GB/T 11093-1989液封直拉法砷化鎵單晶及切割片

標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 11093-1989 液封直拉法砷化鎵單晶及切割片》是中國一項(xiàng)關(guān)于液封直拉法制備砷化鎵單晶及其切割片的標(biāo)準(zhǔn)。此標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了砷化鎵單晶的制備方法、技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存條件，旨在確保砷化鎵材料的質(zhì)量可控性和一致性，適用于使用液封直拉技術(shù)生長的砷化鎵單晶及其切割片。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容要點(diǎn)包括：

1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的產(chǎn)品范圍，即通過液封直拉法制得的砷化鎵單晶及其切割片，為相關(guān)產(chǎn)品的生產(chǎn)和檢驗(yàn)提供了依據(jù)。

2. 術(shù)語和定義：對(duì)標(biāo)準(zhǔn)中涉及的專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了解釋和界定，幫助讀者理解標(biāo)準(zhǔn)的具體內(nèi)容。

3. 分類與標(biāo)記：規(guī)定了砷化鎵單晶及切割片的分類方法和產(chǎn)品標(biāo)記規(guī)則，便于識(shí)別和區(qū)分不同規(guī)格、級(jí)別的產(chǎn)品。

4. 技術(shù)要求：

   • 材料要求：對(duì)用于生長砷化鎵單晶的原料純度、雜質(zhì)含量等有具體規(guī)定。
   • 生長工藝：描述了液封直拉法制備過程中關(guān)鍵參數(shù)如溫度、拉速、氣氛控制等的技術(shù)要求。
   • 物理性能：規(guī)定了砷化鎵單晶的尺寸、形狀、晶體質(zhì)量（如位錯(cuò)密度）、電學(xué)性質(zhì)（如電阻率）等指標(biāo)。
   • 切割片質(zhì)量：包括切割片的平整度、厚度公差、表面潔凈度等要求。

5. 試驗(yàn)方法：詳細(xì)說明了如何通過各種檢測(cè)手段來驗(yàn)證砷化鎵單晶及其切割片是否滿足上述技術(shù)要求，如X射線衍射分析晶體結(jié)構(gòu)、四探針法測(cè)量電阻率等。

6. 檢驗(yàn)規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前應(yīng)進(jìn)行的檢驗(yàn)類型（如全檢、抽檢）、抽樣方案及不合格品的處理方式。

7. 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存：要求產(chǎn)品在包裝上需清晰標(biāo)注相關(guān)信息，并對(duì)包裝材料、方式、運(yùn)輸條件及儲(chǔ)存環(huán)境做出具體規(guī)定，以防止產(chǎn)品在流轉(zhuǎn)過程中受損。

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