無塵室測(cè)試簡(jiǎn)介

無塵室測(cè)試簡(jiǎn)介無塵室測(cè)試簡(jiǎn)介無塵室測(cè)試簡(jiǎn)介-讓每個(gè)人相同地提高自我無塵室測(cè)試簡(jiǎn)介在測(cè)試無塵室從前，假如能對(duì)測(cè)試規(guī)範(fàn)、無塵室基本見解、無塵室的術(shù)語等有些認(rèn)識(shí)，對(duì)測(cè)試當(dāng)有幫助。這裡是一些背景資料，供給給讀者參考。一、無塵室測(cè)試規(guī)範(fàn)有關(guān)無塵室定義、建筑、控制、管理等等的國際標(biāo)準(zhǔn)，在網(wǎng)路上用〝contaminationcontrol〞搜尋，能夠找到好多相關(guān)資料。無塵室的定義，最早是在美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn)，之後日漸普及並廣為半導(dǎo)體業(yè)與製藥業(yè)接受。在歐洲與日本，隨著工業(yè)的日趨發(fā)展，各國的版本也逐漸出現(xiàn)。到了90年月後期，產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到假如無共同標(biāo)準(zhǔn)，就不可以夠?qū)崿F(xiàn)經(jīng)濟(jì)的全世界化，於是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說明無塵室的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)範(fàn)。FederalStandard209E(Fed-Std-209E)：美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，209的第一版發(fā)行，是在1960年月，之後不斷改版以因應(yīng)科技進(jìn)步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，向抵達(dá)1992年的最後一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣佈廢止209E，改用ISO-14644，於是209E在書面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界，除了部份的歐洲企業(yè)以外，美國、日本、臺(tái)灣、與中國大陸，都還沿用209E。微粒計(jì)數(shù)器的製造商，雖然都推出滿足公制計(jì)數(shù)法的新機(jī)型，但是要等舊機(jī)器圓滿裁汰，惟恐還要很長(zhǎng)時(shí)間，所以新規(guī)範(fàn)ISO-14644還沒能代替209E。2.ISO-14644系列；美國政府為了推動(dòng)經(jīng)濟(jì)全世界化，就很大方的放棄了自己的209E，改而實(shí)行所有使用公制的國際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644。14644系列有8個(gè)子題〈Part〉，稱為14644-1，14644-2，向抵達(dá)14644-8。整個(gè)系列涵蓋了等級(jí)定義、測(cè)試與監(jiān)視的規(guī)範(fàn)、測(cè)試的程序方法、設(shè)計(jì)與建筑、操作、以及其余的有關(guān)設(shè)備等，範(fàn)圍很廣。有些主題已經(jīng)定案，如Part1和Part2，有些只有稿本〈Draft〉，有些連稿本都還沒有，讀者能夠到ISO或IEST的網(wǎng)站上訂購。JISB9920(1989)：日本的潔淨(jìng)標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定無塵室中浮游粒子的濃度測(cè)定方式，及潔淨(jìng)度的等級(jí)定義。VDI2083(1993)：德國的潔淨(jìng)標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定潔淨(jìng)度等級(jí)的定義方式，以及潔淨(jìng)度的量測(cè)技術(shù)。Gost-R50766(1995)：俄國的潔淨(jìng)標(biāo)準(zhǔn)，定義無塵室的分類與一般需求。1-讓每個(gè)人相同地提高自我以上是無塵室等級(jí)規(guī)定，與潔淨(jìng)胸懷測(cè)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。其余有關(guān)無塵室污染控制〈也就是潔淨(jìng)度控制〉，和環(huán)境控制〈如溫溼度、震動(dòng)噪音等〉，也有一些重要的測(cè)試規(guī)範(fàn)，因?yàn)檫@些環(huán)境影響要素，都包含在無塵室性能測(cè)試的範(fàn)圍之內(nèi)。：這本出名的測(cè)試規(guī)範(fàn)，目的就是為了補(bǔ)209的不足。209只有微粒量測(cè)，006包含了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)洩漏、潔淨(jìng)度、溫溼度、平行度、恢復(fù)率、粒子沉降測(cè)試、照度等。006的第一版稱為006-84-T，是第二版?，F(xiàn)在由於NEBB的興起，0062已經(jīng)功遂身退，逐漸消逝了。NEBB無塵室測(cè)試規(guī)範(fàn)第二版：這是當(dāng)前最廣為流行的測(cè)試規(guī)範(fàn)，提到無塵室認(rèn)證，就非NEBB莫屬。NEBB無塵室測(cè)試規(guī)範(fàn)，可說是IEST-0062的改進(jìn)版，其測(cè)試涵蓋範(fàn)圍差不多，但是測(cè)試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn)，儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定。所以NEBB無塵室測(cè)試規(guī)範(fàn)的出現(xiàn)，解決了好多測(cè)試的爭(zhēng)議，也所以NEBB無塵室測(cè)試規(guī)範(fàn)成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān)NEBB，請(qǐng)參照本站。3.ISO-14698系列：14698有Part1、Part2、Part3三個(gè)子題，是有關(guān)無塵室裡面生物污染的控制，當(dāng)前都只有稿本。每一種行業(yè)，甚至每一家企業(yè)或工廠，對(duì)無塵室的要求可能都不一樣。以上所列無塵室定義與無塵室測(cè)試規(guī)範(fàn)，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴(yán)格來講，這些規(guī)範(fàn)也但是一個(gè)參考。各企業(yè)在訂定測(cè)試規(guī)格時(shí)，應(yīng)依據(jù)自己的製程需求，在上述規(guī)範(fàn)裡拿出自己適用的部份，並要求供應(yīng)商與測(cè)試單位照辦，必需時(shí)能夠酌情改正測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，才能真實(shí)滿足自己的需求。二、無塵室常用名詞無塵室定義：無塵室是一個(gè)為了對(duì)空間內(nèi)空氣中的微粒做控制，所建筑的特別封閉性建築。一般而言，無塵室也會(huì)對(duì)溫溼度、氣流運(yùn)動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境要素做控制。微?？刂疲簾o塵室微?？刂频牡谝徊剑前咽覂?nèi)微粒對(duì)製程影響的程度做圓滿分析，然後針對(duì)分析結(jié)果，訂定恰當(dāng)?shù)奈⒘？刂品绞脚c無塵室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時(shí)，必須特別注意數(shù)據(jù)的量化，也就是粒徑與其數(shù)量對(duì)製程的影響，才是合用的數(shù)據(jù)。外來污染源：從無塵室外進(jìn)入系統(tǒng)的污染源，外來污染源主假如由空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)所導(dǎo)入，其余門、窗、牆壁裂縫等也是外來污染源的成因。2-讓每個(gè)人相同地提高自我內(nèi)部污染源：無塵室內(nèi)部產(chǎn)生污染的來源，一般是製程機(jī)器與操作員工，最嚴(yán)重的內(nèi)部污染源一般是操作員工。隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無塵區(qū)域以外。這種觀念多應(yīng)用在高潔淨(jìng)度的無塵環(huán)境，比方Class100，Class10，Class1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無塵室，或是使用迷你潔淨(jìng)室將機(jī)臺(tái)整個(gè)包住。稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應(yīng)用在潔淨(jìng)度不高的無塵室。比方在Class10000的無塵室，因?yàn)閾Q氣量不大，製程與人員產(chǎn)生的粒子就會(huì)在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較常的時(shí)間才會(huì)排出。所以新的乾淨(jìng)空氣只好稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔淨(jìng)度控制在某一等級(jí)之下就能夠了，部要求把人員與製程隔開。使用稀釋法作為?？刂茣r(shí)，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產(chǎn)生速率，才能有效的稀釋微粒。氣流模式：指的是流場(chǎng)型態(tài)，氣流分佈，氣流的流向等性質(zhì)。由於微粒的移除圓滿掌握在氣流的模式，所以愈潔淨(jìng)的無塵室或是無塵區(qū)域，對(duì)氣流模式的掌控就愈重視?；旧弦日莆諝饬髂Ｊ?，才能掌握潔淨(jìng)度。單一流向型氣流：氣流以同一個(gè)方向移動(dòng)，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，從前稱為層流型無塵室，定義並無多大改變。高潔淨(jìng)度無塵室需要單一流向型氣流。非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵室，潔淨(jìng)度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。As-builtcleanroom（剛竣工的無塵室）：已經(jīng)達(dá)成且能夠操作，所有相關(guān)增援設(shè)施皆已達(dá)成的潔淨(jìng)室，但並沒有設(shè)備及操作設(shè)備的人員。At-restcleanroom（準(zhǔn)備中的無塵室）：已經(jīng)達(dá)成且能夠操作，所有相關(guān)增援設(shè)施皆已動(dòng)作的無塵室，設(shè)備已載入並能夠操作或已在運(yùn)轉(zhuǎn)，1如所指定，但沒有操作設(shè)備的人員。Operationalcleanroom（操作中的無塵室設(shè)施）：一個(gè)已在正常運(yùn)轉(zhuǎn)的無塵室，所有相關(guān)增援設(shè)施皆已動(dòng)作，設(shè)備及人員皆已載入，運(yùn)轉(zhuǎn)狀況能夠呈現(xiàn)和達(dá)到其正常的功能。三、無塵室等級(jí)定義無塵室的等級(jí)3-讓每個(gè)人相同地提高自我使用者在開無塵室的等級(jí)給供應(yīng)商時(shí)，有以下幾個(gè)小技巧。第一是等級(jí)定義的模式以下：4ClassLimits-讓每個(gè)人相同地提高自我μmμmμmμm5μmClassNameVolumeVolumeVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsUnitsUnitsSIU.S.(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)M1350--M11,240265106--M23,500757309100--M1012,4003502,6501,060353--M335,0009917,5702143,0901,000--M100--26,50075010,6003003,530100--M4--75,700214030,90087510,000283--M1,000------35,3001,000247M5------100,0002,830618M10,000------353,00010,0002,470M6------1,000,00028,3006,180175M100,000------3,530,000100,00024,700700M7------10,000,000283,00061,8001,750ClassX(atYμm)此中X是無塵室的等級(jí)，比方100或10000等等，Y是粒徑如μm,μm等，可複選。意思就是使用者規(guī)定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級(jí)的限度。這樣能夠減少紛爭(zhēng)，以下是幾個(gè)例子：5-讓每個(gè)人相同地提高自我Class1μm,μm,μm)Class100μm,μm)Class100μm,μm,μm)在Classes100andGreater(Class100，1000，10000....)，一般看一個(gè)粒徑即可。在ClassesLessthan100(Class10，1....)，一般要看多幾個(gè)粒徑。第二個(gè)技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài)，比方：ClassX(atYμm)，At-rest供應(yīng)商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時(shí)無塵室都很乾淨(jìng)，微?？刂颇芰y(cè)試不易，這時(shí)能夠乾脆把驗(yàn)收上限壓低，比方：Class10000μm<=10000)，As-builtClass10000μm<=1000)，As-built這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時(shí)，依舊有足夠的微?？刂颇芰?。以下兩個(gè)表是Fed-Std-209E的等級(jí)定義，和ISO-14644的等級(jí)定義。Fed-Std-209E潔淨(jìng)度定義ISO-14644潔淨(jìng)度定義ISOclassificationnumber(N)

3Maximumconcentrationlimits(particles/mofair)forparticlesequaltoandlargerthantheconsideredsizesshownbelow(concentrationlimitsarecalculatedinaccordancewithequation(1).0.1m0.20.3m0.5m1m5m6-讓每個(gè)人相同地提高自我mISOClass1102ISOClass210024104ISOClass31000237102358ISOClass4100002370102035283ISOClass51000002370010200352083229ISOClass61000237102352008320293000000000ISOClass7352000832002930ISOClass8352000083200029300ISOClass9352008320000293000000NOTEUncertaintiesrelatedtothemeasurementprocessrequiresthatconcentrationdatawithnomorethenthreesignificantfiguresbeusedindeterminingtheclassificationlevel.NEquation(1):Cn=10XD)此中Cn是微粒濃度，N是潔淨(jìng)度，D是粒徑比較以上兩表我們可看出209E的公制和英制兩套標(biāo)準(zhǔn)，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關(guān)性。兩制放同一表，驀地造成混雜2.在兩表中0.5m幾乎出現(xiàn)在每一個(gè)等級(jí)定義中，表示粒徑0.5m的粒子特別具有代表性3.在潔淨(jìng)度的分類上，不論是在高潔淨(jìng)度，或是低潔淨(jìng)度，ISO-14644的範(fàn)圍比209E都來的廣，所以擁有未來性四、無塵室測(cè)試範(fàn)圍7-讓每個(gè)人相同地提高自我凡是和無塵室環(huán)境控制有關(guān)的要素，都在無塵室認(rèn)證的範(fàn)圍之內(nèi)。在無塵室竣工從前，業(yè)主、施工單位、與測(cè)試單位?應(yīng)就以下幾個(gè)主題做詳細(xì)討論並達(dá)成協(xié)議，以利測(cè)試進(jìn)行。待測(cè)無塵室涵蓋範(fàn)圍、等級(jí)、面積、濾網(wǎng)地點(diǎn)、與數(shù)量測(cè)試的目的測(cè)試程序使用儀器測(cè)試報(bào)告撰寫方式與內(nèi)容工期7.在測(cè)試前，將以上項(xiàng)目定義清楚，能夠使測(cè)試順利進(jìn)行，發(fā)現(xiàn)問題時(shí)也能夠儘快除去，對(duì)業(yè)主和施工單位都有益。IEST-0062有一個(gè)表說明測(cè)試項(xiàng)目，以及適用狀態(tài)，擁有相當(dāng)參考價(jià)值表列以下。Table1章節(jié)測(cè)試項(xiàng)目單一流向型非單一流向型混雜型風(fēng)量與均勻度1,2,31,2,31,2,3風(fēng)速與均勻度1,2,3OPTOPT濾網(wǎng)洩漏1,21,21,2潔淨(jìng)度1,2,31,2,31,2,3壓力1,21,2,31,2,3平行度1,2N/AOPT(1,2only)空間洩漏1,21,21,2恢復(fù)率N/A1,21,2粒子沉降測(cè)試1,2,31,2,31,2,3照度1,OPT(2,3)1,OPT(2,3)1,OPT(2,3)噪音1,2,31,2,31,2,3溫溼度1,2,21,2,31,2,3OPTOPTOPT振動(dòng)OPTOPTOPT測(cè)試的順序沒有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序8-讓每個(gè)人相同地提高自我測(cè)試適用於As-built狀態(tài)測(cè)試適用於At-rest狀態(tài)測(cè)試適用於Operational狀態(tài)N/A:代表該測(cè)試在該狀態(tài)下〝不適用〞OPT:代表該測(cè)試在該狀態(tài)下為〝選擇性測(cè)試〞，能夠視製程需求而定由上表可看出，風(fēng)量測(cè)試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因?yàn)椴灰资芨蓴_。風(fēng)速量測(cè)，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因?yàn)楹?jiǎn)單受干擾。當(dāng)然這是IEST的建議，我們能夠自行決定。至於測(cè)試的項(xiàng)目選擇，NEBB建議：依重要性分紅三級(jí)，說明以下。第一級(jí)〈LevelI〉:第一級(jí)測(cè)試是所謂的主要測(cè)試，與潔淨(jìng)度直接有關(guān)的測(cè)試都屬第一級(jí)，每個(gè)無塵室都應(yīng)最少應(yīng)做的測(cè)試。第一級(jí)測(cè)試項(xiàng)目包含：風(fēng)速量測(cè)風(fēng)量量測(cè)前兩項(xiàng)的均勻度分析濾網(wǎng)洩漏測(cè)試潔淨(jìng)度測(cè)試壓力量測(cè)第二級(jí)〈LevelII〉:第二級(jí)測(cè)試，雖然也是與潔淨(jìng)度與氣流有關(guān)，但是只有在特別情況下才需要進(jìn)行。氣流平行胸懷測(cè)〈只適用層流型無塵室〉空間洩漏測(cè)試〈