四氟化碳特氣鋼瓶更換標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書

1、四氟化碳特氣鋼瓶更換標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書目的指導(dǎo)四氟化碳?xì)馄夸撈扛鼡Q，提高預(yù)防性維護(hù)，確保設(shè)備處于24小時(shí)供氣運(yùn)行狀態(tài)，降低非計(jì)劃停機(jī)時(shí)間，特制定本規(guī)范。 2 范圍 適用于特氣間氧氣GR氣瓶架。3 參考文件無4 定義無5 職責(zé)5.1 生產(chǎn)技術(shù)員負(fù)責(zé)特氣間日常點(diǎn)檢和異常上報(bào)；5.2 生產(chǎn)主管督促生產(chǎn)技術(shù)員按照設(shè)備工程師要求完成設(shè)備相關(guān)工作； 5.3 工藝工程師負(fù)責(zé)制定維護(hù)工作完成后的工藝驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)與驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書。5.4 設(shè)備工程師5.4.1負(fù)責(zé)更新操作要求和標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書。5.4.2負(fù)責(zé)特氣間日常運(yùn)行操作過程中出現(xiàn)的問題的解決和維護(hù)管理以及操作培訓(xùn)等工作。5.4.3負(fù)責(zé)氣體的具體使用與管理，負(fù)責(zé)更

2、換氣體鋼瓶。6 資歷與訓(xùn)練操作人員需熟悉特氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及工作原理，且經(jīng)過設(shè)備工程師培訓(xùn)考核通過后,方能進(jìn)行操作，7 作業(yè)內(nèi)容7.1設(shè)備日常點(diǎn)檢（生產(chǎn)技術(shù)員執(zhí)行）7.1.1 O2鋼瓶壓力空瓶警報(bào)(標(biāo)準(zhǔn)： 100psi) 惰性氣體巡檢記錄表 7.1.2每日點(diǎn)檢CF4氣柜運(yùn)行情況，是否存在報(bào)警，是否有空瓶指示提醒，記錄當(dāng)前使用鋼瓶壓力值。有任何異常及時(shí)反饋設(shè)備工程師。7.2 設(shè)備巡檢（每日設(shè)備工程師執(zhí)行）7.2.1每日負(fù)責(zé)巡檢技術(shù)員點(diǎn)檢確認(rèn)，查看點(diǎn)檢是否有漏檢漏填等漏洞，并在點(diǎn)檢表上做確認(rèn)簽字；負(fù)責(zé)更換CF4氧氣鋼瓶氣瓶。CF4氧氣管道圖：系統(tǒng)工作描述：當(dāng)HPSG（L）壓力100Psi時(shí)（由GSDS系

3、統(tǒng)設(shè)定），系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉LPI（L）左側(cè)閥門，并打開LPI（R）右側(cè)閥門，此時(shí)顯示“A側(cè)空瓶指示”燈亮；反之，“B側(cè)空瓶指示”燈亮。7.3 氧氣CF4瓶7.3.1更換四氟化碳CF4流程 確認(rèn)需更換鋼瓶側(cè)關(guān)閉鋼瓶手動(dòng)閥更換鋼瓶、檢漏查找原因繼續(xù)手動(dòng)吹掃管道第一吹掃24H保壓24H后第二次吹掃吹掃查找原因吹掃完成打開鋼瓶手動(dòng)閥、打開管道LPI閥YNYN確認(rèn)達(dá)到切換條件進(jìn)入備用模式7.3.2 維護(hù)前所要準(zhǔn)備的工具 所需準(zhǔn)備的工具包括：活動(dòng)大扳手一套、無水酒精、無塵布、檢漏液、氣瓶小推車，防毒面具。更換標(biāo)準(zhǔn)按照特氣更換記錄表 更換O2鋼瓶流程檢查確認(rèn)表執(zhí)行；7.3.3氧氣使用為小型鋼瓶類，使用完后自動(dòng)切

4、換備用瓶使用，空瓶側(cè)需要做氣瓶更換新的才可以正常投入生產(chǎn)使用。需要做更換操作動(dòng)作完成步聚操作圖片備注1確認(rèn)CF4鋼瓶處于空瓶側(cè)狀態(tài)下，確認(rèn)重量鋼瓶（空瓶警報(bào)設(shè)定值），確認(rèn)空瓶所在側(cè)狀態(tài)（空瓶紅色燈點(diǎn)亮）LPI指示燈熄滅 2將滿瓶N2O鋼瓶準(zhǔn)備好，并拉到需更換位置附近； 依次關(guān)閉空瓶鋼瓶閥、順時(shí)針HPI關(guān)閥 (打至CLOSE方向)將管道泄壓，逆時(shí)針打開HPV閥，往OPEN方向打開，泄壓后關(guān)閉HPV閥。并確認(rèn)壓力表頭HPG壓力為“0” 3確認(rèn)鋼瓶閥、HPI、HPV閥關(guān)閉狀態(tài)；逆時(shí)針打開右方PN2管道上的PNB閥，再打開空瓶側(cè)PGI閥查看HPG壓力表有壓力顯示后關(guān)閉，再打開HPV閥進(jìn)行管道壓力排空。

5、重復(fù)15次后。管道氮?dú)獯祾咄瓿?；吹掃完成后關(guān)閉PNB、PGI、HPV 4確認(rèn)HPSG壓力表頭壓力為：“0”鋼瓶閥，HPI閥、HPV閥、PGI閥為關(guān)閉狀態(tài)。然后拿活動(dòng)扳手將鋼瓶接頭拆卸，兩人一起完成（一人扶穩(wěn)鋼瓶，一人操作。）拆卸完成后把扳手拿開，用手輕輕擰出鋼瓶接頭即可；鋼瓶接頭擰開后，把空瓶蓋帽蓋好，小心移出GR氣瓶架（一人扶住鋼瓶，一人操作。）將卸下放置于空瓶暫放區(qū)域。 拆卸前確認(rèn)所有閥門為關(guān)閉狀態(tài)；2人一起完成，禁止單獨(dú)操作5滿瓶N2O鋼瓶從氣瓶車上卸下，緩慢移至鋼瓶氣架上鎖穩(wěn)；（2人一起完成）并打開鋼瓶蓋帽，確認(rèn)塑料包裝正常后，拆開塑料包裝 6檢查鋼瓶接頭無生銹等其他跡象，再用沾有酒精

6、的無塵布擦拭干凈，擦拭無臟污即可 7將鋼瓶接頭與氣柜管道接頭平衡對(duì)接，將其螺母扭上開始擰時(shí)用手可以順方向旋進(jìn)，若擰不進(jìn)有憋力情況，不得硬擰，否則會(huì)導(dǎo)致螺絲滑牙或者漏氣。最后用扳手?jǐn)Q緊 2人一起完成，禁止單獨(dú)操作8確認(rèn)用扳手鎖緊接頭螺母后手動(dòng)緩慢打開鋼瓶閥，并同時(shí)查看HPG壓力表有100psi以上壓力后關(guān)閉鋼瓶閥；用專用的檢漏液將泡沫噴至接頭處，檢查是否有鼓泡跡象漏氣；確認(rèn)無泄漏后將管道壓力排空，打開HPV閥進(jìn)行泄壓，HPSG壓力顯示“0”時(shí)，關(guān)閉HPV閥 9確認(rèn)無漏氣點(diǎn)后做吹掃吹掃動(dòng)作先確認(rèn)HPI，HPV，PGI鋼瓶閥關(guān)閉；然后將鋼瓶開關(guān)打開，HPG壓力顯示最大在把將鋼瓶開關(guān)關(guān)閉，然后打開HP

7、V閥把壓力排泄，再把HVP閥關(guān)閉，為第一次吹掃完成以上動(dòng)作重復(fù)掃15次后。 吹掃完成。 10吹掃動(dòng)作完成后，打開鋼瓶閥，穩(wěn)定壓力5min后關(guān)閉開始保壓，記錄當(dāng)前保壓值與氣體重量，24小時(shí)后完成保壓后查看壓力是否在保壓開始的50pai，范圍內(nèi)并在特氣更換記錄表記錄開始保壓時(shí)間，實(shí)時(shí)保壓壓力 11確認(rèn)保壓正常完成后，進(jìn)行切入備用前吹掃，確認(rèn)HPI，HPV，PGI鋼瓶閥關(guān)閉；然后將鋼瓶開關(guān)打開，HPSG壓力顯示最大在把將鋼瓶開關(guān)關(guān)閉，然后打開HPV閥把壓力排泄，再把HVP閥關(guān)閉，為第一次吹掃完成，重復(fù)15次后。 吹掃完成。 12確認(rèn)吹掃動(dòng)作完成，確認(rèn)HPI，HPV，PGI鋼瓶閥關(guān)閉；然后將鋼瓶開關(guān)打開至最大，HPSG壓力顯示最大值，打開HPI閥切入備用模式狀態(tài)，查看報(bào)警燈恢復(fù)正常熄滅，更換動(dòng)作完成；特氣更換記錄表 注意事項(xiàng)a) 操作過程中佩戴好軟膠手套、普通活