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1、傳感器技術(shù)重點第四章 傳感器技術(shù)傳感器是測量系統(tǒng)的感受和變換的部件。一般將被測量裝換成電信號,有利于遠距離的監(jiān)控,連續(xù)自動檢測。(標定問題)按被測量分類有: 壓力 溫度 轉(zhuǎn)矩 轉(zhuǎn)速 流量 應變按工作原理: 電阻式 電感式 電容式 熱電式 光電式 壓電式按能量轉(zhuǎn)換: 有源傳感器(能將外界機械能轉(zhuǎn)換為電能)磁,光,壓,熱無源傳感器(只改變電路中的電參量,需配有激勵電源)電阻式,電容式,電感式。41 傳感器基本形式和原理一壓電傳感器1. 壓電效應有些晶體或半導體,當受到外力作用而發(fā)生變形時,表面上會產(chǎn)生電荷。稱為壓效應(順壓電效應),用于測定壓力,振動等。反之,在壓電材料上施加交變電場,材料會發(fā)生機
2、械變形,稱為逆壓電效應。來作為超聲波發(fā)生器。例:石英經(jīng)過處理后,是六面體的棱柱體 x軸為電軸 y軸為機械軸 z軸為光軸特性:沿x軸作用力Fx,在垂直于x軸表面產(chǎn)生壓電效應后為縱壓效應,(+)沿y軸方向作用力Fy,在垂直于x軸的兩面產(chǎn)生大小相等,符號相反的電荷。稱橫向壓力效應(-)電荷場產(chǎn)生在垂直于x軸的表面上,其電荷為 (圖2個) (K-壓電系數(shù),與材料有關(guān)) (靈敏)反之,在交變電場作用下,沿Y軸方向的機械變形最明顯,稱逆壓電效應。2壓電傳感輸出的電荷是與所施加的壓力成正比。能測量力,壓力,速度,振動等物理量。一般內(nèi)二片以上壓電元件組成,于有極性,有串聯(lián)和并聯(lián)聯(lián)接方式串聯(lián)(圖) 特點:輸出V
3、大,C小,時間常數(shù)小,瞬態(tài)。并聯(lián)(圖) 特點:輸出Q大,C大,大,緩變信號。壓電晶片的絕緣電阻很高,置于兩級之間含連接導線,可能為是電容器。壓電傳感器內(nèi)阻抗非常高,輸出信號位于微弱,需經(jīng)電荷放大器放大,并可轉(zhuǎn)換為電壓信號。設單片 組合后為Q 、V、C壓電傳感的能量以電壓或電荷兩種電量形式輸出的電壓靈敏度電荷 為提高壓電晶體的靈敏度,可選用K值大的材料,C小的導線作為輸出線。要求自振頻率高,質(zhì)量小,剛度大,裝配的時加預緊力消除間隙。要求好的絕緣性能,用無水酒精擦洗,在120攝氏度烘和內(nèi)烘3小時(一般用電吹風)。高溫時要求外部冷卻。3測量電路測量電路采用電荷放大器,傳感器,導線、電荷 放大器一同穩(wěn)
4、定標定時:直流電壓表,往復式壓力針。二、電阻式傳感器復雜構(gòu)件用電算不能解決將零件變形參數(shù)(非電量)轉(zhuǎn)換成電壓(或電流)變化參數(shù)(電量)有變阻式(改變導體長度)、壓阻式(改變內(nèi)部接觸電阻)、電阻應變式(改變內(nèi)部應力)、熱敏電阻式(由于溫度變化引起電阻變化)測量位移、轉(zhuǎn)角、力、應力、壓力、溫度等。1 工作原理如金屬電阻絲電阻 當電阻絲受拉伸式壓縮后,幾何尺寸變化,電阻值也變化 ,由材料力學可知: (縱向應變), (橫向應變), (泊桑比): ,(體積變化率) 對于某一金屬電阻絲鎳鉻合金,康銅合金應變率靈敏系數(shù)半導體電阻絲以上 即 2 結(jié)構(gòu) (圖) 絲式應變片易于粘貼耐熱、耐濕性差制造簡單,價格便宜
5、半導體應變片靈敏度高對環(huán)境溫度變化敏感箔式應變片(經(jīng)光刻技術(shù),腐蝕等工序制成厚度為0.0030.010)精度高,適應性好,廣泛應用3 溫度補償從兩個方面考慮:電阻絲本身R=f(T)電阻絲本身與試件或彈性元件的膨脹系數(shù)不同引起的若 式中K電阻絲靈敏系數(shù) 電阻絲電阻溫度系數(shù)試件、電阻絲線膨脹系數(shù)電阻溫度系數(shù)。4 測量電路直流電橋電路,將電阻信號變電壓信號。三、電容式傳感器電容式傳感器具有可變參數(shù)的傳感器,通常以空氣為介質(zhì),二個多屬平板作電極電容量: 式中:S極板間相互覆蓋的工作面積。(4-1圖)兩極板的距離 介質(zhì)介電常數(shù)1) 變間距式:S、不變,改變呈反比為雙曲線非線性能否用傳感器?(圖)對于差動
6、式線性度提高,工作范圍擴大,靈敏度提高一倍。 過小,易電容擊穿,一般數(shù)量元母片(固體介質(zhì)) 由于分線中增加了一項常數(shù)項,且初始間隙比減小,使線性得到一定改善(4-2圖)2) 變面積式1 直線位移() O 為線性靈敏度=(4-3圖)2 角位移線性3) 變介電常數(shù)(P73)(5-2圖)(5-1圖)4)測量電路常用位于調(diào)制與解調(diào)電路(介電常數(shù)與環(huán)境溫度有關(guān),需在測量電路中進行溫度補償)四、電感傳感器電感傳感器是將非電量的位移、轉(zhuǎn)角、壓力、振動等轉(zhuǎn)換為電感的變化量接入電橋電路,再變?yōu)殡妷狠敵觥?.自感式(線圈式)(5-3圖)式中人W線圈匝數(shù);磁路的總磁阻(S)鐵芯銜鐵的磁阻空氣隙的磁阻(空氣的導磁系數(shù)
7、) 同理:可用差動式測量電路:調(diào)制和解調(diào)電路電感電壓(P70圖4-6)2.互感式(變壓器式)差動式將被測量轉(zhuǎn)換為線圈的互感變化量,內(nèi)兩個鐵芯和一個公用銜鐵組成。銜鐵偏差中心位置,單個次級線圈的感應電壓;銜鐵處于中心位置,單個次級線圈珠互感電壓;互感變化量。(P71圖4-7)測量電路:差動整流電路。五、磁電式傳感器用于測量轉(zhuǎn)速、振幅、位移、加速度、轉(zhuǎn)矩等物理量。1 線圈運動式1 直線位移(P75圖4-13a)感應電勢:式中:線圈運動方向與磁場方向的夾角;每匝導線線圈的長度;氣隙處磁感應強度(高斯);匝數(shù);線圈運動的線速度。2 施轉(zhuǎn)運動(P75圖4-13 b 用于測量轉(zhuǎn)角、測速) D線圈直徑2.鐵芯運動式(P76 圖4-14,用于測轉(zhuǎn)角,測速)式中:z匝數(shù)n的r/mm氣隙中最大磁通量感應電勢的頻率正比于被測轉(zhuǎn)速如匝數(shù)為z=60 ,則軸速表=頻率計為求系數(shù),加速度接入須分,積分電路,求出六、霍爾效應傳感器某半導體元件在垂直于共薄片上穿過磁力線B1-2通以控制電流3-4輸出電壓霍爾常數(shù)元件厚度磁電感應強度霍爾效應靈敏系數(shù)結(jié)構(gòu)簡單,噪聲小,頻響寬,非接解式位移、力、壓力、開關(guān)控制元件。.4-2 信號轉(zhuǎn)換與傳播傳感器輸出的是電阻、電感、電氣、信
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