GB/T 27788-2011微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

ICS37020

N32.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

微束分析掃描電鏡

圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—Guidelinesfor

calibratingimagemagnification

(ISO16700:2004,IDT)

2011-12-30發(fā)布2012-08-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語和定義………………

31

圖像放大倍率……………

43

參考物質(zhì)…………………

53

校準(zhǔn)過程…………………

64

圖像放大倍率和標(biāo)尺的準(zhǔn)確度…………

77

校準(zhǔn)報告…………………

87

附錄資料性附錄用于放大倍率校準(zhǔn)的參考物質(zhì)…………………

A()9

附錄資料性附錄影響掃描電鏡放大倍率的參數(shù)…………………

B()11

附錄資料性附錄放大倍率測量中的不確定度……………………

C()12

附錄資料性附錄檢驗報告示例……………………

D()13

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按給出的規(guī)則編寫

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)采用翻譯法等同采用微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則英

ISO16700:2004《》(

文版

)。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中國地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所上海第二

:、、

軍醫(yī)大學(xué)

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳振宇周劍雄李香庭楊勇驥

:、、、。

Ⅰ

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

引言

掃描電鏡廣泛用于對各種重要材料如半導(dǎo)體金屬聚合物玻璃食品及生物材料等的表面結(jié)構(gòu)

,、、、、

的觀察研究本標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用于圖像放大倍率的校準(zhǔn)它描述了在掃描電鏡中使用有證參考物質(zhì)和參考物

。,

質(zhì)進(jìn)行圖像放大倍率校準(zhǔn)的要求

。

Ⅱ

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

微束分析掃描電鏡

圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用適當(dāng)?shù)膮⒖嘉镔|(zhì)對掃描電鏡圖像的放大倍率進(jìn)行校準(zhǔn)的方法

(SEM)。

本標(biāo)準(zhǔn)限于對由參考物質(zhì)上線距大小的范圍所決定的放大倍率進(jìn)行校準(zhǔn)

。

本標(biāo)準(zhǔn)不適用于專用測長型掃描電鏡

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度正確度與精密度第部分總則與定義

GB/T6379.1—2004()1:

(ISO5725-1:1994,IDT)

標(biāo)準(zhǔn)樣品

ISOGuide34:1996Qualitysystemguidelinefortheproductionofreferencematerials(

生產(chǎn)的質(zhì)量體系準(zhǔn)則

)

標(biāo)準(zhǔn)

ISOGuide35:1989Certificationofreferencematerials—Generalandstatisticalprinciples.(

樣品認(rèn)證一般原則和統(tǒng)計方法

—)

ISO/IEC17025:1999Generalrequirementsforthecompetenceoftestingandcalibrationlabora-

測試和校準(zhǔn)實驗室能力的通用要求

tories()

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)常用術(shù)語和定義

JISQ0030—1997(ISOGuide30:1992,IDT)

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件