標準解讀

《GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法》相比于《GB 1558-1983》，主要在以下幾個方面進行了調(diào)整和更新：

  1. 標準性質(zhì)變化：從標準編號上的差異可以看出，《GB 1558-1983》是一個強制性國家標準（GB），而《GB/T 1558-1997》變更為推薦性國家標準（GB/T）。這意味著后者雖然依舊為國家標準，但在具體應(yīng)用中為企業(yè)或?qū)嶒炇姨峁┝烁噙x擇空間，非強制執(zhí)行。

  2. 技術(shù)內(nèi)容更新：《GB/T 1558-1997》在測量原理、儀器設(shè)備、樣品制備、測試步驟及數(shù)據(jù)處理等方面可能融入了新的研究成果和技術(shù)進步，以提高測量的準確性和可重復(fù)性。例如，可能對紅外光譜儀的性能要求、測試波長的選擇、背景扣除方法等細節(jié)進行了優(yōu)化或明確。

  3. 精度與誤差要求調(diào)整：新標準可能會根據(jù)技術(shù)發(fā)展和實際應(yīng)用需求，對測量結(jié)果的精度和允許誤差范圍進行重新評估和定義，以更符合當前技術(shù)水平下的測量要求。

  4. 適用范圍擴展或明確：《GB/T 1558-1997》可能對硅材料中代位碳原子含量的適用類型、濃度范圍或特定應(yīng)用領(lǐng)域進行了更詳細的規(guī)定或擴展，使得標準的應(yīng)用更加廣泛且針對性更強。

  5. 術(shù)語和定義的規(guī)范：隨著科學(xué)進步，一些專業(yè)術(shù)語可能有了新的定義或解釋，新標準會對此進行更新，確保術(shù)語使用的準確性和一致性。

  6. 試驗方法的改進：包括但不限于樣品預(yù)處理技術(shù)、測量條件的標準化、數(shù)據(jù)分析方法的優(yōu)化等，旨在提高檢測效率和降低人為誤差。

  7. 參考文獻與國際接軌：新標準可能引用了更多最新的國內(nèi)外研究成果和國際標準，增強了標準的科學(xué)性和國際兼容性。

這些變更反映了自1983年以來，在硅材料中代位碳原子含量測定領(lǐng)域的理論研究、技術(shù)進步以及標準化工作的發(fā)展情況，旨在為相關(guān)行業(yè)提供更為準確、可靠、高效的測量方法。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 1558-2009
  • 1997-12-22 頒布
  • 1998-08-01 實施
?正版授權(quán)
GB/T 1558-1997硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法_第1頁
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ICS29.045H21中華人民共和國國家標準GB/T1558-1997硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法Testmethodforsubstitutionalatomiccarboncontentofsiliconbyinfraredabsorption1997-12-22發(fā)布1998-08-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T1558-1997前本標準等效采用ASTMF123—91《硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法》對我國標準GB1558—83《測定硅品體中代位碳含量的紅外吸收方法》進行修訂而成的。本標準對GB1558—83中半值寬度的定義和試樣厚度的要求按ASTMF123—91作了修訂。本標準在編寫時略去了ASTMF123-91的第5章“意義和用途”,將ASTMF123的第8章“取樣”和第9章“測試樣品和參比樣品"合并為本標準的第7章“試樣制備"以使標準簡單、明了。本標準從1998年8月1日起實施。本標準生效之日起，同時代替國家標準GB1558—83.本標準的附錄A是提示的附錄。本標準由中國有色金屬工業(yè)總公司提出本標準由中國有色金屬工業(yè)總公司標準計量研究所歸口本標準由峨眉半導(dǎo)體材料廠負責(zé)起草。本標準主要起草人：梁洪、劉文魁、吳福立本標準1979年6月首次發(fā)布,1997年第二次修訂。

中華人民共和國國家標準硅中代位碳原子含量GB/T1558一1997紅外吸收測量方法代替GB1558-83Testmethodforsubstitutionalatomiccarboncontentofsiliconbyinfraredabsorption范圍本標準規(guī)定了硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法本標準適用于載流子濃度小于5×10"m～"、室溫電阻率大于0.10·cm的硅單品中代位碳原子濃度的測定。由于碳也可能存在于間隙位置，因而本方法不能測定總碳濃度。本標準也適用于硅多品中代位碳原子濃度的測定。其晶粒界間區(qū)的碳同樣不能測定。本標準測量碳原子濃度的有效范圍為：室溫下從硅中代位碳原子濃度1×10""at·cm-（200PPba）到碳原子的最大溶解度,77K時下限降到5×10"at·cm-(100PPba).2引用標準下列標準包含的條文，通過在本標準中引用而構(gòu)成為本標準的條文。在標準出版時所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應(yīng)探討使用下列標準最新版本的可能性：GB/T6618—1995硅片厚度和總厚度變化的測試方法3定義本標準采用以下定義。3.1基線basiclinc從參比圖譜吸收峰兩側(cè)最大透過率處作出的一條切線，用來計算吸收系數(shù)“。見圖1。3.2碳濃度carbondensity在本方法中,是指占據(jù)晶格替代位置的碳原子的體密度。根據(jù)比耳定律,它與吸收系數(shù)成正比，單位是at·cmn-。3.3半值寬度fullwidthathalfmaximum半峰高處的吸收帶寬度。見圖1。3.4參比樣品referencespecimen在本方法中，是指與被測試樣的厚度及表面制備相同，載流子濃度不大于被測試樣的載流子濃度碳濃度小于1×

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