GB/T 37959-2019含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備設(shè)計(jì)信息模型

ICS3524050

J07..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37959—2019

含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備

設(shè)計(jì)信息模型

InformationmodelforcontainingprocesschamberICequipmentdesign

2019-08-30發(fā)布2020-03-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T37959—2019

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

2………………1

縮略語(yǔ)

3……………………2

模型體系

4…………………2

含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)過(guò)程的一般規(guī)定

4.1……2

含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)軟件平臺(tái)結(jié)構(gòu)體系

4.2…………………3

含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)信息模型

5…………………4

概念模型

5.1……………4

要素

5.2…………………4

關(guān)系

5.3…………………5

信息模型元素

5.4………………………5

附錄資料性附錄含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備設(shè)計(jì)信息模型示例

A()………………13

GB/T37959—2019

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專(zhuān)利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)自動(dòng)化系統(tǒng)與集成標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC159)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中車(chē)信息技術(shù)有限公司清華大學(xué)北京機(jī)械工業(yè)自動(dòng)化研究所有限公司中國(guó)石

:、、、

油規(guī)劃總院

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人顧明程嘉李麗季林紅陳莉曹自立張穎黎曉東王海丹王峰

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T37959—2019

含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備

設(shè)計(jì)信息模型

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)軟件平臺(tái)信息模型規(guī)定了搭建含工藝腔

,

室類(lèi)集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)軟件平臺(tái)的一般性要求

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于含工藝腔室類(lèi)集成電路裝備的建模仿真設(shè)計(jì)軟件

。

2術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

21

.

建模modeling

使用軟件為被設(shè)計(jì)對(duì)象建立用于仿真的幾何模型

CAD。

22

.

仿真simulation

利用計(jì)算機(jī)虛擬模型復(fù)現(xiàn)實(shí)際系統(tǒng)中發(fā)生的本質(zhì)過(guò)程并通過(guò)對(duì)系統(tǒng)虛擬模型的實(shí)驗(yàn)來(lái)研究存在

,

的或設(shè)計(jì)中的系統(tǒng)

。

23

.

仿真流程模板simulationprocesstemplate

用于描述定制化的仿真流程信息的一種文件保存了一個(gè)仿真流程的完整邏輯關(guān)系

XML,。

注包含軟件模塊求解邏輯順序和上下游傳輸?shù)淖兞啃畔?/p>

:、。

24

.

參數(shù)parameters

仿真設(shè)計(jì)過(guò)程中對(duì)結(jié)果有較顯著影響的可調(diào)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)定值

、。

25

.

實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)designofexperiment

一種有計(jì)劃的研究對(duì)過(guò)程要素進(jìn)行一系列有意圖的改變并進(jìn)行效果觀(guān)測(cè)對(duì)結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析

,,,

以便確定效果與要素改變之間的關(guān)系從而更好地了解和控制這一過(guò)程

,。

26

.

優(yōu)化設(shè)計(jì)optimaldesign

以數(shù)學(xué)中的最優(yōu)化理論為基礎(chǔ)以計(jì)算機(jī)為手段根據(jù)設(shè)計(jì)所追求的性能目標(biāo)建立目標(biāo)函數(shù)在滿(mǎn)

,,,,

足給定的各種約束條件下尋求最優(yōu)的設(shè)計(jì)方案的過(guò)程

,。

27

.

特征值characteristicvalues