樂(lè)山職業(yè)技術(shù)學(xué)院半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)課程標(biāo)準(zhǔn)

樂(lè)山職業(yè)技術(shù)學(xué)院《半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)》課程標(biāo)準(zhǔn)課程名稱(chēng)：半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)適用專(zhuān)業(yè)：硅材料技術(shù)適用階段：高職階段適用類(lèi)型：普專(zhuān)類(lèi)一、前言（一）課程性質(zhì)《半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)》課程是面向硅材料技術(shù)專(zhuān)業(yè)學(xué)生開(kāi)設(shè)的專(zhuān)業(yè)基礎(chǔ)必修課，第三學(xué)期開(kāi)設(shè)，前導(dǎo)課程為無(wú)機(jī)化學(xué)、化工分析，后導(dǎo)課程為：多晶硅生產(chǎn)技術(shù)、晶體硅制備技術(shù)、硅材料檢測(cè)、硅片加工。該課程側(cè)重學(xué)生專(zhuān)業(yè)理論及專(zhuān)業(yè)素養(yǎng)的培養(yǎng)，對(duì)學(xué)生專(zhuān)業(yè)核心能力的建立起理論支撐作用，在整個(gè)課程體系中起到理論知識(shí)儲(chǔ)備的作用。嘲箱閏屬鈔瘞喇尻賴(lài)jttrn。（二）制定依據(jù)和思路《半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)》課程標(biāo)準(zhǔn)的制定以多晶制取工”、單晶硅制取工"、”材料成份檢驗(yàn)工”的國(guó)家職業(yè)資格標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)技能和知識(shí)的要求、充分結(jié)合硅材料技術(shù)專(zhuān)業(yè)人才培養(yǎng)方案、專(zhuān)業(yè)調(diào)研，在相關(guān)企業(yè)專(zhuān)家指導(dǎo)下制訂。1g副溝熠金富^愛(ài)建譴凈禍測(cè)槌。二、課程目標(biāo)（一）總體目標(biāo)通過(guò)本課程的學(xué)習(xí)，使學(xué)生從整體上掌握硅材料的理化特性、晶體學(xué)、能帶理論、多晶硅生產(chǎn)原理、晶體硅生長(zhǎng)理論、硅片清洗、腐蝕、檢測(cè)等原理，具有硅材料技術(shù)專(zhuān)業(yè)高素質(zhì)技能型人才必備的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和相關(guān)職業(yè)能力，能從理論出發(fā)，分析問(wèn)題、解決問(wèn)題；為后續(xù)課程學(xué)習(xí)打好理論基礎(chǔ)。殘鷲樓靜鑄瀚湃淑sm婭驟束。（二）知識(shí)目標(biāo)、熟悉硅材料的物理、化學(xué)特性；、了解晶體結(jié)構(gòu)理論；、了解晶體缺陷理論；、了解晶體能帶理論；、理解結(jié)形成過(guò)程；、了解光伏發(fā)電工作原理；、掌握半導(dǎo)體摻雜理論；、掌握半導(dǎo)體化學(xué)清洗、腐蝕原理；、掌握半導(dǎo)體外延工藝原理；、掌握半導(dǎo)體表面鈍化化學(xué)原理；、掌握半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝原理。（三）能力目標(biāo)、能夠區(qū)分硅的類(lèi)型；、能夠識(shí)別硅材料的缺陷；、能夠計(jì)算晶面指數(shù)；、能夠計(jì)算晶向指數(shù)；、能夠繪制太陽(yáng)能電池發(fā)電原理圖；、能根據(jù)實(shí)際情況選擇適合的化學(xué)腐蝕液；、能根據(jù)實(shí)際情況選擇適合的化學(xué)清洗液；（四）素質(zhì)目標(biāo).具備搜集、整理行業(yè)發(fā)展信息、專(zhuān)業(yè)相關(guān)資料的能力；.具備解讀行業(yè)法律法規(guī)的能力；.具備查閱硅材料專(zhuān)業(yè)相關(guān)資料、并進(jìn)行知識(shí)重構(gòu)和創(chuàng)新的能力；.具備解讀行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)等指導(dǎo)性文件的能力；、具有一定的分析、歸納的能力；、具備較強(qiáng)的邏輯思維能力；、具備獨(dú)立思考的能力；、具有一定的計(jì)算能力。

、具有識(shí)圖、繪圖的能力；.具備安全生產(chǎn)的意識(shí)。三、教學(xué)內(nèi)容與要求。根據(jù)專(zhuān)業(yè)人才培養(yǎng)方案對(duì)學(xué)生職業(yè)能力的要求為依據(jù)確定教學(xué)內(nèi)容，以循序漸進(jìn)能力遞增的原則安排教學(xué)內(nèi)容。（一）教學(xué)內(nèi)容選取為使學(xué)生更好的掌握硅材料技術(shù)專(zhuān)業(yè)相關(guān)課程的知識(shí)與技能，本課程分為硅材料物理基礎(chǔ)”、硅材料化學(xué)基礎(chǔ)”兩個(gè)教學(xué)模板，具體安排、教學(xué)目標(biāo)、教學(xué)基本要求如表。r鋼極鎮(zhèn)檜豬^錐感be。（二）教學(xué)內(nèi)容組織與安排表模塊知識(shí)目標(biāo)能力目標(biāo)素質(zhì)目標(biāo)教學(xué)時(shí)數(shù)理論實(shí)踐合計(jì)硅材料物理基礎(chǔ)硅材料的分類(lèi)及物理特性熟悉硅材料的分類(lèi)；掌握硅的物理特性（電學(xué)性質(zhì)、光學(xué)性質(zhì)、熱學(xué)性質(zhì)、機(jī)械性質(zhì)）；了解多晶硅制備原理；了解單晶硅（直拉單晶、區(qū)熔單晶）制備原理；.了解鑄錠多晶硅制備原理；.能夠區(qū)分不同的硅料類(lèi)型；.能夠結(jié)合實(shí)際情況分析影響材料性能的可能因素；.能夠利用材料特性分析實(shí)際中出現(xiàn)的問(wèn)題。.具備預(yù)測(cè)硅材料行業(yè)發(fā)展的能力；.具備收集行業(yè)信息、解讀國(guó)家政策的能力；.具備解讀行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)等指導(dǎo)莊文件的能力；.具備一定的行業(yè)安全意識(shí)；.具備查閱硅材料行業(yè)相關(guān)資料、并進(jìn)行知識(shí)重構(gòu)和創(chuàng)新的能力；晶體結(jié)構(gòu)、缺陷及能帶.熟悉晶體缺陷的分類(lèi)；.掌握晶體缺陷產(chǎn)生的原因；.了解晶體結(jié)構(gòu)、晶向、少子壽命測(cè)試所需的儀器類(lèi)型；.熟悉能帶理論的形成原理；.熟悉能隙的分類(lèi)；.掌握半導(dǎo)體中的載流子形成與復(fù)合原理；.熟悉雜質(zhì)能級(jí)的分類(lèi)及影響；.了解缺陷能級(jí)的分類(lèi)及影響；.掌握少子壽命的計(jì)算。.能夠進(jìn)行晶向、晶面指數(shù)的計(jì)算；.能對(duì)照缺陷譜圖識(shí)別硅片缺陷；.能夠根據(jù)軍平衡少數(shù)載流于濃度隨復(fù)合時(shí)間的變化圖”分析少子壽命；.能夠利用雜質(zhì)濃度與電阻率的關(guān)系圖”解決摻雜計(jì)算問(wèn)題；.能夠根據(jù)摻雜元素分析硅材料的型號(hào)。.具備嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度；.具備解讀行業(yè)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)等指導(dǎo)莊文件的能力；.具備獨(dú)立思考的能力和團(tuán)隊(duì)協(xié)作意識(shí)；.具備一定的邏輯思維能力；.具備分析問(wèn)題的能力；.具備計(jì)算的能力。.具備識(shí)圖、繪圖的能力。

結(jié).掌握結(jié)的形成原理；.掌握結(jié)的光伏特性；.了解結(jié)的電流電壓特性、隧道效應(yīng)、雪崩效應(yīng)、開(kāi)關(guān)效應(yīng)；了解結(jié)制備流程；能夠以草坪燈為載體繪制燈泡發(fā)光原理圖；.具備分析問(wèn)題能力；.具備解決問(wèn)題能力；.具備數(shù)據(jù)搜索、分析整理能力硅材料化學(xué)基礎(chǔ).熟悉硅的化學(xué)特性；.了解多晶硅制備原理；.了解硅的重要化合物；.掌握硅片表面雜質(zhì)分類(lèi)；.掌握有機(jī)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)的清洗原理；.熟悉化學(xué)清洗的順序；.掌握化學(xué)清洗的原則；.掌握化學(xué)試劑的性質(zhì)；.掌握化學(xué)腐蝕原理及影響因素；.掌握表面鈍化膜的分類(lèi)及對(duì)比。.掌握外延工藝原理及影響因素；.掌握雜質(zhì)的類(lèi)型及擴(kuò)散原理分析。.能夠根據(jù)實(shí)際情況選用適合的化學(xué)清洗試劑；.能夠根據(jù)硅片表面雜質(zhì)類(lèi)型提出清洗順序；.能夠根據(jù)實(shí)際情況選用適合的化學(xué)腐蝕液；.能夠簡(jiǎn)單分析外延工幺中的影響因素；.能夠根據(jù)實(shí)際情況選擇適合的表面鈍化薄膜；.能夠根據(jù)要求選擇適合的摻雜劑。.培養(yǎng)學(xué)生邏輯思維能力；.培養(yǎng)學(xué)生分析能力；.培養(yǎng)學(xué)生獨(dú)立思考的能力；.培養(yǎng)學(xué)生嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度；.培養(yǎng)學(xué)生查閱文獻(xiàn)的能力；.培養(yǎng)學(xué)生化工安全的意識(shí)；.培養(yǎng)學(xué)生現(xiàn)場(chǎng)管理的能力。合計(jì)《半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)》課程內(nèi)容及組織安排表四、實(shí)施建議（一）教材選用教材選用校企合作校本教材《光伏材料理化實(shí)用基礎(chǔ)》，輔助教材為《半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)》，其中《半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)》屬于太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)校企合作系列教材，化學(xué)工業(yè)出版社版。彈貿(mào)攝爾霽斃撰磚鹵尻詒爾膚。（二）教學(xué)方法與手段、課程的總體教學(xué)模式以學(xué)生為主導(dǎo)，教師引導(dǎo)的方法進(jìn)行。、具體教學(xué)方法見(jiàn)表表模塊教學(xué)方法教學(xué)資源教學(xué)場(chǎng)地教學(xué)建議硅材料物理基礎(chǔ)硅材料的分類(lèi)及物理特性任務(wù)驅(qū)動(dòng)法頭腦風(fēng)暴法傳統(tǒng)講授法教學(xué)教室、多媒體教室、電性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)室進(jìn)一步開(kāi)發(fā)行業(yè)、專(zhuān)業(yè)針對(duì)性強(qiáng)的教材晶體結(jié)構(gòu)、缺陷及能帶現(xiàn)場(chǎng)教學(xué)法任務(wù)驅(qū)動(dòng)法傳統(tǒng)講授法教學(xué)少子壽命儀、金相顯微鏡、型號(hào)測(cè)試儀、晶向測(cè)試儀材料缺陷實(shí)訓(xùn)室、電性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)室增加教師企業(yè)頂崗實(shí)習(xí)，拓展教學(xué)案例。結(jié)現(xiàn)場(chǎng)教學(xué)法案例教學(xué)法頭腦風(fēng)暴法任務(wù)驅(qū)動(dòng)法教學(xué)戶(hù)外、組件實(shí)訓(xùn)室加強(qiáng)校企合作，增加學(xué)生外出參觀的機(jī)會(huì)。硅材料化學(xué)基礎(chǔ)現(xiàn)場(chǎng)教學(xué)法案例教學(xué)法頭腦風(fēng)暴法任務(wù)驅(qū)動(dòng)法教學(xué)純水制備實(shí)驗(yàn)室、基礎(chǔ)化學(xué)實(shí)驗(yàn)室基礎(chǔ)化學(xué)實(shí)驗(yàn)室拓展教學(xué)案例《半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)》課程教學(xué)方法組織安排表（三）考核與評(píng)價(jià)表考核類(lèi)型考核內(nèi)容比例考核方式過(guò)程性考核（）硅材料物理基礎(chǔ)硅材料的分類(lèi)及物理特性課堂表現(xiàn)（）作業(yè)完成情況（）出勤情況（）晶體結(jié)構(gòu)、缺陷及能帶結(jié)硅材料化學(xué)基礎(chǔ)合計(jì)終結(jié)性考核（）硅材料物理基礎(chǔ)硅材料的分類(lèi)及物理特性教考分離理論考試晶體結(jié)構(gòu)、缺陷及能帶結(jié)硅材料化學(xué)基礎(chǔ)合計(jì)《半導(dǎo)體硅材料基礎(chǔ)》課程考核與評(píng)價(jià)安排表（四）課程資源的開(kāi)發(fā)與利用課業(yè)文