先進(jìn)制造技術(shù)論文

先進(jìn)制造技術(shù)研究進(jìn)展激光加工技術(shù)摘要：本文首先介紹了激光加工技術(shù)的背景以及特點(diǎn)，然后對(duì)激光加工技術(shù)在國(guó)內(nèi)外的應(yīng)用發(fā)展?fàn)顩r，以及激光加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了簡(jiǎn)要介紹，最后展望了近期的激光發(fā)展方向。關(guān)鍵詞：激光加工激光技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)前沿課題AdvancedManufacturingTechnologyResearchLaserprocessingtechnologyAbstract:Thispaperdescribesthebackgroundoflaserprocessingtechnologyandfeatures,thenthelaserprocessingtechnologyforapplicationdevelopmentathomeandabroad,aswellasthedevelopmenttrendoflaserprocessingtechnologywithabriefintroduction,andfinallytherecentprospectoflaserdevelopment.Keywords:laserprocessingtopicsattheforefrontoflasertechnologytrends引言20世紀(jì)20年代愛(ài)因斯坦提出的光受激輻射的概念預(yù)見(jiàn)了激光的產(chǎn)生,40年后的1960年美國(guó)科學(xué)家梅曼率先研制成功的第一臺(tái)紅寶石激光器標(biāo)志著激光的正式誕生,隨后,激光技術(shù)迅猛發(fā)展。繼固體激光器后,氣體激光器、化學(xué)激光器、染料激光器、原子激光器離子激光器、半導(dǎo)體激光器、X射線(xiàn)激光器和光纖激光器相繼問(wèn)世，應(yīng)用領(lǐng)域也擴(kuò)展到諸如電子、輕工、包裝、禮品、小五金工業(yè)、醫(yī)療器械、汽車(chē)、機(jī)械制造、鋼鐵、冶金、石油等，為傳統(tǒng)工業(yè)的技術(shù)改造和制造業(yè)的現(xiàn)代化提供先進(jìn)的技術(shù)裝備。激光與普通光相比有4個(gè)特性即:單色性（單一波長(zhǎng)）、相干性、方向性和高光強(qiáng)。激光束易于傳輸，其時(shí)間特性和空間特性可以分別控制，經(jīng)聚焦后可得到極小的光斑，具有極高功率密度的激光光束可以熔化、氣化任何材料，也可對(duì)材料的局部區(qū)域進(jìn)行精密快速加工。加工過(guò)程中輸入工件的熱量小，熱影響區(qū)和熱變形小;加工效率高;易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。激光技術(shù)是一門(mén)綜合性高新技術(shù)，涉及光學(xué)、機(jī)械學(xué)、電子學(xué)等學(xué)科。同樣，激光加工設(shè)備也涉及到眾多學(xué)科，因而決定了它的高科技性和高收益率?？v觀國(guó)際和國(guó)內(nèi)激光應(yīng)用情況經(jīng)過(guò)多年的研究開(kāi)發(fā)和完善，當(dāng)代的激光器和激光加工技術(shù)與設(shè)備已相當(dāng)成熟，形成了系列激光加工工藝。一、激光加工技術(shù)特點(diǎn)激光具有高亮度、方向性強(qiáng)、單色性好、相干性好、空間控制和時(shí)間控制性好等優(yōu)越性能，容易獲得超短脈沖和小尺寸光斑，能夠產(chǎn)生極高的能量密度和功率密度，幾乎能加工所有的材料，例如，塑料，陶瓷，玻璃，金屬，半導(dǎo)體材料，復(fù)合材料等等，以及生物/醫(yī)用材料，特別適用于加工自動(dòng)化，而且對(duì)被加工材料的形狀、尺寸和加工環(huán)境要求很低．激光加工具有很多優(yōu)點(diǎn)，如下所述．激光加工屬無(wú)接觸加工：激光加工是通過(guò)激光光束進(jìn)行加工，與被加工工件不直接接觸，降低了機(jī)械加工慣性和機(jī)械變形，方便了加工．同時(shí)，還可加工常規(guī)機(jī)械加工不能或很難實(shí)現(xiàn)的加工工藝，如內(nèi)雕、集成電路打微孔、硅片的刻劃等．加工質(zhì)量好，加工精度高：由于激光能量密度高可瞬時(shí)完成加工，與傳統(tǒng)機(jī)械加工相比，工件熱變形小、無(wú)機(jī)械變形，使得加工質(zhì)量顯著提高；激光可通過(guò)光學(xué)聚焦鏡聚焦，激光加工光斑非常小，加工精度很高，如PC機(jī)硬盤(pán)高速轉(zhuǎn)子采用激光平衡技術(shù)，其轉(zhuǎn)子平衡精度可達(dá)微米或亞微米級(jí)．加工效率高：激光切割可比常規(guī)機(jī)械切割提高加工效率幾十倍甚至上百倍；激光打孔特別是微孔可比常規(guī)機(jī)械打孔提高效率幾十倍至上千倍；激光焊接比常規(guī)焊接提高效率幾十倍；激光調(diào)阻可提高效率上千倍，且精度亦顯著提高.材料利用率高，經(jīng)濟(jì)效益高：激光加工與其他加工技術(shù)相比可節(jié)省材料10~30%，可直接節(jié)省材料成本費(fèi)，且激光加工設(shè)備操作維護(hù)成本低，對(duì)加工費(fèi)用降低提供了先決條件．激光加工具有優(yōu)越的加工性能，使得激光加工技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用，并產(chǎn)生了巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益．目前已成熟的激光加工技術(shù)包括：激光快速成形技術(shù)、激光焊接技術(shù)、激光打孔技術(shù)、激光切割技術(shù)、激光打標(biāo)技術(shù)、激光刻蝕技術(shù)、激光微調(diào)技術(shù)、激光存儲(chǔ)技術(shù)、激光劃線(xiàn)技術(shù)、激光清洗技術(shù)、激光熱處理和表面處理技術(shù)等。二、常用的激光加工技術(shù)2．1激光快速成型技術(shù)激光快速成型技術(shù)是上世紀(jì)80年代發(fā)展起來(lái)的一門(mén)高新技術(shù)，它是利用激光技術(shù)、CAX技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù)和新材料技術(shù)，直接造型，快速制造產(chǎn)品模型的一門(mén)多學(xué)科綜合技術(shù)．激光快速成型技術(shù)一改傳統(tǒng)加工“去除”成型加工工藝，改為“堆積”成型加工工藝，在加工領(lǐng)域具有劃時(shí)代的意義.激光快速成型技術(shù)中LOM工藝，是利用CAD模型設(shè)計(jì)功能和CAM加工制造功能，不需要工程圖紙，將設(shè)計(jì)模型數(shù)據(jù)直接切片生成加工代碼，快速制造出設(shè)計(jì)模型樣件或樣機(jī)．在新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)階段，采用激光快速成型技術(shù)可有效縮短設(shè)計(jì)周期．如河北工業(yè)大學(xué)快速成型中心，對(duì)某型號(hào)汽車(chē)除霜管設(shè)計(jì)制造在一兩天中即可完成，并取得了良好的效果．目前，激光快速成型技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車(chē)、玩具制造等行業(yè)．2.2激光焊接技術(shù)激光焊接是利用高能量激光束照射焊接工件，工件受熱融化，然后冷卻得到焊接的目的．激光焊接的顯著特征是大熔、焊道、小熱影響區(qū)，以及高功率密度，大氣壓力下進(jìn)行不要求保護(hù)氣體，不產(chǎn)生X射線(xiàn)，在磁場(chǎng)內(nèi)不會(huì)出現(xiàn)束偏移，更加之該法焊速快、與工件無(wú)機(jī)械接觸、可焊接磁性材料便于實(shí)現(xiàn)遙控等優(yōu)點(diǎn)，尤其可焊高熔點(diǎn)的材料和異種金屬，并且不需要添加材料，因此很快在電子行業(yè)中實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化．激光焊接有兩種基本方式：傳導(dǎo)焊與深熔（小孔）焊.國(guó)外利用固體YAG激光器進(jìn)行縫焊和點(diǎn)焊，已有很高的水平.另外，用激光焊接印刷電路的引出線(xiàn)，不需要使用焊劑，并可減少熱沖擊，對(duì)電路管芯無(wú)影響．日本

自90年代以來(lái)，在電子行業(yè)的精密焊接方面已實(shí)現(xiàn)了從點(diǎn)焊向激光焊接的轉(zhuǎn)變．目前，激光焊接主要應(yīng)用在汽車(chē)行業(yè)，如汽車(chē)車(chē)身的焊接（美國(guó)福特汽車(chē)公司，日本本田、尼桑汽車(chē)公司等），底板焊接（西德大眾），發(fā)動(dòng)機(jī)懸架焊接（奧迪轎車(chē)）等等．2.3激光打孔技術(shù)激光打孔技術(shù)具有精度高、通用性強(qiáng)、效率高、成本低和綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益顯著等優(yōu)點(diǎn)，已成為現(xiàn)代制造領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)之一．激光打孔在微細(xì)孔加工中的應(yīng)用，解決了一些傳統(tǒng)機(jī)械加工不能解決的難題，為微孔加工提供了先進(jìn)的加工手段．在上世紀(jì)90年代，激光打孔技術(shù)就朝著多樣化、高速度、高精度、直徑更微小的方向發(fā)展．例如在飛機(jī)機(jī)翼上打5萬(wàn)個(gè)直徑為0.064mm的小孔，可以大大減小氣流對(duì)飛機(jī)的阻力，取得節(jié)油40%的良好效果．我2國(guó).從4上激世紀(jì)光6切0年割代技開(kāi)始術(shù)在鐘表行業(yè)中使用激光加工技術(shù)，對(duì)寶石軸承進(jìn)行激光打孔自從1967年Sullivan和Houldcroft首先提出并實(shí)現(xiàn)用吹氧氣法進(jìn)行金屬激光切割以來(lái)，激光切割以其切割范圍廣、切割速度高、切縫窄、切割面粗糙度低、熱影響區(qū)域小加工柔性好、可實(shí)現(xiàn)眾多復(fù)雜零件的切割等優(yōu)點(diǎn)而應(yīng)用越來(lái)越廣．激光切割技術(shù)可廣泛應(yīng)用于金屬和非金屬材料的加工中，可大大減少加工時(shí)間，降低加工成本，提高工件質(zhì)量．脈沖激光適用于金屬材料，連續(xù)激光適用于非金屬材料，后者是激光切割技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域．目前，激光切割主要應(yīng)用在航空航天工業(yè)和汽車(chē)制造業(yè)中，如飛機(jī)框架、尾翼壁板、飛機(jī)主旋2.52.5汽激車(chē)車(chē)光架打等切標(biāo)割技．術(shù)激光打標(biāo)技術(shù)是激光加工最大的應(yīng)用領(lǐng)域之一．激光打標(biāo)是利用高能量密度的激光對(duì)工件進(jìn)行局部照射，使表層材料汽化或發(fā)生顏色變化的化學(xué)反應(yīng)，從而留下永久性標(biāo)記的一種打標(biāo)方法．激光打標(biāo)可以打出各種文字、符號(hào)和圖案等，字符大小可以從毫米量到微米量級(jí)，這對(duì)產(chǎn)品的防偽有特殊的意義．準(zhǔn)分子激光打標(biāo)是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的一項(xiàng)新技術(shù)，特別適用于金屬打標(biāo)，可實(shí)現(xiàn)亞微米打標(biāo)，目前，廣泛用于微電子工業(yè)、生物工程、食品包裝和2防.偽6鑒激別等光領(lǐng)刻域．蝕技術(shù)自從首次報(bào)道準(zhǔn)分子激光能獲得快速、高分辨光刻以來(lái)，人們?cè)诎耸甏磳?duì)準(zhǔn)分子激光光刻進(jìn)行了大量研究.盡管電子束、X射線(xiàn)、離子束具有更短的波長(zhǎng)，在提高分辨率方面有更多好處，但曝光源、掩模、抗蝕劑、成像光學(xué)系統(tǒng)方面存在極大的困難．而相反，準(zhǔn)分子光刻有著明顯的經(jīng)濟(jì)性和現(xiàn)實(shí)性，它將光學(xué)光刻擴(kuò)展至DUV和VUV，其高功率大大縮短了基片曝光時(shí)間，分辨率易獲得亞微米線(xiàn)寬，掩模和抗蝕劑問(wèn)題易解決.1992年美國(guó)IBM公司將準(zhǔn)分子光刻機(jī)用于生產(chǎn)線(xiàn)上，商品化的XL-1型193nm光刻機(jī)能獲得0.25m線(xiàn)寬光刻膠圖形?最近的相移掩模技術(shù)，將準(zhǔn)分子光刻分辨率提高到0.13m以下?另一方面，準(zhǔn)分子激光直刻有機(jī)和無(wú)機(jī)物材料方面有著獨(dú)到之處，單脈沖去除深度在0.05~0.1m之間，這使得通過(guò)簡(jiǎn)單的脈沖計(jì)數(shù)即可獲得高精密切削．將準(zhǔn)分子光刻裝備進(jìn)行適合于材料加工的改進(jìn)，如使掩模及整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)能承受更大激光峰值功率密度，采用高倍率投影物鏡，設(shè)計(jì)實(shí)時(shí)殘?jiān)コ到y(tǒng)等，則非常適于新近迅速發(fā)展起來(lái)的微結(jié)構(gòu)、微機(jī)械的加工技術(shù)．目前，英國(guó)Exitech公司，德國(guó)Microlas公司，日本浜松光子公司先后推出了商品化微結(jié)構(gòu)加工2用.準(zhǔn)7分激子激光光微微加調(diào)工技裝備術(shù)．激光刻蝕技術(shù)主要應(yīng)用在高集成度電路的制作激光微調(diào)主要用于調(diào)整厚膜電路或薄膜電路中的電阻、電容以及其他多種功能參數(shù)．激光調(diào)阻時(shí)，受到照射的部位受熱汽化揮發(fā)，阻值區(qū)域截面面積減小，隨之阻值增大．過(guò)去對(duì)厚膜電阻采用機(jī)械磨蝕法，對(duì)薄膜電阻采用電火花燒蝕法，但這種調(diào)整法的精度、效率都很低，對(duì)工件產(chǎn)生嚴(yán)重污染，引起調(diào)阻后阻值漂移，改用激光微調(diào)則有很大的優(yōu)越性．激光微調(diào)的實(shí)質(zhì)是打孔，每次打孔都很淺，約至幾十納米至幾十微米之間，然后通過(guò)連續(xù)不斷的打孔，搭接成一條線(xiàn)．激光微調(diào)電阻除用強(qiáng)光照射將部分電阻膜氣化外，還可通過(guò)無(wú)損傷照射改變膜的結(jié)構(gòu)達(dá)到調(diào)整阻值的目的．激光調(diào)阻技術(shù)主要應(yīng)用于精密電阻阻值調(diào)解，精度可達(dá)2.8激光存儲(chǔ)技術(shù)光存儲(chǔ)是最早預(yù)見(jiàn)的激光應(yīng)用領(lǐng)域之一，激光存儲(chǔ)技術(shù)是信息以反射/非反射帶（正常表面和凹坑）的序列編碼，已達(dá)到信息存儲(chǔ)的目的.目前，計(jì)算機(jī)所用的可寫(xiě)CD-ROM就是一種激光信息存儲(chǔ)和信息再現(xiàn)的介質(zhì)．隨著信息技術(shù)的發(fā)展，對(duì)信息存儲(chǔ)的要求越來(lái)越高，數(shù)字視頻光盤(pán)（DVD）是下一代光存儲(chǔ)器，其存儲(chǔ)能力是CD-ROM的7倍.因數(shù)據(jù)存儲(chǔ)密度2與.激9光激波長(zhǎng)光的劃平方線(xiàn)成技反比術(shù)，所以，發(fā)展波長(zhǎng)更短的激光是提高激光存儲(chǔ)技術(shù)的關(guān)鍵．與傳統(tǒng)劃片法相比，激光劃片有很多優(yōu)點(diǎn)．例如，它能開(kāi)出狹窄的切口、幾乎沒(méi)有殘?jiān)?、熱影響區(qū)小、噪聲小，并可以節(jié)省材料15%~30%．由于激光對(duì)劃片材料幾乎不產(chǎn)生機(jī)械沖力和壓力，加上激光光斑小、劃縫窄，所以特別適宜于對(duì)細(xì)小部件作各種精密加工．瑞士某公司利用固體激光器進(jìn)行精密加工，其尺寸精度已經(jīng)達(dá)到很高的水平．激光劃片制作印刷電路板PCB中表面安裝用模板（SMTStrncil）與傳統(tǒng)的SMT模板化學(xué)刻蝕法相比，其劃線(xiàn)細(xì)、精度高（線(xiàn)寬為15~25m槽深為5~200m），加工速度快（可達(dá)200mm/s），成品率可達(dá)99.5%以上．化學(xué)刻蝕法其致命的缺點(diǎn)就是加工的極限尺寸不得小于板厚，且工序繁雜、加工周期長(zhǎng)、腐蝕介質(zhì)污染環(huán)境．采用激光加工，不僅可以克服這些缺點(diǎn)，而且能夠?qū)Τ善纺０暹M(jìn)行再加工，特別是加工精度及縫隙密度明顯優(yōu)于后者，制作費(fèi)也由早期的遠(yuǎn)高于化學(xué)刻蝕到現(xiàn)在的略低于前者．但由于用于激光加工的整套設(shè)備技術(shù)含量高，售價(jià)亦很高，2目.前1僅0美激國(guó)光、日清本洗、德技國(guó)術(shù)等少數(shù)國(guó)家的幾家公司能夠生產(chǎn)整機(jī)激光清洗技術(shù)是工業(yè)生產(chǎn)等許多領(lǐng)域中的重要環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)的清洗方法包括機(jī)械清洗法、化學(xué)清洗法和超聲波清洗法．他們?cè)诃h(huán)境保護(hù)和高精度要求方面的應(yīng)用受到很大的限制．激光清洗技術(shù)是近10多年來(lái)發(fā)展起來(lái)的新型清洗技術(shù)，它以自身的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)得到了很好的應(yīng)用，展示了廣闊的應(yīng)用發(fā)展前景．集成電路硅基片的加工和光刻技術(shù)、微組裝技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)要求相當(dāng)嚴(yán)格，光刻技術(shù)現(xiàn)在已達(dá)到0.13m以下水平.在此高精度的要求下，器件的清洗要求也非常嚴(yán)格，即使采用傳統(tǒng)清洗法中精度最高的超聲波清洗法進(jìn)行清洗，也無(wú)法清除掉微電子產(chǎn)品中的次微米（0.5m以下）微小顆粒，影響高精度電子工業(yè)的發(fā)展?激光清洗技術(shù)的使用有效地解決了集成電路的清洗．2.11激光熱處理激光熱處理是指利用激光高能量密度的能量照射金屬材料表面時(shí)，材料表層溫度迅速升高，當(dāng)激光停止作用后，材料基體溫度迅速下降，從而使材料表層經(jīng)歷一個(gè)熱處理過(guò)程．通過(guò)控制激光功率、功率密度分布、激光作用時(shí)間等參數(shù)，改變金屬熱循環(huán)形式，從而可以完成材料表層的淬火或退火等工藝.我國(guó)從上世紀(jì)70年代研制成功千瓦級(jí)C02激光器之后，激光熱處理的工業(yè)應(yīng)用也取得了重要的成就．激光熱處理主要應(yīng)用于汽車(chē)工業(yè)（如美國(guó)通用汽車(chē)缸套熱處理生產(chǎn)線(xiàn)）和精密機(jī)械微小零部件的熱處理．目前，激光熱處理技術(shù)由于成本2高.、1控2制表復(fù)面雜，處還理處于技實(shí)術(shù)驗(yàn)室技術(shù)層面，還沒(méi)有大范圍、大面積的工業(yè)化應(yīng)用激光表面處理主要包括以下幾方面的工藝：激光表面相變硬化（LTH）、激光表面熔化（LSM）、激光表面合金化（LSA）、激光表面涂覆（LSC）以及激光表面沖擊硬化（LSH）.激光表面相變硬化是用高能量激光束照射材料表面，使表面溫度達(dá)到相變溫度點(diǎn)以上，當(dāng)激光束移開(kāi)后，由于基體的傳熱使表面快速冷卻（自淬火），從而使材料表面硬化的一項(xiàng)技術(shù)；激光表面熔化可使材料表面得到細(xì)晶組織、非晶態(tài)和亞穩(wěn)相，在滿(mǎn)足材料表面某些方面需要，如耐磨性、耐蝕性、防止氧化等方面顯示出獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)；激光表面合金化是利用激光照射使材料表面熔化并提供給表面（預(yù)覆或噴射）的合金元素的物質(zhì)熔化、混合均勻，以便在材料表面形成一個(gè)理想的合金層，從而改善材料表面性質(zhì)的工藝；激光表面涂覆和激光表面合金化技術(shù)相似，激光表面涂覆經(jīng)常用來(lái)提高材料的耐磨性、耐蝕性和耐高溫性能；激光表面沖擊硬化是利用激光脈沖使材料表面薄層（幾個(gè)原子厚）快速蒸發(fā)，在表面原子移走的時(shí)候，發(fā)生動(dòng)量脈沖并產(chǎn)生一個(gè)沖擊波或應(yīng)力波，對(duì)材料表面產(chǎn)生殘余壓應(yīng)力，從而達(dá)到改善材料三疲勞、壽命激的光目的加．工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)數(shù)控化和綜合化：把激光器與計(jì)算機(jī)數(shù)控技術(shù)、先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)以及高精度和自動(dòng)化的工件定位相結(jié)合，形成研制和生產(chǎn)加工中心，已成為激光加工發(fā)展的一個(gè)重要趨勢(shì)．小型化和集成化：可進(jìn)行幾種工藝研制和生產(chǎn)加工的激光加工系統(tǒng)，已成為激光加工的另一發(fā)展趨勢(shì)．國(guó)外已把激光切割和模具沖壓兩種加工方法組合在一臺(tái)機(jī)床上，制成激光沖床，它兼有激光切割的多功能性和沖壓加工的高速高效的特點(diǎn)，可完成切割復(fù)雜外形、打孔、四、激光加工技術(shù)的發(fā)展展望激光加工技術(shù)具有無(wú)接觸、不需要工模具、清潔、效率較高、便于實(shí)行數(shù)控、可進(jìn)行特殊加工等優(yōu)點(diǎn),隨著該技術(shù)的不斷進(jìn)步與完善,人們將能對(duì)工藝的自動(dòng)化和工作效率提出更高的要求。在理論研究的支持和實(shí)際需要的配合下,激光技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用將更為廣泛,這也使激光技術(shù)有了更加豐富的研究?jī)?nèi)容和更加廣闊的應(yīng)用前景。以下幾個(gè)方面將是近期激光技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵和前沿課題:（1）研制大功率、高壽命和小型化的激光裝置。該研究主要包括制備適用于大功率激光的光學(xué)器件材料,提高電源的穩(wěn)定性和使用壽命,實(shí)現(xiàn)大功率激光裝置的小型化。（2）建立簡(jiǎn)潔且適合于現(xiàn)場(chǎng)控制的數(shù)學(xué)分析模型,縮短確定最佳工藝參數(shù)的時(shí)間。（3）從凝固動(dòng)力學(xué)、結(jié)晶學(xué)和相變理論出發(fā),系統(tǒng)研究激光快速凝固行為,揭示材料微結(jié)構(gòu)的形成、演化機(jī)理及其規(guī)律,如探討凝固過(guò)程中溶質(zhì)的非平衡規(guī)律及界面的穩(wěn)定性,五豐富、和發(fā)結(jié)展束快速語(yǔ)凝固理論、相變理論和界面理論激光加工技術(shù)作為一種先進(jìn)的加工工藝,已在眾多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,隨著激光加工技術(shù)、設(shè)備、工藝研究的不斷深入,將有更廣闊的應(yīng)用前景。但常規(guī)激光加工技術(shù)是利用高溫使材料熔化或氣化而達(dá)到加工目的，從而導(dǎo)致加工區(qū)受熱變形和微裂紋的影響，因而我們將來(lái)也應(yīng)該重視非常規(guī)激光加工技術(shù)方面的研究。參考文獻(xiàn)袁根福?激光加工技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展現(xiàn)狀[N].安徽建筑工業(yè)學(xué)院學(xué)報(bào)（自然科學(xué)版）.2004第12卷第1期.李承厚.國(guó)內(nèi)外激光機(jī)工技術(shù)概況[J].電子工藝技術(shù)，1992年第四期:29-32徐慶仁?激光加工技術(shù)的地位、現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)（上）[J].中國(guó)學(xué)術(shù)期刊，1996年第9期:22-24宋威廉.激光加工技術(shù)的發(fā)展[J].激光與紅外,2006年9月增刊:755-758邱星武.激光機(jī)工技術(shù)在材料加工領(lǐng)域的發(fā)展及應(yīng)用[J].稀有金屬與硬質(zhì)合金,2010年3月，第38卷1期:60-63王揚(yáng)，李春奇，楊立軍，張宏志，吳雪峰，蔡娜，李靈.非常規(guī)激光加工技術(shù)的研究[J].紅外與激光工程，2011年3月，第40卷第3期:448-454李福欣，李青，賀曉東?激光加工技術(shù)的應(yīng)用[J].農(nóng)業(yè)裝備與車(chē)輛工程，2008年第期:46-48林樹(shù)忠，孫會(huì)來(lái).激光加工技術(shù)的應(yīng)用及發(fā)展[N].河北工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào).2004年4月，第33卷第2期.金岡優(yōu)，付長(zhǎng)德?最新的激光加工技術(shù)[J].電器制造，2007年第3期:40-44左鐵釧?現(xiàn)代激光制造