GB/T 34091-2017電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T34091—2017

電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

Gasforelectronicindustry—Hexafluoroethane

2017-07-31發(fā)布2017-11-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34091—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位浙江省化工研究院有限公司廣東華特氣體股份有限公司四川中測標物科技有

:、、

限公司高麥儀器公司西南化工研究設(shè)計院有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司東莞市聯(lián)臣電

、、、、

子科技有限公司國家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心福建天津長蘆華信化工股份有限公司

、()、、

中昊光明化工研究設(shè)計院有限公司

。

本標準主要起草人史婉君廖恒易杜漢盛白占旗方正潘義牛艷東方華王鴻陳熔林宇巍

:、、、、、、、、、、、

鄧建平李健周鵬云

、、。

Ⅰ

GB/T34091—2017

電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

1范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用六氟乙烷的技術(shù)要求試驗方法包裝標志貯運及安全

、、、、。

本標準適用于工業(yè)用六氟乙烷經(jīng)精制提純而得的高純六氟乙烷產(chǎn)品主要在電子工業(yè)等離子蝕刻

。

工藝中作為蝕刻氣體或作為電子器元件清洗劑

。

分子式

:C2F6。

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量

:138.0124(2013)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T5099

氣體分析微量水分的測定第部分電解法

GB/T5832.11:

氣瓶顏色標志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSGR0006

危險化學(xué)品安全管理條例年版

(2002)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例年版

(2009)

3技術(shù)要求

六氟乙烷的質(zhì)量應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標

項目指標

六氟乙烷純度體積分數(shù)-2

(C2F6)()/10≥99.999

氫含量體積分數(shù)-6

(H2)()/10<0.5

氧氬含量體積分數(shù)-6

(+)(O2+Ar)()/10<1

氮含量體積分數(shù)-6

(N2)()/10<