掃描電鏡和能譜儀操作培訓(xùn)課件

SEMLabTraining02操作規(guī)程簡介操作流程簡介不同方向的不同關(guān)注開機順序裝(換)樣順序配電箱電源循環(huán)（冷卻）水SEM主機（鑰匙）(10秒)SEM電腦EDAX分析器能譜電腦SEM主程序能譜主程序能譜分析Vent裝樣（換樣）EavcReady2min后開“HT”形貌分析關(guān)“HT”一切復(fù)位等夠2min關(guān)機順序關(guān)高壓復(fù)位并等夠2min關(guān)能譜主程序關(guān)能譜電腦關(guān)EDAX分析器Vent并取出樣品臺Evac到Ready關(guān)SEM主程序關(guān)SEM電腦關(guān)SEM主機等15~30min關(guān)配電箱電源關(guān)循環(huán)水開關(guān)工作條件室溫：15℃~25℃濕度：≤70%RTZ束斑加速電壓樣品高度信號種類原始值0050~603020KV30SEISEM各參數(shù)初始值（復(fù)位）形貌分析步驟選擇信號SEI或者BEC掃描1聚焦，更高倍聚焦。掃描2移動，尋找目標。移動有三種方式掃描3檢查，看有沒有問題。定格，保存，取消，下一個。能譜分析一般能譜步驟元素面分布掃描（面掃描）步驟元素線分布掃描（線掃描）步驟一般能譜步驟CPS=1200~3000,DT%=10~40,Amptime=51.2或102.4CollectimageClearspectrum或者“雷達”Star/stopEDScollection或者“秒表”Lsec=20~50s后，“秒表”HPD或者直接Q，看“綠色線”和“峰位”嚙合是否完美W保存“EXT/XY”下一個樣面掃描步驟CPS>5000,Amptime=25.6Map/line選擇感興趣的元素和區(qū)域,collectimage點掉“quant”，點上“l(fā)ive”(還有全譜面掃，需2h以上)Collectmaps保存Fileprint！注意不是我們教的方法，而在我們的設(shè)備上使用的。若有萬一，后果自負。有好的方法可以跟我們交流，好的方法我們會推薦給大家。例如線掃描步驟CPS>5000,Amptime=25.6Map/line選擇感興趣的元素和區(qū)域,collectimage點掉“l(fā)ive”，點上“quant”,可以選擇數(shù)據(jù)類型劃線Collectline保存Displaylinescandataimageshowimagesave不同方向的不同關(guān)注形貌相能譜形貌例1純鋁陽極氧化S2006C6選擇條件：噴金光柵2無其他要求海水腐蝕的鋁青銅外委陽極氧化Al合金缺陷工作條件：5KV光柵3SS=201005斷口相例22026例5汽車板兩種信號結(jié)合來確定“是相還是縫？”能譜前面的工作做好（樣品放對，圖像找好，目標找準）——45%理解原理，選好工作條件——45%大膽懷疑和嘗試——10%簡言之了解SEM兩種信號和能譜的能力了解關(guān)注的重點，以選擇合適的工作條件