T10設(shè)備調(diào)試報(bào)告

T10設(shè)備調(diào)試過程T10設(shè)備大致介紹T10為T8設(shè)備的升級(jí)版由原有的DALSA8K相機(jī)更改為E2V16K 相機(jī)，光由原有的半/全反鏡反光模式改為棱鏡，光柵尺由海德漢改為Renishaw，T10較T8而言，增加了掃描寬度故削減了掃描時(shí)間偵測(cè)率理論上已比之前更好實(shí)際暫未做比照下面，具體講解更改的各硬件設(shè)備和軟件及調(diào)試過程。用途：T10設(shè)備與T8設(shè)備一樣，使用與PCB線路板行業(yè)，主要檢測(cè)2mil以上的蝕刻缺陷板的高周密儀器。也可檢測(cè)干膜板，但要對(duì)干膜板制作質(zhì)量要求較高否則檢測(cè)缺陷點(diǎn)太多起不到明顯的檢測(cè)效果。相機(jī)型號(hào)：E2V16K相機(jī)。鏡頭型號(hào)：施耐德0059鏡頭。光源：原燈條加菱鏡〔代替原全、半反鏡。電腦型號(hào)：Z600WIN764位系統(tǒng)、16GB內(nèi)存〔小于16G可能會(huì)消滅采集圖像縱向錯(cuò)位。測(cè)試精度：2.2-3.15檔位 7um-10um像素大小。1T10設(shè)備的E2V16K相機(jī)〔11024*16=16384個(gè)像素，T8設(shè)備DALSA8K相機(jī)掃描寬度為1024*8=8192個(gè)像素，T10T8增大一倍.12、光源構(gòu)造：T10設(shè)備光源LEDT8一樣未做轉(zhuǎn)變，棱鏡〔如圖2—棱鏡及安裝方法〕代替T8的全、半反〔注：安裝棱鏡時(shí)，棱鏡里45〕23C/L軸機(jī)械高度：CL軸位置，T8DALSA8K7um，T10E2V16K5um10um〔相機(jī)采10um〕的C、L軸高度，依據(jù)高斯公式〔如圖4〕可算出：T8:7/10=V/U，T10:5/10=V/U，T8與T10使用的鏡0059f120，由公式1/U+1/V=1/f即可算出T10與T8中C、LT10：V=180，U=360.T8：V=203.98，U=291.4T10CLT8C、L軸的高。T10T8T10C軸絲桿比T8CamLink線的走線方向緣由會(huì)導(dǎo)致連接相機(jī)端的CamLinkCamLink線接相機(jī)端需更改走線方向〔3〕3〔V不是實(shí)際的物距，T10設(shè)備光源為棱鏡，光路直接透過棱鏡到相機(jī)，實(shí)際物距=V+棱鏡內(nèi)部距離〔暫未查位都比實(shí)際少6.7m。T8光由半/全反鏡反射，實(shí)際物距=V+半/全反鏡之間的距離。4、光柵尺：T10設(shè)備使用的Renishaw光柵尺，光柵尺轉(zhuǎn)接板或轉(zhuǎn)接線上的電阻〔470歐與220歐不影響其掃描速度〕時(shí)，掃描速度能到達(dá)450mm/s，T8設(shè)備上的海德漢光柵尺在由光柵尺轉(zhuǎn)接板或轉(zhuǎn)接線上電阻為470歐未改成220歐時(shí)掃描速度只400mm/s220450mm/〔電阻接在A+B+470歐或220歐。二：軟件方面：1T10設(shè)備軟件上與T8大致一樣由于T10E2V16KE2V16K軟件來更改E2V16K相機(jī)參數(shù)而T8的DALSA相機(jī)則由超級(jí)終端來更改E2V16K相機(jī)軟件安裝方法〔5〕5e2v16K 相機(jī)的使用：e2v 相機(jī)軟件安裝完成后，雙擊CommCamGenICam (e2v相機(jī)快捷鍵桌面上或開頭菜單里定后彈出畫面

選擇Yes確Ok鍵，彈出畫面 ，雙擊，彈出以下圖畫面圖中為更改增益參數(shù)， 為更改偏置參數(shù)〔翻開2S

ImageFormatControlSensorMode改，此參數(shù)固定為2S不做任何更改?！吃诖蜷_

中的User SetLoad更改UserSet1模式后，以后更改參數(shù)直接更改按回車鍵即可保存所更改的相機(jī)參數(shù)。2、軟件參數(shù)更改：1SaperaCamExper桌面快捷方式應(yīng)用程序軟件里ImageBufferandROI中ImageWidth(inpixels)8192e2v16K相機(jī)，采集寬度為16384個(gè)像素〔6。62、AOI軟件里配置文件更改：T10相機(jī)，T8DALSA8KAOI軟件中配置文件里有幾條關(guān)于相機(jī)配置的程序指令需更改〔7。7三：調(diào)試1OKAOIX、Y、C、LAOI系統(tǒng)參數(shù)里及玻璃標(biāo)靶與平臺(tái)的等高距離輸入AOI系統(tǒng)參數(shù)中。2、調(diào)試步驟：1T10T8設(shè)備的不同，因此光源調(diào)試方法不大一樣。T8設(shè)備光源中光路由半/全反鏡反射相機(jī)中，DALSA相機(jī)有兩個(gè)探頭。所以調(diào)光時(shí)需要調(diào)整半/全反鏡位置和相機(jī)兩個(gè)探頭分別采集的每組燈光灰度值的均勻度〔10。依據(jù)上述已算出的T10設(shè)備光路e2v相機(jī)軟件與LED光源〔在2610運(yùn)動(dòng)掌握軟件或杭電或AOI軟件中翻開LED燈為調(diào)光之前做的步驟預(yù)備，SaperaCamExpert線陣圖像采集卡應(yīng)用程序需該更改局部默認(rèn)的配置參數(shù)，更改后再開頭調(diào)整光源。8.1〔注：上述圖中相機(jī)類型線陣模式與面陣模式狀態(tài)調(diào)光均可〕8.2在光源聚焦處〔平臺(tái)〕A4紙〔紙下最好墊塊PCB板〔8.3〕8.3Grab〔連續(xù)采集圖像〕畫面〔8.4。

〔圖像數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)直方圖8.4〔8.3中采集圖像的最大曝光值，當(dāng)采集圖像消滅最亮后，鎖緊主燈側(cè)的螺絲。調(diào)其余四組燈時(shí)，每組燈光光路照耀在平臺(tái)上的A4白紙上的聚焦點(diǎn)與主燈所照耀在平臺(tái)A4白紙上的聚焦點(diǎn)在同一條線上后〔主燈為翻開狀態(tài)，路與主燈在同一條線上)鎖緊螺絲即可〔T10設(shè)備棱鏡光源此方法調(diào)試T8則需要在兩個(gè)探頭SCD1和SCD0的兩種模式下，山峰輪廓相像〔光圈一樣,通過在超級(jí)終端內(nèi)輸入命令指示符掌握)10狀況下才算調(diào)試成功?！沧ⅲ合鄼C(jī)要與光源對(duì)稱，在同一中心位置。假設(shè)不在中心位置10um檔位時(shí)，相機(jī)的采集寬度為16.384cm，而我們光源目前的有效寬度為23cm,3.25cm的余量。3cm的余量才能保證采集圖3cm〕2、檔位調(diào)試：T10與T8檔位調(diào)試方法一樣，但AOI軟件T10設(shè)備只使用4個(gè)檔位解析度分別為：2.2〔7um〕,2.52〔8um〕,2.83(9um),3.15(10um)。而T8設(shè)備的檔10—15um。檔位調(diào)試均有兩種方法：一種手動(dòng)調(diào)試，一種10um檔位的兩種調(diào)試方法：AOI軟件，初始化后，依據(jù)上述用高斯公式算出的u、v的高度，用高度尺〔如圖9〕測(cè)量出此位置。9上的玻璃標(biāo)靶〔10。10再通過計(jì)算和不斷移動(dòng)C、L軸位置〔當(dāng)玻璃標(biāo)靶采集圖放3OK〕再算出此檔位10um〕的DPI〔1。11取圖中兩標(biāo)示格中間共10格〔玻璃標(biāo)靶實(shí)際刻度為每大格1c1m10cm=100000um。10um檔位為每像位采集圖像后，圖中標(biāo)示的左右兩X坐標(biāo)應(yīng)相差10000個(gè)像素為實(shí)際DPI值，依據(jù)圖中兩坐標(biāo)值得出相差9985個(gè)像素，還差15個(gè)像素〔即采集寬度不夠，所以鏡頭應(yīng)連續(xù)向上〔負(fù)方向〕移動(dòng)〔假設(shè)采集寬度大于10000個(gè)像素時(shí)，即采集寬度大了，鏡頭應(yīng)向下移動(dòng)〔正方向)。當(dāng)圖中已標(biāo)示兩位置坐標(biāo)相差100002OK〔其它檔位也如同此方法調(diào)試)。自動(dòng)調(diào)試：自動(dòng)檔位調(diào)試較簡(jiǎn)潔，通過已寫好的軟件程序來移動(dòng)CLDPI值。翻開軟件文件夾運(yùn)行彈畫面單擊畫面“是，軟件自動(dòng)初始化后彈出〔12〕畫面。12更改上圖中X、Y 坐標(biāo)，將相機(jī)移至平臺(tái)上玻璃標(biāo)靶處，使光源聚焦在玻璃標(biāo)靶刻度中心處〔查看精度表，將平臺(tái)與玻璃標(biāo)靶相差值輸入上圖計(jì)算出的DPI112540，則輸入 。彈出

中，如10umDPI值為重復(fù)單擊〔重復(fù)單擊〔12〕中〔圖12值與0.3OK〔C、L軸位置輸入AOI系統(tǒng)參數(shù)中即可〕。反之相差不在0.3以內(nèi)則連續(xù)步驟0.3以內(nèi)為止。其它檔位一樣調(diào)試。

知道自動(dòng)清楚后兩值相差3、畸變調(diào)試：T10設(shè)備〔光源配棱鏡構(gòu)造〕的畸變調(diào)試與T10T8設(shè)備光〔惠州星之光和揚(yáng)宣的T10T8設(shè)備光源的構(gòu)造一樣。T8設(shè)備通過來減小畸變，一般狀況下X10um以內(nèi)，Y也在正負(fù)10um/全反鏡緣由導(dǎo)致畸變只13um〔XY一樣調(diào)好畸變后還需微調(diào)光源。T10設(shè)備光源配棱鏡構(gòu)造的畸變調(diào)試：T10設(shè)備光源的光路13.1看畸變，X10um以內(nèi)，Y方向的畸變?yōu)檎?fù)2um以內(nèi)(13,1-13.2X、Y方向畸變效果圖)。13.113.2X方向畸變效果〔圖波動(dòng)最大范圍—10um到+10um13.2Y方向畸變效果圖〔圖波動(dòng)最大范圍—1um到+1um)T8Y方向畸變及調(diào)試中的便利性，X方向畸變改善不大。為驗(yàn)證X畸變是否由菱鏡造成：1、將菱鏡拆下來，在沒有菱鏡的狀況下測(cè)試標(biāo)靶，覺察X畸變?nèi)耘f在正負(fù)10以內(nèi)，則說明造成畸變的主要緣由不是由于響緣由還在測(cè)試。但在拆下菱鏡后需將相機(jī)和鏡頭坐標(biāo)都降低6700um左右〔就是縮短物距，才可以調(diào)到對(duì)應(yīng)解析度?？赡苁怯捎诹忡R的折射造成，具體緣由還在于菱鏡