技術(shù)協(xié)議涂膠-顯影一體機(jī)2c1d

涂膠-顯影技術(shù)協(xié)議甲方：西安微電子技術(shù)乙方：沈陽芯源微電子設(shè)備1、設(shè)備名稱：涂膠2、設(shè)備數(shù)量：13、設(shè)備型號(hào)：KS-S300-4、設(shè)備性能設(shè)備適用范設(shè)備適用于TSV晶圓級(jí)先進(jìn)封裝中8英寸和12英寸晶圓、玻璃片、晶圓與設(shè)備基本功設(shè)備可兼容8英寸（200mm）和12英寸（300mm）晶圓、玻璃片、晶圓與212FOUP8Cassette32個(gè)為涂膠腔室，用于負(fù)性光刻膠的涂覆；具備FOUP及Cassette中晶圓狀態(tài)掃描功能，能夠識(shí)別插斜、缺失等問題，設(shè)備能夠在操作界面顯示每一片晶圓的具置；MES系統(tǒng)實(shí)自動(dòng)調(diào)用程序進(jìn)行加工，如果不是當(dāng)站產(chǎn)品，設(shè)備進(jìn)行提示，并實(shí)時(shí)顯示在PBO等涂膠各腔室均具備IPA、ADP增黏、EBR洗邊、BSR背洗、工藝腔室自動(dòng)功能；/配置過濾裝置對(duì)進(jìn)入工藝腔室的N2particle0.1μm以下，particle0.2μm以下，且Buffer除氣設(shè)備對(duì)廠務(wù)水裝有浮子流量計(jì)、廠務(wù)來氣裝有氣壓表，均有功能。接并實(shí)現(xiàn)將數(shù)據(jù)反饋到工控機(jī)中，可在操作屏實(shí)時(shí)查看。水、氣流量可通過流機(jī)臺(tái)正面按照SEMISII標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行規(guī)劃設(shè)計(jì)，配有雙屏：1.Robot區(qū)域、各涂膠腔室顯影腔室各配置1臺(tái)機(jī)進(jìn)行實(shí)時(shí)畫面并實(shí)時(shí)顯示在屏；2.操作配有觸摸屏具備翹曲片作業(yè)能力，不需要更換部件，即可滿足最大翹曲度Windows操作系統(tǒng)的圖形化控制軟件軟件具有工藝編程設(shè)備控制硬件自我故障功能工藝操作方便快捷；基于IPC控制系統(tǒng)Tcp/ip連接服務(wù)器，上傳數(shù)據(jù)需要支持半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)通訊SECS/GEM設(shè)備的log功能：設(shè)備有自動(dòng)記錄任何操作信息、信息功能，并可設(shè)1s/2s等。數(shù)據(jù)以文檔形式記錄，便于查找和存檔，并USB接口導(dǎo)配置要上料、下料單配置12英寸FOUPLOADPORT數(shù)量2能夠兼容8英寸CASSETTE，128AdaptorAdaptor；晶圓傳片方式為機(jī)械自動(dòng)傳送，機(jī)械品牌為機(jī)械采用真空吸附方式進(jìn)行傳片機(jī)械采用進(jìn)流伺服馬達(dá)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制，馬達(dá)品牌為機(jī)械具有T（360度轉(zhuǎn)動(dòng)、R（前行和后退、Z（上和下）的運(yùn)動(dòng)能具備FOUP中晶圓數(shù)量的能力配置對(duì)射式傳感器，用于檢測(cè)晶圓出片盒前是否有錯(cuò)位、疊片、斜晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)單涂膠單221每個(gè)涂膠腔室均配置2套負(fù)膠供膠系統(tǒng)、滴膠系統(tǒng)，1套用于黏度13000cp~16000cpKINGSEMI11500cp~4000cp1~120μm每個(gè)涂膠腔室均具備工藝室自動(dòng)功能IPA功能ADP涂覆功能、1套；7個(gè)噴嘴：1個(gè)IPA噴嘴、1ADP噴嘴、2個(gè)光刻EBR噴嘴配置在洗邊臂上；設(shè)備robot區(qū)域、涂膠腔體區(qū)域需要有FFU0.3μm及采用廢液桶進(jìn)行廢液排放，廢液桶具有液位檢測(cè)功能以及廢液桶功涂膠過程中，chuck有實(shí)時(shí)真空檢測(cè)功能，如過程中發(fā)現(xiàn)有真空異常，需及警，并立即停止作業(yè)。冷熱板單6個(gè)熱板，2熱板、冷板采用機(jī)械pin配置數(shù)字溫度控制器，對(duì)加熱溫度進(jìn)行設(shè)定和控制，控溫方式為設(shè)備溫度具有實(shí)時(shí)功能，可以設(shè)定超溫保護(hù)具有超溫功能，若設(shè)備超溫，立即停機(jī)，停止繼續(xù)加熱超溫后，自動(dòng)升起機(jī)械pin針，防止過烘烤，從而防止對(duì)圓片及光刻超溫并升起pin針后，可自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)械手在30s內(nèi)取走晶圓down機(jī)或斷電時(shí)，pinUPS帶動(dòng)，自動(dòng)升起，防止過顯影單121~30μm正性光刻膠、1~120μm2套顯影液罐和顯影噴嘴：1套用于堿性顯影液、1套用于有機(jī)顯影DIW；配置1個(gè)BSR液罐和2個(gè)BSR噴嘴：液罐用于BSR有機(jī)液、噴嘴分別用于有機(jī)液和DIW；3套：1套用于堿性顯影管路、1套用于有機(jī)顯影管路、1顯影方式：噴淋式3000rpm，精度±1rpm顯影過程中，chuck有實(shí)時(shí)真空檢測(cè)功能，如過程中發(fā)現(xiàn)有真空異常，可及警，并立即停止作業(yè)；配置顯影液A/B罐自動(dòng)供給系統(tǒng)，當(dāng)機(jī)臺(tái)內(nèi)顯影液不足時(shí)，如檢測(cè)A罐B罐供液，可保證連續(xù)供液。同時(shí)能夠?qū)@影液從機(jī)臺(tái)外部原料桶中自動(dòng)供給到機(jī)臺(tái)顯影液罐A中；及排放，廢液桶具有液位檢測(cè)功能以及廢液桶功能。集成控制軟件具備機(jī)臺(tái)參數(shù)實(shí)時(shí)功能工藝過程中的重要數(shù)據(jù)可通過軟件記錄故障；軟件能夠?qū)χ匾考M(jìn)行統(tǒng)計(jì)管理，當(dāng)達(dá)到使用時(shí)可提示UPS（15min下，設(shè)備。警報(bào)系機(jī)臺(tái)警報(bào)系統(tǒng)包含蜂鳴器及指示燈，用戶可以根據(jù)需要選擇的處理方式，可以對(duì)歷史進(jìn)行查詢。指示燈意義：紅燈：技術(shù)參基本參負(fù)膠：涂膠片內(nèi)均勻性：≤5%（最大-最小）/（2平均值）100%；（?。?（2單片平均值總和的平均值正膠：CD開口片內(nèi)均勻性：≤3%（最大-最?。?（2平均值CD開口片間均勻性：≤5%（單片平均值的最大-單片平均值的最小）/（2單片平均值總和的平均值）100%；負(fù)膠：CD開口片內(nèi)均勻性：≤5%（最大-最小）/（2平均值CD開口片間均勻性：≤8%（單片平均值的最大-單片平均值的最?。?（2單片平均值總和的平均值）100%；1μm光刻膠：CD開口片內(nèi)均勻性：≤1.5%（最大-最小）/（2CD開口片間均勻性：≤3%（單片平均值的最大-單片平均值的最?。?（2單片平均值總和的平均值）100%；15~25涂膠WPH指單個(gè)涂膠腔室每小時(shí)可涂膠的片數(shù)，其中走完進(jìn)料————涂膠——烘烤——112英寸晶圓涂覆負(fù)膠soldermaskA/B混合膠(16000cp40μm)為例。涂膠WPH：16片（IAADP：100；HP：240；OT：90；HP：300；顯影WPH指單個(gè)顯影腔室每小時(shí)可顯影的片數(shù)，其中走完進(jìn)料————顯影——出料整個(gè)流程算顯影112英寸晶圓顯影AZ系列正膠(400cp，12μm)為例。顯影WPH：11破片設(shè)備upUptime≥95%（總時(shí)間-障時(shí)間）/100%設(shè)備表現(xiàn)平均故障間隔時(shí)間平均修復(fù)時(shí)間MTTR：≤4hrs動(dòng)力條件設(shè)備尺寸：2630×2300×2400mm（W×D×H圍，上限400+400*7%V，下限400-400*10%V，50HZ(有特殊電源制式時(shí)，其它重點(diǎn)要乙方提供設(shè)備操作和維修工具5、安全保設(shè)備提供和安全互鎖功能，保證和設(shè)備的安全，對(duì)某些有潛在災(zāi)等、運(yùn)動(dòng)部件、電壓、氣壓差等。對(duì)于有互鎖限制的操作，只有當(dāng)互鎖可能碰撞)，同警通知用戶，用戶可以根據(jù)需要選擇重試工藝、繼續(xù)工藝或緊急情況發(fā)生時(shí)，可以通過EMO回路緊急停止設(shè)備，減少設(shè)備。EMO按鈕為黃色背景紅色蘑菇頭形狀，在設(shè)備明顯位置。當(dāng)按下任意一個(gè)按鈕時(shí)，EMO回路就會(huì)切斷機(jī)臺(tái)供電。在斷電情況下，系統(tǒng)主電源會(huì)自動(dòng)關(guān)斷，恢設(shè)備的高溫、高壓、強(qiáng)腐蝕部分都貼有提醒標(biāo)記；設(shè)備高溫部件均需要6、備件及資料要隨機(jī)免費(fèi)附件（不包含機(jī)器自帶的標(biāo)準(zhǔn)配置備件112128134512廠家468廠家471序號(hào)182339445真空電封363721（光盤）合同簽訂后2乙方向甲方提供簽署蓋章的設(shè)備安裝資料，包括水、電、7、其它要設(shè)備所有零部件和各種儀表的計(jì)量單位全部采用國(guó)際單位標(biāo)準(zhǔn)（SI標(biāo)準(zhǔn)觀，好。配電設(shè)計(jì)規(guī)范GB50054-2011》和《通用用電設(shè)備配電設(shè)計(jì)規(guī)范GB50055-2011》等國(guó)家強(qiáng)制性；8、包裝要包裝箱采用木箱包裝，防水膜進(jìn)行全包覆，并符合ISO14001環(huán)保包裝可滿足長(zhǎng)途、防潮、防震、防塵、防裝卸包裝外部標(biāo)志清楚，包裝木箱堅(jiān)固可靠，符合的要求9、交貨期限及地1號(hào)西安微電子技術(shù)10、服務(wù)要乙方負(fù)責(zé)設(shè)備的包裝、（至甲方指定地點(diǎn)、機(jī)臺(tái)的安裝（設(shè)備主機(jī)安裝，輔機(jī)/附件安裝及設(shè)備主機(jī)與設(shè)備輔機(jī)/附件之間的安裝）及試，甲方負(fù)責(zé)設(shè)備的、安裝前的保管及設(shè)備的移入就位11、安裝培1030日內(nèi)具備生；乙方對(duì)甲方技術(shù)提供免費(fèi)技術(shù)培訓(xùn)學(xué)習(xí)培訓(xùn)工作由乙方安排資深工程師組織進(jìn)行，所有培訓(xùn)過程中所涉及的工具等必要物品由乙方提供；12、設(shè)備試機(jī)和驗(yàn)設(shè)備驗(yàn)收時(shí)所用工具和特殊耗材由乙方提前說明并在驗(yàn)收時(shí)自帶CD開口片內(nèi)均勻性：≤3%；CD開口片間均勻性：≤5%；CD開口片內(nèi)均勻性：≤5%；CD開口片間均勻性：≤8%；1μmCD開口片內(nèi)均勻性：≤3%；CD開口片間均勻性：≤5%；CD開口片內(nèi)均勻性：≤5%；CD開口片間均勻性：≤8%；1μmCD制精度：≤115~25℃范圍內(nèi)49個(gè)點(diǎn)；2.4片數(shù)據(jù)1312個(gè)月，質(zhì)保期內(nèi)免費(fèi)保修，維修；機(jī)臺(tái)安裝版本的軟件，提供設(shè)備所需軟件的免費(fèi)升級(jí)服務(wù)乙方配備駐廠工程師（駐廠時(shí)間為1年），駐廠在收到甲方信息后4小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，并制定相應(yīng)方案，4中遇到的各種問題。駐廠工程師后，保證支持，設(shè)備發(fā)生故障后，4小時(shí)內(nèi)響應(yīng)