微機電系統(tǒng)動力學(xué)課件

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室MEMS若干動力學(xué)問題研究振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室孟光張文明概要(Outline)微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1微機電系統(tǒng)的基本概況1.1MEMS基本概念1.2MEMS基本模型1.3MEMS歷史回顧1.4MEMS加工技術(shù)1.5MEMS研究成果1.6MEMS應(yīng)用現(xiàn)狀1.7 MEMS技術(shù)小結(jié)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.2MEMS基本模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.3MEMS歷史回顧1947年，科學(xué)家率先發(fā)明半導(dǎo)體晶體管1959年，諾貝爾物理學(xué)獎獲得者Feynman教授發(fā)表著名的MEMS預(yù)言演講‘Thereisplentyofroomatthebottom’1964年，Nathenson研制出第一個批量生產(chǎn)的MEMS設(shè)備resonantgatetransistor1984年，美國加州大學(xué)伯克利分校Howe和Muller利用IC工藝開發(fā)出多晶硅表面微加工技術(shù)，此技術(shù)被譽為MEMS加工技術(shù)的前奏1988年，美國加利福尼亞大學(xué)伯克利分校研制出首臺靜電微電機，標(biāo)志著MEMS時代的來臨振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.4MEMS加工技術(shù)

表面微加工技術(shù)薄膜生成技術(shù)；犧牲層技術(shù)體形微加工技術(shù)化學(xué)腐蝕；離子刻蝕

LIGA技術(shù)和SLIGA技術(shù)光刻、電鑄及注塑特種精密機械加工技術(shù)電火花加工；激光加工；光造型加工

固相鍵合技術(shù)

陽極鍵合；Si-Si直接鍵合；玻璃封接鍵合；冷壓焊鍵合振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.6MEMS應(yīng)用現(xiàn)狀軍事國防生物醫(yī)學(xué)環(huán)境保護工廠維修信息通信交通運輸航空航天

……振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.7MEMS技術(shù)小結(jié)MEMS是人類科技發(fā)展過程一次重大技術(shù)整合

微電子、精密加工、傳感器、執(zhí)行器等技術(shù)微小型化、智能化、集成化、高可靠性MEMS能夠完成真正意義上的微小型系統(tǒng)集成

在芯片上實現(xiàn)了力、熱、磁、化學(xué)到電的轉(zhuǎn)變MEMS極大地改善了人類生存方式與生活質(zhì)量

大批量、低成本的微傳感器、微熱行器MEMS將會帶動一個充滿活力的產(chǎn)業(yè)迅速成長

不是鋼鐵、汽車、微電子，而是微系統(tǒng)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望2.1微尺度效應(yīng)(Ⅰ)MEMS象征著超小型計算機芯片與微型傳感器、探頭、光學(xué)元件及執(zhí)行器的密切結(jié)合。

Howsmallissmall?振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅱ)

尺度范圍:微型機械0.01m-0.1mmMEMS0.1mm-0.1μmNEMS100nm-0.1nm振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅲ)S/Vratioshrinkswiththescalefriction>inertiaheatdissipation>heatstorageelectrostaticforce>magneticforceenergycoupling>energyproduction

Importantdecreaseinmanufacturingrelativeaccuracy

Shrinkingworld,changingbehavior

微尺度律振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅴ)

各種驅(qū)動器的尺度效應(yīng)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅵ)

驅(qū)動力的微尺度效應(yīng)

靜電力

電磁力

壓電力

熱動力振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.2多能域耦合效應(yīng)流體、固體等耦合

微泵微閥微型水壓動力驅(qū)動器電、熱、機械等耦合

熱致動器熱傳感器機、電、磁等耦合

梳狀諧振器靜電、電磁微電機等電場力、空氣阻力、機械變形等耦合

微壓電傳感器原子力顯微鏡微梁探針振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅰ)設(shè)計要求系統(tǒng)級縮減級物理級制作級仿真檢驗

建模過程振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅱ)

動力學(xué)建模與分析方法

動力學(xué)特性表述方法簡化的微分方程非線性時變偏微分方程動力學(xué)模型微機械雙穩(wěn)態(tài)系統(tǒng)模型非線性電容器模型集中參數(shù)模型彈簧阻尼質(zhì)量系統(tǒng)模型平板電容器模型三維分段線性動力學(xué)模型動力學(xué)分析方法

宏模型建模分析方法 Melnikov方法等效電路方法攝動法非線性解耦分析算法有限單元分析方法等 振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀靜電微電機磁感應(yīng)微電機

超聲微電機

電磁微電機步進微電機SDA微電機

擺式微電機

微電機(Micromotor)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀微型水壓動力驅(qū)動器微型轉(zhuǎn)子飛機微型Otto循環(huán)發(fā)動機

微型渦輪機微型發(fā)動機微型火箭發(fā)動機

微型燃氣渦輪發(fā)電機

動力MEMS(PowerMEMS)MEMS渦輪增壓器

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室美國噴氣推進實驗室(JPL)展示的采用MEMS技術(shù)的電阻電熱式微推進器樣機（液體氣化方式）。微推進器由薄膜加熱器、微型噴口等組成。其性能目標(biāo)為：比沖75～125s，推力0.5mN，功率<5W，效率≥50%，質(zhì)量為幾克，大小為1cm2。微推進器3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室直徑:1mm高度:1.5mm重量:12.5mg最大轉(zhuǎn)速:18000rpm最大力矩:1.5Nm直徑1mm微馬達上海交大研制的微馬達3.2微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)問題

微尺度下的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)建模和分析方法微尺度下轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)及非線性特性問題微尺度下轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的摩擦、磨損與潤滑問題轉(zhuǎn)子高速運動及機電耦合非線性動力學(xué)問題轉(zhuǎn)子系統(tǒng)振動測量與控制、穩(wěn)定性分析問題微尺度下的動態(tài)特性測試及可靠性技術(shù)問題

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.3微轉(zhuǎn)子動力學(xué)研究現(xiàn)狀

不同驅(qū)動方式下動力學(xué)特性研究多能域耦合非線性動力特性研究微尺度下動力潤滑特性機理研究超高轉(zhuǎn)速工作轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的穩(wěn)定性微尺度下摩擦磨損動力特性研究轉(zhuǎn)子動力系統(tǒng)特性實驗檢測技術(shù)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室A.微轉(zhuǎn)子動力學(xué)建模與分析振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室

動力學(xué)模型可變電容三維場模型平行板模型 獨立模塊模型等效電路模型等

分析方法場電路分析方法數(shù)值優(yōu)化算法自動有限元建模方法運動模擬方法重疊單元方法場計算方法等

模擬軟件與系統(tǒng)VHDL--AMS系統(tǒng)建模mTORQUE與MICROTOR仿真Spice與Saber靜電仿真ANSYS多能域仿真等B.微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)摩擦磨損問題研究(Ⅰ)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室

摩擦系數(shù)的測量微電機測量方法材料摩擦系數(shù)IC加工電機現(xiàn)場動摩擦法、啟動電壓法PolySilicon/Si3N40.18~0.38擺動電機動態(tài)模型實驗數(shù)據(jù)分析法PolySilicon/PolySilicon0.38~0.55LIGA電機懸臂梁/光纖偏轉(zhuǎn)平臺Ni/Alumina0.60~1.20線性步進電機摩擦測量儀PolySilicon/SiO20.50~1.10各種微電機摩擦系數(shù)B.微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)摩擦磨損問題研究(Ⅱ)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室

微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)存在的磨損問題

采用光滑環(huán)狀轉(zhuǎn)子、支撐結(jié)構(gòu)采用滾動接觸代替滑動接觸采用LB膜、自組裝單分子膜(SAMS)等超薄膜材料改性可提高材料的耐磨性能采用Z-15和Z-DOL等多種PFPE潤滑劑適當(dāng)濕度，加固磨損部位，清除磨損碎片

減磨方法與防護措施振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室C.微軸承動力潤滑問題研究(Ⅰ)

氣體軸承模型超短靜壓徑向軸承模型彈性動壓徑向軸承模型流場模型:動壓與靜壓推力軸承模型徑向軸承模型轉(zhuǎn)子-軸承模型C.微軸承動力潤滑問題研究(Ⅱ)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室

超短靜壓氣體徑向軸承的尺度律

C.微軸承動力潤滑問題研究(Ⅲ)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室

氣體軸承特性測試承載能力與轉(zhuǎn)速關(guān)系氣體軸承過臨界響應(yīng)3.4微旋轉(zhuǎn)機械的實驗檢測(Ⅰ)

AFM測試多晶硅微電機AFM振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.4微旋轉(zhuǎn)機械的實驗檢測(Ⅱ)

微發(fā)動機測試摩擦力振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.4微旋轉(zhuǎn)機械的實驗檢測(Ⅲ)

微渦輪機實驗測試系統(tǒng)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室Microturbine概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望4若干動力學(xué)問題的研究4.1MEMS非線性動力學(xué)特性研究4.2微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)摩擦磨損特性研究4.3微轉(zhuǎn)子-固定軸承接觸問題研究4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力特性分析4.5微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力潤滑特性研究4.6微旋轉(zhuǎn)機械可靠性評估與研究4.7電磁微電機振動測試實驗分析振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.1MEMS非線性動力學(xué)特性研究

微尺度下MEMS壓膜阻尼特性分析靜電驅(qū)動MEMS耦合動力特性分析壓電驅(qū)動MEMS微懸臂梁振動控制振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室A.微尺度下MEMS壓膜阻尼特性分析(Ⅰ)

擠壓效應(yīng)

穿孔效應(yīng)

滑流效應(yīng)加速釋放或減小阻尼,加工釋放孔

無滑流效應(yīng)

有滑流效應(yīng)

A.微尺度下MEMS壓膜阻尼特性分析(Ⅱ)

剛度系數(shù)

阻尼系數(shù)

穿孔效應(yīng)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.靜電驅(qū)動MEMS耦合非線性動力特性分析(Ⅰ)

壓膜阻尼力

動力學(xué)模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室動力學(xué)模型示意圖B.靜電驅(qū)動MEMS耦合非線性動力特性分析(Ⅱ)

吸合效應(yīng)(Pull-in)

靜電剛度軟化效應(yīng)

固有非線性特性振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.靜電驅(qū)動MEMS耦合非線性動力特性分析(Ⅲ)

參數(shù)激勵與外激勵耦合響應(yīng)非線性馬休(Mathieu)方程

幅頻關(guān)系

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.靜電驅(qū)動MEMS耦合非線性動力特性分析(Ⅳ)

分岔與混沌特性分析

交流電壓幅值

壓膜阻尼比

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室C.壓電驅(qū)動MEMS微懸臂梁振動控制(Ⅰ)

動力學(xué)模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室C.壓電驅(qū)動MEMS微懸臂梁振動控制(Ⅱ)Rayleigh-Ritz方法線性化反饋控制振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室C.壓電驅(qū)動MEMS微懸臂梁振動控制(Ⅲ)

模態(tài)形狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室C.壓電驅(qū)動MEMS微懸臂梁振動控制(Ⅳ)

模態(tài)頻率Numberofmode12345678910BeamwithoutPZT12.69779.853126.93224.49441.63442.13735.29788.661106.31332.7BeamwithPZT12.97780.168127.13223.41439.09450.74732.09785.571106.31356.5Relativeerror2.21%3.94%0.16%-0.48%-0.58%1.95%-0.44%-0.39%01.79%振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室C.壓電驅(qū)動MEMS微懸臂梁振動控制(Ⅴ)

階躍響應(yīng)

頻率響應(yīng)

無阻尼有阻尼不同位置不同電壓高增益觀測器振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.2微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)摩擦磨損特性研究

摩擦磨損的尺度效應(yīng)

微轉(zhuǎn)子樞軸摩擦磨損特性分析

微轉(zhuǎn)子軸襯摩擦磨損特性分析

微轉(zhuǎn)子的材料選擇

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室A.摩擦磨損的尺度效應(yīng)

摩擦的尺度效應(yīng)

磨損的尺度效應(yīng)彈性塑性振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.微轉(zhuǎn)子樞軸摩擦磨損特性分析(Ⅰ)平端樞軸模型錐型樞軸模型球型樞軸模型模型簡圖線磨損率體積磨損率摩擦力矩振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.微轉(zhuǎn)子樞軸摩擦磨損特性分析(Ⅱ)錐型樞軸球型樞軸樞軸類型線磨損率體積磨損率摩擦力矩C.微轉(zhuǎn)子軸襯摩擦磨損特性分析(Ⅰ)SEMphotoofamicro-motorwith12/8(stator/rotor)polesRef.:S.F.Bart,M.Mehregany,L.S.Tavrow,J.H.Lang,S.D.Senturia,Electricmicromotordynamics,IEEETransactionsonelectrondevices39(3)1992566-575.

研究背景振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室C.微轉(zhuǎn)子軸襯摩擦磨損特性分析(Ⅱ)

滑行磨損模型

有限元模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室C.微轉(zhuǎn)子軸襯摩擦磨損特性分析(Ⅲ)線磨損率體積磨損率摩擦力矩不同半徑的半球型軸襯接觸壓力D.微轉(zhuǎn)子的材料選擇(Ⅰ)

性能指標(biāo)(Performanceindex)功能要求幾何參數(shù)材料參數(shù)主要功能：載荷電壓、旋轉(zhuǎn)速度、驅(qū)動力、存儲能量、電阻率、機械質(zhì)量因子、斷裂、摩擦磨損、粘附、振動沖擊等材料特性：彈性模量、密度、斷裂強度、殘余應(yīng)力、電阻率、固有阻尼等振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室D.微轉(zhuǎn)子的材料選擇(Ⅱ)

材料性能關(guān)系

彈性模量與斷裂強度

彈性模量與密度振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.3微轉(zhuǎn)子-固定軸承接觸問題研究(Ⅰ)

數(shù)學(xué)模型

接觸壓力

接觸應(yīng)力

接觸應(yīng)變Mathematicmodel振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室Vol.(V)1stpair2ndpair3rdpairMinMaxMinMaxMinMax1000.050.05560.11390.12660.13460.14962000.10.11110.22780.25320.26910.29913000.150.16670.34180.37990.40370.44874000.20.22220.45560.50640.53820.5982

接觸應(yīng)力

接觸應(yīng)變4.3微轉(zhuǎn)子-固定軸承接觸問題研究(Ⅱ)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.3微轉(zhuǎn)子-固定軸承接觸問題研究(Ⅲ)

微尺度效應(yīng)的影響

接觸壓力

接觸應(yīng)力

接觸應(yīng)變Captions:L---Scalefactor;C---Constant;

有限元模型Rotor-to-bearing-hubFEmodel振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.3微轉(zhuǎn)子-固定軸承接觸問題研究(Ⅳ)

接觸壓力、應(yīng)力與應(yīng)變

(a)(a)(b)(c)(b)(c)Notes:(a)---VonMisesstress(b)---VonMisesstrain(c)---contactpressureAppliedvoltageU=100V振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.3微轉(zhuǎn)子-固定軸承接觸問題研究(Ⅴ)

摩擦系數(shù)的影響最大VonMises應(yīng)力

最大接觸壓力

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅰ)

動力學(xué)模型

碰摩力分析微轉(zhuǎn)子模型碰摩力模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅱ)

摩擦機理分析DryfrictionmechanismAdhesionDeformationElasticPlasticRoughsurfaceMultipleasperitiesSingleasperityNumericalFractalStatistical振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅲ)

摩擦模型庫侖摩擦模型微尺度分形摩擦模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅳ)

運動學(xué)方程

碰摩狀態(tài)

無碰摩狀態(tài)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅴ)

無碰摩狀態(tài)

穩(wěn)定性與分岔行為Routh-Hurwitz判據(jù)

特征方程

碰摩狀態(tài)分岔條件

特征方程

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅵ)

穩(wěn)定性與分岔行為分析阻尼-頻率比

摩擦系數(shù)-頻率比

定轉(zhuǎn)子間隙-頻率比

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室注:(1)穩(wěn)定區(qū)；(2)不穩(wěn)定區(qū)；(3)不穩(wěn)定區(qū)，但解是穩(wěn)定的振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅶ)

非線性動力學(xué)行為

轉(zhuǎn)速的影響

4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅷ)

偏心量的影響微尺度分形摩擦模型庫侖摩擦模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅷ)

阻尼系數(shù)的影響4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅷ)

分形尺度的影響(a)D=1.2;(b)D=1.6振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.4微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)碰摩動力學(xué)特性分析(Ⅷ)

尺度長度的影響振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.5微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力潤滑特性研究

階梯滑行軸承潤滑特性分析

徑向氣體軸承潤滑特性分析振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室A.階梯滑行軸承潤滑特性分析(Ⅰ)ForKn<0.001,thecontinuumhypothesisisappropriateandtheflowcanbeanalyzedusingtheNavier-StokesequationsFor0.001<Kn<0.1,rarefactioneffectsstarttoinfluencetheflowBeyondKn=0.1,thecontinuumassumptionoftheNavier-StokesequationsbeginstobreakdownForKn>10,thecontinuumapproachbreaksdowncompletelyandtheregimecanbedescribedasbeingafreemolecularflow振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室A.階梯滑行軸承潤滑特性分析(Ⅱ)階梯型軸襯示意圖靜電微電機橫截面示意圖

階梯滑行軸承模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室連續(xù)流區(qū)Reynolds方程

高階滑流速度邊界條件滑流速度

修正的Reynolds方程

A.階梯滑行軸承潤滑特性分析(Ⅲ)

修正的Reynolds方程振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室Non-dimensionalflowrateversustheinverseKnudsennumberA.階梯滑行軸承潤滑特性分析(Ⅳ)Non-dimensionalflowrateversustheinverseKnudsennumberundertheeffectsofgasrarefactionandroughness

流動速率輪廓振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室A.階梯滑行軸承潤滑特性分析(Ⅴ)

壓力分析Bearingnumber=50;X_step=0.4LBearingnumber=10

承載能力Relationbetweenloadcarryingcapacitywithspacing振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.徑向氣體軸承潤滑特性分析(Ⅰ)

滑流邊界條件分析一階滑移速度邊界條件

氣體分子運動示意簡圖

偏心量0.5~0.9努森數(shù)0.011~0.053(0.01~10)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.徑向氣體軸承潤滑特性分析(Ⅱ)

數(shù)學(xué)模型

微轉(zhuǎn)子-氣體軸承模型

修正Reynolds方程振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.徑向氣體軸承潤滑特性分析(Ⅲ)

數(shù)值計算分析

壓力分布

承載能力數(shù)值計算網(wǎng)格劃分

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.徑向氣體軸承潤滑特性分析(Ⅳ)

壓力分布

無滑流情況

有滑流情況B.徑向氣體軸承潤滑特性分析(Ⅴ)

偏心量對承載能力的影響振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室B.徑向氣體軸承潤滑特性分析(Ⅵ)

轉(zhuǎn)速對承載能力的影響振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室4.6微旋轉(zhuǎn)機械可靠性評估與分析典型失效形式基本失效形式可靠性分析方法4.7電磁薄膜微電機振動測試實驗分析(Ⅰ)2mm與6mm電機6mm電機2mm電機振動、沖擊、噪聲國家