JJF 1682-2017光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1682—2017

光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforGratingMicrometers

2017-11-20發(fā)布2018-05-20實(shí)施

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJF1682—2017

光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范??

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?JJF1682—2017?

CalibrationSecificationfor??

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?代替JJG989—2004?

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GratingMicrometers

歸口單位全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所

:

中國測(cè)試技術(shù)研究院

參加起草單位安徽省計(jì)量科學(xué)研究院

:

本規(guī)范委托全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1682—2017

本規(guī)范主要起草人

:

曹學(xué)東中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

匡龍中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

冉慶中國測(cè)試技術(shù)研究院

()

參加起草人

:

范天泉中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

馬琳安徽省計(jì)量科學(xué)研究院

()

胡琦中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

JJF1682—2017

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語

3……………………(1)

示值誤差范圍

3.1………………………(1)

概述

4……………………(1)

計(jì)量特性

5………………(1)

測(cè)力

5.1…………………(1)

測(cè)桿受徑向力引起的示值變化

5.2……………………(1)

重復(fù)性

5.3………………(1)

示值誤差范圍

5.4………………………(3)

漂移

5.5…………………(3)

校準(zhǔn)條件

6………………(3)

環(huán)境條件

6.1……………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器

6.2…………(4)

校準(zhǔn)方法

7………………(5)

測(cè)力

7.1…………………(5)

測(cè)桿受徑向力引起的示值變化

7.2……………………(5)

重復(fù)性

7.3………………(5)

示值誤差范圍

7.4………………………(5)

漂移

7.5…………………(8)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(8)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(8)

附錄示值誤差范圍校準(zhǔn)不確定度評(píng)定測(cè)長裝置法

A()…………(9)

附錄示值誤差范圍校準(zhǔn)不確定度評(píng)定量塊測(cè)微儀檢定器組合法

B(-)…………(13)

附錄示值誤差范圍校準(zhǔn)不確定度評(píng)定量塊測(cè)量法

C()…………(16)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁格式

D……………………(19)

Ⅰ

JJF1682—2017

引言

本規(guī)范的編寫以國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011

通用計(jì)量術(shù)語及定義和測(cè)量不確定度評(píng)定與表示為基礎(chǔ)和

《》JJF1059.1—2012《》

依據(jù)

。

本規(guī)范替代光柵式測(cè)微儀

JJG989—2004《》。

與相比除編輯性修改外本規(guī)范主要技術(shù)變化如下

JJG989—2004,,:

本規(guī)范取消了外觀各部分相互作用及抗干擾性三項(xiàng)通用技術(shù)要求

———“”“”“”;

本規(guī)范將準(zhǔn)確度級(jí)別由級(jí)改為級(jí)的形式并增加了

———“××”“××μm”,

級(jí)及級(jí)兩種準(zhǔn)確度級(jí)別

“0.1μm”“0.2μm”;

本規(guī)范將示值誤差的校準(zhǔn)改為示值誤差范圍的校準(zhǔn)

———;

本規(guī)范將示值誤差的測(cè)量方法由固定零點(diǎn)改為浮動(dòng)零點(diǎn)形式

———;

本規(guī)范在示值誤差范圍校準(zhǔn)方法中增加了量塊測(cè)量法

———“”。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況

:

———JJG989—2004。

Ⅱ

JJF1682—2017

光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于級(jí)行程為級(jí)行程為

0.1μm0~10mm、0.2μm0~25mm、0.5μm

級(jí)行程為級(jí)級(jí)行程為的光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)

0~50mm、1μm~10μm0~100mm。

2引用文件

本規(guī)范引用下列文件

:

光柵線位移測(cè)量裝置

JB/T10030—2012

光柵線位移測(cè)量系統(tǒng)第部分光柵線位移傳感器

JB/T10080.2—20112:

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用本規(guī)范

,()。

3術(shù)語

示值誤差范圍

3.1rangeofindicationerror

指示值誤差中最大者與最小者之差

。

4概述

光柵式測(cè)微儀以下簡稱測(cè)微儀也稱光柵測(cè)微儀光柵長度計(jì)或光電測(cè)長儀是

()、,

以光柵副作為測(cè)量元件將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號(hào)經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量

,