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四氟化碳理化特性分析四氟化碳理化特性分析四氟化碳理化特性分析四氟化碳理化特性分析編制僅供參考審核批準生效日期地址:電話:傳真:郵編:四氟化碳理化特性分析(32)標識中文名:四氟甲烷;四氟化碳英文名:Tetrafluoromethane;Carbontetrafluoride分子式:CF4

分子量:CAS號:75-73-0

RTECS號:FG4920000

UN編號:1982

危險貨物編號:22033IMDG規(guī)則頁碼:2182理化性質(zhì)外觀與性狀:無色無臭氣體。主要用途:用作低溫致冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻。

熔點:沸點:相對密度(水=1):-130℃

相對密度(空氣=1):無資料飽和蒸汽壓(kPa):℃

溶解性:不溶于水。臨界溫度(℃):

臨界壓力(MPa):

燃燒熱(kj/mol):無意義燃燒爆炸危險性燃燒性:不燃

建規(guī)火險分級:戊閃點(℃):無意義

自燃溫度(℃):無意義爆炸下限(V%):無意義

爆炸上限(V%):無意義危險特性:若遇高熱,容器內(nèi)壓增大,有開裂和爆炸的危險。

燃燒(分解)產(chǎn)物:氟化氫。

穩(wěn)定性:穩(wěn)定聚合危害:不能出現(xiàn)

禁忌物:強氧化劑、易燃或可燃物。滅火方法:不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。包裝與儲運危險性類別:第2.2類

不燃氣體

危險貨物包裝標志:3

包裝類別:Ⅱ

儲運注意事項:不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內(nèi)。倉溫不宜超過30℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應(yīng)與易燃、可燃物分開存放。驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,先進倉的先發(fā)用。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。廢棄:根據(jù)國家和地方有關(guān)法規(guī)的要求處置?;蚺c廠商或制造商聯(lián)系,確定處置方法。包裝方法:鋼質(zhì)氣瓶。

毒性危害接觸限值:中國MAC:未制定標準;蘇聯(lián)MAC:未制定標準;美國TWA:未制定標準;美國STEL:未制定標準侵入途徑:吸入毒性:無資料健康危害:能引起快速窒息。接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐。

急救皮膚接觸:無資料眼睛接觸:無資料吸入:脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。必要時進行人工呼吸。就醫(yī)。

食入:無資料防護措施工程控制:生產(chǎn)過程密閉,全面通風。呼吸系統(tǒng)防護:高濃度環(huán)境中,建議佩帶供氣式呼吸器或自給式呼吸器。眼睛防護:一般不需特殊防護。

防護服:穿工作服。手防護:一般不需特殊防護。泄漏處置迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處,并隔離直至氣體散盡,建議應(yīng)急處理人員戴自給式呼吸器,穿相應(yīng)的工作服。切斷氣源,通風對流,稀釋擴散。如有

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