標準解讀

《GB/T 17874-2010 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》相比于《GB/T 17874-1999 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》，主要在以下幾個方面進行了更新與調(diào)整：

  1. 范圍和規(guī)范性引用文件：2010版標準更新了規(guī)范性引用文件，納入了最新發(fā)布的相關(guān)國家標準和行業(yè)標準，確保技術(shù)要求與測試方法的現(xiàn)代性和準確性。

  2. 術(shù)語和定義：對三氯化硼的定義及相關(guān)的專業(yè)術(shù)語進行了修訂或補充，以更準確地反映產(chǎn)品特性和行業(yè)共識。

  3. 技術(shù)要求：新標準對三氯化硼的純度、雜質(zhì)含量限值進行了重新規(guī)定，可能包括但不限于提高了主要純度指標，增加了對特定雜質(zhì)的檢測要求，以滿足電子工業(yè)發(fā)展的更高需求。

  4. 試驗方法：詳細修訂了樣品的取樣、預(yù)處理及分析測試方法，引入了更先進的檢測技術(shù)和分析儀器，提升了檢測的精確度和效率。

  5. 檢驗規(guī)則：對產(chǎn)品的檢驗分類、抽樣方案、合格判定規(guī)則等進行了優(yōu)化，以更好地保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性。

  6. 標志、標簽、包裝、運輸和儲存：這部分內(nèi)容也有所更新，明確了更詳細的標識要求、包裝材料和方式，以及在運輸和儲存過程中的安全注意事項，以符合當前的安全環(huán)保標準。

  7. 實施日期與替代情況：明確指出2010版標準的實施日期，并聲明其替代1999版標準，為標準使用者提供了明確的過渡指導(dǎo)。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 17874-2021
  • 2011-01-14 頒布
  • 2011-05-01 實施
?正版授權(quán)
GB/T 17874-2010電子工業(yè)用氣體三氯化硼_第1頁
GB/T 17874-2010電子工業(yè)用氣體三氯化硼_第2頁
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文檔簡介

ICS71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T17874-2010代替GB/T17874-1999電子工業(yè)用氣體三氯化硼Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride2011-01-14發(fā)布2011-05-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布中國國家標準化餐理委員會

GB/T17874-2010前本標準代替GB/T17874—1999《電子工業(yè)用氣體三氯化硼》本標準與GB/T17874—1999相比主要變化如下：修改范圍(GB/T17874—1999的1.本版的1)；-修改規(guī)范性引用文件(GB/T17874—1999的2,本版的2):修改技術(shù)指標內(nèi)容（GB/T17874—1999的3.本版的3)：增增加三氯化硼采樣安全要求(本版的4.1.2)；增加三氯化硼尾氣處理措施(本版的4.3)：修改氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷組分的分析方法(GB/T17874—1999的4.2、4.3.本版的4.4、4.5）：修改標志、包裝、貼運及安全(GB/T17874—1999的5,本版的5)。本標準的附錄A為規(guī)范性附錄。本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出。本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會（SAC/TC203/SC1)歸口本標準起草單位：西南化工研究設(shè)計院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計院。本標準主要起草人：孫福楠、方華、莊鴻濤、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：GB/T17874-1999元

GB/T17874-2010電子工業(yè)用氣體三氯化硼1范圍本標準規(guī)定了三氯化硼的技術(shù)要求、試驗方法以及包裝、標志、財運及安全本標準適用于以粗制三氯化硼為原料.采用吸附、精雷等方法提純制得的三氯化硼.主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。分子式：BCl。相對分子質(zhì)量：117.1691(按2007年國際相對原子質(zhì)量計算)2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件.其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。GB190危險貨物包裝標志GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶GB7144氣瓶顏色標志GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法GB14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB/T26571特種氣體儲存期規(guī)范《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布.2000年）3技術(shù)要求三氯化硼的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定表1技術(shù)指標三氯化硼（BCL）純度（體積分數(shù)）/10—99.9995氧十氬(O.+Ar)含量(體積分數(shù))/10-氮(N.)含量(體積分數(shù))/10--氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-0.5二氧化碳(CO.）含量

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