SJ 21257-2018 離子束濺射鍍膜設備通用規(guī)范

1、S一I中華人民共和國 電子行業(yè)標準FL 6190SJ 21257-2018離子束濺射鍍膜設備通用規(guī)范General specification for ion beam film sputtering equipment2018-05-01 實施2018-01 -18 2018-05-01 實施國家國防科技工業(yè)局 發(fā) 布SJ 21257-2018SJ 21257-2018SJ 21257-2018SJ 21257-2018本規(guī)范由中國電子科技集團公司提出。本規(guī)范由工業(yè)和信息化部電子第四研究院歸口。本規(guī)范起草單位：中國電子科技集團公司第四十八研究所。SJ 21257-2018SJ 21257-2

2、018 范圍離子束濺射鍍膜設備通用規(guī)范2規(guī)范性引用文件3要求設備的長度應不大于3.5鈕顏本規(guī)范規(guī)定了離子束濺射鍍膜設備的通用要求、質量保證規(guī)定、交貨準備。 本規(guī)范適用于離子束濺射鍍膜設備（以下簡稱設備）的設計、生產、檢驗和驗收。潔凈度測量3引用而成為本規(guī)范關0101$；31防揭子和電下列文件中_款 修改單（不包含渡i 是否可使用芨GB/T W1 GB2 GB/ G G G3. 1外形F除合同3.2顏色 3. 2. 1指示燈設備指示燈的1或修訂版均不適用于本規(guī)范，然日期的引用文件室及相關憂_境第1部分:錯發(fā)射和敏感度i備件包裝規(guī)范的引用文件，其隨后所有的 規(guī)范達成協(xié)議的各方研究 于本規(guī)范。H、大

3、于2.2 m。顏色含義00 * 1 J IX 零w操作人員的操作紅緊急故障狀況立即對危險狀態(tài)進行處理黃異常異常監(jiān)視/干預綠正常正常狀況正常操作注：表中顏色、含義、說明及操作人員的操作符合GB/T4025-2010的規(guī)定。表2設備按鈕的顏色及其含義顏色含義說明應用示例紅緊急危險或應急情況下的動作緊急停止黃異常異常情況下的動作對抑制異常狀況采取行動重新啟動己中斷了的自動循環(huán)綠安全為安全或為正常狀況作準備的動作藍指令性需要采取動作的狀況復位功能注：表中顏色、含義、說明及應用示例符合GB/T 4025-2010的規(guī)定。2. 2導線顏色設備動力線導線顏色、設備電氣裝配內部導線顏色及其含義宜分別采用表3和

4、表4規(guī)定的顏色。表3動力線導線顏色及其含義導線顏色含義黃色交流三相電路的A相綠色交流三相電路的B相紅色交流三相電路的C相，交流單相電路的火線淺藍色交流單相、三相電路的零線黃綠雙色安全接地用線表4設備電氣裝配內部導線顏色及其含義導線顏色含義紅色交流單相電路的火線、交流三相電路的C相、控制電路火線、電子管板極、簾柵極黃色交流三相電路的A相綠色交流三相電路的B相、電子管燈絲黑色單相交流電路的零線、控制電路零線、三相交流電路零線棕色開關電源正極輸出端、電子管柵極，電源線（5V+端、12V+端、24V+端等）藍色開關電源負極輸出端、負電壓、電子管陰極，電源線（5V-端、12V-端、24V-端等）白色信號

5、線、無指定用色的半導體電路黃綠雙色地線3.3外觀質量設備的外觀質量應符合下列要求：a）設備表面平整，無碰撞痕跡，無銹蝕、霉斑、污跡；b）塑料件無起泡、開裂、變形；c）結構件與控制件完整、無機械損傷；d）各種標識清晰完好；e）設備的鍍涂層平整、光潔、顏色一致，無剝落、表面劃傷、斑紋及其他明顯缺陷。3.4標志4.1設備銘牌設備應在適當位置裝有清晰、耐久的銘牌，銘牌中應注明的內容有：a）設備型號和名稱；b）制造編號（或出廠日期）或生產批次或代碼；c）設備額定電壓、電流、功率等；d）設備外形尺寸和重量；e）承制方名稱、代號或商標。4. 2零件、部件和導線標志設備的零件、部件和導線標志應符合下列要求:a

6、）設備的所有接線柱、接線板、插頭座、接插件、線纜及它們的連接點、端頭等加以標記；b）設備的所有控制裝置和檢測裝置近旁，有表示用途（如“接通”、“斷開”等）的清晰標記或 圖形符號；c）設備導線兩端應采用塑料套管并印上相應的導線編號，并應與電路圖一致。3.4.3安全標志設備的安全標志應符合下列要ja）安全標志圖形含Jb）設備的特殊目的標牌，固定在易于看到的地自動控制等計;設備的用途、壽命特費用等因素來確定。列可繼行簡化備性求、童要質rrw度、所處蚌墻、保障條件、m性設計要求:萬法及備件;方。 3.5設備的安全標志應符合下列要ja）安全標志圖形含Jb）設備的特殊目的標牌，固定在易于看到的地自動控制等

7、計;設備的用途、壽命特費用等因素來確定。列可繼行簡化備性求、童要質rrw度、所處蚌墻、保障條件、m性設計要求:萬法及備件;方。 3.5設計與結3. 5. 1功能i設備應a)b)3. 5. 2 設a)b)c)d)3. 5. 3維慢性設備應遵載獲取、離籠濺射、工藝參類塊化設計、計等相提下，盡钃 纖的種_:指_應在產品規(guī)范或合同中規(guī)定，可靠性定量指標設備裝、更維修時所用盡量采用標準件5電磁兼容性設計設備應遵循下列電磁兼容性設計要求:a)b)c)3.5.4讀寸圈、陶瓷件等易損件和易失效要維護的部件，應便于拆修理和規(guī)定的保養(yǎng);a）設備的接地、搭接和屏蔽設計應符合相關要求；b）電源線與信號線、輸入與輸出線

8、分開，不接在同一線束或同一連接器中;c）敏感電路的電源線有濾波措施。5.5軟件設計軟件設計一般應遵循下列要求:a）測試性設計：具備功能測試能力，設計有測試界面，實時顯示設備狀態(tài)。b）安全性設計：1）軟件設計互鎖、切斷硬件控制線路等安全保護功能指令；2）按照重要性級別設計軟件的安全保護功能，關鍵保護功能采取冗余設計。3.5.6設備組成設備主要組成部分可包括結構部件、真空系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、輔助 系統(tǒng)等。設備主要組成部分見圖1。圖1設備主要組成部分框圖3.6性能6. 1基片臺應在產品規(guī)范中規(guī)定設備基片臺尺寸及運動方式，基片臺尺寸按裝片尺寸乘以數量表示，如： （p50 mm

9、X6片、（p75mmX4片；運動方式應規(guī)定是旋轉運動或行星運動或掃描運動等?；ǔ楣杈?圓片，也可采用適用于基片夾具的方片。3.6.2離子源應在產品規(guī)范中規(guī)定離子源的形式、束流和能量的范圍、出口束徑等參數，如：圓型離子源、束流 0 mA100 mA、能量OeV1 000 eV、出 口束徑 120 mm。3.6.3沉膜速率應在產品規(guī)范中規(guī)定典型材料的沉膜速率，如：Ni的沉膜速率為20nm/min。3.6.4膜厚均勻性對設備可裝載的最大尺寸基片，膜厚均勻性如下：a）片內均勻性：優(yōu)于5%;b）片間均勻性：優(yōu)于5%;c）批間均勻性：優(yōu)于5%。3.6.5濺射靶支架濺射靶支架應為多面水冷靶，并實現真空

10、室外換位。應在產品規(guī)范中規(guī)定靶支架的換位方法（手動 /自動）、靶面數量（如3面、4面等）、靶面尺寸大?。ㄈ纾海╬300mm、350 mm等）。靶材通常為銅、 鋁、鏡等。3.6.6基片臺加熱基片臺應具有加熱功能，應在產品規(guī)范中規(guī)定基片臺加熱溫度范圍、控溫精度，如基片臺加熱溫度 范圍為25 C400 C，控溫精度應在3 C以內等。3.6.7壓力控制精度應在產品規(guī)范中規(guī)定濺射時反應室的壓力范圍，典型濺射壓力范圍為lX10_2Pa4X10_2Pa，設備 濺射室壓力控制精度：5%。3.6.8極限真空度設備極限真空度：l,0Xl0-4Pa。6. 9壓升率濺射室壓升率：5.0 Pa/h。6. 10真空抽氣時

11、間主泵達到最大抽速能力后，開啟主閥并計時，濺射室壓力為2X10-3Pa的時間小于40 mine 3.7 接口7. 1氣源接口氣源接口要求如下：a）設備應配備一個壓縮空氣接口，并可承受0.7 MPa1.0 MPa的氣源壓力;b）設備應配備多個工藝氣體接口，并可承受0.7MPa1.0MPa的氣源壓力。3. 7. 2電源接口設備應配備一個電源錢備機身外電源線長度氣源接口要求如下：a）設備應配備一個壓縮空氣接口，并可承受0.7 MPa1.0 MPa的氣源壓力;b）設備應配備多個工藝氣體接口，并可承受0.7MPa1.0MPa的氣源壓力。3. 7. 2電源接口設備應配備一個電源錢備機身外電源線長度外電源線

12、長度不小3.7.3廢氣接設備廢3. 8安全13. 8. 1 i有會3. 8. 23. 8. 3設流36 V）3. 8. 4型接口，一般為KF25、KF40、KF50卜部絕緣電阻應夕卜冗擊芽。司的開路現定的安全限值（直司，其卜整與地壓，穩(wěn)定1 m挺 ，電源線采用三芯防水護套電纜，設源線采用五芯防水護套電纜，機身在人3.8.5 接設備接3. 8.6安全_與報警設備安全防a）b）c）設備主電源設備運動部件應設備配置蜂鳴器和二設備出現故障時報警燈紅色亮，蜂鳴器響。3.9軟件軟件應具備以下功能：，設備的全部電源均應切斷;燈綠色亮，設備待運行時報警燈黃色亮，a）具備溫度控制、氣路控制、參數設置、設備運行狀

13、態(tài)監(jiān)控等功能；b）在設備異常、誤操作或非正常操作等情況下軟件自行啟動安全保護功能，并有相應的提示信息;c）應具備檢測危險操作，不規(guī)范、不安全狀態(tài)的功能；d）對非正常輸入有糾錯能力。3.10電磁兼容性設備最低限度電磁兼容極限值由訂購方和承制方協(xié)商，并在GJB 151B-2013中選擇相關項目。11人機工程設備的人機工程設計應符合下列要求：a）顯示器屏面與操作者正常視線夾角一般不小于45 ；b）設備“急停”按鈕應為紅色并在旁邊設置醒目標志；c）濺射室放置高度應方便人員操作，一般在700 mm1 200 mm之間。3.12使用條件3.12.1使用環(huán)境設備使用環(huán)境應符合下列要求：a）溫度：23 C3

14、C；b）相對濕度：30%70%；c）大氣壓 86 kPa106 kPa；d）潔凈室的凈化等級：應符合GB/T 25915.1-2010的ISO 7級或優(yōu)于ISO 7級。12.2供電設備供電應符合下列要求：a）電源供電電壓允許偏差為額定電壓的10%;b）電源頻率偏差允許為標準頻率（50 Hz）的2%。3.12.3 供氣設備供氣應符合下列要求：a）設備壓縮空氣進氣壓力為0.4 MPa0.7MPa,進氣流量不小于15 L/min；b）設備開啟腔體用普通氮氣及工藝氣氛氣體進氣壓力為0.3 MPa0.5MPa,進氣流量不小于1 L/min 012.4供水設備供水應符合下列要求：a）冷卻水為去離子水，流量

15、大于25 L/min；b）冷卻水進水溫度在15 C25 C之間。3.12.5排廢氣設備排廢氣應符合下列要求：a）排廢氣接口滿足設備廢氣接口要求；b）廢氣管道引出凈化室外。3.12.6連續(xù)工作時間設備在開機進入工作狀態(tài)下，應能連續(xù)48 h無故障運行。4質量保證規(guī)定1檢驗分類本規(guī)范規(guī)定的檢驗分類如下：a）鑒定檢驗；b）逐批檢驗。4.2檢驗條件2. 1 檢驗環(huán)境除另有規(guī)定，本規(guī)范規(guī)定的各項檢驗應在設備使用環(huán)境下進行，設備使用環(huán)境要求見3.12.1。2. 2 檢驗場地檢驗場地應符合下列要求：a）檢驗場地應有隔離工業(yè)干擾、火花干擾的措施；b）檢驗場地無灰塵，潔凈，照明設施均滿足要求，設備需安放于穩(wěn)定平整

16、的地面上；c）檢驗場地應無高聲級噪聲、明顯的機械振動和沖擊的影響;d）檢驗場地應有安全接地措施。2.3檢測儀器和設備檢測用儀器和設備的精度應至少高于被測指標精度一個數量級。 4.3鑒定檢驗3.1受檢數量除另有規(guī)定外，鑒定檢驗的樣品數量為一臺。3. 2檢驗項目和順序鑒定檢驗的項目和順序見表5。表5檢驗項目表序檢驗項目鑒定逐批要求檢驗方法檢驗檢驗ntc. Az 口 早余Az 口 早余51外形尺寸93. 14.5. 12顏色指示燈及按鈕顏色93.2.14.5.23導線顏色鬱93.2.24外觀質量3.34.5.35設備銘牌3.4. 16標志零件、部件和導線標志3.4.24. 5.47安全標志3.4.3

17、8設計與結構O3. 54. 5.59基片臺3. 6. 14. 5. 6. 110離子源3.6.24. 5. 6. 211沉膜速率3. 6.34. 5. 6. 312膜厚均勻件o3. 6.44. 5. 6. 413性能濺射靶支架3. 6.54. 5. 6. 5!14基片臺加熱93.6.64. 5. 6. 6,15壓力控制精度鏐3.6.74. 5. 6. 716極限真空度礬3. 6.84. 5. 6. 817壓升率騄鬱3.6.94. 5. 6. 918真空抽氣時間3. 6. 104. 5. 6. 1019氣源接口馨礬3. 7. 14. 5. 7. 120接口電源接口3. 7.24. 5. 7. 2

18、21廢氣接口3.7.34. 5. 7. 322絕緣電阻3.8. 14. 5. 8. 123抗電強度a3. 8.24. 5. 8. 224安全性泄漏電流變3. 8.34. 5. 8. 325噪聲限制鬱3. 8.44. 5. 8. 426接地安全3. 8.54. 5. 8. 527安全防護與報警攀3.8.64. 5. 8. 628軟件O3.94. 5.929電磁兼容性O3. 104. 5. 1030人機工程參O3. 114.5. 1131連續(xù)工作時間O3. 134. 5. 1232包裝O5. 1、5. 2、5. 54. 5. 13注：必檢項目；O訂購方和承制方協(xié)商檢驗項目。逐批檢驗時施加的電壓為3

19、 000V交流電壓，保持1 s4s。3.3合格判據按表5規(guī)定的項目和相應的檢驗方法進行鑒定檢驗時，若所有檢驗項目都滿足要求，則判定鑒定檢 驗合格，否則判定鑒定檢驗不合格。4.3.4不合格的處理鑒定檢驗結果被判為不合格時，承制方應對存在問題進行全面分析，找出缺陷原因并采取糾正措施 加以解決，解決后重新進行鑒定檢驗。4.3.5樣品處理均滿足要求時，則判定逾對存在不合的設備找出缺陷原因并采，解之后，將損壞的具（設備M外觀質重。重逝提交設備均滿足要求時，則判定逾對存在不合的設備找出缺陷原因并采，解之后，將損壞的具（設備M外觀質重。重逝提交設備進行逐批檢驗。4逐批檢驗4.1受檢樣品數對出廠的設備進行全數

20、逐4.2檢驗項目及順序逐批檢驗的項目4.3合格判據應的檢驗方法對設備進行逐批檢驗，當按表5規(guī)定橄應的檢驗方法對設備進行逐批檢驗，當逐批檢驗合格4. 4. 4 不不合格時，承逐批檢I險結粟祕判定不合格時，承取糾正措施力4. 4. 5逐批4.5檢串4. 5.1 夕II采用4.5.2 顏沒備指示燈、按鈕及導線顏色。采用目視方S沒備指示燈、按鈕及導線顏色。4. 5. 3外觀采用目視方4. 5. 4標志采用目視方法檢查S4. 5. 5設計與結構按照3.5的要求對設計評審爾4. 5.6性能檢測4. 5. 6. 1基片臺用游標卡尺測量基片槽尺寸，目測裝片數量并記錄測量值。目測檢查基片臺運動情況，記錄基片臺

21、運動方式。4. 5. 6. 2離子源觀察離子源電源類型；按離子源引束條件引束，緩慢將屏柵電壓調節(jié)到最大值，記錄測量值；緩慢 調節(jié)屏柵電流至最大值，記錄測量值；用游標卡尺測量離子源柵網出口尺寸。4. 5. 6. 3沉膜速率取適用基片尺寸內的基片，沉膜典型材料，記錄沉膜所用時間，并在沉膜完成后測量基片中心點的 膜厚，按公式（1）計算沉膜速率。(1)V=D/t(1)式中：V 沉膜速率的數值，單位為納米每分鐘（nm/min）；D基片中心點膜層厚度測量值，單位為納米（nm）;t 沉膜所用時間的數值，單位為分鐘（min）。5. 6. 4膜厚均勻性5. 6. 4. 1片內均勻性取濺射完成的某一基片，去除邊緣

22、5 mm取9個以上測試點（取點遵循均勻分布原則，由供需雙方根 據基片尺寸大小決定取點數量），測量各測試點處的膜層厚度，按公式（2）計算測量值均方差&，記 錄 Slo1 na 2 _V（7；. - Ta） IT a ） X100% （2）na式中：5i 片內均勻性；na 一 !J試點數；Ti 測量值，單位為納米（nm）；_-1 naTa 平均值7； = YT.,單位為納米（nm）。75. 6. 4. 2片間均勻性同一批濺射完成的所有基片，對每一片按照4.5.6.4.1中的方法取測試點，測量每一片各測試點處的 膜層厚度，然后計算每一片的膜厚平均值，然后按公式（3）計算測量值均方差S2,記錄士I 1

23、 nb-S2 = （ J y （7；. - Tb） /Tb ） X100% （3）V nb y=i式中：S2片間均勻性；nb 同一批次內所有基片數總和；T,.各基片膜層厚度測量值的平均值，單位為納米（nm）；_-1 nbTb 同一批次內所有基片膜層厚度測量值的總平均值乃=/；.,單位為納米（nm）。4. 5. 6. 4. 3 批間均勻性采用完全相同的工藝條件和參數淀積3批以上基片，對每一片按照4.5.6.4.1中的方法取測試點，狽幢 每一片各測試點處的膜層厚度，計算同一批次內所有基片的平均值，然后按公式（4）計算測量值均方 差5*3，記錄3。S3;S3;（ J Z _ 廠）D2X100%式中：

24、s3批間均勻性; nc測試總批數;各批次內所有基片膜層厚度測量值的平均值，單位為納米（nm）；_ I ncTc 所有批次所有基片膜層厚度測量值的總平均值，Tc = YTk , W為納米（nm）。 nc4. 5.6.5濺射靶支架目測濺射靶工位數量并記錄，觀察濺射靶冷卻水進出情況并記錄；通過在濺射室外手動或在計算機 操作，觀察濺射靶各工位轉換情況并記錄。使用游標卡尺或卷尺測量靶面尺寸，并記錄測量值；觀察靶 材安裝方式并記錄。4. 5. 6. 6基片臺加熱將基片臺溫度設置為產品溫度最大值的時間；到達j熱偶讀數。4. 5. 6. 7壓力控在典型工按公式（5） i式中：尸ma-尸 min)/2P(5)(

25、Pa):空度數值30 min);尸 min-4. 5.6.8濺射儀表讀工藝壓g單位為帕度fe?除數值:片臺加熱，觀察熱偶讀數，記錄到達 并在以后30 min內每隔5 min記錄力覽表讀數，連續(xù)測量2 h，儀表讀數最大值，小值，單佐不變化時，4. 5. 6. 9 壓貨對濺射室釉真 讀數A （Pa），艮真空度后，關閉所有濺射室接口閥門。tAh）時間志記錄壓力傳感器上的式（6/計算壓升率Z。時間己錄壓力傳感器上的讀數（Pa）L = (L2-Lr)/ U2-tx)式中:LL2Ah6壓升率的數值h （h）時間后壓力4h （h）時間后壓力傳感器上的讀數，單位為帕（Pa）；第二次記錄壓力傳感器上讀數的時間的

26、數值，單位為秒（s）；第一次記錄壓力傳感器上讀數的時間的數值，單位為秒（s）。4. 5.6.10真空抽氣時間當主泵達到最大抽速能力后，開啟插板閥，同時開始計時，當真空計讀數值達到2Xl（T3Pa后，記 錄時間。4.5.7 接口4. 5. 7. 1氣源接口用目檢的方法檢查設備氣源接口。4. 5. 7. 2電源接口用目檢的方法檢查設備電源線，用卷尺測量電源線長度。4. 5. 7. 3 廢氣接口用目檢的方法檢查設備廢氣接口。4.5.8安全性4. 5. 8.1絕緣電阻將絕緣電阻測試儀的正極端接至設備相線端，負極端接至設備外殼，電源輸入端與外殼之間用絕緣 電阻測試儀施加500 V直流電壓，穩(wěn)定10 s，

27、記錄絕緣電阻測試儀上的電阻讀數。4. 5. 8. 2抗電強度將耐壓測試儀的高壓端接至設備相線端，接地端接至設備外殼，施加3 000 V交流電壓，穩(wěn)定1 min， 無擊穿時，記錄電流測量值。4. 5. 8. 3泄漏電流用一個串聯1 500 Q電阻器的電流表與設備接地導體串連，記錄測量值。4. 5. 8. 4噪聲限制設備正常運行時，用聲級計在設備水平面四個方向上，在離地高度1.2 m，距離設備lm處進行測量。 聲級計用A聲級、慢速檔。測量5次，每次間隔lmin，記錄每次的測量值作為檢驗數據。4. 5. 8. 5接地安全用目檢的方法檢查有無接地端子，接地線。斷開所有電源，使用絕緣電阻測試儀測量設備接

28、地測試 點與接地端子之間的電阻，記錄測量值。4. 5. 8. 6安全防護及報警用目視、手感、聽辨或人為制造故障等方法，檢查設備的安全防護、報警裝置。4.5.9軟件設備軟件功能測試主要內容如下：a）根據合同需求檢查設備各系統(tǒng)單項功能；b）開機運行設備，輸入相關參數，對設備軟件功能進行檢查。4. 5. 10電磁兼容性電磁兼容極限值按GJB 151B-2013的有關方法進行試驗。4.5. 11人機工程按照3.11要求，采用目視、操作人員體驗的方法進行檢驗。4. 5.12連續(xù)工作時間設備開機連續(xù)工作至48h，連續(xù)工作前、后進行性能指標測試，記錄測試值。4. 5. 13包裝按照5.1、5.2和5.5的要

29、求檢查各備件、附件和文件是否齊全；包裝標志是否清晰，包裝箱是否有 損壞現象，放置是否符合要求。5交貨準備 5.1包裝1. 1包裝器材包裝器材應符合下列要求：a）設備所選用的包裝器材應清潔干燥，并具有防霉、防蛀的特性，不允許使用會導致設備銹蝕及 產生有害氣體的材料；b）緩沖和裹包材料要有阻燃特性和無腐蝕性，并且不易破碎、剝落、粉化和脫落，易于取出檢查 和直接接觸；防潮用干燥劑應用透氣性良好的袋子裝好，放在設備內部或周圍，不可直接接觸設備，放入干 燥劑后應迅速密封。5.1.2備件、附件包裝隨機備件、附件應采取密封防潮包裝，并應符合GJB 1653的有關規(guī)定。1.3拆卸適宜拆卸分解包裝的設備，拆卸下

30、的部件或零件應加標簽標志，其標簽標志及文字、符號應牢固、 清晰、耐水、耐油及不褪色。1.4隨機文件包裝裝箱清單、技術文件應防潮密封包裝，放在箱內明顯的地方，并加以固定。5.1.5對鍍層的保護海綿、聚氯乙烯等)接觸。設備表面不應直接與對鍍層海綿、聚氯乙烯等)接觸。5.1.6包裝箱、變形和損壞。、變形和損壞。5.2防護包裝設備的防護5.3裝箱3. 1隨布設備隨a)b)c)d)e)5.3.2裝箱i設備的裝辛a)b)c)；應2宜使其重心位置居中罪龍文隨機使用S冊(扁鑫結構、電路與;性能下列定的包裝流程圖進行包裝;放置干燥劑、密封、裝箱等一系列工序應得中斷；)；應2宜使其重心位置居中罪龍文隨機使用S冊(

31、扁鑫結構、電路與;性能下列定的包裝流程圖進行包裝;放置干燥劑、密封、裝箱等一系列工序應得中斷；士及布包裝，墊穩(wěn)、卡緊，5設備，應采取防傾倒的措二質包駕箱底座上，靠其地腳螺釘固定，用d)e)施，重心偏蘀附件箱、備件箱這應根據設備的具體特性到的機械沖擊與振動，并防止防潮材料被戳穿；裝箱完成后，由檢驗人員對包裝質量進行驗證，由裝箱人員與檢驗人員共同對裝箱件進行清點， 并填寫裝箱清單和簽字認可。5.4運輸和貯存4. 1運輸設備運輸前應清除冷卻水管道內的殘液，運輸時應符合下列要求：設備交付運輸方式按照合同要求進行，應嚴格按照包裝箱上的貯運標志進行作業(yè)；對設備進行防震、防潮、防日曬及防污保護，用敞車裝運時要加蓋蓬布；裝載時應注意包裝箱重心標記，堆放應整齊牢靠，載荷量不允許超過貨車的載重定額； 裝車時應符合有關超高、超寬的規(guī)定，包裝件應放置平衡，不允