標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 38867-2020 電子工業(yè)用四氯化硅》是中國國家標(biāo)準(zhǔn)之一,專門針對電子工業(yè)中使用的四氯化硅產(chǎn)品制定了詳細(xì)的技術(shù)要求和測試方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體材料加工、太陽能電池板制造以及其他相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)作為原料或中間體的四氯化硅的質(zhì)量控制。
根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn),首先明確了四氯化硅產(chǎn)品的分類依據(jù)其純度分為不同等級,以滿足各種應(yīng)用場景下的需求。接著對每種級別的四氯化硅規(guī)定了具體的物理化學(xué)性質(zhì)指標(biāo),如外觀、密度、熔點(diǎn)等,并且對于雜質(zhì)含量也做了嚴(yán)格限制,包括但不限于金屬離子、非金屬元素及其他有機(jī)物等可能影響最終產(chǎn)品質(zhì)量的因素。
此外,《GB/T 38867-2020》還提供了詳盡的檢測方法指導(dǎo),確保能夠準(zhǔn)確地測定上述各項(xiàng)參數(shù)。這些方法覆蓋了從樣品準(zhǔn)備到實(shí)際操作流程的所有步驟,并且對于儀器設(shè)備的選擇與校準(zhǔn)也有明確說明,旨在提高測試結(jié)果的一致性和可靠性。
最后,該標(biāo)準(zhǔn)還包括了包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸及儲存等方面的要求,強(qiáng)調(diào)在處理四氯化硅時(shí)應(yīng)注意的安全措施和個(gè)人防護(hù)裝備使用指南,以保障工人健康與環(huán)境安全。通過遵循這些規(guī)定,可以有效保證電子工業(yè)用四氯化硅在整個(gè)供應(yīng)鏈中的品質(zhì)穩(wěn)定性和安全性。
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2020-07-21 頒布
- 2021-02-01 實(shí)施
文檔簡介
ICS7110020
G86..
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T38867—2020
電子工業(yè)用四氯化硅
Silicontetrachlorideforelectronicindustry
2020-07-21發(fā)布2021-02-01實(shí)施
國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布
國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
中華人民共和國
國家標(biāo)準(zhǔn)
電子工業(yè)用四氯化硅
GB/T38867—2020
*
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行
北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號
2(100029)
北京市西城區(qū)三里河北街號
16(100045)
網(wǎng)址
:
服務(wù)熱線
:400-168-0010
年月第一版
20207
*
書號
:155066·1-65089
版權(quán)專有侵權(quán)必究
GB/T38867—2020
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口
(SAC/TC203)。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位湖北晶星科技股份有限公司湖北省標(biāo)準(zhǔn)化與質(zhì)量研究院洛陽中硅高科技有限
:、、
公司唐山三孚電子材料有限公司湖北光谷標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新科技有限公司廣東華特氣體股份有限公司浙江
、、、、
西亞特電子材料有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司大連大特氣體有限公司上海市計(jì)量測試
、、、
技術(shù)研究院聯(lián)雄投資上海有限公司隨州市信息與標(biāo)準(zhǔn)化所達(dá)州市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢驗(yàn)測試中心
、()、、、
西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司
。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人徐德張國光黃娣劉暢楊劍趙雄楚東旭王春英戴帥張競黃國菲
:、、、、、、、、、、、
廖恒易陳艷珊楊利于青玉方華曹作斌曲慶陳鷹李春華黃輝譚鵬程鄧遠(yuǎn)方周鵬云徐龍
、、、、、、、、、、、、、、
趙帥德唐霞梅
、。
Ⅰ
GB/T38867—2020
電子工業(yè)用四氯化硅
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用四氯化硅的技術(shù)要求檢驗(yàn)規(guī)則試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝運(yùn)輸儲存及安全
、、、、、、
的要求
。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)四氯化硅精制提純后的電子工業(yè)用四氯化硅
。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志
GB190
化學(xué)試劑雜質(zhì)測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備
GB/T602
工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則
GB/T3723
氬
GB/T4842
鋼質(zhì)無縫氣瓶
GB/T5099
紅外光譜分析方法通則
GB/T6040
液體化工產(chǎn)品采樣通則
GB/T6680
氣瓶顏色標(biāo)志
GB/T7144
電子級水
GB/T11446.1—2013
化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定
GB15258
氣瓶警示標(biāo)簽
GB/T16804
氣體分析氦離子化氣相色譜法
GB/T28726
不銹鋼焊接氣瓶
GB/T32566
電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法
GB/T34972
氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程
TSGR0006
危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例年月日中華人民共和國國務(wù)院令第號公布年月
(2002126344,20112
日國務(wù)院第次常務(wù)會議修訂通過
16144)
特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版中華人民共和國國務(wù)院令第號
(2009,549)
3技術(shù)要求
四氯化硅的技術(shù)要求應(yīng)符合表的規(guī)定光纖用四氯化硅還應(yīng)增加相對透過率的要求
溫馨提示
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