GB/T 7774-2007真空技術(shù)渦輪分子泵性能參數(shù)的測量

犐犆犛２３．１６０

犑７８

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜７７７４—２００７／犐犛犗５３０２：２００３

代替ＧＢ／Ｔ７７７４—１９８７

真空技術(shù)渦輪分子泵性能參數(shù)的測量

犞犪犮狌狌犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔—犜狌狉犫狅犿狅犾犲犮狌犾犪狉狆狌犿狆狊—

犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳狆犲狉犳狅狉犿犪狀犮犲犮犺犪狉犪犮狋犲狉犻狊狋犻犮狊

（ＩＳＯ５３０２：２００３，ＩＤＴ）

２００７１２０２發(fā)布２００８０６０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

犌犅／犜７７７４—２００７／犐犛犗５３０２：２００３

前言

本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ＩＳＯ５３０２：２００３《真空技術(shù)渦輪分子泵性能參數(shù)的測量》（英文版）。

為便于使用，本標(biāo)準(zhǔn)還做了下列編輯性修改：

———“本國際標(biāo)準(zhǔn)”一詞改為“本標(biāo)準(zhǔn)”；

———“本文”一詞改為“本標(biāo)準(zhǔn)”；

———“引用文件”一詞改為“規(guī)范性引用文件”；

———刪除ＩＳＯ５３０２：２００３的前言。

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ７７７４—１９８７《渦輪分子泵性能測試方法》。

本標(biāo)準(zhǔn)附錄Ａ為資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（ＳＡＣ／ＴＣ１８）歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司、成都南光機(jī)器有限公司、沈陽真空技術(shù)研

究所。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：鄒蒙、李奇志、孟祥菊、張勤德、王斌、李劍輝、范林東、李春影。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ７７７４—１９８７。

Ⅰ

書

犌犅／犜７７７４—２００７／犐犛犗５３０２：２００３

真空技術(shù)渦輪分子泵性能參數(shù)的測量

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了渦輪分子泵性能參數(shù)的測量方法，它適用于所有規(guī)格和所有型式的渦輪分子泵。

包括：

ａ）帶機(jī)械或磁軸承的；

ｂ）帶或不帶附加牽引級的。

注：由于渦輪分子泵需要前級泵支持，下列曲線將作為對體積流率入口壓力的曲線補(bǔ)充，以完全確定其性能：

———流量曲線；

———壓縮比曲線；

———入口壓力變化曲線。

包括全部有關(guān)區(qū)域和各種氣體。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＩＳＯ３５２９２真空技術(shù)詞匯第２部分：真空泵及相關(guān)術(shù)語

３術(shù)語和定義

ＩＳＯ３５２９２確立的以及下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

３．１

臨界前級壓力犮狉犻狋犻犮犪犾犫犪犮犽犻狀犵狆狉犲狊狊狌狉犲

狆ｃ

當(dāng)泵仍能保持其壓縮比狆２／狆１≥２，且清潔氣流流通時的最高前級壓力狆２。

注：狆１是入口處（高）真空壓力。

３．２

最大流量犿犪狓犻犿狌犿狋犺狉狅狌犵犺狆狌狋

犙ｍａｘ

泵能連續(xù)抽氣而不損傷或毀壞的最高氣體負(fù)荷，單位為帕升每秒（Ｐａ·Ｌ／ｓ）［毫巴升每秒（ｍｂａｒ·Ｌ／ｓ）］。

注：這個極限參數(shù)取決于泵的設(shè)計，大多數(shù)情況下，這個參數(shù)以泵規(guī)定位置的最高溫度來給出。犙ｍａｘ值取決于被抽

氣體、所使用的前級泵以及冷卻條件等。

３．３

體積流率狏狅犾狌犿犲犳犾狅狑狉犪狋犲

狇Ｖ

在理想條件下，單位時間從測試罩流過泵入口的氣體體積。

注１：出于實際測量的原因，泵對給定氣體的體積流率通常約定為等于該氣體的流量與給定點的平衡壓