第1章113-微電子技術(shù)

第1章信息技術(shù)概述1.3微電子技術(shù)簡(jiǎn)介1.3微電子技術(shù)簡(jiǎn)介（1）微電子技術(shù)與集成電路（2）集成電路的制造（3）集成電路的發(fā)展趨勢(shì)（4）IC卡(1)微電子技術(shù)與集成電路微電子技術(shù)是信息技術(shù)領(lǐng)域中的關(guān)鍵技術(shù)，是發(fā)展電子信息產(chǎn)業(yè)和各項(xiàng)高技術(shù)的基礎(chǔ)微電子技術(shù)的核心是集成電路技術(shù)什么是電子電路？電路板電子電路由電阻，電容，電感和二極管、晶體管等元器件組成，它們通過(guò)導(dǎo)線連接起來(lái)，使電流在其中流動(dòng)，完成信號(hào)的生成、放大、變換或傳輸?shù)裙δ苓^(guò)去，電路由單個(gè)元器件（分立元件）和電線連接而成，現(xiàn)在則大多制作成集成電路形式電子電路中元器件的發(fā)展演變晶體管(1948)中/小規(guī)模集成電路(1950’s)微電子技術(shù)是以集成電路為核心的電子技術(shù)，它是在電子元器件小型化、微型化的過(guò)程中發(fā)展起來(lái)的。大規(guī)模/超大規(guī)模集成電路(1970’s)電子管(1904)什么是集成電路？集成電路

(IntegratedCircuit，簡(jiǎn)稱(chēng)IC)： 以半導(dǎo)體單晶片作為基片,采用平面工藝，將晶體管、電阻、電容等元器件及其連線所構(gòu)成的電路制作在基片上所構(gòu)成的一個(gè)微型化的電路或系統(tǒng)集成電路的優(yōu)點(diǎn)：體積小、重量輕功耗小、成本低速度快、可靠性高超大規(guī)模集成電路小規(guī)模集成電路各種各樣的集成電路IC是所有電子產(chǎn)品的核心集成電路的分類(lèi)按用途分：通用集成電路專(zhuān)用集成電路（ASIC）按電路的功能分：數(shù)字集成電路模擬集成電路按晶體管結(jié)構(gòu)、電路和工藝分：雙極型（Bipolar）電路金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)電路······按集成度(芯片中包含的元器件數(shù)目)分：集成電路規(guī)模元器件數(shù)目小規(guī)模集成電路（SSI）＜100中規(guī)模集成電路（MSI）100~3000大規(guī)模集成電路（LSI）3000~10萬(wàn)超大規(guī)模集成電路（VLSI）10萬(wàn)~幾十億極大規(guī)模集成電路（ULSI）＞100萬(wàn)(2)集成電路的制造(選學(xué))集成電路的制造工序繁多，從原料熔煉開(kāi)始到最終產(chǎn)品包裝大約需要400多道工序，工藝復(fù)雜且技術(shù)難度非常高，有一系列的關(guān)鍵技術(shù)。許多工序必須在恒溫、恒濕、超潔凈的無(wú)塵廠房?jī)?nèi)完成。興建一個(gè)有兩條生產(chǎn)線能加工8英寸晶圓的集成電路工廠需投資人民幣10億元以上。—制造業(yè)—集成電路的制造過(guò)程集成電路的制造過(guò)程硅拋光片單晶硅錠單晶硅錠經(jīng)切割、研磨和拋光后制成鏡面一樣光滑的圓形薄片，稱(chēng)為“硅拋光片”晶圓硅平面工藝硅平面工藝包括氧化、光刻、摻雜和互連等工序，最終在硅片上制成包含多層電路及電子元件的集成電路。通常每一硅拋光片上可制作成百上千個(gè)獨(dú)立的集成電路，這種整整齊齊排滿(mǎn)了集成電路的硅片稱(chēng)作“晶圓”芯片檢測(cè)、分類(lèi)集成電路封裝對(duì)晶圓上的每個(gè)電路進(jìn)行檢測(cè)，然后將晶圓切開(kāi)成小片，把合格的電路分類(lèi)，再封裝成一個(gè)個(gè)獨(dú)立的集成電路成品測(cè)試成品進(jìn)行成品測(cè)試，按其性能參數(shù)分為不同等級(jí)，貼上規(guī)格型號(hào)及出廠日期等標(biāo)簽，成品即可出廠集成電路生產(chǎn)線集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，創(chuàng)新能力不斷增強(qiáng)。圖為我國(guó)中芯國(guó)際集成電路有限公司12英寸超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線FC-PGA2封裝方式（Pentium4處理器）集成電路插座集成電路的封裝集成電路封裝目的：電功能、散熱功能、機(jī)械與化學(xué)保護(hù)功能(3)集成電路的發(fā)展趨勢(shì)集成電路的工作速度主要取決于晶體管的尺寸。晶體管的尺寸越小，其極限工作頻率越高，門(mén)電路的開(kāi)關(guān)速度就越快，相同面積的晶片可容納的晶體管數(shù)目就越多。所以從集成電路問(wèn)世以來(lái)，人們就一直在縮小晶體管、電阻、電容、連接線的尺寸上下功夫。IC集成度提高的規(guī)律Moore定律：?jiǎn)螇K集成電路的集成度平均每18個(gè)月翻一番(GordonE.Moore,1965年)例：Intel微處理器集成度的發(fā)展酷睿2雙核

（2006） 291～410M晶體管酷睿2四核

（2007） 820M晶體管Corei7六核（2010）>10億晶體管100019701975198019851990199520001000010000010610x106100x10640048008808080868028680386PentiumPentiumIIPentiumIIIPentium4晶體管數(shù)8048620101000x106CORE2DuoCORE2QuadCOREi7集成電路技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)199920012004200820102014工藝(μm)0.180.130.090.0450.0320.014晶體管(M)23.847.613553910003500時(shí)鐘頻率(GHz)1.21.62.02.6553.810面積(mm2)340340390468600901連線層數(shù)6789910晶圓直徑(英寸)121214161618減小蝕刻尺寸，縮小晶體管、電阻、電容和連線的尺寸增大硅晶圓的面積：使每塊晶圓能生產(chǎn)更多的芯片進(jìn)一步提高集成度的問(wèn)題與出路問(wèn)題：線寬進(jìn)一步縮小后，晶體管線條小到納米級(jí)時(shí)，其電流微弱到僅有幾十個(gè)甚至幾個(gè)電子流動(dòng)，晶體管將逼近其物理極限而無(wú)法正常工作出路：在納米尺寸下，納米結(jié)構(gòu)會(huì)表現(xiàn)出一些新的量子現(xiàn)象和效應(yīng)，人們正在利用這些量子效應(yīng)研制具有全新功能的量子器件，使能開(kāi)發(fā)出新的納米芯片和量子計(jì)算機(jī)同時(shí)，正在研究將光作為信息的載體，發(fā)展光子學(xué)，研制集成光路，或把電子與光子并用，實(shí)現(xiàn)光電子集成(4)IC卡簡(jiǎn)介幾乎每個(gè)人每天都與IC卡打交道，例如我們的身份證、手機(jī)SIM卡、交通卡、飯卡等等，什么是IC卡？它有哪些類(lèi)型和用途？工作原理大致是怎樣的？下面是簡(jiǎn)單介紹。什么是IC卡？IC卡(chipcard、smartcard)，又稱(chēng)為集成電路卡，它是把集成電路芯片密封在塑料卡基片內(nèi)，使其成為能存儲(chǔ)信息、處理和傳遞數(shù)據(jù)的載體特點(diǎn)：存儲(chǔ)信息量大保密性能強(qiáng)可以防止偽造和竊用抗干擾能力強(qiáng)可靠性高應(yīng)用舉例：作為電子證件，記錄持卡人的信息，用作身份識(shí)別（如身份證、考勤卡、醫(yī)療卡、住房卡等）作為電子錢(qián)包（如電話(huà)卡、公交卡、加油卡等）IC卡的類(lèi)型(按芯片分類(lèi))存儲(chǔ)器卡：封裝的集成電路為存儲(chǔ)器，信息可長(zhǎng)期保存，也可通過(guò)讀卡器改寫(xiě)。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，有一定安全措施。用于電話(huà)卡、水電費(fèi)卡、公交卡、醫(yī)療卡等（帶加密邏輯的存儲(chǔ)器卡增加了加密電路）CPU卡：封裝的集成電路為中央處理器（CPU）和存儲(chǔ)器，還配有芯片操作系統(tǒng)(ChipOperatingSystem)，處理能力強(qiáng)，保密性更好，常用作證件和信用卡使用。手機(jī)中使用的SIM卡就是一種特殊的CPU卡IC卡的類(lèi)型(按使用方式分類(lèi))接觸式IC卡(如電話(huà)IC卡)表面有方型鍍金接口，共8個(gè)或6個(gè)鍍金觸點(diǎn)。使用時(shí)必須將IC卡插入讀卡機(jī)，通過(guò)金屬觸點(diǎn)傳輸數(shù)據(jù)。用于信息量大、讀寫(xiě)操作比較復(fù)雜的場(chǎng)合,但易磨損、怕臟、壽命短非接觸式IC卡(射頻卡、感應(yīng)卡)采用電磁感應(yīng)方式無(wú)線傳輸數(shù)據(jù)，解決了無(wú)源（卡中無(wú)電源）和免接觸問(wèn)題操作方便，快捷，采用全密封膠固化，防水、防污，使用壽命長(zhǎng)用于讀寫(xiě)信息較簡(jiǎn)單的場(chǎng)合，如身份驗(yàn)證等

接觸式IC卡接觸式IC卡的結(jié)構(gòu)非接觸式IC卡非接觸式IC卡的工作原理（選學(xué)）讀卡器發(fā)出一組固定頻率的無(wú)線電波(射頻信號(hào))，通過(guò)天線向外發(fā)射IC卡激活后，通過(guò)輻射電磁信號(hào)將卡內(nèi)數(shù)據(jù)發(fā)射出去(或接收讀卡器送來(lái)的數(shù)據(jù))當(dāng)IC卡處在讀卡器有效范圍(一般為5~10cm)內(nèi)時(shí)，卡內(nèi)的一個(gè)LC串聯(lián)諧振電路(諧振頻率相同的)便產(chǎn)生電磁共振，使電容充電，從而為卡內(nèi)其它電路提供2V的工作電壓讀卡器收到數(shù)據(jù)后，通過(guò)接口將IC卡數(shù)據(jù)傳送給PC，PC將判斷該卡的合法性，作出相應(yīng)處理選學(xué)：

非接觸式IC卡在身份證中的使用第二代身份證使用非接觸式CPU卡，可實(shí)現(xiàn)“電子防偽”和“數(shù)字管理”兩大功能：電子防偽措施：個(gè)人數(shù)據(jù)和人臉圖像經(jīng)過(guò)加密后存儲(chǔ)在芯片中，需要時(shí)可通過(guò)非接觸式讀卡器讀出進(jìn)行驗(yàn)證。以后還可以將人體生物特征如指紋等保存在芯片中，以進(jìn)一步提高防偽性能數(shù)字管理功能：存儲(chǔ)器能儲(chǔ)存多達(dá)幾兆字節(jié)的信息，采用分區(qū)存儲(chǔ)，按不同安全等級(jí)授權(quán)讀寫(xiě)采用數(shù)據(jù)庫(kù)和網(wǎng)絡(luò)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)全國(guó)聯(lián)網(wǎng)快速查詢(xún)和身份識(shí)別，使二代證在公共安全、社會(huì)管理、電子政務(wù)、電子商務(wù)等方面發(fā)揮重要作用選學(xué)：

什么是電子標(biāo)簽(RFID)？電子標(biāo)簽RFID(RadioFrequencyIdentification)，即射頻標(biāo)識(shí)技術(shù)，用于控制、檢測(cè)和跟蹤物體標(biāo)簽進(jìn)入閱讀器磁場(chǎng)的有效范圍后，發(fā)送出存儲(chǔ)在芯片中的產(chǎn)品信息(無(wú)源標(biāo)簽)，或者主動(dòng)發(fā)送某一頻率的信號(hào)(有源標(biāo)簽)；閱讀器讀取信息并解碼后，送至中央信息系統(tǒng)進(jìn)行有關(guān)數(shù)據(jù)處理選學(xué)：

RFID應(yīng)用舉例（1）