磁控濺射技術和透明導電薄膜課件_第1頁
磁控濺射技術和透明導電薄膜課件_第2頁
磁控濺射技術和透明導電薄膜課件_第3頁
磁控濺射技術和透明導電薄膜課件_第4頁
磁控濺射技術和透明導電薄膜課件_第5頁
已閱讀5頁，還剩29頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領

文檔簡介

磁控濺射技術和透明導電薄膜薄膜的種類及應用磁控濺射技術原理及應用透明導電薄膜性能及應用薄膜：在固體表面上鍍上一層于基體材料不同的薄層材料。厚度通常在幾微米以下。電學薄膜光學薄膜機械薄膜薄膜的制備手段氣相法：化學氣相沉積（CVD）物理氣相沉積（PVD）——熱蒸發(fā)

濺射

離子鍍分子束外延液相法：化學鍍、電鍍、浸漬鍍等。其他方法：噴涂、涂敷等。濺射原理濺射示意圖薄膜的生長電子在正交電磁場中的運動磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)圖磁控濺射儀器外觀

大型多弧離子/磁控濺射鍍膜機?？稍谳^大體積的工件表面鍍制厚度均勻的金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等防腐、耐磨、導電透明等多種功能薄膜。磁控濺射技術的優(yōu)點薄膜與基底的結(jié)合力強。鍍膜均勻，可鍍大面積薄膜。鍍膜種類豐富：各種金屬(合金)薄膜各種金屬氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等薄膜其它(如類金剛石薄膜等)

基底種類豐富：金屬、玻璃、陶瓷、有機玻璃(薄膜)等透明導電薄膜種類氧化銦錫（ITO）摻鋁氧化鋅（ZAO）多層結(jié)構(gòu)：ITO/Ag/ITO、TiO2/Ag/TiO2、ITO/ZnO、SiO2/ITOITO薄膜電學性能電阻率7×10-5~10-4Ω?cm與金屬鉛導電能力接近。ITO薄膜光學性能透明導電薄膜的應用液晶顯示器（LCD）觸摸屏太陽能電池保溫、隔熱電磁屏蔽軍事領域：雷達隱身透明導電薄膜

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論