標準解讀

《GB/T 33838-2017 微束分析 掃描電子顯微術(shù) 圖像銳度評估方法》是一項國家標準，旨在提供一套系統(tǒng)的方法來評估通過掃描電子顯微鏡（SEM）獲得圖像的清晰程度。該標準適用于科研機構(gòu)、高等院校以及企業(yè)中使用SEM進行材料表面形貌觀察與分析時對圖像質(zhì)量控制的需求。

根據(jù)這項標準，首先定義了“圖像銳度”的概念，即圖像中邊緣或細節(jié)部分對比度的變化率，反映了圖像中細節(jié)信息的分辨能力。接著，介紹了幾種常用的圖像銳度定量測量方法，包括但不限于梯度法、傅里葉變換法等。這些方法都是基于數(shù)學模型，通過對原始圖像數(shù)據(jù)進行處理后計算出一個能夠表征整個圖像或者局部區(qū)域銳利程度的數(shù)值指標。

此外，《GB/T 33838-2017》還詳細規(guī)定了實驗條件設置、樣本準備要求、測試流程步驟等內(nèi)容，以確保不同實驗室之間可以獲得可比性強的結(jié)果。例如，在準備樣品時需要考慮其導電性是否足夠好；在調(diào)整SEM工作參數(shù)時，則需關注加速電壓、探針電流等因素如何影響最終成像效果。

最后，該標準也提到了如何利用軟件工具來進行自動化的圖像銳度分析，并且給出了具體的操作指南及注意事項。這不僅提高了工作效率，也為非專業(yè)人士提供了便利。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2017-05-31 頒布
  • 2018-04-01 實施
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文檔簡介

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)

圖像銳度評估方法

Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—

Methodsofevaluatingimagesharpness

(ISO/TS24597:2011,IDT)

2017-05-31發(fā)布2018-04-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

獲取圖像的步驟

4SEM…………………2

概述

4.1…………………2

試樣

4.2…………………2

試樣傾斜

4.3……………2

視場選擇

4.4……………2

像素大小選擇

4.5………………………3

圖像亮度和襯度

4.6……………………4

圖像襯噪比

4.7…………………………4

圖像聚焦和像散

4.8……………………6

外部因素干擾

4.9………………………6

錯誤襯度

4.10……………6

圖像數(shù)據(jù)文件

4.11SEM………………6

圖像獲取及圖像區(qū)域選擇

5SEM…………6

評估方法

6…………………6

概述

6.1…………………6

襯噪比

6.2………………7

傅立葉變換法

6.3(FT)…………………7

襯度梯度法

6.4-(CG)…………………10

導數(shù)法

6.5(DR)………………………12

測試報告

7…………………14

概述

7.1…………………14

測試報告內(nèi)容

7.2………………………14

附錄規(guī)范性附錄襯噪比細節(jié)

A()(CNR)………………15

附錄規(guī)范性附錄傅立葉變換法細節(jié)

B()(FT)………19

附錄規(guī)范性附錄襯度梯度法細節(jié)

C()-(CG)…………32

附錄規(guī)范性附錄導數(shù)法細節(jié)

D()(DR)………………42

附錄資料性附錄評估圖像銳度的背景

E()……………59

附錄資料性附錄各種評估方法的特征和適用性

F()…………………63

附錄資料性附錄用于評估圖像銳度的試樣的制備方法

G()…………66

附錄資料性附錄測試報告示例

H()……………………68

參考文獻

……………………70

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用微束分析掃描電子顯微術(shù)圖像銳度評估方

ISO/TS24597:2011《

法

》。

與本標準中規(guī)范性引用的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)術(shù)語

———GB/T21636—2008(ISO22493:2008,IDT)。

本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位中國科學技術(shù)大學物理學院

:。

本標準主要起草人丁澤軍阮矚

:、。

Ⅰ

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)

圖像銳度評估方法

1范圍

本標準規(guī)定了用于評估掃描電子顯微鏡生成的數(shù)字圖像銳度的種方法傅立葉變換

(SEM)3:(FT)

法襯度梯度法導數(shù)法

、-(CG)、(DR)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測和校準實驗室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準導則

GB/T27788—2011(ISO16700:2004,IDT)

微束分析掃描電子顯微術(shù)術(shù)語

ISO22493(Microbeamanalysis-Scanningelectronmicro-

scopy—Vocabulary)

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T27788—2011ISO22493。

31

.

像素pixel

數(shù)字圖像中不可再分的最小成像單位

SEM。

32

.

像素大小pixelsize

圖像中單位像素的試樣長度單位納米

SEM,

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