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面板薄化技術(shù)簡介材科112:李根201101524230李春明201101524224葉衛(wèi)林201101524226主要內(nèi)容什么是面板薄化為什么要薄化面板薄化原理薄化方法及優(yōu)劣什么是面板薄化面板薄化定義使用化學或物理方法使面板玻璃的厚度變小,以達到面板輕薄化的目的。為什么要薄化使顯示屏重量減輕提供更清晰明亮的畫質(zhì)薄化過程中厚度變化0.5t0.5t0.3t0.3t0.5t0.5t在高質(zhì)量和輕薄化的需求下,面板厚度需薄化至0.4mm、0.3mm、0.2mm甚至0.1mm薄化方法分類在TFT-LCD業(yè)界現(xiàn)有薄化工藝主要分為兩大類:1.化學蝕刻(主流方式)利用液體溶液與表面材料進行化學反應,應用HF與二氧化硅SiO2發(fā)生反應并使其溶解的原理,對面板玻璃表面進行咬蝕而使面板厚度變薄,6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O2.物理研磨(輔助方式)通過機械的研磨作用在玻璃面板上,通過純物理的方式減薄液晶面板。物理研磨薄化方式單面物理研磨薄化技術(shù)主要指機械設備拋光方式:使用拋光粉加純水形成拋光液做加工介質(zhì),在一定的眼里下流經(jīng)機臺盛盤與panel之間,借機臺運轉(zhuǎn)做相對運動,使硬質(zhì)磨料直接接觸面板表面進而切屑panel表面。主要用于短時間拋光以消除玻璃表面?zhèn)刍蚱渌涣?。物理研磨薄化方?.研磨后表面平整光滑2.可精確控制厚度3.設定簡易4.清洗時不需特殊化學品處理.研磨時間較長,不利于大批量生產(chǎn)優(yōu)點缺點化學薄化方法氫氟酸或含氫氟酸之混酸與待減薄面板表面接觸,通過化學反應的方式溶解面板表面層玻璃,以達到面板減薄的目的。1.減薄速度較快適合工業(yè)化生產(chǎn)2.可根據(jù)需要調(diào)節(jié)酸液濃度以控制薄化速度薄化后面板表面質(zhì)量較難控制,許多化學薄化方式需后續(xù)拋光處理。優(yōu)點缺點化學薄化方法現(xiàn)有化學蝕刻薄化方式的主要分類化學蝕刻方法分析以上三種化學蝕刻方式各有優(yōu)缺點且在實際生產(chǎn)中都有所應用Dip:多片直立浸泡式可以同時間處理多片玻璃裝置大型,外圍產(chǎn)生沉淀物,白色粉沫。Spray:單片直立噴灑式可以處理兩面不同蝕刻要求;化學液可有效回收利用使成本相對降低;蝕刻表面易產(chǎn)生凹點(dimple)需要后續(xù)拋光處理。Cascade:瀑布流式基板上無需任何壓力;
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