GB/T 24468-2009半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測(cè)量規(guī)范

犐犆犛１７．０４０．３０

犔８５

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２４４６８—２００９

半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性

（犚犃犕）的定義和測(cè)量規(guī)范

犛狆犲犮犻犳犻犮犪狋犻狅狀犳狅狉犱犲犳犻狀犻狋犻狅狀犪狀犱犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犲狇狌犻狆犿犲狀狋

狉犲犾犻犪犫犻犾犻狋狔，犪狏犪犻犾犪犫犻犾犻狋狔犪狀犱犿犪犻狀狋犪犻狀犪犫犻犾犻狋狔（犚犃犕）

２００９１０１５發(fā)布２００９１２０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書

犌犅／犜２４４６８—２００９

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１目的!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４術(shù)語(yǔ)和定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

５設(shè)備的狀態(tài)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４

６ＲＡＭ測(cè)量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

７不確定度測(cè)量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１１

８可靠性增長(zhǎng)或退化的測(cè)量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１３

９集群設(shè)備ＲＡＭ測(cè)量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１３

附錄Ａ（規(guī)范性附錄）置信限系數(shù)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１４

附錄Ｂ（規(guī)范性附錄）集群設(shè)備ＲＡＭ的測(cè)量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１７

附錄Ｃ（資料性附錄）可靠性增長(zhǎng)或退化模型!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２７

Ⅰ

書

犌犅／犜２４４６８—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)修改采用ＳＥＭＩＥ１００３０４《設(shè)備可靠性、可用性和維修性（ＲＡＭ）的定義和測(cè)量規(guī)范》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＳＥＭＩＥ１００３０４相比，做了下列編輯性修改：

———第４章術(shù)語(yǔ)和定義按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的編寫格式要求重新排列。

———本標(biāo)準(zhǔn)按照ＧＢ／Ｔ１．１的要求對(duì)編號(hào)重新編排。

———本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ對(duì)應(yīng)ＳＥＭＩＥ１００３０４中的附件１。

———本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ｂ對(duì)應(yīng)ＳＥＭＩＥ１００３０４中的附件２。

———本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ｃ對(duì)應(yīng)ＳＥＭＩＥ１００３０４中的相關(guān)信息１。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ、附錄Ｂ是規(guī)范性附錄，附錄Ｃ是資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：黃英華、劉筠、張建勇、蔣迪寶。

Ⅲ

犌犅／犜２４４６８—２００９

半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性

（犚犃犕）的定義和測(cè)量規(guī)范

１目的

本標(biāo)準(zhǔn)通過(guò)提供半導(dǎo)體制造設(shè)備（以下簡(jiǎn)稱設(shè)備）在制造環(huán)境下的可靠性、可用性和維修性（以下簡(jiǎn)

稱ＲＡＭ）性能的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)，為這種設(shè)備的用戶和設(shè)備供應(yīng)商建立一個(gè)交流的共同基礎(chǔ)。

２范圍

２．１本標(biāo)準(zhǔn)定義了設(shè)備的六個(gè)基本狀態(tài)，所有的設(shè)備條件和階段都必須歸入這六個(gè)狀態(tài)。設(shè)備的狀態(tài)

由功能決定，而不管是由誰(shuí)來(lái)執(zhí)行此功能。本規(guī)范中所涉及的設(shè)備可靠性的測(cè)量主要集中在設(shè)備失效

和設(shè)備使用的關(guān)系上，而不是設(shè)備失效和設(shè)備經(jīng)歷的（日歷）總時(shí)間之間的關(guān)系。

２．２本標(biāo)準(zhǔn)第５章（設(shè)備的狀態(tài)）定義了設(shè)備的時(shí)間是如何分類的，第６章（ＲＡＭ測(cè)量）確定了測(cè)量設(shè)

備性能的公式。第７章（不確定度測(cè)量）給出了用統(tǒng)計(jì)學(xué)對(duì)計(jì)算出的性能量值進(jìn)行評(píng)估的方法。

２．３本標(biāo)準(zhǔn)的有效實(shí)施，要求設(shè)備的（ＲＡＭ）性能可以通過(guò)設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間和周期進(jìn)行跟蹤。對(duì)設(shè)備

狀態(tài)的自動(dòng)跟蹤不屬于本標(biāo)準(zhǔn)的范圍，它由ＳＥＭＩＥ５８所覆蓋。用戶和供應(yīng)商之間的清晰有效的溝通

可以促進(jìn)設(shè)備性能的不斷提高。

２．４本標(biāo)準(zhǔn)中的ＲＡＭ指標(biāo)可以在整個(gè)設(shè)備和分系統(tǒng)層次上直接應(yīng)用于非集群設(shè)備，也可以在分系統(tǒng)

層次（比如工藝模塊）用于多路集群設(shè)備。

注：本標(biāo)準(zhǔn)不解決任何與標(biāo)準(zhǔn)使用相關(guān)