擴散操作規(guī)程

擴散操作屏作業(yè)磷擴散工藝過程清洗飽和裝片送片回溫擴散關源，退舟方塊電阻測量卸片清洗初次擴散前，擴散爐石英管首先連接TCA裝置，當爐溫升至設定溫度，以設定流量通TCA6h清洗石英管。做TCA前先要確認管路的正確.清洗開始時，若在手動狀態(tài)下要先開O2，再開TCA；清洗結束后，先關TCA，再關O2。清洗結束后，進行飽和，待擴散。飽和每班生產前或長時間不生產時，須對石英管進行飽和。爐溫升至設定溫度時，以設定流量通小N2（攜源）和O2，使石英管飽和，約60分鐘后，關閉小N2和O2。初次擴散前或停產一段時間以后恢復生產時，需使石英管在1050℃通TCA2小時后通源飽和1小時以上。(2+1)裝片戴好防護口罩和干凈的乳膠手套，將清洗甩干的硅片從傳遞窗口取出，放在凈化裝片臺上。用石英吸筆依次將硅片從硅片盒中取出，插入石英舟。每一槽裝2片,若發(fā)現硅片表面臟將干凈的一面做擴散面.送片用舟叉將裝滿硅片的石英舟放在碳化硅臂漿上，保證平穩(wěn)，緩緩推入擴散爐。注意不要把擴散和鈍化的石英制品混用.回溫打開適當的工藝號進行擴散，石英漿暴露在空氣中的時間盡量短。擴散注意監(jiān)視屏幕上的氣體流量圖,發(fā)現異常第一時間通知相關人員處理.關源，退舟擴散結束后，計算機自動關閉小N2和O2，將石英舟緩緩退至爐口，降溫以后，用舟叉從臂槳上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，進行下一輪擴散。如沒有待擴散的硅片，將臂漿推入擴散爐，盡量縮短臂槳暴露在暴露在空氣中的時間。卸片等待硅片冷卻后，用石英吸筆均勻的取5片進行方塊電阻的測試.將合格的硅片從石英舟上卸下并放置在硅片盒中，放入傳遞窗。將返工的硅片單獨放置下班后一起交清洗間處理.一.監(jiān)控程序的操作2.1程序啟動在擴散爐的層電源啟動的情況下，啟動工業(yè)控制計算機電源開關，計算機啟動進入WINDOWS2000操作系統，驅動觸摸屏。在系統未完全啟動完畢的情況下，請勿觸摸屏幕，以避免觸摸屏驅動程序報錯。系統自動啟動執(zhí)行文件，自動裝載所需數據文件及驅動文件，并顯示登錄界面。2.2登錄在登錄界面中，有0-9及A-Z字符鍵允許作為密碼字符，箭頭為退格鍵，ENTER為回車鍵。本監(jiān)控程序的初始密碼為“AAAAA”。如果要修改密碼，則先輸入原來的密碼，再在相應的輸入框中輸入新的密碼，然后按“確定”按鈕即可。輸入請牢記修改后的密碼，以避免無法進入程序進行工作。本窗口為登錄窗。二.溫度設置在手動操作屏的中上部有三個模擬溫度控制器的圖形。根據溫度控制器圖形上的“RKC”、“REX-F400”、“RKC”字符，可以知道分別對應本層擴散/氧化爐的三個控制溫度的溫控儀。溫控儀的型號分別為“CD401”，“F400”。溫度控制器圖形中，三個綠色的“850”分別表示左、中、右三個溫區(qū)的控溫熱偶的測量值。三個紅色的“850”分別表示左、中、右三個溫區(qū)的溫度控制器的溫度設定值。通過這三個溫度控制器的復雜控制，能實現恒溫區(qū)所要求的控制精度。在手動操作屏中，三點的SV值可以單獨設置，主要為提供維護與測試所用。在下面將提到的自動運行屏中，SV值由自動程序自動設置，不能夠手動修改。溫度設定值可在手動操作屏中進行手動修改。修改方法：點擊溫度控制器圖形上的SET方形按鈕，桔紅色的“850”將變色，通過“+1”等按鈕進行修改數值，最后再次點擊SET方形按鈕，本端點SV溫度設定值將得到修改（要求在通訊正常情況下）。本窗口為手動操作屏三.手動狀態(tài)實時溫度曲線和流量曲線顯示在手動操作屏的中下部，有一個記錄并描述溫度的曲線圖。提供記錄的溫度范圍為0～1300℃，曲線走勢從左往右，記錄的時間軸能實現自動調整。從圖上可以看到，記錄從11點13分45秒開始（這即是啟動進入程序的時間），到12點13分45秒，為1個小時時間長度。當記錄到12點13分45秒的時候，程序自動將時間區(qū)域長度翻倍，如此類推。實時溫度曲線在程序運行期間將一直記錄，在兩種情況下將自動停止：點擊“恒溫區(qū)”按鈕，程序進入恒溫區(qū)調整屏；進入工藝自動運行屏（此時將啟動自動運行狀態(tài)下的溫度曲線記錄）。三.手動狀態(tài)實時溫度曲線和流量曲線顯示溫度曲線是由計算機讀回的擴散氧化爐的控制熱偶的測量值進行繪制的，左端溫度記錄曲線顯示為白色線條，中點溫度記錄曲線顯示為洋紅色線條，右端溫度記錄曲線顯示為綠色線條。本屏頂部有實時時間顯示。建議隔一個月左右將所有的計算機時鐘參照一個標準時鐘作一次調整，因為計算機的實時時鐘作為長時間計時是不太準確的。本操作界面還有流量曲線顯示，操作同溫度曲線顯示，通過手動操作屏的“溫度曲線/流量曲線”進行溫度曲線顯示和流量曲線顯示的轉換。四.氣體流量、閥門及開關量控制在手動操作屏右側，有“氣體流量控制”和“閥門及開關量控制”兩個區(qū)域，在這兩個區(qū)域可對電磁閥狀態(tài)、氣體流量大小以及其它一些開關量狀態(tài)進行設置。設置鍵為右側下面的“+1”等按鈕。在設置各路氣體的流量時，相應氣路的電磁閥或氣動閥將自動打開（后閥除外）。在“氣體流量設置”區(qū)域的右側有一個測量值區(qū)域，顯示氣路中的實際流量。流量的設定值和顯示值的單位均為mL/Min。在手動操作屏、自動運行屏和恒溫區(qū)調整屏的轉換中，氣體流量、閥門及開關量的設置狀態(tài)將得到保持。五.推舟控制推舟控制”區(qū)域的右側為推舟控制的測量值區(qū)域。在測量值區(qū)域，有舟前進、舟后退狀態(tài)顯示，當舟前進時，舟前進顯示為“TRUE”；當舟后退時，舟后退顯示為“TRUE”。在測量值區(qū)域，還有前限位、后限位狀態(tài)顯示，當舟到達前限位時，前限位狀態(tài)顯示位“TRUE”；當舟到達后限位時，后限位裝態(tài)顯示“TRUE”。在手動操作屏中進行推舟控制只需設置舟速度并選擇前進或后退即可實現推舟的自動運行。操作過程如下：五.推舟控制點擊設置值區(qū)域中的“舟速度”按鈕，使其選中為有效，然后通過軟鍵盤設置推舟速度。推舟速度設置范圍為0～500，單位為mm/Min。速度設置為零時表示舟為停止狀態(tài)，數值越大速度越快，但高速狀態(tài)不利于舟的運行平穩(wěn)，建議將舟速設置在200到300之間。點擊設置值區(qū)域中的“舟前進”或“舟后退”按鈕，使其選中為有效，此時已紅色突出顯示。通過b)的速度設置，已經啟動舟的運行。在舟的運行移動中，如果需要手動停止推舟的運行，可以通過點擊設置區(qū)域的“舟停止”按鈕，也可以將舟速設置為零，推舟將立即停止運行。在推舟的運行期間,如果計算機判斷到推舟的限位檢測開關被壓住，推舟將立即停止運行。六.手動操作屏報警顯示

六.手動操作屏報警顯示上圖中共有兩項報警，一項是“控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常報警”，另一項是“擴散小N2檢測值與設定值偏差大于20%”。圖中這里項前面的燈均為綠色表示未出現報警狀態(tài)，如果出現相應的報警，則相應的項的燈變?yōu)榧t色。如果出現擴散小N2檢測值與設定值偏差大于20%”的報警，則系統自動關閉擴散小N2，且系統自動將該報警顯示出來。如果出現“控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常報警”，系統也自動顯示報警窗口，只需單擊“報警窗口”按鈕就可解除該報警狀態(tài)。七.工藝編輯七.工藝編輯點擊手動操作屏左側的“數據編輯”按鈕，程序進入集成工藝編輯屏。據體操作如下：打開工藝：從手動操作界面進入編輯界面后，若想打開其它已經編輯的工藝，只需在“打開工藝號”下拉框中選擇所需工藝號即可。打開其它工藝時，當前編輯的工藝不保存。編輯工藝：編輯工藝數據時，先用鼠標點擊想要編輯數據的位置，此時該位置的按鈕被按下，然后用鼠標點擊程序自帶軟鍵盤上相應的按鈕，即可編輯數據。本程序的工藝最多為30步，每次顯示15步，可以按“下一頁”和“上一頁”按鈕進行工藝的前15步和后15步的切換。編輯時最好從第一步開始，首先編輯每步的工藝時間，只有工藝步的時間不為零，才可編輯該步的其它工藝數據。如果工藝步的時間為零，則該步及以下步均不執(zhí)行。設置推舟狀態(tài)時，0表示停止，1表示前進，2表示后退。八.工藝保存編輯完工藝以后，用戶應仔細檢查各步工藝的合理性；然后在“編輯工藝號”下拉框中選擇希望保存的工藝號，最后點擊“存盤退出”按鈕，則該條工藝編輯完畢。如果不想保存，則點擊“不存盤退出”按鈕，程序回到手動操作界面。在編輯工藝的過程中也可點擊“存盤”按鈕來保存工藝。在工藝編輯中，可實現對恒溫及升降溫斜率的設置。具體設置方法如下介紹。一般建議如下例設置工藝升溫過程：第一步為初始設置步，溫度設置40度，時間為1分鐘。即設備在常溫停留1分鐘。第二步升溫，溫度設置1000度，時間設置160分鐘，升溫斜率6度/分鐘。以下各步的工藝參數根據需要進行設置。另外，該界面還設有“插入步”和“刪除步”按鈕，方便工藝編輯。點擊“插入步”按鈕后界面將出現一個“插入步號”的下拉框以及“確定”、“取消”按鈕，選擇好要插入的步號后點擊“確定”按鈕即實現了插入操作，可連續(xù)插入，點擊“取消”則回到正常編輯狀態(tài)。點擊“刪除步”按鈕后界面將出現一個“刪除步號”的下拉框以及“確定”、“取消”按鈕，選擇好要刪除的步號后點擊“確定”按鈕即實現了刪除操作，可連續(xù)刪除，點擊“取消”則回到正常編輯狀態(tài)。八.工藝曲線歷史記錄九.工藝曲線歷史記錄在打開歷史記錄屏中，不可自行選擇盤符及目錄，系統默認當前執(zhí)行文件的盤符及目錄。歷史記錄文件的命名方式為“年月日-工藝號.本日第n次運行此工藝號”則為工藝自動運行時的歷史記錄文件。歷史記錄文件的命名方式為“年月日-HD.順序號”則為手動運行時的歷史記錄文件在該界面的下方有相應的文件信息，可供查看。點擊“刪除”按鈕，將刪除選中的文件。使用時間越長，文件越多，建議定期刪除不需要的工藝記錄文件。點擊“返回”按鈕，退出本窗口。十.工藝曲線歷史記錄點擊“歷史數據”按鈕，將打開以下工藝運行歷史記錄屏，但如果文件比較大，則打開時間會比較長，請稍作等待。在工藝運行歷史記錄屏中，可以對應查看歷史時間點的溫度及氣體流量、時間信息。記錄一般以10秒鐘為一個間隔。在此屏中可直接進入工藝運行歷史溫度曲線屏。點擊“溫度曲線”，將打開以下工藝運行歷史溫度曲線屏，如果文件比較大，則打開時間會比較長，請稍作等待。在工藝運行歷史溫度曲線屏中，圖中顯示的是三點歷史溫度曲線。在此屏中可直接進入工藝運行歷史記錄屏。十一.歷史數據屏十一.歷史數據屏在歷史曲線記錄屏中縱軸為溫度軸，橫軸為時間軸。溫度的最大允許顯示1300℃，時間區(qū)域根據記錄的情況自動調整?？梢酝ㄟ^屏幕選擇區(qū)域來放大曲線，在放大之前，選擇左端溫度、中部溫度、右端溫度，可以分別查看溫度曲線。放大后需要回到原始曲線，請點擊“曲線還原”按鈕。如果需要打印溫度曲線走勢圖，請點擊“打印曲線”按鈕。另外在打開歷史記錄屏中還有“轉換文件”按鈕，點擊該按鈕將把選定的歷史記錄文件轉換成同名的Excel文件。注意在未安裝Office2000及以上版本的計算機中不可使用該功能。十一.歷史曲線記錄屏十二.工藝運行點擊手動操作屏的“工藝運行”按鈕，進入操作人員運行登錄屏：系統默認啟動步為第一步，跳步執(zhí)行工藝時請選擇啟動步號。十三.自動運行屏所有信息項正確無誤填寫完畢后，點擊“確定”按鈕，可進入以下工藝運行窗口；點擊“取消”按鈕，回到手動操作屏。如果工藝曲線沒有可運行參數，程序將自動回到手動操作屏。程序進入工藝運行后，將在每步開始時刷新溫度設置、閥門動作、氣體流量、舟動作。a)

在運行窗口左上側，是本步工藝信息：“03號，01步”：表明當前運行03號工藝，當前運行步號為01步；“本步倒計時00：05：15”：表明本步還有0小時5分15秒將結束；“總倒計時03：42：15”：表明本工藝正常運行還有3小時42分15秒的工藝時間；十三.自動運行屏““已運行總時間00：01：45”：表明工藝從啟動到今已運行0小時1分45秒；本步設定時間00：07：00”：表明本步設定有0小時7分鐘0秒的時間長度；“結束步07”：表明本工藝共有7步；“目標溫度850/850/850”：表明本步左中右溫區(qū)的目標溫度均為850℃。b)

點擊正“運行...”按鈕，將切換為保持狀態(tài)，程序運行的所有倒計時停止，其它一切如常。點擊“已保持…”按鈕可以再次切換至正運行狀態(tài)，程序運行的倒計時重新啟動十四.工藝在線編輯屏十四.工藝在線編輯屏c)

點擊“在線編輯”按鈕，將進入運行工藝編輯屏。在此窗口里，可以對當前運行步以后各工藝步的參數進行修改,但是編輯工藝號下拉框不可用，且插入步操作和刪除步操作只能對當前運行步以后的步才有效。其它操作同工藝編輯屏。d)

點擊“報警窗口”按鈕，與手動操作屏的按鈕使用結果一致。e)

在運行過程中，可以根據需要調整設置區(qū)域內的閥門狀態(tài)和流量。f)

在運行過程中，溫度設置由計算機程序自動完成，無法通過SET鍵設置溫度。g)

舟動作的操作與手動操作屏中的操作方法與結果一致。在自動運行屏中，如果在工藝參數中設置了退舟的工藝步，則開始執(zhí)行該工藝步后的15秒內有推舟音樂提示。h)

點擊“返回”按鈕，程序將提示是否退出，如果確認，將結束工藝自動運行而回到手動操作屏。閥狀態(tài)將得到保持，三點溫度將保持為現有設置溫度。運行超過1分鐘以上，程序即會自動生成工藝記錄文件，運行完畢后，可以進入打開歷史記錄屏查看歷史工藝記錄。十五.斷點啟動十五.斷點啟動屏本監(jiān)控程序在工藝自動運行時如果中途退出或者因斷電、死機等原因而未能正常完成設定的工藝，將生成斷點信息。在手動操作屏中點擊“斷點啟動”按鈕即進入斷點信息屏，在該屏中可查看發(fā)生斷點時的各種工藝參數。文件建立時間為發(fā)生斷點的那次工藝自動運行開始時間。點擊啟動“啟動斷點運行”按鈕后將直接進入自動運行屏，繼續(xù)運行余下的