擴散3-4管方阻異常排查報告

擴散3-4方阻異常排查報告技術部

張洪棟2014.4.8

異常描述原因分析

原因排查以及確認小結(jié)以及后續(xù)計劃目錄異常描述時間：2014.3.29-2014.4.5地點：擴散間相關人員：技術部---王永偉、張洪棟設備部---吳懷國、許光燦

起因（表象原因）：3.29號3-4、3-5、3-6管突然同時出現(xiàn)方阻偏低現(xiàn)象（正常方阻65±3），其中3-4管方阻最低，異常最嚴重，方阻如圖：原因分析可能原因總結(jié)如下：1、外圍排風關小或被堵；2、外圍供氣（大氮、小氮、小氧）異常；3、各供氣流量計故障；4、尾排抽風過小或被堵；5、溫度異常偏高；3月29日發(fā)現(xiàn)3-4、3-5、3-6管整體方阻異常偏低，和設備一起檢查磷源溫度、尾排各管接觸等，對尾排開大，降低溫度試片失??；和設備一起測試尾排抽風并和其它管作對比無異常。原因排查以及確認3月30日對3-4管進行小氮鼓泡檢查，發(fā)現(xiàn)3-4管小氮鼓泡偏小，更換小氮流量計后進行試片，效果不明顯；將3-4、3-5、3-6降低小氮流量、降低大氮流量、增大小氧流量后進行試片，方阻有所提升（達到40），但仍達不到正常值，波動較大，總體方阻偏小，結(jié)合流量減小基礎上加大排風開度試片方阻達到55-65之間，3-5和3-6可以正常生產(chǎn)；3-4方阻40，且波動難以控制，下午找設施人員查找外圍抽風送氣（小氧、大氮、小氮）是否堵塞等情況，無異常；3.30夜班凌晨開始將3-4降溫；已經(jīng)確認小氮流量無異常、外圍排風無異常。原因排查3月31日早上對降溫后的3-4管重新進行溫度自整定，自整定后月12:30開始試片，試片方阻仍然偏低。下午對3-4（異常管）和4-1（正常管）進行小氧和大氮的流量鼓泡檢查對比，4-1鼓泡正常，檢查3-4時不鼓泡，檢查管路時，發(fā)現(xiàn)當手碰觸到3-4爐管后的大氮和小氧的管子合并處的三通閥門時，突然出現(xiàn)部分鼓泡，擰緊次閥門后鼓泡正常，試片后3-4管方阻恢復正常。小氧、大氮流量異常，修復后正常。原因排查以及確認4月1日下午對3-4的積液瓶拆卸清洗后重新安裝后生產(chǎn)的第一管突然出現(xiàn)爐口方阻偏小的情況，3-5、3-6也在同一時間出現(xiàn)輕度爐口方阻偏小的情況，檢查各管路鼓泡情況無異常，繼續(xù)跟蹤確認，未做調(diào)整，擴散方阻自然恢復正常。原因待查。原因排查以及確認4月2日觀察幾管方阻已正常，更改各流量，使之恢復到異常之前的流量數(shù)值，分兩步調(diào)試到位，調(diào)試結(jié)束，方阻調(diào)整正常，夜班跟蹤正常。4月3號觀察有波動，但方阻還在要求范圍，偶爾還是有偏大偏小的。原因排查以及確認4月4日又出現(xiàn)方阻偏小的現(xiàn)象，咨詢廠商建議更換成其它爐管的程序，更換程序后試片，方阻仍然偏低；將抽風開度開大試片，方阻仍然偏低。4月4日下午5點鐘發(fā)現(xiàn)3-4管的爐管較其它爐管偏亮，懷疑爐內(nèi)溫度高于顯示值，右圖為三個不同位置觀察3-4、3-6爐管內(nèi)亮度情況。夜班對3-4管降溫處理。原因排查確認

懷疑顯示溫度可能小于實際溫度，查詢相關資料也有類似知識，如圖：原因排查以及確認4月5日和設備一起檢查溫度情況，發(fā)現(xiàn)當拔下3-4管的熱電偶接觸片時，溫控器顯示正常，并無異常報警，將3-4、3-5、3-6三管的所有供電關掉重啟后，仍然如此，抽查擴散其它爐管均無此現(xiàn)象。原因排查以及確認斷開熱電偶后的異常顯示斷開熱電偶后的正常顯示并閃動

檢查與熱偶管連接線時發(fā)現(xiàn)連接線有一段被腐蝕成褐色的了，如右圖所示：原因排查以及確認正常顏色偏磷酸腐蝕后的顏色偏磷酸匯聚于此并沿著熱偶管連線往下流，造成線路腐蝕短路

用萬用表測量同一根線路中正負兩極之間的電阻，發(fā)現(xiàn)為0短路狀態(tài)，將腐蝕段剪掉后重新連接進行測量方阻為無窮大，恢復正常，懷疑偏磷酸腐蝕導致的短路，由于3-4管的線路偏長，剪掉1米左右的腐蝕線后連接長度剛好夠長。連接后調(diào)試正常，3-4恢復。原因排查以及確認4月8日對3-5管的熱偶管連接線路進行維修，由于3-5管線路剛好夠長，無法再進行剪短了，因此決定將同一條線腐蝕部分的兩根正負電線分開用膠帶單獨固定，解決短路問題，3-5恢復正常。4月9日同樣方法解決3-6管異常，3-6恢復正常。至此3-4、3-5、3-6管徹底恢復。原因排查以及確認

小結(jié)：此次異常主要是偏磷酸聚集在尾排臺面，順著熱偶管連接線往下流，導致連接線嚴重腐蝕短路，從而使溫度顯示值低于實際值，造成方阻偏低的異常。

后續(xù)計劃：工藝和設備會在近期將擴散所有爐管的熱偶管連接線全部檢查一遍，防止類似事件再次產(chǎn)生。