(qiáng)化冷卻時(shí),就延續(xù)至45晝夜。溫度,速度,時(shí)時(shí)間,小時(shí)13001000408100060020206003001520300出窯1024冷卻總計(jì)72二氧化硅結(jié)合碳化硅材料冷卻制度表第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料粘土結(jié)合SiC a 當(dāng)磚坯碼裝過密,空隙為56mm以下 SiO2結(jié)合SiC制品上將呈現(xiàn)同心齒狀的白色沉積物。
11、 空心制品內(nèi)部經(jīng)常生成白色沉積物。 管子、熱電偶套管、一端封閉式測溫管第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料5) SiO2結(jié)合SiC材料工藝要點(diǎn)第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料 b 隨著燒成溫度的提高,高溫時(shí)保溫時(shí)間的延長以及增加泥料內(nèi)碳化硅細(xì)粉料的含量,會(huì)促使沉積物的形成增加。 c 燒成溫度提高到1600,則沉積物呈玻璃狀及多孔狀。 d 在同樣的燒成條件下,以黑色碳化硅制成的制品上生成的沉積物數(shù)量較多,而以綠色碳化硅制成的則少些。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料 燒成碳化硅制品過程中生成的白色沉積物,由二氧化硅
12、構(gòu)成的a 白色沉積物化學(xué)成分: SiO272%;SiC 19.55%;A12O31.2%;Fe2O3 2.25%; CaO 0.45%;MgO 4.00%;R2O 0.2%;無灼熱減量。b 白色沉積物相組成: 玻璃狀物質(zhì)幾乎是純的二氧化硅 方英石 碳化硅 斜頑輝石。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料6) SiO2結(jié)合SiC材料形成缺陷的原因:白色沉積物缺陷c 形成白色沉積物的原因: 在氧氣供給不充分的條件下碳化硅遭受到氧化的緣故 制品燒成時(shí)被含有殘余的未反應(yīng)氧的火焰氣體所氧 化,在碼磚較密的制品間的氣流速度過慢第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料 當(dāng)氧氣不足時(shí),碳化硅氧化
13、僅生成氧化硅,部分隨著緩慢流動(dòng)的煙氣排除,部分沉積下來再被氧化成為二氧化硅,成為沉積物。 最初沉積物是玻璃狀的二氧化硅,由玻璃再變成方石英。 含有數(shù)量不太多的氧化硅的氣體快速冷卻時(shí),就形成條狀的沉積物。 溫度高及氧化硅的濃度大時(shí),則形成球狀顆粒。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料d 解決方法: 使碳化硅耐火材料裝窯稀疏些可避免白色沉積物的形成。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料 SiO2結(jié)合SiC材料黑心結(jié)構(gòu)缺陷 a 現(xiàn)象 制品的斷面組織中,中心部分可觀察到著色程度不同的暗色不透明區(qū)。 部分的坯體疏松,強(qiáng)度較之圍繞該部分的制品周邊燒結(jié)良好的致密而有光澤的部分為低。 暗
14、色部分含有游離碳和硅。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料b SiO2結(jié)合SiC材料黑心原因 當(dāng)燒成時(shí)與制品接觸的氣體中氧氣不足 當(dāng)制品碼裝過密 制品碼裝過密時(shí),大量碳化硅存在而造成還原性氣氛時(shí)也能產(chǎn)生黑心。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料當(dāng)氧不足時(shí),碳化硅的氧化反應(yīng): SiC+O2SiO2+C 以及一氧化碳與碳化硅的反應(yīng): SiC+2COSiO2+3C 當(dāng)有不足數(shù)量的氧與碳化硅反應(yīng)時(shí),可以析出游離硅: SiC+O2CO2+Si SiC+1/2O2CO+Si 當(dāng)SiC局部氧化時(shí),發(fā)生的反應(yīng)主要生成CO+Si, 不是SiO十C。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅
15、材料c 解決方法:碼裝制品時(shí)應(yīng)保證火焰氣體沿制品周圍自由循環(huán)。不得在富集有CO的氣氛中進(jìn)行燒成。燒成時(shí)推薦向配料中加入10%細(xì)粉碎的硅。 燒成碳化硅制品時(shí),紙漿廢液臨時(shí)結(jié)合劑炭化時(shí) 所生成的碳是生成黑心的原因。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料SiO2結(jié)合SiC材料制品的特點(diǎn) SiC含量高:8488,氣孔率:1519, 耐壓強(qiáng)度:7001600MPa 1700在2MPa荷重下不發(fā)生變形, 導(dǎo)熱系數(shù):1617kcal/mh。 熱穩(wěn)定性:50次熱交替(加熱至850,水冷卻) 無大 小裂紋。 抗氧化性能比較高。 熱膨脹系數(shù)取決于二氧化硅含量及其轉(zhuǎn)化成方石英的程度;隨著后者含量的增加,膨
16、脹系數(shù)亦增大。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料氧化物結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料氧化物結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料二氧化硅結(jié)合碳化硅材料3.莫來石結(jié)合碳化硅 莫來石+碳化硅等為原料, 莫來石含量約5%8%.紙漿或糊精作為結(jié)合劑成型:半干壓, 1380燒成,莫來石與碳化硅晶體牢固地結(jié)合在一起。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料莫來石結(jié)合碳化硅莫來石結(jié)合的碳化硅窯具材料的特點(diǎn): 材料中結(jié)合相的主晶相為莫來石 有害的方石英和玻璃相含量極低 材料致密化程度提高,高溫下強(qiáng)度較高。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料莫來石結(jié)合碳化硅a 莫來石結(jié)合SiC窯具碳化硅顆粒+碳化硅細(xì)粉+
17、結(jié)合相結(jié)合相質(zhì)量較好的粘土+氧化鋁細(xì)粉+少量藍(lán)晶石等藍(lán)晶石等為莫來石結(jié)晶促進(jìn)物高溫液相反應(yīng)燒結(jié)時(shí)形成一定的莫來石+玻璃相。結(jié)合相按3A12O32SiO2比例天然礦物原料藍(lán)晶石和硅線石,原料雜質(zhì)太多,不穩(wěn)定。沒有發(fā)生質(zhì)的變化,嚴(yán)格講仍是粘土結(jié)合碳化硅制品。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料莫來石結(jié)合碳化硅b 莫來石結(jié)合SiC窯具:碳化硅顆粒+碳化硅細(xì)粉+高純度的A12O31500 的高溫下燒結(jié)發(fā)生的反應(yīng):1500的高溫,SiC氧化分解產(chǎn)生有親和反應(yīng)的SiO2SiO2+引入的A12O3反應(yīng)生成莫來石。工藝缺點(diǎn):SiC氧化形成的SiO2數(shù)量有限且不固定,形成的莫來石數(shù)量較少。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料莫來石結(jié)
18、合碳化硅C 莫來石結(jié)合SiC窯具硅灰+A12O3微粉+碳化硅顆粒+碳化硅細(xì)粉+加入少量粘土硅灰與A12O3微粉預(yù)混合加入分散劑采用氣流式混合設(shè)備粘土中堿金屬和堿土金屬氧化物含量極低糊精做結(jié)合劑燒成制度13806小時(shí)左右第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料莫來石結(jié)合碳化硅C 莫來石結(jié)合SiC窯具優(yōu)點(diǎn):結(jié)合物的含量可隨意調(diào)整,高達(dá)30%時(shí)能保證將SiC顆粒充分地包裹起來,阻止了SiC在使用過程中的氧化現(xiàn)象,減少了SiC窯具的落渣現(xiàn)象。原料硅灰與A12O3微粉有較大的活性,較低溫度下形成莫來石,10001100開始固相反應(yīng),1380能形成結(jié)晶良好的莫來石。燒成制度1380左右,低于一般的SiC制品,原料純凈,粘
19、土含量少,燒成條件下很少產(chǎn)生液相,莫來石結(jié)合SiC窯具中極少有玻璃相存在,阻止了因玻璃化和方石英的形成而導(dǎo)致的脆性,窯具的強(qiáng)度隨使用時(shí)間的延長而下降較少,熱震穩(wěn)定性大為改善,使用壽命大提高。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料莫來石結(jié)合碳化硅4.自結(jié)合碳化硅自結(jié)合碳化硅: 低溫型的-SiC結(jié)合高溫型的-SiC。生產(chǎn)原理 碳化硅顆粒+碳+金屬硅粉 1450的溫度下埋碳燒制, 硅粉和碳反應(yīng)生成低溫型-SiC, -SiC結(jié)合碳化硅顆粒自結(jié)合碳化硅特點(diǎn): 利用碳化硅自身優(yōu)良特性,制品具有好的導(dǎo)熱性,導(dǎo)電性自結(jié)合碳化硅制品的缺點(diǎn) 氣孔率高,抗氧化性較差,在陶瓷窯中用量較少。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料自結(jié)合碳化硅工
20、藝特點(diǎn): 反應(yīng)燒結(jié)過程,不涉及原生碳化硅。( -SiC) 接觸點(diǎn)的形成,氣孔的充填及連續(xù)式多晶體碳化物骨架的生成等,均取決于生成次生碳化硅-SiC的化學(xué)反應(yīng)。 原料:碳化硅粉、碳和結(jié)晶硅。 碳化硅粉:工業(yè)純度的綠色碳化硅作原料, 碳原料:電極石墨、石油焦、木炭和燈黑等, 石油焦與熔融硅反應(yīng)時(shí),SiC產(chǎn)率高,石油焦便宜 石油焦的碳含量較高,為97.799.。 縮小石油焦揮發(fā)分的含量及容易粉碎,于1200進(jìn)行灼燒。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料自結(jié)合碳化硅(1)碳化硅和焦碳混合物壓制的多孔坯體,應(yīng)具有適宜的氣孔率,氣孔率原料配比中規(guī)定量的碳與熔融硅發(fā)生反應(yīng)時(shí)生成的次生-SiC的體積相等。 (2)用熔融
21、后的液態(tài)硅來浸漬初生-SiC顆粒和碳顆粒的混合物組成的二元多孔坯體,燒結(jié)體系為 (-SiC固 +C固+Si液)。三相系統(tǒng) (3)固體多孔體被熔融硅潤濕和浸漬,固相溶于熔融物中,生成次生-SiC。 (Si液+C固 -SiC ) 碳經(jīng)過硅熔融物的遷移及在SiC顆粒上結(jié)晶出-SiC發(fā)生。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料自結(jié)合碳化硅(4)基本過程發(fā)生時(shí),均有液相硅參與反應(yīng)。在潤濕良好的條件下,固相與熔融硅的接觸緊密。(5)1450時(shí),固體碳(石墨)被熔融硅潤濕的潤濕角為零,而碳化硅被熔融硅潤濕的潤濕角3538。甚至在稍高于硅熔點(diǎn)(1412)的溫度下,兩個(gè)相被能被熔融物強(qiáng)烈潤濕。 在反應(yīng)燒結(jié)開始時(shí)浸漬便已完成,
22、氣孔均被液體硅充填。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料自結(jié)合碳化硅5.氮化硅結(jié)合碳化硅 Si3N4 /SiC是近20年發(fā)展起來的一種高科技SiC耐火材料。1955年,由美國Casrborundum公司研制成功,獲得了專利權(quán)。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料 氮化硅是共價(jià)鍵化合物有兩種晶型,即- Si3N4和-Si3N4, - Si3N4為針狀結(jié)晶體, -Si3N4為顆粒狀結(jié)晶體,均屬六方晶系。 -Si3N4的晶體結(jié)構(gòu)為SiN4四面體共用頂角構(gòu)成的三維空間網(wǎng)絡(luò)。 - Si3N4也是由四面體組成的三維網(wǎng)絡(luò),其結(jié)構(gòu)內(nèi)部的應(yīng)變較大,故自由能比型
23、高。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料工藝主要特點(diǎn):a邊反應(yīng)邊燒結(jié),控制素坯密度和氮化工藝是獲得性能優(yōu)良制品的關(guān)鍵。 受其反應(yīng)機(jī)理限制,對于厚度大于10mm制品,必須加入催化劑,F(xiàn)e2O3,CaF2、BaF2或C等,加入量14左右。b燒結(jié)前后坯體尺寸變化很少(線收縮約為1左右)。 硅粉的密度為2.3g/cm3,氮化硅密度為3.187g/cm3,形成Si3N4時(shí)有21.7體積膨脹,燒結(jié)過程中不發(fā)生燒結(jié)過程中的收縮現(xiàn)象??捎脕碇圃鞆?fù)雜形狀制品。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合
24、SiC材料c制品內(nèi)包含了1530氣孔(包括顯氣孔和閉口氣孔),材料機(jī)械性能比其他致密燒結(jié)工藝的低。d工藝簡單,適宜于大批量生產(chǎn),制品價(jià)格比較低廉。 硅粉氮化反應(yīng)是一個(gè)放熱反應(yīng),必須小心控制升溫速率和氮化速率 影響 (RBSN)性能和顯微結(jié)構(gòu)因素很多 硅粉的特性 (平均顆粒尺寸、尺寸分布、雜質(zhì)含量等), 坯體制備方法 素坯密度 氣孔率等。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料硅粉按制品形狀要求成型后,在氮化爐中加熱氮化,其反應(yīng)式如下: 3Si+2N2Si3N4 H=-733KJ/mol 工藝特點(diǎn):氮化后產(chǎn)品為相和相的混合物,產(chǎn)品尺寸和素坯尺寸基本相同。產(chǎn)品密度取決于成型素坯的密度。
25、可以精確地制造形狀很復(fù)雜的產(chǎn)品。 工藝流程大致如下: 硅粉磨細(xì)成型素坯氮化修坯氮化燒結(jié)研磨加工成品 生產(chǎn)工藝: 在碳化硅+15%25%金屬硅粉,混入適量的結(jié)合劑,經(jīng)困料后成型,在氮化爐中通入高純氮?dú)庖砸欢ǖ臏囟群蛪毫χ贫鹊磻?yīng)燒結(jié)。其反應(yīng)式為:3Si+ 2N2Si3N4 Si3N4和SiC均為共價(jià)鍵性極強(qiáng)的化合物,有相似的物理化學(xué)性能,在高溫狀態(tài)下仍保持高的鍵合強(qiáng)度。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料 SiC顆粒+細(xì)粉碎的硅粉(大約15%25%) 壓制成型 氮?dú)鈿夥罩屑s1400氮化燒成Si3N4/SiC的顯微結(jié)構(gòu)特征: SiC
26、大顆粒被基質(zhì)所包圍, 基質(zhì)部分:顆粒狀-Si3N4+針狀或纖維-Si3N4組成 Si3N4成交織三維空間網(wǎng)絡(luò),將SiC小顆粒包裹起來。 三維空間網(wǎng)絡(luò)與SiC大顆粒形成牢固的機(jī)械結(jié)合。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料Si3N4結(jié)合SiC材料(正反應(yīng)燒結(jié))半干壓成型50MPaSi粉1030SiC顆粒9070水,糊精N2氣氛,氮化爐燒成1450Si3N4/SiC復(fù)合材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料 特點(diǎn)和性能: Si3N4/SiC陶瓷材料為固相反應(yīng)燒結(jié),液相量很少,賦予材料較高的高溫強(qiáng)度。 Si3N4 /SiC
27、具有良好的抗氧化性,高溫氧化時(shí),陶瓷表面形成的SiO2玻璃相封閉了氣孔,防止了內(nèi)部材料免受氧化而保持強(qiáng)度不會(huì)快速下降。 材料中SiC本身除了耐磨性好外,熱傳導(dǎo)率較高,熱膨脹系數(shù)低,使Si3N4/SiC具有優(yōu)良的抗熱震性能。 該材料緊密交織的結(jié)合形式使SiC顆粒表面得到良好保護(hù),對外來侵蝕介質(zhì)滲透起著阻礙和延緩作用,從而使Si3N4/SiC具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料 Si3N4/SiC陶瓷材料具有:高溫強(qiáng)度高、熱導(dǎo)率高、抗熱震性好、荷重軟化點(diǎn)高、熱膨脹系數(shù)低、抗高溫蠕變和抗酸能力強(qiáng)、不被有色金屬潤濕、抗氧化性能好等特點(diǎn) 各種氣氛中正常使用溫度可達(dá)15
28、00左右, Si3N4/SiC應(yīng)用: 衛(wèi)生陶瓷、日用陶瓷、電子陶瓷、 建筑陶瓷、磨具及冶金等行業(yè)第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料 Si3N4結(jié)合SiC材料6.氮氧化硅結(jié)合碳化硅 Si3N4/ SiC陶瓷材料的化學(xué)穩(wěn)定性隨氧含量增加而降低。提高該陶瓷材料的抗氧化性能具有非常重要的意義。Si2N2O/SiC其各項(xiàng)性能接近Si3N4/ SiC,抗氧化性能更加優(yōu)異。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料Si2N2O結(jié)合SiC
29、材料Si2N2O/SiC陶瓷材料的生產(chǎn)方法: SiC粉+Si粉+SiO2粉+燒結(jié)助劑 制成生坯 通入N2的條件下燒成 反應(yīng)方程式如下:3Si+SiO2+2N2=2Si2N2O第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料Si2N2O結(jié)合SiC材料 反應(yīng)生成的板橋狀Si2N2O分布于SiC顆粒周圍,將SiC顆粒緊密結(jié)合起來。 燒結(jié)過程為液相燒結(jié)。 燒結(jié)助劑+SiO2形成液相 反應(yīng)物先溶解于液相中。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料Si2N2O結(jié)合SiC材料 液相的表面張力,顆粒通過重排和溶解再沉淀過程使氣孔率降低,材料密度上升。 Si2N2O晶粒再從液相中析出生長。 MgA12O4為燒結(jié)助劑,MgO-SiO2-Si3N4和A1
30、2O3-SiO2-Si3N4的最低共熔點(diǎn)溫度為1390和1470,MgO-A12O3-SiO2-Si3N4的最低共熔點(diǎn)溫度低于1390,實(shí)現(xiàn)Si2N2O陶瓷的低溫?zé)Y(jié)致密第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料Si2N2O結(jié)合SiC材料 應(yīng)用Si2N2O/SiC多用于以重油為燃料的隧道窯用匣缽。該窯最高燒成溫度為1500。 以粘土結(jié)合碳化硅磚制成,使用情況極不理想改用Si2N2O/SiC后,匣缽經(jīng)反復(fù)使用810次,其外形尺寸幾乎沒有變化。Si2N2O/SiC陶瓷材料還廣泛應(yīng)用于鍋爐及有關(guān)部位,均取得了較好的使用效果。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料Si2N2O結(jié)合SiC材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料Si2N2O結(jié)合Si
31、C材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅7.塞隆結(jié)合碳化硅 Sialon結(jié)合SiC耐火材料具有: 機(jī)械強(qiáng)度、耐磨性、化學(xué)穩(wěn)定性高的特點(diǎn), 成為替代Si3N4/ SiC耐火材料的第二代高爐關(guān)鍵部位的內(nèi)襯材料。 它的成本比較高,這在相當(dāng)程度上成為其大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用的障礙。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅Sialon陶瓷: Si3N4+AlN+A12O3+SiO2+燒結(jié)助劑(Y2O3,MgO等)混合 成型+燒結(jié)制得-Sialon。 使用不十分苛刻的材料選用天然原料 高嶺土、火山灰等 強(qiáng)度和高溫性能要求高的材料選用純度
32、高的原料。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅Sialon是存在于Si-Al-O-N和有關(guān)系統(tǒng)中物相的簡稱,分別由日本的Oyama和Kamigaito以及英國的Jack和Wilson(1972)所發(fā)現(xiàn)。-Sialon,-Sialon分別是-Si3N4、-Si3N4的單相固溶體。氮化硅兩種不同晶型,型(低溫型)和型(高溫型),均屬六方晶系,它們都是由三個(gè)結(jié)構(gòu)單位為SiN4四面體共用一個(gè)N原子而形成的三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),類似于硅酸鹽礦物結(jié)構(gòu)。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 Sial
33、on分類及其特性 (1) -Sialon 簡稱為,是- Si3N4的固溶體。Al2O3和AlN以1:1克分子形式(陽離子與陰離子比為3:4時(shí))固溶于Al2O3晶格中,形成以- Si3N4為基本結(jié)構(gòu)的固溶體。 分子通式為Si6-zAlzOzN8-z,結(jié)構(gòu)單元為(Si,A1)(O,N)4,即z個(gè)N被O取代,同時(shí)z個(gè)Si被Al取代,z值范圍:0z4.2。 屬置換型固溶體 在結(jié)構(gòu)上不伴隨產(chǎn)生任何空位或填隙點(diǎn)缺陷, 隨著置換量增加,即z值增加,晶格常數(shù)也隨著增大。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 (2-z/3) Si3N4+z/3 Al2O3+z/3AlN=Si6-zAlzOzN8-z (1) (
34、2-z/2) Si3N4+z/2SiO2+zAlN= Si6-zAlzOzN8-z (2) 離子要進(jìn)入- Si3N4形成固溶體,化合物或復(fù)合物的陰陽離子之比要滿足4:3, 該離子的尺寸與Si離子較接近,并對氧或和氮具有四配位 離子與O或N(Me-O,Me-N)的鍵長與Si-N鍵長相接近。 Al3+能進(jìn)入- Si3N4形成- Sialon, z值范圍:0z4.2 Be2+進(jìn)入- Si3N4結(jié)構(gòu)中 形成- SiBeON:Si6-zBezOzN8-z 0z2。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 -Sialon隨著z值增大,組份中Al2O3含量增加,燒結(jié)時(shí)出現(xiàn)液相量增多,會(huì)使晶粒粗化,強(qiáng)度降低,
35、影響材料的硬度,降低韌性,注意燒結(jié)工藝控制。 a0=0.76059+0.002726Z(nm) c0=0.291075+0.002436Z (nm) -Sialon與-Si3N4結(jié)構(gòu)相似,均屬于六方晶系,a=bc,=90,=120晶面間距與晶格常數(shù)之間的關(guān)系為:l/d2=4/3a2(h2+hk+k2)+l2/c2(h.k.l為晶面)第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 a-1500,Z0;配方Z=0時(shí),試樣全部為Si3N4燒結(jié)體,孔洞內(nèi)部Si3N4發(fā)育為纖維狀或圓柱狀。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 b-1500, Z0.5Z=0.5時(shí),為-Sialon和Si3N4混合燒結(jié)體??锥磧?nèi)
36、部-Sialon發(fā)育的形貌是板帶狀或長劍狀,和纖維狀Si3N4第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 c-1500,Z1; Z=1時(shí),-Sialon發(fā)育成為大量板帶狀并伴生有少量的纖維狀。板帶上有明顯“節(jié)”,這是晶體生長過程形成的。從局部可看出有棱柱狀發(fā)育的雛形第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 d-1500,Z2;Z=2時(shí),-Sialon形貌由板帶狀向板柱狀過渡,伴少量棱柱狀結(jié)晶體。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 e-1500,Z=3 ; Z=3時(shí),板柱形貌已經(jīng)消失,-Sialon形貌向棱柱狀過渡,可看出發(fā)育比較完善的棱柱狀晶體。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅F-1500
37、, Z=4 Z=4時(shí),Sialon已經(jīng)發(fā)育成較好的六方柱狀或柱狀形貌。柱體的多棱邊錐頭說明了柱體長徑方向生長發(fā)育的過程。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 降低成本,擴(kuò)大-Sialon應(yīng)用范圍還原-氮化粘土制備Sialon材料,從廉價(jià)礦物原料中制備各種z值-Sialon材料,反應(yīng)方程式為: Al2O34SiO2(葉臘石)+9C+3N2Si4Al2O2N6+9CO (z=2) 3(Al2O32SiO2)(高嶺土)+15C+5N2Si3Al3O3N5+15CO (z=3) 2(Al2O3SiO2 )(硅線石)+6C+2 N2Si2Al4O4N4+6CO (z=4) 用礦物原料合成制得Sialo
38、n材料,純度差,主要用于耐火磚、爐襯等, 價(jià)格便宜,性能優(yōu)于一般耐火材料,很有發(fā)展前途。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅(2)-Sialon(簡稱的) -Sialon -Si3N4固溶體,結(jié)構(gòu)基于Sil2N16的晶胞,屬六方晶系。 在晶胞中含有兩個(gè)封閉填隙空洞,可容納Li、Mg、Ca、Y和稀土(由Nd到La等)大金屬離子。 在-Sialon中部分的Si4+被Al3+取代, 電荷平衡是通過在兩個(gè)填隙位置中引入其他的金屬離子, 屬填隙置換型固溶體。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 -Sialon分子式為: Mx(SiAl)12(O,N)16,M為填隙大金屬離子,x為填隙量 每個(gè)-Si3
39、N4晶胞中,有兩個(gè)離子填隙位置,x2。 在-Sialon形成過程中,-Sil2N16中的部分Si4+被Al3+替代,氮化硅表面及添加劑中引入的氧將置換出Sil2N16 中的N, m個(gè)(SiN)鍵被m個(gè)(AlN)鍵取代, n個(gè)(SiN)鍵被n個(gè)(A1O)鍵取代, 引起的電價(jià)不平衡則由添加劑中金屬離子, 例Mg2+、Ca2+等填入結(jié)構(gòu)空洞中補(bǔ)償?shù)谄哒?碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 金屬離子被氮原子包圍,并形成MeN鍵, -Sialon的通式變成: MexSil2-(m+n) Alm+nOnN16-n。Me為填隙金屬離子, 0m5,0n16, m=kx為填隙金屬原子的化合價(jià)。 對于無氧-Sialo
40、n,則n=0, 其通式為MxSil2-mAlmN16。無論Sialon或Sialon,都必須滿足Me+(金屬離子):M-(非金屬離子)的原子數(shù)為3:4。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅4/3(AlN-Al2O3)3/2Si2N2O第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 -Sialon從合適的氮化物中制得, 從氮化物與氧化物合適的比例中制得。 AlN和Y2O3以9:1(mol)加入到Si3N4中, 制得Y-Sialon Y在-Sialon中填隙量x值在0.330.67 分子式Y(jié)0.67Si9Al3O3N15,Y0.33Si10.5Al1.5O0.5N15.5范圍內(nèi)。 可制得(Ca-Sial
41、on、Ln-Sialon。Ln是指從Nd到Y(jié)b的不同稀土元素。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅-Sialon含氮量較高,液相粘度大,單相難以致密化。-Sialon是等軸狀晶粒結(jié)構(gòu),硬度高,可達(dá)19002100(HV), 高于-Sialon材料,是它性能主要特點(diǎn)。強(qiáng)度與韌性比柱狀要低些,在惰性氣氛中是較穩(wěn)定的,在碳?xì)夥罩兄钡?7500C都是穩(wěn)定的。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅(3)O-Sialon(簡稱O) 氧化鋁固溶于Si2N2O中,形成以Si2N2O為結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)的固溶體,稱之為O-Sialon。 分子式為Si2-xAlxN2-xO1+x,0 x0.4。 Si2N2O的結(jié)構(gòu)與S
42、i3N4非常相似,結(jié)構(gòu)單元中一個(gè)N原子被一個(gè)O原子取代,原來SiN4變?yōu)镾iN3O四面體。 SiN鍵連成稍帶帶狀的連續(xù)平面,平面與平面之間由SiOSi連接, 晶胞結(jié)構(gòu)屬正斜方 晶格常數(shù)a=5.49A,b=8.28A,c=4.85A。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 用Y2O3作為添加劑,能在較低溫度下通過無壓燒結(jié)工藝得到致密的O-Sialon材料. 由于結(jié)構(gòu)上特點(diǎn)及含有較多氧,該材料最佳特點(diǎn)是具有優(yōu)越的抗氧化性, Hv:1600, KIC(斷裂韌性)約為3.3MPam1/2, 斷裂強(qiáng)度為420MPa。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅(4)A1N多型體Sialon 在-Sialon與
43、AlN之間存在著六種有相同M:X比的晶相,是AlN多型體Sialon。組成式:MmXm+1 AlN中的部分Al被Si取代,而N被O取代,式中4m11 六種A1N多型體分別命名為:8H,15R,12H,21R,27R和2H。 (H-六方結(jié)構(gòu),R-斜方結(jié)構(gòu)) 多型體結(jié)構(gòu)中每一單層均由(Si,A1)(O,N)4四面體組成。 顯微結(jié)構(gòu)顯示AlNSialon形貌都為纖維狀 在復(fù)相陶瓷材料組分設(shè)計(jì)中,把AlN多型體作為增韌補(bǔ)強(qiáng)相,來增加材料機(jī)械性能。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅 圖為Si-A1-O-N系統(tǒng)17000C時(shí)等溫截面圖,又成為互換鹽相圖。 圖中顯示了這個(gè)系統(tǒng)中存在著-Sialon、O
44、-Sialon、x相、AIN多型體,在富SiO2處還存在一個(gè)較大液相區(qū)。 Sialon的制備方法:(1)固相反應(yīng)燒結(jié)法 Si3N4+ Al2O3+SiO2 /AlN +N2Sialon)(2)金屬粉的氮化法 SiO2 +Al+Si+N2 Sialon)(3)鋁硅酸鹽碳熱還原氮化法 2SiO2A12O32H2O+C+N2 Sialon第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅塞隆結(jié)合碳化硅制備方法: 金屬硅粉+氧化鋁+碳化硅+臨時(shí)結(jié)合劑 碳化硅:粗、中、細(xì)多級配料 成型:壓制成足夠強(qiáng)度的生坯 干燥要求:殘余水分1%。微正壓于1400左右高純氮?dú)鈿夥諢桑?生成六方柱狀的Sialon晶體將碳化硅顆粒緊
45、密結(jié)合起來,形成以Sialon為結(jié)合相的碳化硅制品。 第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅Sialon為結(jié)合相的碳化硅制品第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅O- Sialon-SiC 復(fù)合材料硅+二氧化硅+粘土+ SiC顆粒料+N2 氣氛0.1 (Al2O32SiO2 ) + 1.35Si + 0.25SiO2 + 0.9N2+ SiC顆粒料Si1.8Al0.2O1.2N1.8+ SiC O- Sialon-SiC 復(fù)合材料原料中配入SiC ,一步燒成O- Sialon-SiC 復(fù)合材料。 加入了粘土,成型性能好,可壓制、注漿或擠壓成型; (2)12
46、50 下,O- Sialon 即可反應(yīng)完全,減少窯爐設(shè)備投資及降低生產(chǎn)費(fèi)用意義重大; (3) O-Sialon-SiC 制品比Si3N4-SiC 制品更耐鋁熔體及鋁鎂合金熔體的侵蝕,熱震性能更好。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅阿隆(AlON)材料 AlON是Al、O、N的固溶體,此固溶體只在很高的溫度下才穩(wěn)定AlON與鐵的潤濕角接近1600基本上不被潤濕A1ON是個(gè)很好的抗鐵水與渣侵蝕的材料第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅鎂阿隆(MgAlON)材料的結(jié)構(gòu) AlON的優(yōu)越性能引起了廣泛的重視,它與渣的潤濕角和碳幾乎相當(dāng),有望成為新型的無碳耐火材料。 低溫時(shí)的不穩(wěn)定性限制了它的應(yīng)用,
47、MgO或鎂鋁尖晶石MgAl2O4,加入AlON就成為鎂阿隆(MgAlON)。 MgAlON和-A1ON及MgAl2O4都是尖晶石結(jié)構(gòu)的固溶體。 形成的MgAlON可以在常溫下穩(wěn)定存在,晶格結(jié)構(gòu)為尖晶石結(jié)構(gòu)。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅鎂阿隆(MgAlON)材料的結(jié)構(gòu) AlON的優(yōu)越性能引起了廣泛的重視,它與渣的潤濕角和碳幾乎相當(dāng),有望成為新型的無碳耐火材料。 低溫時(shí)的不穩(wěn)定性限制了它的應(yīng)用,MgO或鎂鋁尖晶石MgAl2O4,加入AlON就成為鎂阿隆(MgAlON)。 MgAlON和-A1ON及MgAl2O4都是尖晶石結(jié)構(gòu)的固溶體。 形成的MgAlON可以在常溫下穩(wěn)定存在,晶格結(jié)構(gòu)為尖
48、晶石結(jié)構(gòu)。含這種氧氮化鋁骨料的耐火材料由于低的線膨脹系數(shù)和高熱導(dǎo)率,比A12O3和MgO作骨料的耐火材料具有更好的抗熱震性,優(yōu)異的抗剝落性。 對鐵水的潤濕性小,比SiC、Si3N4作骨料的耐火材料具有更好的抗渣鐵侵蝕性能。賽隆結(jié)合碳化硅第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料塞隆結(jié)合碳化硅8.逆反應(yīng)燒結(jié)Si2N2O/SiC復(fù)合材料 1)逆反應(yīng)燒結(jié)的概念 以SiC和Si3N4粉體為原料 通過氧化燒結(jié)將Si3N4或SiC氧化為二氧化硅(SiO2)或氧氮化物(Si2N2O)。 新生態(tài)的化合物很活潑、分散均勻,能夠活性燒結(jié)而將制品燒成。第七章 碳化硅質(zhì)耐火材料逆反應(yīng)Si3N4結(jié)合SiC材料 “逆反應(yīng)燒結(jié)” 將以SiC和Si3N4粉體為原料氧化為活性氧化物的燒結(jié)工藝 “正反應(yīng)燒結(jié)” 以Si粉、SiC為原料進(jìn)行氮化燒結(jié)的工藝第
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