內(nèi)層開(kāi)路、缺口改善教材課件

內(nèi)層開(kāi)路、缺口改善內(nèi)層開(kāi)路、缺口改善1目錄（二）、相關(guān)改善措施（四）、內(nèi)層板開(kāi)路、缺口現(xiàn)狀分析（五）、改善方案（1）：潔凈度的整改（六）、改善方案（2）：曝光雜物的整改（一）、改善前后的效果（三）、生產(chǎn)流程分析找出重點(diǎn)改善工序（七）、改善方案（3）：膜下雜物的整改目錄（二）、相關(guān)改善措施（四）、內(nèi)層板開(kāi)路、缺口現(xiàn)2(二)改善措施干膜房的清潔度的提升，每班次對(duì)地面、機(jī)臺(tái)進(jìn)行全面清潔，將干膜房的潔凈度控制在5萬(wàn)級(jí)以下；內(nèi)層過(guò)期干膜和開(kāi)封超過(guò)5天或以上的干膜例用時(shí)，曝光人員在曝光前檢查面板是否有膠點(diǎn)，如有需做返工處理。(二)改善措施3(二)改善措施手動(dòng)曝光機(jī)的清潔方式：由機(jī)臺(tái)頂部到機(jī)臺(tái)底部依次清潔；可先用吸塵器將機(jī)臺(tái)內(nèi)部將灰塵吸走，再用粘塵布將機(jī)臺(tái)內(nèi)部所有區(qū)域包括所有死角全部擦試一次。擦試完以后用手電將各個(gè)區(qū)域檢查一次是否清潔干凈；做內(nèi)層時(shí)每做20片菲林拆下檢查時(shí)將曝光玻璃臺(tái)面的反面進(jìn)行清潔，清潔后檢查玻璃臺(tái)面及麥拉膜表面是否有雜物；清潔頻次保證每班次按以上四點(diǎn)進(jìn)行清潔作業(yè)，用時(shí)不低于30分鐘。(二)改善措施4(二)改善措施手動(dòng)曝光機(jī)減少灰塵方式：將手動(dòng)曝光機(jī)的兩側(cè)門張貼粘塵紙；機(jī)臺(tái)底部靠近曝光框軌道下面放置粘塵紙以減少灰塵；更換頻次每周一保養(yǎng)時(shí)更換；手動(dòng)曝光機(jī)使用專用粘塵輪，并且保證粘塵輪的完好；(二)改善措施5(二)改善措施手動(dòng)內(nèi)層精密線路（5min)以下板件做出相應(yīng)的規(guī)范：專人對(duì)板件進(jìn)行板面進(jìn)行檢查并使用除塵輥進(jìn)行清潔后直接交給曝光人員進(jìn)行生產(chǎn)(禁止將清潔后的板件再次放入板件架上）；貼膜機(jī)要求每天將內(nèi)部擦試一次，以減少膜下雜物；清潔機(jī)粘塵紙每100片更換一次

(二)改善措施6(三)內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移工藝流程流程:磨板→貼膜→曝光→沖板→蝕刻(顯影.酸蝕.退膜)磨板--去除抗氧化層、粗化基板表面貼膜--熱壓貼上抗蝕感光干膜曝光--通過(guò)UV曝光將菲林圖形轉(zhuǎn)移到干膜上沖板—撕掉干膜上的保護(hù)膜顯影--剝除線路圖形以外的干膜酸蝕--蝕刻線路圖形以外的銅箔退膜--去除線路圖形上的干膜沖孔--沖出層壓需要的定位孔本次改善重點(diǎn)在曝光(三)內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移工藝流程本次改善重點(diǎn)在曝光7（三）、開(kāi)路、缺口缺陷現(xiàn)狀K1--蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口 K2--曝光雜物開(kāi)路、缺口 K3--銅瘤開(kāi)路、缺口 K4--擦傷開(kāi)路、缺口K5--圓形開(kāi)路K6--溝狀蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口從AOI所保留開(kāi)路、缺口的圖片分析：本次80%開(kāi)路、缺口主要為K1和K2導(dǎo)致（三）、開(kāi)路、缺口缺陷現(xiàn)狀K1--蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口 從AOI所8(三)K1--蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口主要特征:線路不良，銅面上被蝕掉一層銅皮或呈凹入圓弧形狀，有側(cè)蝕。原因：膜下雜物、壓輥輕微的空洞（裂紋）、壓膜氣泡缺點(diǎn)發(fā)生崗位:貼膜(三)K1--蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口主要特征:線路不良，銅面上被蝕掉9(三)K2--曝光雜物開(kāi)路、缺口主要特征：缺陷位置形狀較規(guī)則，邊界清晰。原因:曝光灰塵、雜物。缺點(diǎn)發(fā)生崗位:曝光(三)K2--曝光雜物開(kāi)路、缺口主要特征：缺陷位置形狀較10(三)內(nèi)層開(kāi)路、缺口圖片MN427A曝光雜物開(kāi)路M600A板面雜物開(kāi)路(三)內(nèi)層開(kāi)路、缺口圖片MN427A曝光雜物開(kāi)路M600A板11(四)干膜房潔凈度改善1.每班次由菲林檢查人員、顯影人員使用粘塵輥清潔地面，包括所有設(shè)備底部、菲林架底部等死角全部清潔；2.每周保養(yǎng)需將機(jī)臺(tái)頂部、墻壁四周和天花板頂部清潔一次。(四)干膜房潔凈度改善1.每班次由菲林檢查人員、顯影人員使用12(五)曝光雜物的整改使用過(guò)期干膜時(shí)，如有殘膠反沾曝光前需全檢板面(五)曝光雜物的整改使用過(guò)期干膜時(shí)，如有殘膠反沾曝光前需全檢13(五)曝光雜物的整改手動(dòng)曝光機(jī)清潔前雜物灰塵用手摸或放粘塵紙時(shí)雜物明顯，但需要用手電的照射下機(jī)臺(tái)內(nèi)部雜物才明顯。(五)曝光雜物的整改手動(dòng)曝光機(jī)清潔前雜物灰塵用手摸或放粘塵紙14(五)曝光雜物的整改出風(fēng)口改善，將風(fēng)口用制網(wǎng)絲娟包住以減少風(fēng)機(jī)灰塵導(dǎo)致開(kāi)路；(五)曝光雜物的整改出風(fēng)口改善，將風(fēng)口用制網(wǎng)絲娟包住以減少風(fēng)15(五)曝光雜物的整改用粘塵紙將手動(dòng)曝光機(jī)由頂部依次到底部，順次清潔，以減少灰塵量。(五)曝光雜物的整改用粘塵紙將手動(dòng)曝光機(jī)由頂部依次到底部，順16(五)曝光雜物的整改清潔后使用手電將各個(gè)區(qū)域再次檢查特別是機(jī)臺(tái)的死角區(qū)域的檢查手動(dòng)曝光機(jī)機(jī)臺(tái)內(nèi)部由于光線不強(qiáng)且機(jī)臺(tái)內(nèi)部設(shè)計(jì)的死角很多，由于之前的清潔方法和檢查方法不當(dāng)導(dǎo)致許多死角藏有大量灰塵。(五)曝光雜物的整改清潔后使用手電將各個(gè)區(qū)域再次檢查特別是機(jī)17(五)曝光雜物的整改曝光框進(jìn)出的軌道無(wú)任何防護(hù)，在運(yùn)行過(guò)程中出現(xiàn)掉屑（呈黑色顆粒狀），現(xiàn)暫時(shí)將軌道處放置粘塵紙以減少黑色灰塵的來(lái)源。要求所放的粘塵紙?jiān)谥芤槐ｐB(yǎng)時(shí)進(jìn)行更換一次(五)曝光雜物的整改曝光框進(jìn)出的軌道無(wú)任何防護(hù)，在運(yùn)行過(guò)程中18(五)曝光雜物的整改首先使用菲林清潔劑對(duì)曝光框進(jìn)行清潔（包括玻璃臺(tái)面的反面清潔）(五)曝光雜物的整改首先使用菲林清潔劑對(duì)曝光框進(jìn)行清潔（包括19(五)曝光雜物的整改兩曝光框清潔后，將曝光框合上抽真空檢查整個(gè)曝光框是否還有雜物，合格后方可做板。(五)曝光雜物的整改兩曝光框清潔后，將曝光框合上抽真空檢查整20(六)膜下雜物的整改手動(dòng)內(nèi)層精密線路（5min)以下板件：專人對(duì)板件進(jìn)行板面進(jìn)行檢查并使用除塵輥進(jìn)行清潔后直接交給曝光人員進(jìn)行生產(chǎn)(禁止將清潔后的板件再次放入板件架上）

(六)膜下雜物的整改手動(dòng)內(nèi)層精密線路（5min)以下板件：專21(六)膜下雜物的整改貼膜機(jī)內(nèi)部灰塵嚴(yán)重，導(dǎo)致膜下雜物開(kāi)路、缺口

(六)膜下雜物的整改貼膜機(jī)內(nèi)部灰塵嚴(yán)重，導(dǎo)致膜下雜物開(kāi)路、缺22Q&AQ&A23內(nèi)層開(kāi)路、缺口改善內(nèi)層開(kāi)路、缺口改善24目錄（二）、相關(guān)改善措施（四）、內(nèi)層板開(kāi)路、缺口現(xiàn)狀分析（五）、改善方案（1）：潔凈度的整改（六）、改善方案（2）：曝光雜物的整改（一）、改善前后的效果（三）、生產(chǎn)流程分析找出重點(diǎn)改善工序（七）、改善方案（3）：膜下雜物的整改目錄（二）、相關(guān)改善措施（四）、內(nèi)層板開(kāi)路、缺口現(xiàn)25(二)改善措施干膜房的清潔度的提升，每班次對(duì)地面、機(jī)臺(tái)進(jìn)行全面清潔，將干膜房的潔凈度控制在5萬(wàn)級(jí)以下；內(nèi)層過(guò)期干膜和開(kāi)封超過(guò)5天或以上的干膜例用時(shí)，曝光人員在曝光前檢查面板是否有膠點(diǎn)，如有需做返工處理。(二)改善措施26(二)改善措施手動(dòng)曝光機(jī)的清潔方式：由機(jī)臺(tái)頂部到機(jī)臺(tái)底部依次清潔；可先用吸塵器將機(jī)臺(tái)內(nèi)部將灰塵吸走，再用粘塵布將機(jī)臺(tái)內(nèi)部所有區(qū)域包括所有死角全部擦試一次。擦試完以后用手電將各個(gè)區(qū)域檢查一次是否清潔干凈；做內(nèi)層時(shí)每做20片菲林拆下檢查時(shí)將曝光玻璃臺(tái)面的反面進(jìn)行清潔，清潔后檢查玻璃臺(tái)面及麥拉膜表面是否有雜物；清潔頻次保證每班次按以上四點(diǎn)進(jìn)行清潔作業(yè)，用時(shí)不低于30分鐘。(二)改善措施27(二)改善措施手動(dòng)曝光機(jī)減少灰塵方式：將手動(dòng)曝光機(jī)的兩側(cè)門張貼粘塵紙；機(jī)臺(tái)底部靠近曝光框軌道下面放置粘塵紙以減少灰塵；更換頻次每周一保養(yǎng)時(shí)更換；手動(dòng)曝光機(jī)使用專用粘塵輪，并且保證粘塵輪的完好；(二)改善措施28(二)改善措施手動(dòng)內(nèi)層精密線路（5min)以下板件做出相應(yīng)的規(guī)范：專人對(duì)板件進(jìn)行板面進(jìn)行檢查并使用除塵輥進(jìn)行清潔后直接交給曝光人員進(jìn)行生產(chǎn)(禁止將清潔后的板件再次放入板件架上）；貼膜機(jī)要求每天將內(nèi)部擦試一次，以減少膜下雜物；清潔機(jī)粘塵紙每100片更換一次

(二)改善措施29(三)內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移工藝流程流程:磨板→貼膜→曝光→沖板→蝕刻(顯影.酸蝕.退膜)磨板--去除抗氧化層、粗化基板表面貼膜--熱壓貼上抗蝕感光干膜曝光--通過(guò)UV曝光將菲林圖形轉(zhuǎn)移到干膜上沖板—撕掉干膜上的保護(hù)膜顯影--剝除線路圖形以外的干膜酸蝕--蝕刻線路圖形以外的銅箔退膜--去除線路圖形上的干膜沖孔--沖出層壓需要的定位孔本次改善重點(diǎn)在曝光(三)內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移工藝流程本次改善重點(diǎn)在曝光30（三）、開(kāi)路、缺口缺陷現(xiàn)狀K1--蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口 K2--曝光雜物開(kāi)路、缺口 K3--銅瘤開(kāi)路、缺口 K4--擦傷開(kāi)路、缺口K5--圓形開(kāi)路K6--溝狀蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口從AOI所保留開(kāi)路、缺口的圖片分析：本次80%開(kāi)路、缺口主要為K1和K2導(dǎo)致（三）、開(kāi)路、缺口缺陷現(xiàn)狀K1--蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口 從AOI所31(三)K1--蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口主要特征:線路不良，銅面上被蝕掉一層銅皮或呈凹入圓弧形狀，有側(cè)蝕。原因：膜下雜物、壓輥輕微的空洞（裂紋）、壓膜氣泡缺點(diǎn)發(fā)生崗位:貼膜(三)K1--蟲(chóng)咬開(kāi)路、缺口主要特征:線路不良，銅面上被蝕掉32(三)K2--曝光雜物開(kāi)路、缺口主要特征：缺陷位置形狀較規(guī)則，邊界清晰。原因:曝光灰塵、雜物。缺點(diǎn)發(fā)生崗位:曝光(三)K2--曝光雜物開(kāi)路、缺口主要特征：缺陷位置形狀較33(三)內(nèi)層開(kāi)路、缺口圖片MN427A曝光雜物開(kāi)路M600A板面雜物開(kāi)路(三)內(nèi)層開(kāi)路、缺口圖片MN427A曝光雜物開(kāi)路M600A板34(四)干膜房潔凈度改善1.每班次由菲林檢查人員、顯影人員使用粘塵輥清潔地面，包括所有設(shè)備底部、菲林架底部等死角全部清潔；2.每周保養(yǎng)需將機(jī)臺(tái)頂部、墻壁四周和天花板頂部清潔一次。(四)干膜房潔凈度改善1.每班次由菲林檢查人員、顯影人員使用35(五)曝光雜物的整改使用過(guò)期干膜時(shí)，如有殘膠反沾曝光前需全檢板面(五)曝光雜物的整改使用過(guò)期干膜時(shí)，如有殘膠反沾曝光前需全檢36(五)曝光雜物的整改手動(dòng)曝光機(jī)清潔前雜物灰塵用手摸或放粘塵紙時(shí)雜物明顯，但需要用手電的照射下機(jī)臺(tái)內(nèi)部雜物才明顯。(五)曝光雜物的整改手動(dòng)曝光機(jī)清潔前雜物灰塵用手摸或放粘塵紙37(五)曝光雜物的整改出風(fēng)口改善，將風(fēng)口用制網(wǎng)絲娟包住以減少風(fēng)機(jī)灰塵導(dǎo)致開(kāi)路；(五)曝光雜物的整改出風(fēng)口改善，將風(fēng)口用制網(wǎng)絲娟包住以減少風(fēng)38(五)曝光雜物的整改用粘塵紙將手動(dòng)曝光機(jī)由頂部依次到底部，順次清潔，以減少灰塵量。(五)曝光雜物的整改用粘塵紙將手動(dòng)曝光機(jī)由頂部依次到底部，順39(五)曝光雜物的整改清潔后使用手電將各個(gè)區(qū)域再次檢查特別是機(jī)臺(tái)的死角區(qū)域的檢查手動(dòng)曝光機(jī)機(jī)臺(tái)內(nèi)部由于光線不強(qiáng)且機(jī)臺(tái)內(nèi)部設(shè)計(jì)的死角很多，由于之前的清潔方法和檢查方法不當(dāng)導(dǎo)致許多死角藏有大量灰塵。(五)曝光雜物的整改清潔后使用手電將各個(gè)區(qū)域再次檢查特別是機(jī)40(五)曝光雜物的整改曝光框進(jìn)出的軌道無(wú)任何防護(hù)，在運(yùn)行過(guò)程中出現(xiàn)掉屑（呈黑色顆粒狀），現(xiàn)暫時(shí)將軌道處放置粘塵紙以減少黑色灰塵的來(lái)源。要求所放的粘塵紙?jiān)谥芤槐ｐB(yǎng)時(shí)進(jìn)行更換一次(五)曝光雜物的整改曝光框進(jìn)出的軌道無(wú)任何防護(hù)，在運(yùn)行過(guò)程中41(五)曝光雜物的整改首先使用菲林清潔劑對(duì)曝光框進(jìn)行清潔（包括玻璃臺(tái)面的反面清潔）(五)曝光雜物的整改首先使用菲林清潔劑對(duì)曝光框進(jìn)行清潔（包括42(五)曝光雜物的整改兩曝光框清潔后，將曝光框合上抽真空檢查整個(gè)曝光框是否還有雜物，合格