微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件

微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)56、極端的法規(guī)，就是極端的不公。——西塞羅57、法律一旦成為人們的需要，人們就不再配享受自由了?！呥_(dá)哥拉斯58、法律規(guī)定的懲罰不是為了私人的利益，而是為了公共的利益；一部分靠有害的強(qiáng)制，一部分靠榜樣的效力。——格老秀斯59、假如沒有法律他們會更快樂的話，那么法律作為一件無用之物自己就會消滅?！蹇?0、人民的幸福是至高無個的法?！魅_微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)56、極端的法規(guī)，就是極端的不公。——西塞羅57、法律一旦成為人們的需要，人們就不再配享受自由了?！呥_(dá)哥拉斯58、法律規(guī)定的懲罰不是為了私人的利益，而是為了公共的利益；一部分靠有害的強(qiáng)制，一部分靠榜樣的效力?！窭闲闼?9、假如沒有法律他們會更快樂的話，那么法律作為一件無用之物自己就會消滅?！蹇?0、人民的幸福是至高無個的法?！魅_微機(jī)械系統(tǒng)的技術(shù)與發(fā)展第一部分MEMS簡介一、引言科技教育網(wǎng)站是在網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下,以綜合學(xué)科的教學(xué)、學(xué)習(xí)和拓展為中心,向教師、學(xué)生和家長提供大量的與科技活動、科普知識學(xué)習(xí)相關(guān)的資源,讓教師和學(xué)生通過第二課堂教學(xué)和網(wǎng)絡(luò)協(xié)作工具,圍繞某一科技知識進(jìn)行精致教學(xué)以及廣泛深入持續(xù)的學(xué)習(xí)、探究、發(fā)現(xiàn)的數(shù)字化教與學(xué)系統(tǒng)。作為一種綜合性的數(shù)字化教與學(xué)系統(tǒng),它不可避免地包括建設(shè)、應(yīng)用與互動整合三個環(huán)節(jié),缺少其中的任何一個環(huán)節(jié),這一系統(tǒng)的功效都將大打折扣?？萍冀逃W(wǎng)站與專題學(xué)習(xí)網(wǎng)站不同,筆者以新課程標(biāo)準(zhǔn)為指導(dǎo),對科技教育網(wǎng)站的上述三個環(huán)節(jié)進(jìn)行探索,以內(nèi)容管理系統(tǒng)網(wǎng)站的建設(shè)經(jīng)驗(yàn)和內(nèi)核為依托,向數(shù)學(xué)、物理、化學(xué)、生物、地理、語文、英語、歷史、地理等學(xué)科拓展,完善這些學(xué)科的子網(wǎng)站建設(shè),形成綜合性的科技教育網(wǎng)站群。二、內(nèi)容管理系統(tǒng)1.內(nèi)容管理系統(tǒng)(CMS)的概念2.內(nèi)容管理系統(tǒng)的特點(diǎn)三、內(nèi)容管理系統(tǒng)建設(shè)科技教育網(wǎng)站的應(yīng)用流程1.內(nèi)容管理系統(tǒng)的安裝調(diào)試基于ASP+ACCESS架構(gòu)的CMS只需在本機(jī)或服務(wù)器Windows操作系統(tǒng)上配置IIS即可,基于PHP+MySQL架構(gòu)的CMS還需安裝PHP插件和MySQL數(shù)據(jù)庫,基于ASP.NET+MSSQL架構(gòu)的CMS則需安裝Microsoft.NETFramework和MSSQL數(shù)據(jù)庫。ASP+ACCESS/MSSQL架構(gòu)的開源CMS具有簡單易用、方便操作的特點(diǎn),適合教師、學(xué)校、教育機(jī)構(gòu)快速架設(shè)科技教育網(wǎng)站。服務(wù)器環(huán)境配置完畢后,開始CMS的安裝、配置、部署與創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫鏈接,并開始運(yùn)行系統(tǒng),訪問所建立的網(wǎng)站。2.網(wǎng)站配置3.模板設(shè)計(jì)與制作通用CMS網(wǎng)站系統(tǒng)主要有三大模塊:文章、軟件和圖片,一般每個模塊的模板目錄結(jié)構(gòu)都由源程序、Images圖片文件夾、JS文件夾、UploadFiles上傳文件夾組成,這三個模塊相對獨(dú)立,可以生成多個模塊欄目,每個模塊欄目都有自己的模板。作為科技教育網(wǎng)站,網(wǎng)頁模板應(yīng)該體現(xiàn)科技以人為本的理念,采用簡潔、清晰、大方的界面設(shè)計(jì),統(tǒng)一的風(fēng)格,最好添加有地方特色的元素標(biāo)志,這樣才能吸引網(wǎng)站訪問者。模版設(shè)計(jì)與制作的流程:(1)在制作模板前,先在Photoshop、Fireworks等設(shè)計(jì)軟件中制作網(wǎng)頁效果圖。然后利用這些軟件導(dǎo)出成Web格式文件功能,將效果圖輸出到Web文件和圖片文件夾。(2)在Dreamweaver等網(wǎng)頁設(shè)計(jì)軟件中修改Web文件,修改需要顯示相關(guān)內(nèi)容的地方或插入相應(yīng)的標(biāo)簽。(3)將圖片文件夾上傳至網(wǎng)站的目錄中,同時(shí)添加或修改相關(guān)類型的網(wǎng)頁模板,將Web文件的源代碼拷入模板中并保存。將添加或修改的模板設(shè)置成默認(rèn)模板。刷新前臺頁面即可看到新模板的效果。4.頻道和欄目管理頻道是指系統(tǒng)對某一功能模塊的集合,如文章模塊、下載模塊、圖片模塊等,以建設(shè)不同的網(wǎng)站內(nèi)容。欄目是系統(tǒng)頻道某一類內(nèi)容的集合體。我們以學(xué)科分類作為頻道分類的標(biāo)準(zhǔn),設(shè)置各學(xué)科頻道和綜合教育頻道。在頻道中設(shè)置多個一級欄目,在一級欄目中可以添加多個二級欄目。根據(jù)各頻道的需要,進(jìn)行添加、刪除、排序、移動、復(fù)位、合并和批量設(shè)置欄目等操作。便捷的欄目操作與靈活的欄目屬性設(shè)置能讓管理員在管理網(wǎng)站時(shí)倍感輕松。專題是指從屬于同一頻道不同欄目或不同頻道的信息按某一主題匯總的信息集合體。如果某些科技活動雖分布在不同的欄目,但可同屬于一個主題,這時(shí)就可以建立專題進(jìn)行管理。比如海洋專題,涉及地理、生物、化學(xué)等學(xué)科,也涉及氣象、能源、環(huán)境、漁業(yè)、造船、旅游等行業(yè)領(lǐng)域,可以將這些有關(guān)于海洋知識的內(nèi)容進(jìn)行專題歸類。5.信息內(nèi)容管理內(nèi)容管理系統(tǒng)提供在網(wǎng)站中發(fā)布信息、管理操作、簽收信息等豐富的信息管理功能,以方便構(gòu)建強(qiáng)大的內(nèi)容信息管理與交互平臺。信息內(nèi)容是科技教育網(wǎng)站的靈魂,優(yōu)秀的原創(chuàng)內(nèi)容是一個網(wǎng)站的核心競爭力,也是網(wǎng)站訪問者能夠參與互動的關(guān)鍵。只要設(shè)置的頻道欄目具有發(fā)表信息的權(quán)限,就可以讓大眾參與網(wǎng)站的建設(shè),使網(wǎng)站成為一個平等的互動平臺。6.用戶權(quán)限管理在網(wǎng)站的發(fā)展過程中,一方面需要用戶互動來促進(jìn)網(wǎng)站發(fā)展,另一方面也需要防止用戶越權(quán)訪問或隨意發(fā)布網(wǎng)站信息。因此科技教育網(wǎng)站針對不同的服務(wù)對象(非注冊用戶、注冊用戶、不同的注冊用戶類型),根據(jù)其需求開設(shè)不同的信息欄目,提供不同范圍的信息服務(wù)。根據(jù)網(wǎng)站的管理需要設(shè)定不同權(quán)限的管理員,以方便協(xié)同管理網(wǎng)站。當(dāng)用戶在網(wǎng)站中注冊為會員,則相當(dāng)于有了一個網(wǎng)站通行證,會員可辨別屬于自己的信息、訪問或發(fā)布權(quán)限允許內(nèi)的信息。管理員可對會員設(shè)定各種優(yōu)惠方案、積分活動和統(tǒng)計(jì)相關(guān)情況,以改善科技教育網(wǎng)站運(yùn)營效果。四、科技教育網(wǎng)站的有效運(yùn)用通過基于內(nèi)容管理系統(tǒng)架設(shè)科技教育網(wǎng)站,為科技教育和學(xué)科研究的深入進(jìn)行搭建了平臺,有效地推動了教師實(shí)施科技教育改革。由于設(shè)計(jì)的網(wǎng)站具有可持續(xù)發(fā)展、涉及學(xué)科面廣、綜合性強(qiáng)等特點(diǎn),在科技活動中可以得到普遍的應(yīng)用,學(xué)生的創(chuàng)新精神和創(chuàng)新能力也會得到發(fā)展,信息素養(yǎng)得到提高。一、給學(xué)生留下一個良好的第一印象初一學(xué)生的年齡特征決定了他們對事物好惡的片面性、隨意性及遷移性。當(dāng)他們的第一印象比較好時(shí)，就會把這種“好感”遷移到你所教的學(xué)科上。此外，教師的思維方式，教學(xué)態(tài)度等，也將對你所教的學(xué)生產(chǎn)生潛移默化的作用，甚至?xí)绊懙剿麄円簧鷮?shù)學(xué)的態(tài)度和看法，因此，數(shù)學(xué)教師一定要注意自己的一切，從自己的著裝，到說話的語音、語調(diào)，以及自己的肢體語言，都力爭要給學(xué)生留下個好的第一印象。很多教師特別是一些新教師，怕自己不能震住學(xué)生，所以在首次與學(xué)生接觸時(shí)，喜歡板著臉，搭老師架子。但這樣做，不但不能起到預(yù)期的作用，還在不知不覺中拉開了教師與學(xué)生的距離。二、精心上好第一節(jié)序言課據(jù)抽樣調(diào)查，初一學(xué)生對數(shù)學(xué)是比較喜歡的，但具有不穩(wěn)定性。剛開始學(xué)習(xí)時(shí)，出于好奇，興趣較濃，在上第一課時(shí)，學(xué)生們一般都抱著見一見“廬山真面目”的心理，期待著能夠得到心理上的滿足，得到上課的樂趣。如果這一節(jié)課處理得不理想，就會使學(xué)生大失所望，因此，教師對第一節(jié)課不能掉以輕心，不加重視，使學(xué)生失去學(xué)習(xí)數(shù)學(xué)的興趣和感情。而應(yīng)精心設(shè)計(jì)，激發(fā)學(xué)生的好奇心，認(rèn)識學(xué)習(xí)數(shù)學(xué)的重要性，從而培養(yǎng)學(xué)生學(xué)習(xí)數(shù)學(xué)的興趣和感情?；谝陨显颍以谏系谝还?jié)課時(shí)，選擇了請幾個學(xué)生和我一起做游戲“猜年齡”作為引入，在一一猜對了各個學(xué)生的年齡后，請學(xué)生一起思考：老師為什么能猜對？神在什么地方？這個問題一下把學(xué)生的興趣吊了起來，他們通過討論、交流，得出了結(jié)論，并設(shè)計(jì)出了其它一些游戲規(guī)則，自己過了一下“神算子”的癮。這個游戲，同時(shí)還立即拉近了我和學(xué)生的距離。三、努力處理好每章的第一節(jié)課一般來說，每一章的第一節(jié)內(nèi)容都是本章的重要概念，是一章的核心所在。這樣的課教師準(zhǔn)備得充分與否，教學(xué)內(nèi)容組織得合理與否，方法恰當(dāng)與否，必將影響到課堂教學(xué)效果，影響到學(xué)生對概念的掌握，甚至影響到后面章節(jié)的學(xué)習(xí)。尤其是對于第一次出現(xiàn)的概念，要一次講清、講透。若一開始就講不清楚，甚至出錯，后面要想讓學(xué)生糾正就很難，甚至花較大的精力和時(shí)間都不一定會得到好的效果。因?yàn)榈谝淮蔚挠∠笮纬傻母拍詈徒Y(jié)論是非常深刻而且將是永久的。華師大版新教材在每一章的開始，都設(shè)置有一副表現(xiàn)該章主要內(nèi)容的導(dǎo)圖和導(dǎo)入語，激發(fā)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣與求知欲望。但部分教師卻忽略了這些導(dǎo)圖和導(dǎo)入語的作用，對它視而不見，或者一帶而過。用好這些圖，會給學(xué)生留下極為深刻的印象。比如，第十章“統(tǒng)計(jì)初步”的引入，“魚缸里有多少條魚”和“池塘里有多少條魚”兩幅圖一下就吸引了學(xué)生的好奇心：這兩幅圖什么意思？本章究竟研究什么內(nèi)容？老師稍加點(diǎn)撥，學(xué)生才恍然大悟：原來要知道魚有多少條，有時(shí)候可以一條一條數(shù)（普查），有時(shí)候只能用部分來估計(jì)全體（抽樣調(diào)查），所以本章研究的就是如何用部分來估計(jì)全體的問題。如此形象、深入的引入，學(xué)生怎會不留下深刻的印象呢？四、認(rèn)真對待每位學(xué)生的第一次提問課堂提問作為教學(xué)過程中的重要手段，是不容忽視的，它能夠及時(shí)地反饋學(xué)生的學(xué)習(xí)信息，教師則可以及時(shí)根據(jù)學(xué)習(xí)的具體情況來調(diào)整教學(xué)過程、方法和內(nèi)容，以便提高教學(xué)效果。1.設(shè)計(jì)的問題要適應(yīng)學(xué)生年齡和個人能力水平，所提問題要有一定的梯度，要兼顧到班里各個水平層次的學(xué)生。2.要特別注意明確問題的重點(diǎn)，問題內(nèi)容要集中，不要東拉西扯，不著要點(diǎn)。3.提問問題的答案要明確、簡潔，不要摸棱兩可。4.注意保護(hù)學(xué)生回答問題的積極性，學(xué)生回答后多鼓勵，對回答不對的學(xué)生要分析錯因，明確修正方法等。五、設(shè)計(jì)好第一次數(shù)學(xué)考試考試是教師檢查學(xué)生掌握知識情況的手段，也是學(xué)生自我評價(jià)的一次機(jī)會。對于第一次數(shù)學(xué)測驗(yàn)，學(xué)生一般會作較充分的準(zhǔn)備。由于初一學(xué)生對問題的評價(jià)是表面的，興趣是不穩(wěn)定的，就往往會因一時(shí)一事的失利而感到一切都差。因此教師要努力設(shè)計(jì)好第一次考試，不要讓那些已經(jīng)做了較大努力，但反應(yīng)較遲鈍的學(xué)生第一次考試慘敗，防止挫傷他們學(xué)習(xí)數(shù)學(xué)的積極性。第一次考試應(yīng)設(shè)計(jì)得合理，難度應(yīng)適中，應(yīng)使絕大多數(shù)學(xué)生考出較理想的成績。這樣學(xué)生就會感到數(shù)學(xué)并不難學(xué)，對今后學(xué)數(shù)學(xué)的自信心會增強(qiáng)。總之，在初中數(shù)學(xué)教學(xué)過程中，要重視“首因效應(yīng)”，創(chuàng)造出好的首因效應(yīng)，避免學(xué)生提前分化，為今后的學(xué)習(xí)打好基礎(chǔ)。今年九四屆學(xué)生聚會，幾個學(xué)生遇見我的第一句話就說：“老師，我們至今仍清楚地記得初一你給我們上第一節(jié)課的情景，記得你當(dāng)時(shí)叫哪幾個同學(xué)回答了問題，就是那一節(jié)課，讓我們深深地喜歡上了數(shù)學(xué)。”這屆學(xué)生，雖然就讀的是農(nóng)村普通中學(xué)，但他們在中考和數(shù)學(xué)競賽中均取得了可喜成績，他們中有個學(xué)生還以昆山市第一名的成績獲得了全國聯(lián)賽二等獎。他們的話，讓我更深深體會到，初一教學(xué)“首因效應(yīng)”的重要性。微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)56、極端的法規(guī)，就是極端1微機(jī)械系統(tǒng)的技術(shù)與發(fā)展微機(jī)械系統(tǒng)的技術(shù)與2微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件3微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件4微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件5微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件6大小尺寸■簡單地說在0.1~1000ym都可以算微機(jī)電系統(tǒng),而細(xì)分可以分成兩方面來討論?！醭叽缇?微機(jī)電系統(tǒng)本身在微米的范圍內(nèi)?！踹\(yùn)動精度:微機(jī)電系統(tǒng)能達(dá)到微米以內(nèi)的運(yùn)動精度的機(jī)械。大小尺寸7■微機(jī)電和其它尺寸的比較:數(shù)測方法零件製造技術(shù)精密懶械目視放大微小化零件精密加工微餞電技光學(xué)顯半導(dǎo)製程電子顯剴奈米技術(shù)原子匍力顯微鏡蛋白賃工裎■微機(jī)電和其它尺寸的比較:85MEMS發(fā)展的目的MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。MEMS發(fā)展的目標(biāo)在于,通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),開辟一個新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中,把自動化、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平。MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域,如電子技術(shù)機(jī)械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等5MEMS發(fā)展的目的9二十一世紀(jì)MEMS將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向?qū)嵱没?對工農(nóng)業(yè)、信息、環(huán)境、生物工程、醫(yī)療、空間技術(shù)、國防和科學(xué)發(fā)展產(chǎn)生重大影響。二十一世紀(jì)MEMS將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向106MEMS的特點(diǎn):1)微型化:MEMS器件體積小、重量輕、耗能低慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短?！?)以硅為主要材料,機(jī)械電器性能優(yōu)良:硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng),密度類似鋁,熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢。3)批量生產(chǎn):用硅微加工工藝在一片硅片上可同時(shí)制造成百上千個微型機(jī)電裝置或完整的MEMS批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本6MEMS的特點(diǎn):11微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件12微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件13微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件14微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件15微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件16微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件17微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件18微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件19微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件20微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件21微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件22微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件23微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件24微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件25微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件26微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件27微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件28微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件29微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件30微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件31微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件32微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件33微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件34微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件35微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件36微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件37微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件38微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件39微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件40微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件41微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件42微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件43微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件44微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件45微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件46微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件47微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件48微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件49微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件50微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件51微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件52微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件53微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件54微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件55微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件56微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件57微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件58微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件59微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件60微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件61微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件62微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件63微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件64微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件65微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件66微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件67微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件68微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件69微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件70微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件71微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件72微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件73微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件74微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件75微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件76微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件77微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件78微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件79微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件80微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件81微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件82微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件83謝謝！61、奢侈是舒適的，否則就不是奢侈。——CocoChanel

62、少而好學(xué)，如日出之陽；壯而好學(xué)，如日中之光；志而好學(xué)，如炳燭之光。——劉向

63、三軍可奪帥也，匹夫不可奪志也?！浊?/p>

64、人生就是學(xué)校。在那里，與其說好的教師是幸福，不如說好的教師是不幸?！Ｘ悹?/p>

65、接受挑戰(zhàn)，就可以享受勝利的喜悅?！芗{勒爾·喬治·S·巴頓謝謝！61、奢侈是舒適的，否則就不是奢侈?！狢ocoCha84微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)56、極端的法規(guī)，就是極端的不公。——西塞羅57、法律一旦成為人們的需要，人們就不再配享受自由了?！呥_(dá)哥拉斯58、法律規(guī)定的懲罰不是為了私人的利益，而是為了公共的利益；一部分靠有害的強(qiáng)制，一部分靠榜樣的效力?！窭闲闼?9、假如沒有法律他們會更快樂的話，那么法律作為一件無用之物自己就會消滅。——洛克60、人民的幸福是至高無個的法?！魅_微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)56、極端的法規(guī)，就是極端的不公。——西塞羅57、法律一旦成為人們的需要，人們就不再配享受自由了?！呥_(dá)哥拉斯58、法律規(guī)定的懲罰不是為了私人的利益，而是為了公共的利益；一部分靠有害的強(qiáng)制，一部分靠榜樣的效力。——格老秀斯59、假如沒有法律他們會更快樂的話，那么法律作為一件無用之物自己就會消滅?！蹇?0、人民的幸福是至高無個的法?！魅_微機(jī)械系統(tǒng)的技術(shù)與發(fā)展第一部分MEMS簡介一、引言科技教育網(wǎng)站是在網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下,以綜合學(xué)科的教學(xué)、學(xué)習(xí)和拓展為中心,向教師、學(xué)生和家長提供大量的與科技活動、科普知識學(xué)習(xí)相關(guān)的資源,讓教師和學(xué)生通過第二課堂教學(xué)和網(wǎng)絡(luò)協(xié)作工具,圍繞某一科技知識進(jìn)行精致教學(xué)以及廣泛深入持續(xù)的學(xué)習(xí)、探究、發(fā)現(xiàn)的數(shù)字化教與學(xué)系統(tǒng)。作為一種綜合性的數(shù)字化教與學(xué)系統(tǒng),它不可避免地包括建設(shè)、應(yīng)用與互動整合三個環(huán)節(jié),缺少其中的任何一個環(huán)節(jié),這一系統(tǒng)的功效都將大打折扣?？萍冀逃W(wǎng)站與專題學(xué)習(xí)網(wǎng)站不同,筆者以新課程標(biāo)準(zhǔn)為指導(dǎo),對科技教育網(wǎng)站的上述三個環(huán)節(jié)進(jìn)行探索,以內(nèi)容管理系統(tǒng)網(wǎng)站的建設(shè)經(jīng)驗(yàn)和內(nèi)核為依托,向數(shù)學(xué)、物理、化學(xué)、生物、地理、語文、英語、歷史、地理等學(xué)科拓展,完善這些學(xué)科的子網(wǎng)站建設(shè),形成綜合性的科技教育網(wǎng)站群。二、內(nèi)容管理系統(tǒng)1.內(nèi)容管理系統(tǒng)(CMS)的概念2.內(nèi)容管理系統(tǒng)的特點(diǎn)三、內(nèi)容管理系統(tǒng)建設(shè)科技教育網(wǎng)站的應(yīng)用流程1.內(nèi)容管理系統(tǒng)的安裝調(diào)試基于ASP+ACCESS架構(gòu)的CMS只需在本機(jī)或服務(wù)器Windows操作系統(tǒng)上配置IIS即可,基于PHP+MySQL架構(gòu)的CMS還需安裝PHP插件和MySQL數(shù)據(jù)庫,基于ASP.NET+MSSQL架構(gòu)的CMS則需安裝Microsoft.NETFramework和MSSQL數(shù)據(jù)庫。ASP+ACCESS/MSSQL架構(gòu)的開源CMS具有簡單易用、方便操作的特點(diǎn),適合教師、學(xué)校、教育機(jī)構(gòu)快速架設(shè)科技教育網(wǎng)站。服務(wù)器環(huán)境配置完畢后,開始CMS的安裝、配置、部署與創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫鏈接,并開始運(yùn)行系統(tǒng),訪問所建立的網(wǎng)站。2.網(wǎng)站配置3.模板設(shè)計(jì)與制作通用CMS網(wǎng)站系統(tǒng)主要有三大模塊:文章、軟件和圖片,一般每個模塊的模板目錄結(jié)構(gòu)都由源程序、Images圖片文件夾、JS文件夾、UploadFiles上傳文件夾組成,這三個模塊相對獨(dú)立,可以生成多個模塊欄目,每個模塊欄目都有自己的模板。作為科技教育網(wǎng)站,網(wǎng)頁模板應(yīng)該體現(xiàn)科技以人為本的理念,采用簡潔、清晰、大方的界面設(shè)計(jì),統(tǒng)一的風(fēng)格,最好添加有地方特色的元素標(biāo)志,這樣才能吸引網(wǎng)站訪問者。模版設(shè)計(jì)與制作的流程:(1)在制作模板前,先在Photoshop、Fireworks等設(shè)計(jì)軟件中制作網(wǎng)頁效果圖。然后利用這些軟件導(dǎo)出成Web格式文件功能,將效果圖輸出到Web文件和圖片文件夾。(2)在Dreamweaver等網(wǎng)頁設(shè)計(jì)軟件中修改Web文件,修改需要顯示相關(guān)內(nèi)容的地方或插入相應(yīng)的標(biāo)簽。(3)將圖片文件夾上傳至網(wǎng)站的目錄中,同時(shí)添加或修改相關(guān)類型的網(wǎng)頁模板,將Web文件的源代碼拷入模板中并保存。將添加或修改的模板設(shè)置成默認(rèn)模板。刷新前臺頁面即可看到新模板的效果。4.頻道和欄目管理頻道是指系統(tǒng)對某一功能模塊的集合,如文章模塊、下載模塊、圖片模塊等,以建設(shè)不同的網(wǎng)站內(nèi)容。欄目是系統(tǒng)頻道某一類內(nèi)容的集合體。我們以學(xué)科分類作為頻道分類的標(biāo)準(zhǔn),設(shè)置各學(xué)科頻道和綜合教育頻道。在頻道中設(shè)置多個一級欄目,在一級欄目中可以添加多個二級欄目。根據(jù)各頻道的需要,進(jìn)行添加、刪除、排序、移動、復(fù)位、合并和批量設(shè)置欄目等操作。便捷的欄目操作與靈活的欄目屬性設(shè)置能讓管理員在管理網(wǎng)站時(shí)倍感輕松。專題是指從屬于同一頻道不同欄目或不同頻道的信息按某一主題匯總的信息集合體。如果某些科技活動雖分布在不同的欄目,但可同屬于一個主題,這時(shí)就可以建立專題進(jìn)行管理。比如海洋專題,涉及地理、生物、化學(xué)等學(xué)科,也涉及氣象、能源、環(huán)境、漁業(yè)、造船、旅游等行業(yè)領(lǐng)域,可以將這些有關(guān)于海洋知識的內(nèi)容進(jìn)行專題歸類。5.信息內(nèi)容管理內(nèi)容管理系統(tǒng)提供在網(wǎng)站中發(fā)布信息、管理操作、簽收信息等豐富的信息管理功能,以方便構(gòu)建強(qiáng)大的內(nèi)容信息管理與交互平臺。信息內(nèi)容是科技教育網(wǎng)站的靈魂,優(yōu)秀的原創(chuàng)內(nèi)容是一個網(wǎng)站的核心競爭力,也是網(wǎng)站訪問者能夠參與互動的關(guān)鍵。只要設(shè)置的頻道欄目具有發(fā)表信息的權(quán)限,就可以讓大眾參與網(wǎng)站的建設(shè),使網(wǎng)站成為一個平等的互動平臺。6.用戶權(quán)限管理在網(wǎng)站的發(fā)展過程中,一方面需要用戶互動來促進(jìn)網(wǎng)站發(fā)展,另一方面也需要防止用戶越權(quán)訪問或隨意發(fā)布網(wǎng)站信息。因此科技教育網(wǎng)站針對不同的服務(wù)對象(非注冊用戶、注冊用戶、不同的注冊用戶類型),根據(jù)其需求開設(shè)不同的信息欄目,提供不同范圍的信息服務(wù)。根據(jù)網(wǎng)站的管理需要設(shè)定不同權(quán)限的管理員,以方便協(xié)同管理網(wǎng)站。當(dāng)用戶在網(wǎng)站中注冊為會員,則相當(dāng)于有了一個網(wǎng)站通行證,會員可辨別屬于自己的信息、訪問或發(fā)布權(quán)限允許內(nèi)的信息。管理員可對會員設(shè)定各種優(yōu)惠方案、積分活動和統(tǒng)計(jì)相關(guān)情況,以改善科技教育網(wǎng)站運(yùn)營效果。四、科技教育網(wǎng)站的有效運(yùn)用通過基于內(nèi)容管理系統(tǒng)架設(shè)科技教育網(wǎng)站,為科技教育和學(xué)科研究的深入進(jìn)行搭建了平臺,有效地推動了教師實(shí)施科技教育改革。由于設(shè)計(jì)的網(wǎng)站具有可持續(xù)發(fā)展、涉及學(xué)科面廣、綜合性強(qiáng)等特點(diǎn),在科技活動中可以得到普遍的應(yīng)用,學(xué)生的創(chuàng)新精神和創(chuàng)新能力也會得到發(fā)展,信息素養(yǎng)得到提高。一、給學(xué)生留下一個良好的第一印象初一學(xué)生的年齡特征決定了他們對事物好惡的片面性、隨意性及遷移性。當(dāng)他們的第一印象比較好時(shí)，就會把這種“好感”遷移到你所教的學(xué)科上。此外，教師的思維方式，教學(xué)態(tài)度等，也將對你所教的學(xué)生產(chǎn)生潛移默化的作用，甚至?xí)绊懙剿麄円簧鷮?shù)學(xué)的態(tài)度和看法，因此，數(shù)學(xué)教師一定要注意自己的一切，從自己的著裝，到說話的語音、語調(diào)，以及自己的肢體語言，都力爭要給學(xué)生留下個好的第一印象。很多教師特別是一些新教師，怕自己不能震住學(xué)生，所以在首次與學(xué)生接觸時(shí)，喜歡板著臉，搭老師架子。但這樣做，不但不能起到預(yù)期的作用，還在不知不覺中拉開了教師與學(xué)生的距離。二、精心上好第一節(jié)序言課據(jù)抽樣調(diào)查，初一學(xué)生對數(shù)學(xué)是比較喜歡的，但具有不穩(wěn)定性。剛開始學(xué)習(xí)時(shí)，出于好奇，興趣較濃，在上第一課時(shí)，學(xué)生們一般都抱著見一見“廬山真面目”的心理，期待著能夠得到心理上的滿足，得到上課的樂趣。如果這一節(jié)課處理得不理想，就會使學(xué)生大失所望，因此，教師對第一節(jié)課不能掉以輕心，不加重視，使學(xué)生失去學(xué)習(xí)數(shù)學(xué)的興趣和感情。而應(yīng)精心設(shè)計(jì)，激發(fā)學(xué)生的好奇心，認(rèn)識學(xué)習(xí)數(shù)學(xué)的重要性，從而培養(yǎng)學(xué)生學(xué)習(xí)數(shù)學(xué)的興趣和感情?；谝陨显颍以谏系谝还?jié)課時(shí)，選擇了請幾個學(xué)生和我一起做游戲“猜年齡”作為引入，在一一猜對了各個學(xué)生的年齡后，請學(xué)生一起思考：老師為什么能猜對？神在什么地方？這個問題一下把學(xué)生的興趣吊了起來，他們通過討論、交流，得出了結(jié)論，并設(shè)計(jì)出了其它一些游戲規(guī)則，自己過了一下“神算子”的癮。這個游戲，同時(shí)還立即拉近了我和學(xué)生的距離。三、努力處理好每章的第一節(jié)課一般來說，每一章的第一節(jié)內(nèi)容都是本章的重要概念，是一章的核心所在。這樣的課教師準(zhǔn)備得充分與否，教學(xué)內(nèi)容組織得合理與否，方法恰當(dāng)與否，必將影響到課堂教學(xué)效果，影響到學(xué)生對概念的掌握，甚至影響到后面章節(jié)的學(xué)習(xí)。尤其是對于第一次出現(xiàn)的概念，要一次講清、講透。若一開始就講不清楚，甚至出錯，后面要想讓學(xué)生糾正就很難，甚至花較大的精力和時(shí)間都不一定會得到好的效果。因?yàn)榈谝淮蔚挠∠笮纬傻母拍詈徒Y(jié)論是非常深刻而且將是永久的。華師大版新教材在每一章的開始，都設(shè)置有一副表現(xiàn)該章主要內(nèi)容的導(dǎo)圖和導(dǎo)入語，激發(fā)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣與求知欲望。但部分教師卻忽略了這些導(dǎo)圖和導(dǎo)入語的作用，對它視而不見，或者一帶而過。用好這些圖，會給學(xué)生留下極為深刻的印象。比如，第十章“統(tǒng)計(jì)初步”的引入，“魚缸里有多少條魚”和“池塘里有多少條魚”兩幅圖一下就吸引了學(xué)生的好奇心：這兩幅圖什么意思？本章究竟研究什么內(nèi)容？老師稍加點(diǎn)撥，學(xué)生才恍然大悟：原來要知道魚有多少條，有時(shí)候可以一條一條數(shù)（普查），有時(shí)候只能用部分來估計(jì)全體（抽樣調(diào)查），所以本章研究的就是如何用部分來估計(jì)全體的問題。如此形象、深入的引入，學(xué)生怎會不留下深刻的印象呢？四、認(rèn)真對待每位學(xué)生的第一次提問課堂提問作為教學(xué)過程中的重要手段，是不容忽視的，它能夠及時(shí)地反饋學(xué)生的學(xué)習(xí)信息，教師則可以及時(shí)根據(jù)學(xué)習(xí)的具體情況來調(diào)整教學(xué)過程、方法和內(nèi)容，以便提高教學(xué)效果。1.設(shè)計(jì)的問題要適應(yīng)學(xué)生年齡和個人能力水平，所提問題要有一定的梯度，要兼顧到班里各個水平層次的學(xué)生。2.要特別注意明確問題的重點(diǎn)，問題內(nèi)容要集中，不要東拉西扯，不著要點(diǎn)。3.提問問題的答案要明確、簡潔，不要摸棱兩可。4.注意保護(hù)學(xué)生回答問題的積極性，學(xué)生回答后多鼓勵，對回答不對的學(xué)生要分析錯因，明確修正方法等。五、設(shè)計(jì)好第一次數(shù)學(xué)考試考試是教師檢查學(xué)生掌握知識情況的手段，也是學(xué)生自我評價(jià)的一次機(jī)會。對于第一次數(shù)學(xué)測驗(yàn)，學(xué)生一般會作較充分的準(zhǔn)備。由于初一學(xué)生對問題的評價(jià)是表面的，興趣是不穩(wěn)定的，就往往會因一時(shí)一事的失利而感到一切都差。因此教師要努力設(shè)計(jì)好第一次考試，不要讓那些已經(jīng)做了較大努力，但反應(yīng)較遲鈍的學(xué)生第一次考試慘敗，防止挫傷他們學(xué)習(xí)數(shù)學(xué)的積極性。第一次考試應(yīng)設(shè)計(jì)得合理，難度應(yīng)適中，應(yīng)使絕大多數(shù)學(xué)生考出較理想的成績。這樣學(xué)生就會感到數(shù)學(xué)并不難學(xué)，對今后學(xué)數(shù)學(xué)的自信心會增強(qiáng)?？傊?，在初中數(shù)學(xué)教學(xué)過程中，要重視“首因效應(yīng)”，創(chuàng)造出好的首因效應(yīng)，避免學(xué)生提前分化，為今后的學(xué)習(xí)打好基礎(chǔ)。今年九四屆學(xué)生聚會，幾個學(xué)生遇見我的第一句話就說：“老師，我們至今仍清楚地記得初一你給我們上第一節(jié)課的情景，記得你當(dāng)時(shí)叫哪幾個同學(xué)回答了問題，就是那一節(jié)課，讓我們深深地喜歡上了數(shù)學(xué)。”這屆學(xué)生，雖然就讀的是農(nóng)村普通中學(xué)，但他們在中考和數(shù)學(xué)競賽中均取得了可喜成績，他們中有個學(xué)生還以昆山市第一名的成績獲得了全國聯(lián)賽二等獎。他們的話，讓我更深深體會到，初一教學(xué)“首因效應(yīng)”的重要性。微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)56、極端的法規(guī)，就是極端85微機(jī)械系統(tǒng)的技術(shù)與發(fā)展微機(jī)械系統(tǒng)的技術(shù)與86微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件87微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件88微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件89微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件90大小尺寸■簡單地說在0.1~1000ym都可以算微機(jī)電系統(tǒng),而細(xì)分可以分成兩方面來討論?！醭叽缇?微機(jī)電系統(tǒng)本身在微米的范圍內(nèi)?！踹\(yùn)動精度:微機(jī)電系統(tǒng)能達(dá)到微米以內(nèi)的運(yùn)動精度的機(jī)械。大小尺寸91■微機(jī)電和其它尺寸的比較:數(shù)測方法零件製造技術(shù)精密懶械目視放大微小化零件精密加工微餞電技光學(xué)顯半導(dǎo)製程電子顯剴奈米技術(shù)原子匍力顯微鏡蛋白賃工裎■微機(jī)電和其它尺寸的比較:925MEMS發(fā)展的目的MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。MEMS發(fā)展的目標(biāo)在于,通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),開辟一個新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中,把自動化、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平。MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域,如電子技術(shù)機(jī)械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等5MEMS發(fā)展的目的93二十一世紀(jì)MEMS將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向?qū)嵱没?對工農(nóng)業(yè)、信息、環(huán)境、生物工程、醫(yī)療、空間技術(shù)、國防和科學(xué)發(fā)展產(chǎn)生重大影響。二十一世紀(jì)MEMS將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向946MEMS的特點(diǎn):1)微型化:MEMS器件體積小、重量輕、耗能低慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短?！?)以硅為主要材料,機(jī)械電器性能優(yōu)良:硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng),密度類似鋁,熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢。3)批量生產(chǎn):用硅微加工工藝在一片硅片上可同時(shí)制造成百上千個微型機(jī)電裝置或完整的MEMS批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本6MEMS的特點(diǎn):95微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件96微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件97微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件98微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件99微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件100微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件101微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件102微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件103微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件104微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件105微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件106微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件107微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件108微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件109微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件110微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件111微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件112微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件113微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件114微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課件115微機(jī)械MEMS系統(tǒng)技術(shù)與發(fā)展動力學(xué)課