電子廠靜電防護管理程序

1、電子廠靜電防護管理程序編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第2頁共26頁1.0目的1.1建立一個良好的ESD控制工作環(huán)境，減少或消除 ESD對電性產品的破壞。1.2提高產品在客戶端的信賴性，維護公司在客戶端的信譽，保證產品的品質。1.3維護公司員工的身體健康。2.0范圍適用于 XXX事業(yè)部，保護 ESD敏感性電子元件及產品之全過程，具體包括材料或產品之來料檢查、制造、測試、組裝、包裝、檢查、運輸及存儲等。3.0權責3.1工程部：負責公司 ESD控制之技術標準的建立，并針對重大ESD事件進行追蹤，同時提出改善措施, 負責員工的 ESD培訓。3.2質量部：負責對 ESD控制之執(zhí)行

2、品質進行督導及稽核。3.3計劃部：負責在倉儲期間及發(fā)料過程對ESD敏感性元器件進行重點防護以及防靜電輔材（中編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第3頁共26頁規(guī)定 ) 的來料檢查與管控。3.4生產部：負責 ESD控制標準的執(zhí)行及日常點檢與測量。3.5企管部：負責安排ESD人員培訓和認證考核，及相關資料歸檔。4.0參考文件4.1 ANSI/ESD S20.20-20074.2 IEC 613404.3 ANSI/EIA-6255.0定義及相關術語5.1 ESD（Electrostatic Discharge）：靜電放電由于電子不均勻分布使電荷在不同電位物體間相互轉移的現象。5.

3、2 EOS（Electrical Over Stress） : 電壓過應力即當外加電壓超過零件所能承受的電壓范圍時，造成零件的崩潰。5.3導電材料：材料表面電阻率低于1.0 x10 5/SQ或體電阻系數低于1.0 x10 5/CM的材料。編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第4頁共26頁5.4 絕緣材料：材質表面阻值至少是 1.0 x10 12/SQ 或電阻系數至少是 1.0 x10 12/CM的材料。5.5靜電耗散材料：一個材料其表面電阻率大于1.0 x10 6/SQ，小于 1.0 x10 9/SQ.（如防靜電手套、 防靜電工作臺等）。5.6 抗靜電材料：指表面電阻率大于

4、1.0 x10 9/SQ, 小于 1.0 x10 11 /SQ 的材質。5.7 CPG（Common Ground Point）共同接地點5.8 EPA（ESD Protected Area ）靜電防護區(qū)域5.9 ESD 接地：靜電充電物（人）經由匯流排、金屬支板或系統(tǒng)傳導至地面。5.10 設備接地：從電子設備到硬接地電極之低阻抗路徑。6.0流程圖靜電防護管理程序流程圖7.0內容7.1長城電腦電源事業(yè)部ESD組織結構編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第5頁共26頁主要職責解決本公司重要的ESD事件，對 ESD執(zhí)行進行技術性指導。每月對本公司ESD 控制環(huán)境進行考核評估。按國

5、際標準和客戶要求，保證ESD防護設施的導入。定期對本公司員工進行 ESD教育訓練和考核，加強員工的 ESD意識。組織結構管控區(qū)域分布組織圖編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第6頁共26頁7.2 ESD 教育培訓所有從事處理或接觸靜電敏感器件的工作人員，都必須接收ESD培訓，并經檢定考試合格者方可從事該項工作。認證共分為 A,B,C 三級A 級- 公司培訓講師，稽核員及各工作區(qū)主管級以上干部皆屬之。B 級- 工作區(qū)之工程師，技術員，領班，線組長，QC人員需具備之。C級- 一般作業(yè)人員及新進人員。培訓計劃的安排及每次個人培訓檔案的收集，匯總將由企管部做統(tǒng)一統(tǒng)籌。重新培訓認證：凡

6、經認定為認證資格已失效編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第7頁共26頁者（違反 ESD規(guī)定二次以上者）及所有人員每年都必須接收一次重新培訓及認證（公司內部講師每年不需要重新受訓一次）7.3 ESD、設備接地之要求靜電 ESD接地采用 2mm*4cm的扁鐵埋入地表面以下 0.8m 深度，接地極與接地線必須用高溫熔接保2證電性連接良好，且用50mm的電線接出引至廠房各控2制區(qū)域，再用 6mm的電線連接至各線體；設備接地線由三相五線制的保護地線引出，連接至各區(qū)域線體作為設備接地使用，起到雙重接地保護作用。為確保人員的安全性，車間設備地線必須為獨立，不可與ESD地線共用。工程部ME

7、組技術員須每2半年對廠區(qū)設備地進行全規(guī)模檢測，用一根6m 電纜線一端牢固接在廠房配電箱主設備地，一端接在萬用表一端，萬用表另一端接在各線體設備地末端進行檢測，此時用萬用表 “”檔位進行測量， 測量阻值應 4；ESD2接地需 ME技術員每半年檢查一次， 用一根 6m 電纜線一端牢固接在靜電接地主線，一端接在萬用表一端，萬用編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第8頁共26頁表的另一端接在各線體ESD接地末端檢測點進行檢測，此時用萬用表“ ”檔位進行測量，測量阻值應10。檢測結果記錄于接地線點檢記錄表中。生產線的 ESD、設備接地末端接地電阻均需小于 10，此設備接地與 ESD接地

8、狀況的檢測由使用部門各負責人每月自行測量一次，并分別記錄于 ESD接地檢測記錄和設備接地檢測記錄中。為避免ESD/EOS的發(fā)生，所有設備AI/RI/SMD ，加工成型機、測試設備、錫爐、烙鐵電動起子等）請一律使用美式或歐式三芯電源插頭，確保設備工具良好接地，同時，為了確保設備的接地可靠性與避免 EOS的發(fā)生，所有的帶電儀器設備與電動治工具都需連接設備接地線。所有測試治具（ ICT、INT 與保護站）需采用抗靜電材料如電木制成，外加工治具一律用防靜電或抗靜電材料制成，且機臺需做好接地處理。接地主線尾端需貼ESD共同接地測試點標簽見標識圖 C。編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序

9、第9頁共26頁7.4 ESD 防護區(qū)域及 ESD防護工作站要求防護區(qū)域的要求：凡是有對半導體材料進行存放、加工、組裝、包裝與檢驗的區(qū)域均為ESD防護區(qū)域，包括： IQC、IC 倉、 AI 、HI、T/H 段、組裝段與維修站等。防護區(qū)域內如有鋪設導電地板， 其接地阻抗需保持在2.5x10 4/SQ 至 1.0 x10 6/SQ 之間；且需每月對其進行清潔及檢測，并落實填寫記錄于導電地板檢測記錄表上。所有人員（包括間接人員、來賓）進入鋪設導電地板之 ESD防護區(qū)時，必須穿靜電鞋，且經檢測合格后，方可進入。所有人員（包括間接人員、 來賓）進入 ESD防護區(qū)時應依靜電環(huán)點檢說明書自覺點檢，并落實填寫點

10、檢記錄表。為避免檢測儀器不良引起人員誤測，故各部門負責人應每日對儀器進行檢查，使其處于設備良好狀態(tài)。（如接法是否良好，電量是否足夠）編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第10頁共 26頁所有人員進入生產線之ESD管制區(qū)域時頭發(fā)過肩的人員必須將其放入靜電帽內，頭發(fā)過腰的人員可將頭發(fā)盤起或放入靜電衣內，否則嚴禁進入生產區(qū)。所有需穿靜電衣的人員（包括間接人員、廠商及參觀者）在穿靜電衣時其袖子嚴禁挽起，靜電衣之扣子或拉鏈必須系好，且所穿的便裝之衣領/ 衣帽嚴禁外露。靜電衣清洗時需使用小于30的中性水配合中性洗潔劑輕揉后晾干即可；其標準阻抗值為106109之間；需每月抽檢一次并記錄于

11、靜電衣檢測記錄上。防護工作站要求：防護工作站指 ESD防護區(qū)域內所有具有防靜電功效之工作站。安全工作站之靜電環(huán)、靜電桌墊接地方式必須并聯，絕不能串聯于ESD主線上。且必須接到ESD接地線上，不可夾在設備接地線或各種被誤認為已接地設備上。編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第11頁共 26頁靜電桌墊需經串聯1M電阻的接地扣接至 ESD地，而非設備地；且接地采用之鱷魚夾與香蕉插頭不能混合使用。防靜電桌墊需每月進行點檢一次，貼點檢標簽如標識圖D，并將檢測結果記錄于防靜電桌墊點檢記錄中；標簽應橫向貼在工作臺靠近靜電接地扣處。公司所有新購之防靜電輔材（防/ 抗靜電袋、靜電手腕帶、 靜電

12、手套、靜電衣 / 鞋/ 帽、導電桌墊、靜電車、靜電盒 / 箱/ 框、 PCB掛籃、靜電泡棉、靜電毛刷、導電鑷子、防靜電溶劑瓶等）進廠或鋪設時，必須經由倉庫 ESD人員對來料進行抽檢（抽檢比例：樣品數N100時，抽檢 20%；100N500時，抽檢 10%；N500時, 抽檢 5%）, 待檢驗合格后， 方可導入使用，檢測報告記錄于防靜電材料來料檢測記錄表中，且所有防靜電材料在使用前由各使用部門負責全檢。靜電安全工作站30cm 以內的所有物體、材料表面及人體所帶靜電量 （即放電模式）應小于 100V。對于生產線上具有靜電發(fā)生源之工位編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第12頁共

13、26頁（如：撕貼膠紙、 HI 處物料之絕緣包裝盒）等，應增設離子風扇有效中和靜電。針對已組裝好外殼的成品所進行的操作，原則上操作人員不需要佩戴靜電環(huán)；但針對個別使用高靜電物料的工位（如包裝塑料袋等），需要用離子風機對吹，以消除靜電。離子風機每班巡檢一次，結果記錄于離子風扇巡檢記錄表中；領班應每周對離子風機平衡電壓進行檢測， 平衡電壓應小于100V，檢測結果記錄于離子風機平衡電壓測試記錄表中，同時，為保證離子風扇使用之可靠性應每兩個月進行一次校準，校準結果記錄于離子風扇校準記錄表中。工作站使用之測試治具、電動工具需每班在上班前對其進行設備接地電阻及EOS對地電壓檢測，結果分別記錄于 EOS檢測記

14、錄表及機器設備 / 電動治工具接地檢測記錄表中。7.5工作現場 ESD之要求靜電環(huán)佩戴須知作業(yè)員在作業(yè)時必須依MOI要求佩戴靜電編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第13頁共 26頁環(huán)、靜電手套或靜電手指套，且靜電環(huán)腕帶之金屬片必須與手腕皮膚緊密接觸，不可松脫或套于衣袖上。為確保 1M電阻之有效性，嚴禁用力拉扯靜電環(huán)的導線。所有人員（含間接人員、流動員）接觸 ESD敏感性零組件時均須佩戴靜電環(huán)，且靜電環(huán)須處于接地良好狀態(tài)。所有人員每日上班前應主動檢測靜電環(huán)/ 鞋接地狀況，每日點檢兩次，加班需另進行點檢一次，點檢完畢后如實記錄點檢結果于 靜電環(huán)點檢記錄 和靜電鞋點檢記錄上，且由

15、各區(qū)域線長或區(qū)域ESD負責人簽字確認；如點檢失敗，應及時找線長更換新的靜電環(huán)，并重新點檢合格方可上線作業(yè)。使用靜電環(huán)自動測試儀的工位，采用自主點檢和線長檢查的方式，自主點檢方法為：不戴靜電環(huán)，打開電源開關，此時測試儀上紅燈亮，蜂鳴器叫；佩戴靜電環(huán)后，只有綠燈亮。以上測試結果符合，表示靜電環(huán)自動測試儀處于良好的實時監(jiān)控狀態(tài)，人員可靠接編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第14頁共 26頁地。每日三次（上午、下午、晚上）需要點檢，員工在自主點檢的同時，線長進行確認，并填寫靜電環(huán)點檢記錄。未使用靜電環(huán)自動測試儀的工位，由線長使用靜電環(huán)測試儀器逐工位進行點檢，點檢方法為：先將靜電環(huán)測

16、試儀器的接地線接地，讓員工用手觸摸靜電環(huán)測試儀器的金屬面蓋，如綠色燈持續(xù)亮，表示人員可靠接地；其它燈亮表示接地不良。線長對點檢結果作記錄并填寫靜電環(huán)點檢記錄。對于操作靜電敏感性零組件之工位除以上點檢外還應：所有 ESD敏感零組件，應使用防靜電盒/框或防靜電容器盛裝。取放 ESD敏感零件時，請使用防靜電手套鑷子進行操作；對 PCB清潔時必須使用防靜電刷方可；裝 PCB清洗溶劑所使用的容器必須為防靜電容器；以上使用之治工具需每月對其 ESD 功能進行檢測并記錄于ESD治工具點檢記錄。編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第15頁共 26頁防靜電盒 / 防靜電桌墊等各種ESD材料上必

17、須有 ESD點檢標簽存在。工作臺上嚴禁張貼膠帶或防止普通塑料盒、塑料袋等絕緣材料；生產線使用的絕緣廢棄物應及時清掃處理。7.6 ESD 敏感性材料之來料檢驗、包裝、儲存、運輸搬運過程中 ESD控制要求所有 ESD敏感材料或產品在靜電防護區(qū)域外應完好封裝于靜電屏蔽IC 管或靜電屏蔽袋內，不可打開包裝；不能使用易產生靜電和放電的物質進行包裝和儲存。敏感器件來料檢驗之ESD控制要求：檢驗靜電敏感器件的人員必須佩戴靜電環(huán)，并由組長用靜電環(huán)測試儀器測試，每日三次（上午、下午、晚上加班），并填寫靜電環(huán)點檢記錄。檢驗治工具和設備 ( 電烙鐵、電批等 ) 必須接地，并用萬用表測試其接地電阻及EOS電壓，每日三

18、次（上午、下午、晚上加班），接地電阻要小于10，編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第16頁共 26頁EOS電壓要小于 0.3V,并填寫EOS檢測記錄表與機器設備 / 電動治工具接地檢測記錄表。檢驗靜電敏感器件如有接觸 IC、晶體管及PCB板時要戴防靜電手套，防止手汗中的有機物氧化元器件、 PCB板等。敏感性材料之包裝過程中ESD控制要求：敏感元件的包裝材料應為抗靜電或靜電消散材質，包裝好的 ESD敏感材料其靜電盒（袋）應處于密封狀態(tài)，同時包裝上應有靜電敏感性標識。拆裝過后的散裝 ESD敏感材料需放于密閉的靜電料袋（ IC 管）內，不能放于普通塑料容器或保麗龍容器中。敏感材料

19、在進行包裝時，應排列整齊，不能堆積擺放， 不允許有產生靜電的材料 （泡沫、尼龍、帶狀物等）在包裝袋中。本廠常見的防靜電包裝容器及其要求：抗靜電（抗強化液處理） IC 管、 IC 料盤、料盒、零件袋及靜電箱（通常為黑色、銀灰色）編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第17頁共 26頁靜電屏蔽袋的表面電阻率在106 1011 /Square 之間。靜電消散搬運箱表面電阻率需在106109/Square 之間。導電料盒 / 隔板表面阻抗需在106109/Square 之間則有效。導電容器需有靜電防護標簽做有效管控，且需每三個月進行全檢一次，并填寫導電容器檢測記錄。敏感性材料儲存過程中

20、的ESD控制要求：存放靜電敏感性材料的倉庫，需用溫濕度計進行監(jiān)控，檢查溫度應在 5-28 度，濕度應在 40%-75%，每兩小時記錄一次 (8:20-22:20）, 并填寫庫房溫濕度記錄表。公司 ESD產品進行存放，應使用石墨型褐色導電盒 / 箱/ 隔板；其有廠商提供之品質證明，具有永久性防靜電之功能。存放 ESD敏感材料所使用之固定或移動編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第18頁共 26頁的物料架須具備良好接地（如：使用接地鏈或導電輪）對與晶體管、IC 等具有 ESD敏感之電子零件均需作好 ESD防護動作（如擺放時的物料架鋪設防靜電桌墊）。敏感性材料運輸搬運過程中ESD控

21、制要求：靜電敏感性材料的運輸，必須使用用防靜電包裝袋或防靜電料盒盛裝，防靜電料盒必須每季度點檢一次 ,使用表面阻抗測試儀， 表面阻抗為 106109，點檢結果記錄在標簽上并粘貼在對應的料盒上，并填寫導電容器檢測記錄。所有 ESD 敏感材料或產品必須用防靜電（導電）車來運送。導電車接地阻抗正常在106 109/ SQ之間，需每月檢測一次貼上點檢標簽并記錄于到電車檢測記錄表或須有廠商提供材質的有效性證明，以作時間管制。推車上之產品盡可能不要重疊放置，如需編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第19頁共 26頁重疊放置時，層與層之間須使用靜電隔板隔開。推車進入非 ESD區(qū)域進行產品零

22、件的運輸時，需使用靜電防護罩（袋）做屏蔽。在使用普通紙箱包裝、儲存、運輸搬運ESD敏感性材料時，箱內需設置防靜電防護（如鋪設抗靜電袋、靜電泡棉及靜電隔板）。所有人員在發(fā)料、點料、配料、包裝及取放ESD敏感性材料時均須佩戴靜電環(huán)并確保良好接地；在使用修理料時 ESD敏感性材料應放于抗靜電料盒內。 7.7 標識靜電警示標簽說明：圖A為靜電敏SusceptibilitySymbol）, 主要用于感標識（ESDESD敏感元件之外包裝及 ESD敏感區(qū)。圖 B 為靜電防護標識（ESD Protective編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第20頁共 26頁Symbol），用于靜電安全區(qū)

23、域或ESD安全工作站。圖 C 為 ESD共同接地測試點（ ESDCommonGround Point Symbol），用于 ESD接地線末端。圖 D 為 ESD點檢標簽，使用作為各種ESD材料檢測標識；標簽日期的填寫格式需均為：XX年 XX月 XX 日，標簽統(tǒng)一為淺藍色底紙制作，并貼于 ESD材料之顯眼處。圖 E 為靜電敏感區(qū)標識（ESDSusceptible Area Symbol ）, 主要用于全廠各 ESD敏感區(qū)域。注意標識應明確標識于 ESD防護區(qū)及工作站告知所有進入人員；一般視力下標識應在1 米內可讀見。在 ESD敏感性零組件作業(yè)工位上，其防靜電零件盒和防靜電盒 / 板、晶體元件之料

24、盒及MOI 上都應由靜電敏感性標識。7.8各種元器件的靜電敏感度（以人體模型HBM為例）編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第21頁共 26頁7.9稽核每月內部稽核稽核小組分別由AI 、生產部、工程維修、售后、 IC 倉庫、質量部 &IQC與 DQA各派一員組成，且ESD稽核人員須經培訓考核并有ESD稽核經驗?；藭r依據稽核計劃進行，稽核項目依ESD內部稽核查檢表為參考依據。對稽核不符合項目由ESD Team發(fā)出稽核不符合項目報告，請各責任部門及時提出整改措施，最后由部門 ESD負責人報告，存檔保存。對 ESD稽核過程中發(fā)現因人為因素違反ESD規(guī)定者，將按員工獎懲管理辦法對其責任人進行處罰。7.10 ESD 規(guī)劃項種檢測檢測責任標準范圍編 號 : WI-ED-001版本:B靜電防護管理程序第22頁共 26頁目類周期人萬用表測靜電環(huán)內1靜電環(huán)每天所有人員阻： 1.0M10%人體綜合測試儀：750K10M2靜電鞋每天所有人員750K35M3離子風每天領班 / 全 是否按文件要求正機巡檢能員常使用離子風領班/ 全4扇平衡每周平衡電壓：100V能員電壓5離子風每兩工程部 ME衰減時間： 3s機校準月平衡電壓： 50V6EOS測量每天領班/ 全EOS電壓：