RV5真空泵使用手冊

RV3、RV5、RV8以及RV12旋轉(zhuǎn)式葉片泵A65X-YY-ZZZ泵類型變體馬達(dá)說明XYYZZZ2=RV301至99903=220-240V,50/60Hz,單相3=RV5904=100/200V,50/60Hz,單相4=RV8905=200-230/380-460V,50/60Hz三相5=RV12906=110-115/120V,50/60Hz,單相965=NEMA光軸970=ISO光軸(Sova/AF^OS*riWu?%qdv?■?■號■???■?■號■?? ??京mn，Kfi圖1■Jn-S-IKH?w???W^>￡>?-冰**Mga如乜m二aM4■iFE-ilt!.汕ft世?阜*■*!*+即-，*■Wb，?*?的KL2lM±±M11 *AHIE*1WIer i*si'■"'印工餐kWJitaimi帔串?心安■悔FE*?U認(rèn)叫修?/*Iit-WrrUIKriZ311sl成491111nrflB-P<iiftAIUMiraV.VTn?jCiT￡-9n.工**■皿fl“U4Tg%就1K4EMkKMIT.(E1>R■*1*￡?i￡」?二—EW.小-J-Yri-r“.Y-?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼iEdwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。目錄A652-01646S期目錄早下氣體穩(wěn)定控制器流速min-114141616最大水汽抽取率kgh-10.220.120.220.120.220.200.290.25最大水汽入口壓力mbar80545038343228Pa8x1035.4x1035x1033.2x1033.8x1033.4x1033.2x1032.8x103A652-01-846S期Page10?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。技術(shù)數(shù)據(jù)表5-性能參數(shù)模式選擇旋鈕位置氣體穩(wěn)定控制器（GASBALLASTCONTROL關(guān)閉（位置’0低流速(位置'I'高流速(位置‘II'高真空模式6總的最大壓力總的最大壓力總的最大壓力mbarPambarPambarPa2x10-32x10-13x10-231.2x10-1(RV31.0x10-1(RV56x10-2(RV8/121.2x101(RV31.0x101(RV56.0(RV8/12適用于最佳極限壓力最大水汽抽取率最大水汽抽取率1-相泵3-相泵1-相泵3-相泵0.06kgh-10.04kgh-10.22kgh-1(RV3/5/80.29kgh-1(RV120.12kgh-1(RV3/50.20kgh-1(RV80.25kgh-1(RV122.42.433-相泵高處理能力模式6總的最大壓力總的最大壓力總的最大壓力mbarPambarPambarPa3x10-236x10-2(RV3/54x10-2(RV8/126(RV3/54(RV8/121.2x10-1(RV31.0x10-1(RV56x10-2(RV8/121.2x101(RV31.0x101(RV56.0(RV8/12用于持續(xù)入口壓力，超過50mbar/5x103Pa最大水汽抽取率最大水汽抽取率1-相泵1-相泵3-相泵0.06kgh-10.04kgh-10.22kgh-1(RV3/5/80.29kgh-1(RV120.12kgh-1(RV3/50.20kgh-1(RV80.25kgh-1(RV12?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼11Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。技術(shù)數(shù)據(jù)A652-01-846S期2.2.2性能參數(shù)注意:下述性能特性針對使用碳?xì)浠衔镉偷那樾?。模式選擇旋鈕以及氣體穩(wěn)定控制器的位置決定了泵的性能特性。 完整的性能特性列在表3和4中。表5給出了六個控制位置的可能組合中每一個的極限真空壓力和最大水汽入口壓力。圖2中的曲線0、曲線I以及曲線II顯示了高真空模式6下入口壓力和抽取速度之間的關(guān)系。圖2-高真空模式下的性能特性（抽取速度和入口壓力對比A652-01-846S期頁12?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。技術(shù)數(shù)據(jù)2.3機(jī)械數(shù)據(jù)噪音和振動數(shù)據(jù)2.5潤滑數(shù)據(jù)注意:您可以索取有關(guān)旋轉(zhuǎn)式泵用油的Edwards材料安全數(shù)據(jù)表。表6-機(jī)械數(shù)據(jù)尺寸參見圖3保護(hù)程度(IEC34-5:1981單相泵三相泵IP441P54最大傾斜角度100馬達(dá)轉(zhuǎn)速50Hz電源60Hz電源1470rmin-11760rmin-1最大重量RV3RV5RV8RV12帶馬達(dá)的泵，不帶油21.6kg21.5kg26.0kg26.3kg光軸泵14.0kg14.0kg16.5kg17.5kg表7-噪音和振動數(shù)據(jù)聲壓*單相泵三相泵48dB(A50dB(A振動強(qiáng)度？單相泵三相泵級別1C級別1C極限真空條件下測量數(shù)據(jù)，距離泵的尾端1米遠(yuǎn)，根據(jù)ISO11201標(biāo)準(zhǔn)，高真空模式6條件測量。50Hz運(yùn)轉(zhuǎn)條件下。?在入口端子上測試，符合ISO2372（1974的要求表8-潤滑數(shù)據(jù)推薦的油*特制碳?xì)浠衔锉锰刂迫埘罚≒FPE泵EdwardsUltragrade19Krytox1506或Fomblin06/6油量RV3RV5RV8RV12最大0.70升（L0.70升（L0.75升（L1.00升（L最小0.42升（L0.42升（L0.45升（L0.65升（L*要在環(huán)境溫度超過章節(jié)2.1中指定的限制時操作泵，或者要優(yōu)化泵在抽取可冷凝蒸汽時的性能，則可能需要使用其他油。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼13Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。技術(shù)數(shù)據(jù)A652-01-846S期圖3-尺寸（mm.開關(guān)-按鈕（僅用于-單相泵.提升支架（RV3和RV5泵上未安裝：對于這兩種泵，安裝的是提拉手柄A.單相泵頂視圖B.單相泵側(cè)視圖C.三相泵側(cè)視圖D.單相泵正視圖E.光軸泵側(cè)視圖泵A*A

BCDEFGHIJKRV343042915822512729782301203732-RV543042915822512729782301203732-RV847042915822516135782301203732261RV1243942915822518135782301203732261*單相泵?三相泵。A652-01-846S期頁14?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。技術(shù)數(shù)據(jù)2.6電氣數(shù)據(jù)：單相泵注意:我們推薦使用表9和10中指定的最大規(guī)格的保險絲。 不需使用更高級別的保險絲。雙壓雙頻馬達(dá)主要設(shè)計用于單相電源，很適合于50Hz或60Hz條件下運(yùn)行。馬達(dá)可以手動調(diào)節(jié)為介于標(biāo)稱電壓為110-120V和220-240V之間（請參見章節(jié)3.7.1。在啟動冷泵時，馬達(dá)在幾秒鐘內(nèi)會引發(fā)很大的啟動電流，如下表9和10所示。因此，必須使用緩動式保險絲，以保證在啟動泵時不會燒掉保險絲。 五分鐘左右，當(dāng)泵中的油熱了以后，實(shí)際電流將慢慢下降到表9和10中指定的滿負(fù)載電流。注意:所選擇的保險絲類型必須滿足時間延遲類型 CC或類型M,如果在英國，必須為BS88。表9-電氣數(shù)據(jù)（單相泵，項目編號-903或-906泵標(biāo)稱電壓（V頻率（Hz功率（W滿負(fù)載電流（A啟動電流（A最大保險絲等級（ARV3和RV5220-240502502.415.65230-240603002.215.25110502504.629.410115-120603004.431.510RV8和RV12220-240504504.018.05230-240605503.618.05110504507.834.013115-120605507.234.013表10-電氣數(shù)據(jù)（單相泵，項目編號-904泵標(biāo)稱電壓（V頻率（Hz功率（W滿負(fù)載電流(A啟動電流(A最大保險絲等級(ARV3和RV5200502502.819.45200-210603002.419.55100502505.437.010100-105603004.639.010RV8和RV12200504503.921.05200-210605503.820.65100504507.640.013100-105605507.641.513?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼15Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。技術(shù)數(shù)據(jù)A652-01-846S期2.7電氣數(shù)據(jù):三相泵雙壓雙頻馬達(dá)主要設(shè)計用于三相電源，很適合于50Hz或60Hz條件下運(yùn)行。馬達(dá)可以手動調(diào)節(jié)為介于標(biāo)稱電壓為 220-240V和380-460V之間（請參見章節(jié)3.8.1。這些泵預(yù)設(shè)為使用380-460V的電源。在啟動冷泵時，馬達(dá)將會產(chǎn)生一個持續(xù)0.5秒的啟動電流，如表11所示。當(dāng)馬達(dá)達(dá)到額定的轉(zhuǎn)速后，這個啟動電流將很快降低。五分鐘左右，當(dāng)泵中的油熱了以后，實(shí)際電流將慢慢下降到表11中指定的滿負(fù)載電流。在啟動熱泵時，馬達(dá)將會產(chǎn)生一個持續(xù)0.5秒的啟動電流，如表11所示。這時候,實(shí)際電流將立即下降到最大滿負(fù)載電流。所提供的電氣短路和接地故障保護(hù)裝置與電力系統(tǒng)的連接點(diǎn)的保險絲必須滿足表11中標(biāo)示的等級CC的值。如果當(dāng)?shù)責(zé)o法使用這些數(shù)值，同等級的型號為aM的歐洲標(biāo)準(zhǔn)的保險絲也可以使用。表11-電氣數(shù)據(jù)(三相泵，項目編號-905泵標(biāo)稱電壓(V頻率(Hz功率(W滿負(fù)載電流(A啟動電流(A最大保險絲等級（ARV3和RV5220-240502501.710.22.5200-230603001.710.22.5380415502501.05.72.5460603001.07.02.5RV彝口RV12220-240504502.514.04.0200230605502.912.04.0380-415504501.59.02.5460605501.58.72.5A652-01-846S期頁16?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。 Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。本頁故意空白。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼17Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝A652-01-846S期3安裝安全您必須首先確保旋轉(zhuǎn)葉片泵適合于您的應(yīng)用條件。 如果您對旋轉(zhuǎn)葉片泵是否適合您的應(yīng)用條件有疑惑，請參見Edwards的真空泵和真空系統(tǒng)安全指南（可以在本手冊前面的目錄列表的后面部分找到相關(guān)的出版物 。必須經(jīng)過適當(dāng)?shù)呐嘤?xùn)，由經(jīng)過指導(dǎo)的技術(shù)人員來安裝RV泵。在安裝泵時，必須遵守下列安全指導(dǎo)，特別是在將泵連接到現(xiàn)有系統(tǒng)時尤其要注意。在本指南的適當(dāng)位置，會給出特定的安全預(yù)防措施的詳情。z當(dāng)您要接觸可能會被污染的部件時，一定要穿著適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)服。z在開始安裝工作之前，請讓真空系統(tǒng)通風(fēng)并清洗。z確保安裝技術(shù)人員熟悉與泵-油以及抽取系統(tǒng)相關(guān)產(chǎn)品的安全操作規(guī)程。 要采取適當(dāng)?shù)念A(yù)防措施，以避免吸入油霧，并避免過多的皮膚接觸到泵油，長時間的接觸可能會對身體造成損害。 z斷開抽取系統(tǒng)中其他部件與電源的連接，以免它們意外運(yùn)行。系統(tǒng)設(shè)計注意事項設(shè)計抽取系統(tǒng)時應(yīng)考慮以下幾個事項：z如果要讓泵在抽取可冷凝蒸汽之前經(jīng)過預(yù)熱，或者希望在泵關(guān)閉后得到額外的系統(tǒng)保護(hù)，請使用合適的閥將泵和真空系統(tǒng)隔離開來。z避免大量熱工藝氣體進(jìn)入泵中，否則泵會過熱并停滯，導(dǎo)致馬達(dá)的熱過載保護(hù)裝置啟動。z如果在環(huán)境溫度非常高的情況下使用泵并且要處理的氣體量很大，泵身溫度可能會超過70C,您必須穿著合適的防護(hù)裝備，以避免直接接觸到太燙的表面。z確保排氣管道不被阻塞。如果有排氣隔離閥，請確保在閥被關(guān)閉時，千萬不要啟動泵。在關(guān)閉抽取系統(tǒng)時必須提供入口氣體清洗，以稀釋有害氣體，使其達(dá)到安全的濃度。用于引入清洗氣體的空氣穩(wěn)定器轉(zhuǎn)接器作為附件提供（請參見章節(jié)7.4.8o煞土育口我們不推薦使用特制的碳?xì)浠衔镄D(zhuǎn)葉片泵來抽取有危害的物質(zhì)。 特制的PFPE-泵適合于有氧氣的應(yīng)用條件:參見章節(jié)8合口|0A652-01-846S期頁18?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝打開和檢查包裝箱.去除所有的包裝材料，將泵從包裝箱中取出。.取下入口和出口端子上的保護(hù)蓋，仔細(xì)檢查一遍泵的情況。如果泵有損壞，請在3天內(nèi)以書面形式通知您的供應(yīng)商和運(yùn)輸商，并告知泵的項目編號以及您的定單號和供應(yīng)商的發(fā)票號。檢查時保留所有包裝材料。如果泵已損壞，請勿使用。如果不立即使用泵，應(yīng)重新包上保護(hù)性遮蓋物。按照章節(jié)6.1中所述，將泵存放在合適的地方。確定泵的位置RV3和RV5泵具有一個提拉手柄，用手就可以移動泵。如果您想要使用機(jī)械式的提升設(shè)備，請不要將設(shè)備連接到這個提升手柄上；為了穩(wěn)定起見，請使用合適的吊索,捆綁住馬達(dá)和泵身。請不要嘗試用手去提RV8和RV12泵。必須使用機(jī)械提升設(shè)備，將其與泵的提開支架固定到一起進(jìn)行提升。 也無需使用繩索來移動RV8和RV12泵。為泵提供一個結(jié)實(shí)的水平支撐平臺。 固定好泵后，油-位目視-鏡應(yīng)該可見，并且填注塞、排放塞以及氣體穩(wěn)定控制器要很容易夠到。如果泵放置在一個封閉的環(huán)境中，請確保泵的兩端有足夠的通風(fēng)和對流，以使泵的環(huán)境溫度不超過40Co在泵和四周包圍物之間的距離，最少不得小于25毫米。向泵中填注油按下所述方法向泵填注油。請參見章節(jié)2.5獲取有關(guān)推薦油品的信息。 請參見圖1以查看項目編號（圓圈中。1.拔掉其中一個填注塞（6油注入泵中，直到油面到達(dá)目視鏡（8頂部的基座的最高線標(biāo)記（MAX為止。如果油位超過了MAX標(biāo)記,請拔下排放塞（9,將油從泵中放出一部分來。3.幾分鐘后，重新檢查油面高度?，F(xiàn)在如果油面高度低于MAX標(biāo)記，請再注入一些油到泵中。4.重新蓋上填注塞。用手把塞子擰緊。但不要擰得過緊。應(yīng)使用合適的起重設(shè)備來移動RV8或RV12泵。RV8和RV12泵的重量大約為26千克。煞土呂口在濃度（按體積超過25%的情況下，不得使用特制的碳?xì)浠衔锉脕硖幚硌鯕?。如果依然這樣做,可能會引起泵油箱起火爆炸的危險。 特制PFPE泉的適用情形:參見章節(jié)80?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼19Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝A652-01-846S期安裝馬達(dá)（如果是光軸泵如果您的泵是一個光軸泵，現(xiàn)在需要將馬達(dá)安裝到泵上：參見章節(jié)9。電氣安裝：單相泵檢查并配置馬達(dá)一、/汪忠確保馬達(dá)依據(jù)您所選擇的電源情況正確配置。 如果沒有根據(jù)所選電源情況正確配置馬達(dá)而貿(mào)然啟動泵，可能會損壞馬達(dá)。請參見圖4以查看項目編號（圓圈中。請確保馬達(dá)外殼的電壓指示器（4上顯示的電壓與您所選擇的電源電壓相符。如果不相符，您必須改變泵所帶馬達(dá)的配置,使其與所選電源電壓匹配。按如下步驟操作。1.擰開四個螺絲，將蓋板（1打開,取出電壓指示器模塊（4。2.按下電壓選擇開關(guān)（3選擇到另一個合適的位置。3.將電壓指示器模塊翻轉(zhuǎn)過來，這樣外部面板能顯示所需要的電壓。 將模塊重新裝好。4.重新蓋上蓋板，緊固好四個螺絲。3.7.2將泵連接到電源系統(tǒng)一、/汪,思:在英國，如果您使用的是一個13A插頭，則必須符合BS1363A標(biāo)準(zhǔn)，并且使用符合BS1362標(biāo)準(zhǔn)的13A保險絲。為了防止在出現(xiàn)電力故障后重新供電時泵 -馬達(dá)自動重新啟動，請將泵通過適當(dāng)?shù)目刂蒲b置連接到電源中，這樣可確保在電源故障發(fā)生后，需要手動重置。將泵-馬達(dá)電源連接到符合當(dāng)?shù)氐碾姎鈽?biāo)準(zhǔn)的IEC320電纜插座（冷調(diào)節(jié)類型。為了保證符合加拿大標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會（CSA標(biāo)準(zhǔn),您必須只使用CSA/UL驗(yàn)證的電纜和接頭。必須采用SJT級電纜（至少，并且必須充分接地。電纜導(dǎo)線必須符合最小為18AWG的線規(guī)標(biāo)準(zhǔn)18AWG的線規(guī)標(biāo)準(zhǔn)電纜的所能承受的額定溫度必須是70C或更高煞士育口確保RV泵的電氣安裝符合所在國家（地區(qū)以及當(dāng)?shù)氐陌踩?。它必須連接到帶有保險的合適的保護(hù)性電源，并且正確接地。A652-01-846S期頁20?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝如果RV泵通過電源電纜供電，則電纜必須在其中一端安裝有一個模塊化的IEC接頭。電纜的另一端，則安裝有一個滿足當(dāng)?shù)仉娫礃?biāo)準(zhǔn)的插頭。不帶插頭的電纜必須包含不同顏色標(biāo)記的線，如下所示：.確保馬達(dá)（圖4中項目5的開關(guān)按鈕處于關(guān)的位置（off。.將電纜帶有模塊化IEC接頭的一端插入到馬達(dá)（圖4中項目2電氣入口接頭上。.如果電纜的另一端有插頭，則將插頭連接到電源上。如果沒有插頭，則將電纜的各條分線，正確連接到電源的各個端口上。.7.3檢查旋轉(zhuǎn)方向汪忠確保泵的馬達(dá)旋轉(zhuǎn)方向沒有搞錯。如果搞錯了方向，泵和真空系統(tǒng)可能會過壓。請參見圖1以查看項目編號（圓圈中。.通過馬達(dá)風(fēng)扇蓋（13，觀察馬達(dá)冷卻風(fēng)扇-的情況。2.使用開關(guān)按鈕（12，打開-馬達(dá)電源，保持幾秒鐘。3.檢查馬達(dá)冷卻風(fēng)扇-是否按正確的方向（14旋轉(zhuǎn)。馬達(dá)風(fēng)扇蓋上標(biāo)記有正確的方向的箭頭。如果旋轉(zhuǎn)方向錯誤，請立即關(guān)15電源，聯(lián)絡(luò)您的供應(yīng)商或Edwards公司以獲取建議。顏色用途綠色和黃色接地（地線藍(lán)色不帶電（零線棕色帶電（火線?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。 頁碼21Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝A652-01-846S期圖4-馬達(dá)電壓配置單相泵A.馬達(dá)頂視圖B.馬達(dá)頂部的內(nèi)部詳情1.蓋板.電氣入口接頭.電壓選擇開關(guān).電壓指示器.開關(guān)按鈕3.83.8.位置’0關(guān)（.位置’I開（A652-01-846S期頁22?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝電氣安裝：三相泵3.8.1檢查并配置馬達(dá)一、/汪忠確保馬達(dá)依據(jù)您所選擇的電源情況正確配置。 如果沒有根據(jù)所選電源情況正確配置馬達(dá)而貿(mào)然啟動泵，可能會損壞馬達(dá)。.擰下用來固定馬達(dá)接線盒-蓋子的螺絲。取下蓋子。.取出接線盒內(nèi)部的電纜-密封套，將電纜密封套塞入到接線-盒側(cè)面的電纜引入孔上。.確保馬達(dá)依據(jù)您所選擇的電源情況正確配置。 如果需要，按如下方法，重新配置各個鏈接（5和6,項目1以適合您所選才￥的電源：z對于200-230V的電源，鏈接的配置如圖5所示。z對于380-460V的電源，鏈接的配置如圖6所示。.8.2將泵連接到電源系統(tǒng)一、/汪,思:為了防止在出現(xiàn)電力故障后重新供電時泵 -馬達(dá)自動重新啟動，請將泵通過適當(dāng)?shù)目刂蒲b置連接到電源中，這樣可確保在電源故障發(fā)生后，需要手動重置。為了保證遵守CSA（加拿大標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會的標(biāo)準(zhǔn)，您必須在泵的電源系統(tǒng)中，包括一個開關(guān)或斷路器。開關(guān)或斷路器必須靠近泵，很容易夠到，并且必須標(biāo)注清楚以利于辨別這是一個用于泵的電氣斷開設(shè)備。我們推薦將電源通過具有熱力式過電流保護(hù)裝置的啟動開關(guān)或斷路器連接到馬達(dá)上，以便調(diào)節(jié)以滿足表11中顯示的滿負(fù)載電流的額定要求。表11中的保險絲額定值僅供參考。您的熱力式過-電流保護(hù)設(shè)備的供應(yīng)商可能會指定幾個不同的 值，以確保正確操作保險絲和過電流保護(hù)設(shè)備。 確保您所使用的保險絲適合于表11中給出的啟動電流值。1.將電源電纜穿過電纜密封管。 電纜的直徑必須介于7到11mm之間。2.使用絕緣的波紋接頭，將電纜的電線連接到接線盒中的U1、V1和W1以及接地點(diǎn)（地線端子上，如圖5和6所示。必須緊固好接地端子連接，扭矩為2.13至I2.87Nm。3.確保蓋子墊圈放置正確,然后重新蓋上接線盒的蓋子，擰緊螺絲。擰緊電纜密封管上的張力緩解螺母。煞土呂口確保RV泵的電氣安裝符合所在國家（地區(qū)以及當(dāng)?shù)氐陌踩?。它必須連接到帶有保險的合適的保護(hù)性電源，并且正確接地。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼23Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝A652-01-846S期圖5-三相電路連接：200-230V圖6-三相電路連接:380-460VA.啟動開關(guān)/接觸開關(guān)B.馬達(dá)接線盒1.鏈環(huán)A.啟動開關(guān)/接觸開關(guān)B.馬達(dá)接線盒1.A鏈環(huán)A652-01-846S期頁24?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝3.8.3檢查旋轉(zhuǎn)方向一、/汪忠確保泵的馬達(dá)旋轉(zhuǎn)方向是否正確。 如果方向錯誤，泵和真空系統(tǒng)可能會過壓。1.參見圖1。通過馬達(dá)風(fēng)扇蓋（13,觀察馬達(dá)冷卻風(fēng)扇的情況。2.打開馬達(dá)的電源開關(guān)幾秒鐘。3.檢查馬達(dá)冷卻風(fēng)扇是否按正確的方向旋轉(zhuǎn)，馬達(dá)底座上標(biāo)記有正確方向的箭頭。如果旋轉(zhuǎn)方向不正確：z立即關(guān)閉電源。z斷開泵的電源。z打開接線盒蓋，交換線路L1和L3:請參見圖5和6。z重新蓋上接線盒的蓋子。入口和出口連接在將泵連接到真空系統(tǒng)之前，請將定心環(huán)和入口過濾器（隨泵提供連接到泵的入口端子上（請參見圖5。在將泵連接到真空系統(tǒng)時，應(yīng)注意以下事項。請參見章節(jié)7.4獲取以下提及的附件的詳細(xì)信息。 連接泵時,請使用標(biāo)準(zhǔn)NW25適配件（未提供。z為了獲得最佳抽取速度，請確保連接到泵入口的管道盡量短，內(nèi)徑為25mm或者更大。z支撐真空管道以防止連接頭結(jié)合點(diǎn)過載。z必要時，應(yīng)在系統(tǒng)管道中加裝活動的風(fēng)箱以減少顫動并防止連接頭結(jié)合點(diǎn)過載。如果使用活動的風(fēng)箱，必須確保所使用的風(fēng)箱的最大額定壓力大于系統(tǒng)中可能產(chǎn)生的最大壓力。 我們推薦使用Edwards的活動風(fēng)箱。z如果抽取冷凝蒸汽或者希望在布滿灰塵的環(huán)境下使用泵，您還必須使用合適的入口捕集器。 z如果想要抽取冷凝蒸汽或在泵關(guān)閉時保持真空，需要使用合適的閥將泵和真空系統(tǒng)隔離開。 z確保密封表面干凈，沒有劃痕。煞土呂口將排放的廢氣連接到合適的處理工廠，以防止向周圍大氣中釋放危險氣體或蒸汽。使用承接罐裝置，以防止排出的被污染冷凝物重新進(jìn)入泵。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼25Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。安裝A652-01-846S期在以下幾種環(huán)境條件下，我們建議您為泵出口安裝油霧過濾器：z如果在使用泵時，將氣體穩(wěn)定控制器打開（置于位置‘I或位置‘II。’z如果在使用泵時，入口壓力很長一段時間大于10mbar（1x10：Pa。z如果經(jīng)常在低于大氣壓力的情況下啟動泵。油霧過濾器將收集泵中排出的廢油；如果這些油沒有受到污染，還可以被再度使用。對系統(tǒng)進(jìn)行泄漏測試RV泵安裝完畢后，應(yīng)對系統(tǒng)進(jìn)行泄露測試并密封所發(fā)現(xiàn)的任何泄漏部位，以防止系統(tǒng)排放的有害物質(zhì)泄漏出來，同時也防止外部空氣進(jìn)入泵中。A652-01-846S期頁26?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。本頁故意空白。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼27Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。操作A652-01-846S期4操作ATEX規(guī)定的含義4.1.1簡介本設(shè)備設(shè)計符合第二大組第三小類（GroupIICategory3設(shè)備的要求，遵守歐洲議會和1994年3月23日委員會所制定的有關(guān)歐盟各成員國近似法律的94/9/EC規(guī)定。本規(guī)定主要討論的是在潛在的爆炸環(huán)境下所使用的裝備和保護(hù)系 統(tǒng)。（即ATEX爆炸環(huán)境規(guī)定ATEX第三小類(Category3有關(guān)設(shè)備內(nèi)部潛在的著火源。ATEX類別未被指定對設(shè)備之外潛在的著火源負(fù)責(zé)，同樣,設(shè)備未被設(shè)計為適用于外部的潛在爆炸環(huán)境中。在正常操作情況下，泵內(nèi)部不應(yīng)該有潛在的著火點(diǎn)出現(xiàn)，但是，在某些可預(yù)計的情況下或本規(guī)定中定義的幾個極少故障情況下，依然可能存在潛在的著火點(diǎn)。因此，雖然本泵設(shè)計為可以抽取易燃的材料和混合物，在操作過程中，依然應(yīng)該確保處于正常和合理的可預(yù)計環(huán)境中，這些易燃的材料和混合物應(yīng)該處于爆炸的限定條件之內(nèi)。第三小類(Category3被認(rèn)為適合于在少數(shù)幾個故障的情況時可免于著火，在這種情況下,允許易燃材料和混合物可以通過泵，而限定在爆炸的限度之內(nèi)。4.1.2易燃/易著火材料當(dāng)設(shè)備內(nèi)有易燃或易產(chǎn)生火花的材料時，您必須確保：z不得允許空氣進(jìn)入到設(shè)備中。z確保系統(tǒng)密封緊固。z使用入口氣體清洗(比如氮?dú)馇逑聪♂屵M(jìn)入泵入口的易燃?xì)怏w或蒸汽，并/或使用入口氣體清洗降低泵中和排氣管中易燃?xì)怏w或蒸汽的濃度，將其降低到25%的氣體標(biāo)稱最低爆炸限度(LEL。z在泵的氣體穩(wěn)定器連接中使用入口氣體清洗，可以防止泵結(jié)構(gòu)和排氣管中易燃蒸汽的凝結(jié)。警告切勿將您身體的任何部位暴露在真空中。否則，您可能會受傷絲4呂口您必須遵守指南的規(guī)程，并注意下面給出的預(yù)防措施，以確保所抽取的氣體不會達(dá)到它們的易燃范圍。A652-01-846S期頁28?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。操作4.1.3氣體清洗打開入口氣體清洗，在處理過程開始之前，將泵中和排氣管中的空氣排干凈。在處理過程結(jié)束時，確保所有殘留的易燃?xì)怏w和蒸汽都已經(jīng)從泵和排氣管中排出之后，再關(guān)閉清洗氣體流。如果產(chǎn)生易燃蒸汽的液體可能存在于泵的前級真空管線中 ，則RV3、RV5、RV8和RV12旋轉(zhuǎn)葉片泵的入口氣體清洗功能必須一直開著，直到這些液體消失為止。前級真空管線中存在的易燃液體是因?yàn)槔淠木壒?，或者是在處理過程中被帶入的。在計算稀釋過程所需的入口氣體流速時，必須考慮可能出現(xiàn)的易燃?xì)怏w和蒸汽的最大流速。比如，如果主流速控制器用于在處理過程中提供易燃?xì)怏w，則必須假定在主流速控制器全開時，易燃?xì)怏w的流速會相應(yīng)地升高。持續(xù)測量入口氣體清洗的流速：如果流速低于所需的流速，您必須停止易燃?xì)怏w或蒸汽進(jìn)入泵中注意:我們推薦您從Edwards公司或您的供應(yīng)商那里獲取并閱讀 《真空泵和真空系統(tǒng)安全手冊》（出版號P300?20?000以了解更多信息。如何使用泵控制器4.2.1簡介您可以使用模式選擇旋鈕（圖1,項目11以及氣體穩(wěn)定控制器（圖1,項目5，根據(jù)應(yīng)用條件的不同，優(yōu)化RV泵的性能。泵的性能特性隨著不同的控制設(shè)置會有所不同，如表3和4所示。您可以在泵關(guān)閉甚至泵運(yùn)行過程中，隨時改變模式選擇旋鈕和氣體穩(wěn)定控制器的位置。警告如果使用入口氣體清洗來將危險氣體稀釋到安全的等級 ，應(yīng)確保在入口氣體供應(yīng)出現(xiàn)故障時，一定要關(guān)閉RV3、RV5、RV8和RV12旋轉(zhuǎn)葉片泵。煞土呂口您必須遵守指南的規(guī)程，并注意下面給出的預(yù)防措施，以確保所抽取的氣體不會達(dá)到它們的易燃范圍。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。 頁碼29Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。操作A652-01-846S期模式選擇旋鈕注意:本泵在提供時，默認(rèn)是選擇高真空模式6。如果已選擇的是高真空”模式,并且無法通過手動調(diào)節(jié)模式選擇旋鈕的方式來選擇高處理能力”模式，則應(yīng)使用模式選擇旋鈕面板上的適當(dāng)工具來調(diào)節(jié)選擇旋鈕。模式選擇旋鈕控制帶有壓力的油流入泵的高真空級的流速（請參見章節(jié)1.4.1。您可以將模式選擇旋鈕置于如下兩個位置的一個：要選擇高真空模式6,請用手將模式選擇旋鈕往順時針方向擰到底，然后固定住。在高真空模式被選中時，在模式選擇旋鈕和泵的側(cè)面板內(nèi)側(cè)之間大約有一個3mm的間隙。使用該模式，可以：z獲取極限真空z抽取清潔的氣體z抽取清潔的可冷凝蒸汽。要選擇高處理能力模式6,請用手將模式選擇旋鈕逆時針轉(zhuǎn)到底，直至觸到泵側(cè)面板的內(nèi)側(cè)然后輕輕地固定住。 使用該模式，可以：z在長時間高氣體通過量（即入口壓力維持在＞50mbar的情況下運(yùn)行z抽取污濁的可冷凝蒸汽z凈化油品。氣體穩(wěn)定控制器使用氣體穩(wěn)定控制器可以改變進(jìn)入到泵的低真空級的空氣或入口氣體的量 （請參見章節(jié)1.4.2o使用氣體穩(wěn)定器可以防止在泵中的蒸汽凝結(jié)；蒸汽凝結(jié)可能會對油造成污染。您可以將氣體穩(wěn)定控制器旋轉(zhuǎn)到以下三個位置的一個 ：要關(guān)閉氣體穩(wěn)定控制器，請將控制器旋至位置’瞅用該設(shè)置，可以：z獲取極限真空z抽取干燥的氣體要選擇低流速氣體-穩(wěn)定控制器，請將控制器旋至位置 ’I使用該設(shè)置，可以：z抽取低濃度的可冷凝蒸汽z凈化油品。要選擇高流速氣體-穩(wěn)定控制器，請將控制器旋至位置 ’II使用該設(shè)置，可以：z抽取高濃度的可冷凝蒸汽在使用低流速或高流速氣體穩(wěn)定控制器時，泵的油量消耗率可能會增加。如果可能的話,我們建議您選擇低流速氣體穩(wěn)定控制器（位置’I而不用選擇高流速氣體穩(wěn)定控制器（位置’II以降低油的消耗。A652-01-846S期頁30?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。操作啟動過程如果油被污染，或者泵的溫度低于12C,或者電源電壓比電壓指示器（圖4,項目4上指定的最低電壓還低10%,則泵可能會在幾分鐘之內(nèi)一直降速運(yùn)行。在單相-泵上,如果泵持續(xù)低速運(yùn)轉(zhuǎn)，則會啟動馬達(dá)熱過載設(shè)備，停止泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。等到馬達(dá)冷卻后,熱過載設(shè)備將自動重新復(fù)位，泵將重新啟動。1.檢查泵的油位處于油-位目視鏡基座上的MAX和MIN標(biāo)記之間，如果不是，請參見章節(jié)5.3進(jìn)行操作。2.根據(jù)需要，將模式選擇旋鈕完全順時針轉(zhuǎn)到高真空模式6或完全逆時針轉(zhuǎn)到高處理能力模式6（請參見章節(jié)4.2.2o3.根據(jù)需要，將氣體穩(wěn)定控制器位置旋到 ‘0',或'III位置（請參見章節(jié)4.2.3。4.打開泵的電源開關(guān)；在單相泵時，使用開關(guān)按鈕。5.如果想要獲得極限真空，以抽取可冷凝的蒸汽，或凈化泵油，請分別參見4.4、4.5和4.6節(jié)中所述的過程。否則，請打開真空系統(tǒng)隔離閥。4.4獲取極限真空如果泵沒有獲得章節(jié)2.2中所指定的性能，請確保不是因?yàn)槟南到y(tǒng)設(shè)計問題，如果問題依然存在，請聯(lián)系您的供應(yīng)商或Edwards公司獲取進(jìn)一步建議。特別是，您的真空系統(tǒng)所用到的所有材料（包括泵油，如下的汽壓，都必須大大低于泵的指定極限真空環(huán)境下的壓力。 請參見章節(jié)5.12.3獲取無法取得指定性能這一故障的可能原因列表，注意通常最大可能來自于：z您的壓力測量技術(shù)或測頭不適合，或者測量頭有缺陷。z您使用的油品非推薦油品，油的汽壓超過了泵的指定極限真空值。請使用下述步驟，獲取極限真空：1.將RV泵與真空系統(tǒng)隔離開。2.將模式選擇旋鈕旋轉(zhuǎn)到高處理能力模式 6,將氣體穩(wěn)定控制器設(shè)置為低流速（位置'I并使泵運(yùn)轉(zhuǎn)至少1小時（或整夜運(yùn)轉(zhuǎn)，以徹底地清洗被污染的油。3.將模式選擇旋鈕旋轉(zhuǎn)到高真空模式6并關(guān)閉氣體穩(wěn)定器控制功能（即將其置于位置'0?！蜷_真空系統(tǒng)隔離閥，泵慢慢進(jìn)入極限真空狀態(tài)。煞土呂口確保您的系統(tǒng)設(shè)計沒有允許排氣管被堵塞。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼31Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。操作A652-01-846S期4.5抽取可冷凝蒸汽在處理氣體過程中，如果可冷凝蒸汽所占比例很大，則應(yīng)使用氣體穩(wěn)定（氣體穩(wěn)定控制器位置為‘I或‘II?！?關(guān)閉真空系統(tǒng)隔離-閥。.根據(jù)需要，將模式選擇旋鈕完全順時針轉(zhuǎn)到高真空模式 6或完全逆時針轉(zhuǎn)到高處理能力模式6（請參見章節(jié)4.2.2。.將氣體穩(wěn)定控制器旋至高流量位置（位置’II并讓泵運(yùn)行30分鐘，使油加熱;這將有助于防止在泵中產(chǎn)生蒸汽冷凝。.根據(jù)您的應(yīng)用條件，設(shè)置氣體穩(wěn)定控制器的位置（請參見章節(jié)4.2.3以及表3和4中的詳細(xì)數(shù)據(jù)。.打開真空系統(tǒng)隔離閥。在抽取可冷凝的蒸汽后，如果需要，您可以凈化油品：請按照章節(jié)4.6中的步驟執(zhí)行操作。.6凈化油品泵中的油必須是清潔干凈的，如果油混濁或者已經(jīng)變色，表明受到排出的蒸汽的污染。.通過油位目視鏡（圖1,項目8，仔細(xì)檢查油品的狀況。 如果油混濁或已經(jīng)變色，請繼續(xù)下面的第2步。.關(guān)閉真空系統(tǒng)隔離閥.將模式選擇旋鈕逆時針旋轉(zhuǎn)到頭，選擇高處理能力模式6。將氣體穩(wěn)定控制器設(shè)置于低流量位置（位置‘I。'.保持泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，直到油變清澈。4.7自動化運(yùn)轉(zhuǎn)RV泵設(shè)計為可以在章節(jié)2.1中指定的正常運(yùn)轉(zhuǎn)條件下無人照看自動運(yùn)行。 然而，我們建議您不定期檢查泵的運(yùn)轉(zhuǎn)情況,周期不要超過14天，在抽取大量氣體或蒸汽時,需要提高檢查頻率。在單相泵上，馬達(dá)受過載設(shè)備保護(hù)，它可以在出現(xiàn)極端溫度或電流水平時將泵與電源隔離開。過載保護(hù)設(shè)備會在馬達(dá)冷卻時自動重啟。檢查泵的時候，請確保泵不會進(jìn)行不斷循環(huán)的熱過載故障和自動重置。 如果需要，可將模式選擇旋鈕變換到高處理能力模式6并減小抽取氣體所帶來的熱負(fù)載，以防止泵出現(xiàn)過熱現(xiàn)象。A652-01-846S期操作4.8關(guān)閉正如以下過程所述，我們建議您凈化油品后再關(guān)閉泵，這樣可防止因油品受污染而對泵造成損害。.請參見章節(jié)4.6，根據(jù)需要進(jìn)行油品凈化。.如果還沒有關(guān)閉真空系統(tǒng)隔離閥，請關(guān)閉之。.關(guān)閉氣體穩(wěn)定功能（即將氣體-穩(wěn)定控制器位置設(shè)置到 ‘0。’.在單相泵時，可以使用開關(guān)按鈕關(guān)閉泵。.斷開泵的電源。Edwards和Edwards標(biāo)志是頁32?Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼33Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。維護(hù)A652-01-846S期5維護(hù)安全信息z如果您的泵是特制的PFPE-M，在對泵進(jìn)行維護(hù)之前，請參見章節(jié)8。z必須由經(jīng)過專門培訓(xùn)的高級技術(shù)人員來維護(hù)泵。遵守當(dāng)?shù)睾蛧?（地區(qū)的安全要求。z確保維護(hù)技術(shù)人員熟悉與泵油以及抽取系統(tǒng)相關(guān)產(chǎn)品的安全操作規(guī)程。z在開始前，請檢查是否備齊了所需的所有部件以及部件類型是否正確。 z將泵和其他部件與電源隔離，以免它們意外運(yùn)行。z在開始維護(hù)工作之前，必須先讓泵冷卻下來（以使泵處于安全溫度，不會燙傷皮膚。確保泵被斷開開關(guān)，否則熱過載設(shè)備可能會重新啟動泵。z如果“O形圈和密封已經(jīng)損壞，請不要重復(fù)使用z維護(hù)完成后，如果已將電源斷開，請重新檢查一下泵的旋轉(zhuǎn)方向。z在泵運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，泵和泵-油可能會被抽取的化學(xué)物品污染。確保泵在維護(hù)前不被污染，如果已發(fā)生污染，應(yīng)采取足夠的預(yù)防措施以保護(hù)工作人員免受危險物質(zhì)的影響。z不要接觸或吸入含氟的熱分解產(chǎn)品，當(dāng)泵溫度達(dá)到310C或更高時可能產(chǎn)生這些物質(zhì)。含氟的物質(zhì)在正常使用下并無危害，但如果被加熱到310C或更高，則可以分解成一些非常危險的物質(zhì)，包括氫氟酸。當(dāng)泵使用不當(dāng)、泵出現(xiàn)故障或有火災(zāi)時，泵會變得非常熱。您可以索取泵中所使用的含氟材料的材料安全數(shù)據(jù)表 ：請與供應(yīng)商或Edwards聯(lián)系。z必要時，按照隨馬達(dá)提供的生產(chǎn)信息所指定的方法對馬達(dá)進(jìn)行維護(hù)。煞土呂口請遵守下面給出的安全說明并采取適當(dāng)?shù)念A(yù)防措施。否則 ，可能導(dǎo)致人員傷害和設(shè)備損壞。A652-01-846S期維護(hù)5.2維護(hù)計劃表12中列出的計劃，詳細(xì)展示了日常使用過程中對RV泵進(jìn)行維護(hù)所需要的日常維護(hù)操作。在所示的節(jié)中給出了每個操作的說明。如果泵被用于抽取具有腐蝕性或有磨蝕的氣體和蒸汽，比如一些溶劑、有機(jī)物質(zhì)或酸性物質(zhì)，則需要更經(jīng)常性的維護(hù)；在這幾種情況下，我們推薦每年都要更換泵的密封件（請參見章節(jié)7.3獲取有關(guān)備件的詳細(xì)信息。必要時，可根據(jù)實(shí)際經(jīng)驗(yàn)來調(diào)整維護(hù)計劃。在維護(hù)RV泵時,請使用Edwards公司提供的備件和維護(hù)套件，這些套件包含成功完成維護(hù)操作所需的所有部件。 章節(jié)7.3中給出了這些備件和套件的項目編號。表12-維護(hù)計劃操作頻率參見章節(jié)檢查油位每月5.3更換油每運(yùn)行3000小時5.4檢查和清潔入口過濾器每年5.5檢查和清潔氣體穩(wěn)定控制器每年5.6清潔油位目視鏡每年5.7清潔馬達(dá)風(fēng)扇-蓋子和外罩每年5.8清潔和對泵做徹底檢查每運(yùn)行15000小時5.9更換新葉片每運(yùn)行30000小時5.10測試馬達(dá)狀況每運(yùn)行15000小時5.11檢查油位注意:如果需要，在泵運(yùn)轉(zhuǎn)時也可以檢查油位，然而，如果要向泵中加油，則必須關(guān)閉泵并將泵和抽取系統(tǒng)中的其他附件與電源隔離開后才可以進(jìn)行。請參見圖1以了解項目編號（圓圈中。.檢查目視鏡（8中的油位是否處于目視鏡基座的MAX和MIN油位標(biāo)記之.如果油位靠近最低MIN油位標(biāo)記,請打開填注塞（6,添加更多的油到油箱中,直到油面高度接近MAX油位標(biāo)記。如果油-位超過了MAX標(biāo)記,請拔下排放塞（9,將油從泵中放出一部分來。重新蓋上填注塞。.如果油被污染，請放掉泵中的油，重新加注清潔的油，如章節(jié)5.4所述。頁34?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。 Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼35Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。維護(hù)A652-01-846S期.4更換油.參見圖1。將泵運(yùn)轉(zhuǎn)大約十分鐘使油加熱，然后關(guān)閉泵（這可以降低油的黏性，使之更容易從泵中排出。.將泵與電源隔離并將其與真空系統(tǒng)斷開。.拔掉其中一個填注塞（6。.找一塊合適的木頭塞在泵馬達(dá)下面，使泵有一定的斜度，然后在排放塞（9下面放一個合適的容器。拔掉排放塞，使油排入容器中。.如果從泵中放出的油已被污染，請將清潔的油加注到加注口中，并讓這些油從泵中流出。重復(fù)此步驟，直到泵中的油箱被徹底清洗干凈。.重新塞上排放塞，拿掉底下的木塊，將泵重新連接到真空系統(tǒng)。.在合適的容器中倒?jié)M干凈的油，然后將油通過注油孔注入泵中，直到油位達(dá)到目視鏡（8基座上的MAX油位標(biāo)記。.等待幾分鐘，讓油充分進(jìn)入到泵中。如果需要，再加一些油進(jìn)去。重新蓋上填注塞。.5檢查和清潔入口-過濾器.參見圖7。將真空系統(tǒng)從泵入口端子（3上斷開，然后去掉定心環(huán)和過濾裝置（1以及。形圈（2。檢查定心環(huán)和O形圈。如果它們比較干凈，請繼續(xù)第5步。如果不干凈，請繼續(xù)第2步。.將定心環(huán)和過濾裝置上（1的。形圈（2取掉。請不要將。形圈再跟清潔溶液進(jìn)行接觸。.在合適的清潔溶液中，清洗定心-環(huán)和過濾裝置，然后晾干。.如果需要，使用不帶棉絨的干布擦拭O形圈。.重新將定心環(huán)和過濾裝置以及O形圈裝配到入口端子上。 重新將真空系統(tǒng)裝配到泵的入口端子上。圖7-入口-DIVARDS過濾器裝置.定心環(huán)和過濾器裝置.O形圈.入口端子A652-01-846S期

頁36?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。維護(hù)5.6檢查和清潔氣體-穩(wěn)定控制器注意:氣體穩(wěn)定器的濾芯（圖8,項目7使用黏合劑保持在自己的位置上，請不要嘗試取掉它。.參見圖8。將氣體穩(wěn)定控制器（1旋至高流速位置（位置‘II?！?盡可能將控制器往下壓緊彈簧（6,然后輕輕將控制器按逆時針方向旋轉(zhuǎn)，釋放卡口耳柄（5,取下控制器。.如果需要，使用干凈的不帶棉絨的干布擦拭控制器，確保進(jìn)氣孔（3沒有被堵.重新將控制器安裝回氣體穩(wěn)定器入口上，確保彈簧位置正確卡在卡口耳柄之問。.將控制器盡量往下按，然后輕輕地順時針方向轉(zhuǎn)動控制器，直到卡口耳柄正確嚙合。.重新將氣體穩(wěn)定控制器調(diào)整到需要的位置。圖8-氣體穩(wěn)定控制器裝置氣體穩(wěn)定控制器2.O形圈3.進(jìn)氣孔4.O形圈5.卡口耳柄6.壓縮彈簧7.濾芯?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。頁碼37Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。維護(hù)A652-01-846S期5.7清潔油位目視鏡請參見圖9以查看項目編號（圓圈中。.按照章節(jié)5.4中所述將油排出.取下兩個螺絲（1并取下油箱（5上的基座面板（2、目視鏡（3和。形圈（4。.使用合適的清潔溶劑清潔螺絲、基座面板和目視-鏡。.使用不帶棉絨的干布擦拭O形圈。.使用干凈的布擦拭油-箱上的目視鏡凹槽。.重新將O形圈、目視-鏡和基座面板安裝回去，用兩個螺絲緊固好。.按章節(jié)5.4中所述向泵中重新填注油。.檢查目視鏡不會有泄漏。圖9-叵口w川口■!目視鏡裝置1.螺絲（x2，尺寸M6x202.基座3.目視鏡4.O形圈5.油箱A652-01-846S期維護(hù)5.8清潔馬達(dá)風(fēng)扇蓋子-和外罩如果馬達(dá)風(fēng)扇-蓋子和外罩不保持清潔，通過馬達(dá)的氣流可能會受到限制，從而引起泵過熱。閉泵,將泵從電源上斷開。用干布和軟刷，清除風(fēng)扇蓋子和外罩上的灰塵和沉積物。清潔和對泵做徹底檢查請按照清潔和徹底檢查套件隨附的指南，進(jìn)行清潔并對泵做徹底檢查（詳情請參見章節(jié)7.3。更換新葉片請按照更換葉片套件隨附的指南，為泵更換新的葉片。（詳情請參見章節(jié)7.3o測試馬達(dá)狀況測試泵馬達(dá)的接地情況和絕緣電阻，請根據(jù)當(dāng)?shù)赜嘘P(guān)電氣設(shè)備定期測試的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行。單相RV泵的馬達(dá)必須符合IEC1010-1標(biāo)準(zhǔn)。為了保持遵循IEC1010-1標(biāo)準(zhǔn)，我們推薦接地導(dǎo)通小于0.1。而絕緣電阻大于10MQo如果馬達(dá)無法通過這些測試，則必須更換馬達(dá)。故障-檢測簡介下面章節(jié)中提供了故障狀況及其可能原因的一個列表，可幫助您進(jìn)行故障-檢測。如果使用本指南仍無法消除故障，請電話聯(lián)系離您最近的Edwards服務(wù)中心以獲得幫助。泵無法啟動z電源保險絲故障z電源電壓與馬達(dá)不匹配z出口管道或出口-過濾器（如果裝配了的話被堵塞z油溫低于12Cz油太過粘稠z油被污染z長時間存儲后泵停滯z抽取污染物后，泵無法繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，并停滯z馬達(dá)有缺陷。頁38?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。 Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。 頁碼39Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。維護(hù)A652-01-846S期5.12.3泵無法獲得指定的性能，即無法達(dá)到極限真空z您的壓力測量技術(shù)或測頭不適合，或者給出的是不正確的壓力指示。 例如，被污染的皮拉尼壓力表(Pirani測出的數(shù)據(jù)可能會比系統(tǒng)的真實(shí)壓力高出好幾倍。z您可能為泵加注了錯誤類型的油z真空系統(tǒng)中可能出現(xiàn)了泄漏z模式選擇旋鈕和氣體-穩(wěn)定控制器沒有正確設(shè)置z油位低于最低位置z油被污染z真空零件被弄臟或被損壞z入口過濾器被堵塞z泵沒有被預(yù)熱泵的噪音很大z馬達(dá)風(fēng)扇蓋受損z馬達(dá)軸承老化z油被固體顆粒所污染。泵的表面溫度超過100C注意:如果入口壓力持續(xù)超過100mbar(1x104Pa則在環(huán)境溫度為40C時，RV12泵的表面溫度可以高達(dá)115Coz環(huán)境溫度太高z冷卻空氣供應(yīng)不足，或者太熱z電源電壓太高z出口過濾器或出口管道被堵塞z油位低于最低位置z您可能為泵加注了錯誤類型的油z油被污染z工藝氣體太熱，或處理能力要求太高。泵關(guān)閉后，無法保持完全的真空z氣體穩(wěn)定控制器處于開的狀態(tài)（即位置處于‘I或者‘IIz入口閥墊片已經(jīng)損壞z入口閥沒有關(guān)閉。A652-01-846S期維護(hù)5.12.7抽取速度太低z連接管道的直徑太小z連接管線太長z入口過濾器被堵塞存在外部油泄漏z外部軸桿封口老化或損壞z油箱墊圈性能惡化z氣體穩(wěn)定控制器有油泄漏z排放塞有油泄漏z目視鏡四周有油泄漏頁40?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。 Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。?EdwardsLimited2007。保留所有權(quán)利。 頁碼41Edwards和Edwards標(biāo)志是EdwardsLimited的商標(biāo)。存儲和廢棄A652-01-846S期6存儲和廢棄6.1存儲一、/汪忠請注意章節(jié)2.1中注明的存儲溫度的極限。 將泵存儲在低于-30C的環(huán)境中，將永久性損壞泵封口。注意:如果要將新泵存儲在高濕度的條件下，請將泵從硬紙板包裝箱中取出，處理掉包裝盒（請參見章節(jié)6.2。按下列步驟存放泵