光學(xué)零件加工

1、光學(xué)零件加工第1頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一粗磨下料精磨加工拋光工藝鍍膜工藝平凸透鏡的加工第2頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一（一）切割外圓玻璃切割機(jī)特點(diǎn)：切口平整性好，勞動(dòng)強(qiáng)度低，但是裝 夾費(fèi)事，尤其對(duì)切小塊料更顯得不便 操作步驟：開(kāi)電源開(kāi)液壓（使砂輪與玻璃塊的邊緣重合） 順時(shí)針旋轉(zhuǎn)手輪兩圈多三格按慢下直至砂輪的最低點(diǎn)到達(dá)玻璃快得中央時(shí)停止在按慢進(jìn)待切割完畢后按快上與快退再將上兩個(gè)步驟重復(fù)一次直至將玻璃切下取下玻璃塊、關(guān)液壓關(guān)電源一、毛坯加工粗磨下料第3頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一特 點(diǎn)：設(shè)備簡(jiǎn)單、不需要裝夾，但是勞動(dòng)

2、強(qiáng)度大，切口的平整性不好。 操作步驟：開(kāi)電源打開(kāi)水閥進(jìn)行切割關(guān)水閥關(guān)電源手工切割（簡(jiǎn)易切割機(jī)）第4頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一 （二）整 平 方法：手握工件，使其在鑄鐵研磨盤(pán)上沿橢圓形路線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)方向應(yīng)與磨盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的方向相反，同時(shí)加砂加水，研磨時(shí)需要多磨的地方應(yīng)加大壓力，如在凸出部、形快的厚端部或者讓需要多磨的部分在磨盤(pán)的邊緣部分停留的時(shí)間較長(zhǎng)些。 目地：磨平鋸切時(shí)留下的不平痕跡及破口 第5頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一二.粗磨加工（一）膠條： 按零件厚度方向膠成長(zhǎng)條 目地：塊料經(jīng)切割后具有一定形狀和大小的光學(xué)零件毛坯，利用磨料或磨具加工成具有

3、一定幾何形狀、尺寸精度和表面粗糙度的半成品光學(xué)零件。 步驟：先用刀口尺在工件上選擇一個(gè)平整面并將其放在直角形夾具的一個(gè)直角邊上，在該玻璃上涂上適量的光學(xué)粘膠將下一個(gè)工件的平整與那個(gè)直角面對(duì)齊且與下面的工件壓緊，每個(gè)直角形夾具最多放七個(gè)工件。最后在兩端加上保護(hù)玻璃。第6頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一（二）滾圓用手工方法將膠條磨去棱角再滾磨成圓柱，或裝在專(zhuān)用機(jī)床上直接按尺寸要求研磨目的：除去切割后的工件四周多余的部分，得到一個(gè)具有一定幾何尺寸的圓柱體。備注：滾圓機(jī)每小格為0.01mm，轉(zhuǎn)動(dòng)一大圈為1mm，所需的工件半徑為52mm。 步驟：將玻璃長(zhǎng)條裝夾在滾圓機(jī)啊打開(kāi)電源按液

4、壓?jiǎn)?dòng)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)手輪轉(zhuǎn)動(dòng)五格按下工進(jìn)完成一次后按返回再將上兩個(gè)步驟不斷重復(fù)，期間用游標(biāo)卡尺不斷測(cè)量工件半徑使其滿(mǎn)足要求卸下玻璃長(zhǎng)條關(guān)液壓及電源第7頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一（三）開(kāi)球面將滾圓后的毛坯磨出球面形狀銑磨機(jī)磨削原理：采用斜截圓原理，用筒形金剛石磨輪在球面銑磨機(jī)上加工零件 優(yōu)點(diǎn)：效率高，開(kāi)的球面正，表面粗糙程度好，勞動(dòng)強(qiáng)度小缺點(diǎn)：不易調(diào)節(jié)球面半徑達(dá)到要求手工磨削 步驟及總結(jié)：用100的金剛砂將銑磨機(jī)開(kāi)過(guò)的半成品球面完成。從邊緣將工件放入，沿磨具旋轉(zhuǎn)的反方向轉(zhuǎn)動(dòng)工件，利用手腕運(yùn)動(dòng)，不要使用太大的力氣。磨削一段時(shí)間后，食指固定住工件的中央讓工件順著磨具轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)小

5、角度后在一次進(jìn)行方向轉(zhuǎn)動(dòng)并多次重復(fù)該步驟優(yōu)點(diǎn)：可以達(dá)到任何工件要求缺點(diǎn)：勞動(dòng)強(qiáng)度大，效率低第8頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一（四）粗磨 先使用100#砂研磨，研磨到一定程度后再使用280#砂研磨以達(dá)到大致要求注意：當(dāng)磨削及的轉(zhuǎn)速越快或者砂粒越粗時(shí)，要多加水；按住工件的力度不能太大第9頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一精磨加工 古典法精磨：用散粒磨料細(xì)磨時(shí)，磨料在研磨磨具和零件之間處于松散的自由狀態(tài)，借助細(xì)磨所加壓力，通過(guò)模具、模料和零件之間的相互運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)零件表面成型目的第10頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一散粒磨料細(xì)磨技術(shù)的關(guān)

6、鍵細(xì)磨磨具的的面形精度研磨的速度壓力的調(diào)整第11頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一精磨注意事項(xiàng)精磨前調(diào)整零件軸線(xiàn)與機(jī)床主軸軸線(xiàn)重合，對(duì)于面形精度越高的零件來(lái)說(shuō)，同軸度要求越高精磨非球面時(shí)，一般先修磨非球面度最大、帶寬最寬的部位，此時(shí)盡可能地減少磨和球面接近的部位可以保持曲面平滑第12頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一精磨加工的過(guò)程根據(jù)被加工的零件的技術(shù)要求和鏡盤(pán)大小選擇機(jī)床，一般機(jī)床可加工的最大鏡盤(pán)尺寸按平面鏡盤(pán)計(jì)算，球面鏡盤(pán)應(yīng)進(jìn)行換算。決定機(jī)床轉(zhuǎn)速、三腳架擺幅、鐵筆的前后位置和高低。將鏡盤(pán)或模具裝在機(jī)床主軸。在下盤(pán)上均勻涂抹些磨料將，放上鏡盤(pán)，手推動(dòng)幾

7、下，使其分布均勻。然后手扶鐵筆，架至上盤(pán)支撐孔內(nèi)，開(kāi)動(dòng)機(jī)器鏡盤(pán)和模具研合后，可再鐵筆上增加荷重以加快研磨速度清洗鏡盤(pán)。檢驗(yàn)無(wú)砂眼和擦痕再換用第二道磨料檢查細(xì)磨質(zhì)量，合格后送往拋光第13頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一拋光工藝 拋光是加工工藝中最關(guān)鍵的工序，對(duì)零件的基本技術(shù)要求N和N、表面粗糙度等要求都是在這一工序得到保證。 拋光的目的:：一是去除精磨的破壞層，達(dá)到規(guī)定的表面質(zhì)量要求；二是精修頁(yè)型，達(dá)到圖紙要求的光圈和局部光圈，最后形成透明規(guī)則的表面第14頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一影響拋光工藝的因素拋光機(jī)轉(zhuǎn)速工件所受的壓力拋光模的面形情況拋光粉的

8、質(zhì)量第15頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一拋光粉的作用其一是以?huà)伖鈩╊w粒的堅(jiān)硬特性，在模具和機(jī)床的作用下，對(duì)玻璃表面的硅膠層進(jìn)行微小的切削玻璃被去除，并使玻璃露出新表面，進(jìn)而得以水解其二是以?huà)伖鈩╊w粒表面的吸附特征，使硅膠層以分子級(jí)程度被拋光劑吸附而剝落。第16頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一樣板檢驗(yàn) 被檢驗(yàn)光學(xué)表面相對(duì)于參考光學(xué)表面的偏差稱(chēng)面形偏差。通常，在光學(xué)加工中，光學(xué)零件的面形偏差是通過(guò)與樣板參考表面比較而鑒別出來(lái)的。若兩者的面形(球面或平面)不一致，存在微小誤差時(shí)，就形成一個(gè)楔形空氣隙，類(lèi)似一個(gè)薄膜，從而產(chǎn)生薄膜干涉現(xiàn)象，如圖63(a)所示

9、。若用單色光源，空氣隙呈環(huán)形對(duì)稱(chēng)時(shí)，則產(chǎn)生明暗相間的同心圓干涉環(huán)，用白光照射產(chǎn)生彩色圓環(huán)。這些圓環(huán)稱(chēng)作光圈，又叫牛頓環(huán)。光學(xué)零件面形偏差是在圓形檢驗(yàn)范圍內(nèi)，通過(guò)垂直位置所觀(guān)察到的光圈數(shù)目、形狀、變化和顏色來(lái)確定的，并且面形誤差用光圈數(shù)表示，所以，樣板檢驗(yàn)亦稱(chēng)“光圈檢驗(yàn)”第17頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一拋光操作過(guò)程檢查拋光模的面形情況是否合格，不合格的研磨至要求方可使用將拋光模在5060溫水中燙一下，在拋光模面上涂上拋光液，覆蓋在鏡面上，用手推動(dòng)幾下，使之均勻。放下鐵筆，開(kāi)動(dòng)機(jī)床，開(kāi)始拋光。拋光一段時(shí)間后，應(yīng)檢查表面質(zhì)量和面形，若磨點(diǎn)、砂眼去除均勻，則拋光應(yīng)繼續(xù)進(jìn)行。

10、若光圈過(guò)高，過(guò)低則隨時(shí)調(diào)整有關(guān)工藝參數(shù)以控制光圈變化。當(dāng)工件表面光圈合格后，然后洗凈工件拋光面并擦干再涂保護(hù)漆，待保護(hù)漆烤干后即可下盤(pán)。冷卻之后用汽油，酒精洗凈工件即可。第18頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一鍍膜工藝 鍍膜工藝是用不同的材料在基片表面形成新表面的方法，鍍膜方法有真空蒸發(fā)、真空濺射、化學(xué)還原、溶膠凝膠等 鍍膜的作用：控制光線(xiàn)，保護(hù)光學(xué)零件表面第19頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一鍍膜的目的美觀(guān)減少反射增加光學(xué)系統(tǒng)的透射率提高影像的清晰度提高附加價(jià)值第20頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一光學(xué)薄膜的種類(lèi)增透膜 降低光學(xué)

11、零件表面對(duì)指定波段光線(xiàn)的反射，從而增加光學(xué)組件的透光率增反膜使指定波段的光線(xiàn)在膜層上大部分接近全部反射回去，增加光學(xué)表面反射率分束膜將投射到膜層的光能量按照一定的比例反射和折射出去濾光膜保護(hù)膜導(dǎo)電膜第21頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一光學(xué)薄膜在光學(xué)系統(tǒng)的作用提高光學(xué)效率，減少雜光實(shí)現(xiàn)光線(xiàn)的調(diào)整和再分配通過(guò)對(duì)波長(zhǎng)的選擇性使透過(guò)率提高第22頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一膜層厚度的控制目測(cè)法：根據(jù)不同厚度反射的光線(xiàn)亮度不一樣判斷鍍膜的厚度光電法：光線(xiàn)照射到工件表面，反射和透射的光被傳感器接收，轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，從而根據(jù)電信號(hào)判斷厚度晶振法：監(jiān)測(cè)晶振片的振動(dòng)

12、頻率，根據(jù)厚度與頻率的變化計(jì)算當(dāng)前厚度第23頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一鍍膜工藝的過(guò)程一、開(kāi)機(jī)前準(zhǔn)備 檢查水、電、氣。依次接通總水源、總氣源、總電源。 其中水壓0.20.25MPa，水溫20，電：總功率約50KW，220V/380V，50HZ。 氣：氣壓0.5Mpa。第24頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一二、開(kāi)機(jī)打開(kāi)總電源開(kāi)關(guān)(總電源信號(hào)燈亮）真空自動(dòng)開(kāi)機(jī)。擴(kuò)散泵溫度必須大于250（約預(yù)熱1小時(shí)）。打開(kāi)高壓電源及高壓開(kāi)關(guān)，氧氣閥打開(kāi)，氧氣總壓力必須大于2MPa，氧氣輸出壓力控制閥必須小于0.5MPa（一般在0.2MPa左右）。打開(kāi)監(jiān)控系統(tǒng)電源，打

13、開(kāi)坩堝電源。三、裝工件達(dá)到裝工件要求時(shí)，將工件按照要求放到鍍膜室里面待鍍膜第25頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一四、抽真空以上步驟完成后，關(guān)上鍍膜室門(mén)，進(jìn)行抽真空工序五、烘烤當(dāng)真空度達(dá)到低真空（低真空信號(hào)燈亮，真空度為3.0E-0）方可開(kāi)烘烤，同時(shí)真空鍍必須高于10-2Pa。按下按鈕烘烤1烘烤2烘烤3工轉(zhuǎn)（工轉(zhuǎn)的電壓為1V，烘烤溫度達(dá)到設(shè)定值320時(shí).必須穩(wěn)定10分鐘。）六、轟擊待烘烤完畢后，打開(kāi)Ar源，實(shí)施轟擊，進(jìn)一步洗凈工件表面第26頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一七、預(yù)熔真空度達(dá)到高真空時(shí)，坩堝轉(zhuǎn)換到手動(dòng)打下控制開(kāi)關(guān)自動(dòng)手動(dòng)。電子槍轉(zhuǎn)換到手動(dòng)打

14、下控制開(kāi)關(guān)EXTINT。打開(kāi)外控選擇按鈕ACCFIL。融料時(shí)需注意事項(xiàng)：1、擋板是否在關(guān)閉狀態(tài)。電子槍功率逐漸上升，要高于鍍膜時(shí)的設(shè)定值。2、高功率時(shí)電子槍斑點(diǎn)不可在坩堝邊上融料。3、高功率時(shí)電子槍斑點(diǎn)不可過(guò)小，融好后需在坩堝中心位置停留10秒。融完后按下外控按鈕OFF。電子槍轉(zhuǎn)換到自動(dòng)INTEXT，同時(shí)EMNSCAMPOS轉(zhuǎn)換到自動(dòng)。坩堝轉(zhuǎn)換到自動(dòng)手動(dòng)自動(dòng)。第27頁(yè)，共30頁(yè)，2022年，5月20日，4點(diǎn)2分，星期一八、鍍膜（滿(mǎn)足以上條件及檢查后方可進(jìn)行以下步驟）按下監(jiān)控按鈕STOPRESETSTART蒸鍍時(shí)須注意坩堝的轉(zhuǎn)換是否與制程相對(duì)應(yīng)，是否轉(zhuǎn)換到為，電子槍的功率與斑點(diǎn)是否有浮動(dòng)，及斑點(diǎn)位置是否在坩堝中心位置。同時(shí)要觀(guān)察蒸鍍時(shí)的速率、電流大小；氧氣的流量。九、起件蒸鍍完成后先關(guān)電子槍外控按鈕OFF；工轉(zhuǎn)電流調(diào)到0.5V進(jìn)行2分鐘烘烤，關(guān)烘烤1烘烤2烘烤3。工轉(zhuǎn)調(diào)到0.5V。烘烤溫度必須低于280方可開(kāi)門(mén)，按取件進(jìn)行泄氣開(kāi)室門(mén)，然后取出卡傘進(jìn)行清潔、添加材料進(jìn)行下次蒸鍍，從打開(kāi)室門(mén)到關(guān)門(mén)時(shí)間為