標準解讀

《GB/T 20510-2006 氧化銦錫靶材》這一國家標準主要規(guī)定了氧化銦錫（ITO）靶材的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存等內(nèi)容，旨在確保ITO靶材的質(zhì)量可控性與一致性，適用于平面顯示器、太陽能電池及其他電子器件制造中使用的ITO靶材。

該標準具體涵蓋了以下幾個核心方面：

  1. 定義與分類：明確了ITO靶材的基本概念，以及按照化學組成、物理形態(tài)或應用需求進行的分類方法。

  2. 技術要求：詳細規(guī)定了ITO靶材應滿足的化學成分、物理性能（如密度、晶粒度）、結構特性（如致密度、氧含量）、形貌及尺寸公差等指標。特別強調(diào)了銦與氧的比例控制，以保證良好的導電性和透光性平衡。

  3. 試驗方法：描述了對ITO靶材進行檢測和分析的具體實驗手段，包括但不限于X射線熒光光譜法測定化學成分、掃描電鏡觀察微觀結構、密度測量、電阻率測試等，確保各項性能指標可被準確評估。

  4. 檢驗規(guī)則：制定了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序，包括抽樣方案、合格判定準則及不合格品處理辦法，確保每批產(chǎn)品的質(zhì)量符合標準要求。

  5. 標志、包裝、運輸、貯存：規(guī)范了ITO靶材在成品階段的標識信息內(nèi)容、包裝材料與方式、運輸條件及儲存環(huán)境，以防產(chǎn)品在流轉(zhuǎn)過程中受損，保持其性能穩(wěn)定。


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  • 2006-09-26 頒布
  • 2007-02-01 實施
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文檔簡介

ICS77.150.60H62中華人民共和國國家標準GB/T20510—2006氧化鉤錫靶材Indium-tinoxidetarget2006-09-26發(fā)布2007-02-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布中國國家標準化管理委員會

GB/T20510—2006前本標準是根據(jù)我國氧化鋼錫靶材的生產(chǎn)實踐,參考德國賀利氏（Heraeus)、美國Umicore公司氧化細錫靶材產(chǎn)品標準制定的。本標準附錄A為規(guī)范性附錄本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口并負責解釋本標準由株洲治煉集團有限責任公司負責起草。本標準主要起草人：鐘鳴、彭小蘇、陳衛(wèi)飛、陳敬陽、李晨輝、譚儀文本標準首次制定。

GB/T20510—2006氧化銦錫靶材范圍本標準規(guī)定了氧化鋼錫(簡稱ITO)靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和財存本標準適用于氧化銦錫靶材。規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標準,然而,鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。GB/T351金屬材料電阻系數(shù)測量方法GB/T1250極限數(shù)伯的表示方法和判定方法GB/T5163可滲性燒結金屬材料密度的測定GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則GB/T16535-1996，工程陶瓷線膨脹系數(shù)試驗方法術語和定義下列術語和定義適用于本標準表觀密度4pparentdensily每單位體積物質(zhì)的質(zhì)量。3.2相對密度relativedensity物質(zhì)的密度與參照物的密度的比值。本標準中是指氧化鋼錫靶材的表觀密度與理論密度之比（本標準中氧化銦錫靶材當In.O,：SnO.=90：10時,理論密度為7.15g/cm)。3.3失氧率deoxygenationcoefficient氧化銦錫靶材脫氧的百分率。3.4電阻率resislivity在單位長度上通過試樣橫截面積的電阻。是衡量物質(zhì)導電性能好壞的一個物理量·以字母·表示.單位為n·mm/m。在數(shù)值上等于長1m.截面積為1mm的導體,在溫度20℃時的電阻值.3.5線膨脹系數(shù)Iinearcxpansivity在指定溫度范圍內(nèi)，氧化鋼錫靶材在單位溫度下相對伸長量的平均值。用式(1)表示

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