超聲掃描顯微鏡介紹

1、超聲掃描顯微鏡介紹第1頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三設(shè)備簡介技術(shù)指標設(shè)備參數(shù)軟件功能應(yīng)用案例第2頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三設(shè)備簡介CS-300超聲掃描顯微鏡適配探頭頻率5MHz400MHz第3頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三 CS-300 超聲掃描顯微鏡主要利用高頻的超聲波(5MHz以上)檢測器件、材料內(nèi)部的缺陷位置、大小和分布狀態(tài)等，對粘接層面非常敏感，能檢測出氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，是以波形、圖形為顯示方式的一種無損檢測工具，可以保留在破壞性檢測中被丟失的細微缺陷，樣品通過檢測后可以繼續(xù)使用。主要應(yīng)

2、用于失效分析、可靠性分析、制程控制、品質(zhì)控制，產(chǎn)品研發(fā)、工藝提升等。設(shè)備簡介第4頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三技術(shù)指標超聲波發(fā)射接收器頻率范圍：1-500MHz;換能器頻率范圍：2.25-400MHz;最高圖像分辨率：4m；A/D采集卡頻率：1GSample/sec，板載緩存512MB（2GB）；最大掃描速度：1000 mm/s；掃描軸最高分辨率：0.1m；掃描軸重復精度：1m；步進軸分辨率：0.2m調(diào)焦軸分辨率：0.2m；第5頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三設(shè)備參數(shù)專用工控機，雙核處理器，雙顯示器。 m級水循環(huán)過濾系統(tǒng)；電力要求：AC22

3、0V10%，50Hz，1000W溫度/濕度：223/5010%RH操作系統(tǒng)：Windows XP，Windows 7設(shè)備尺寸（不含操作臺）：890mmx860mmx1560mm;重量：450Kg第6頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三軟件功能Smartscan專用超聲掃描檢測軟件，自主研發(fā)，功能強大，中文操作界面，功能持續(xù)升級； 檢測模式：A、B、C掃描、D掃描、T掃描，M掃描（多層）、Q-B掃描、區(qū)域掃描，JEDEC托盤掃描，厚度測量，平面度統(tǒng)計等；C掃描圖像模式：峰值圖像、相位反轉(zhuǎn)圖像、TOF圖像；自動缺陷判別；前表面跟隨；缺陷尺寸和面積統(tǒng)計，自動計算缺陷占所測量面積

4、的百分比；第7頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三軟件功能自動定位測量；掃描過程中可隨時改變增益、門限寬度和門限時間起點；自動存儲設(shè)置參數(shù)；提取掃描的圖像參數(shù)設(shè)置，復位并設(shè)置為該圖像的掃描參數(shù)；支持無器件離線掃描；支持多個檢測結(jié)果圖像同時顯示，并能重新進行分析處理；比例尺，實時顯示掃描器件的尺寸；第8頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三軟件功能對掃描結(jié)果進行文字注釋功能；屏幕打印功能，方便進行A、B、C圖像對比；支持將檢測結(jié)果輸出為BMP等各種圖像格式；探頭在線更換，甩氣泡功能；強大的圖像處理軟件包：圖像的縮放、拖動、測量注釋、圖像的中值濾波、均值濾

5、波，反色處理，浮雕處理，增強對比度、偽彩色著色（自定義顏色方案）等處理功能；為用戶定制專用的生產(chǎn)管理和工藝質(zhì)量管理軟件；第9頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例半導體器件及封裝塑封IC、陶瓷封裝、金屬封裝、金屬-陶瓷封裝、分立器件、三極管、場效應(yīng)管、復合管、各種封裝外殼、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、晶圓粘接、智能卡，SOP、QFP、PGA、BGA、倒裝芯片、板載芯片，CSP，堆疊封裝、MCM多芯片模塊、整流橋、晶閘管、IGBT、大功率電力電子器件、模塊電路、傳感器等。材料檢測金剛石復合片、陶瓷、玻璃、金屬、塑料，焊接件等。第10頁，共21頁，2022年，

6、5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例紅色和黃色的區(qū)域表明存在分層缺陷。紅色和黃色的區(qū)域表明存在分層缺陷。塑封整流橋（GBJ）第11頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例紅色和黃色的區(qū)域表明存在分層缺陷。紅色和黃色的區(qū)域表明存在分層缺陷。偽彩色顯示塑封三極管（TO-220）第12頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例PLCC芯片上表面，引線框架上表面第13頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例CPU（PGA） 芯片粘接面存在明顯的氣泡第14頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例管殼和基底間界管殼和基底間界第15頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例顏色發(fā)亮區(qū)域為分層缺陷金屬封裝第16頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例中間顏色發(fā)亮區(qū)域為分層缺陷器件外殼第17頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例顏色發(fā)亮區(qū)域為分層缺陷晶圓粘接第18頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例顏色發(fā)亮區(qū)域為分層缺陷晶圓粘接第19頁，共21頁，2022年，5月20日，17點21分，星期三應(yīng)用案例紅色和