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D26氣泡改善報告Reportedby:JackzDate:2010/11/0612

DESCRIBETHEPROBLEM11/02日D26產(chǎn)線投線時發(fā)現(xiàn)有氣泡不良，投入4800PCS，發(fā)現(xiàn)265PCS不良，不良率5.52%;不良圖片如下：氣泡TeamBuildingQCLRR&DefectRateAccount3TeamMember:QA：JackzZhai、MaxHong、TimWuPE：JohnnyKu、AllenHsuPD：JeffYTLin、JunHeMPM：EricDong、SteelNi5原因分析：1.針對不良產(chǎn)品氣泡處，使用3M膠帶進行Peeling測試，發(fā)現(xiàn)為Ni層脫落，

露出Cu層；IdentifyRootCauseorPotentialCause經(jīng)3M測試后，發(fā)現(xiàn)為Ni層脫落，露出Cu層，且Cu層有發(fā)黑現(xiàn)象62.針對不良品氣泡處進行切片，發(fā)現(xiàn)氣泡處Cu&Ni分層：圖片如下：IdentifyRootCauseorPotentialCause切片可以發(fā)現(xiàn)氣泡處也為Cu&Ni之間有間隙7IdentifyRootCauseorPotentialCause

3.針對氣泡產(chǎn)品進行EDX測試發(fā)現(xiàn)：由EDX可知，氣泡產(chǎn)品含有C、O元素8IdentifyRootCauseorPotentialCause3.經(jīng)查生產(chǎn)記錄，此11/01日化鍍夜班生產(chǎn)時，因Ni槽塞車，此批產(chǎn)品鍍Cu后被取出放置線邊，由11/02日白班繼續(xù)完成鍍Ni及後續(xù)制程；4.由以上可知，此氣泡產(chǎn)生應(yīng)是鍍Cu產(chǎn)品因放置於空氣中時間過長，Cu層氧化，在鍍Ni前未有效清除Cu層表面氧化層，而直接鍍Ni造成Cu&Ni分層，從而產(chǎn)生氣泡；10改善對策：2.工程針對此制程，發(fā)行標(biāo)準(zhǔn)SOP，以規(guī)範(fàn)標(biāo)準(zhǔn)操作：a.對於鍍Cu完成，放置小於4H的半成品：Cu層屬於輕微氧化，需增加酸洗時間到

3~5Min，完全去除氧化后再進行后制程生產(chǎn)

b.對於鍍Cu完成，放置大（等）於4H的半成品：Cu層嚴重氧化產(chǎn)品，需增加微蝕

10~30S，去除氧化層后再酸洗水洗進行后制

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