我國(guó)三氟化硼行業(yè)主要生產(chǎn)廠商及其產(chǎn)能、產(chǎn)品等級(jí)、生產(chǎn)工藝分析_第1頁(yè)
我國(guó)三氟化硼行業(yè)主要生產(chǎn)廠商及其產(chǎn)能、產(chǎn)品等級(jí)、生產(chǎn)工藝分析_第2頁(yè)
我國(guó)三氟化硼行業(yè)主要生產(chǎn)廠商及其產(chǎn)能、產(chǎn)品等級(jí)、生產(chǎn)工藝分析_第3頁(yè)
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我國(guó)三氟化硼行業(yè)主要生產(chǎn)廠商及其產(chǎn)能、產(chǎn)品等級(jí)、生產(chǎn)工藝分析

高純?nèi)鹗枪韬玩N外延、擴(kuò)散和離子注入過(guò)程的P

型摻雜源，也可用作等離子刻蝕氣體。高純BF3作為硼摻雜劑用于硅離子布植方面，生產(chǎn)出的芯片具有高集成、高密度的特點(diǎn)，并且體積更小、性能更佳。值得注意的是現(xiàn)代IC生產(chǎn)線對(duì)三氟化硼有了新的要求：三氟化硼中的同位素11B的豐度值要達(dá)到一定的值，眾所周知同位素分離技術(shù)難度較大，我國(guó)在此領(lǐng)域還存在許多技術(shù)需要攻關(guān)，目前國(guó)內(nèi)此領(lǐng)域尚未見(jiàn)產(chǎn)業(yè)化。目前國(guó)內(nèi)確定性的規(guī)劃有電子級(jí)三氟化硼產(chǎn)能的僅有福建博純材料和昊華科技旗下光明院，博純材料在2015年12月備案的超精準(zhǔn)電子混合氣體項(xiàng)目中包含0.5噸三氟化硼產(chǎn)能；昊華科技募投項(xiàng)目中包括1噸產(chǎn)能，此前光明院也已經(jīng)開(kāi)展相關(guān)中試項(xiàng)目。華特股份募投項(xiàng)目也布局有10噸三氟化硼產(chǎn)能，但為倉(cāng)儲(chǔ)經(jīng)銷性質(zhì)，本身不從事生產(chǎn)；NDGD情況與華特股份類似。日本大陽(yáng)日酸在揚(yáng)州化工園區(qū)布局有240噸電子化學(xué)品產(chǎn)能，其中包含三氟化硼產(chǎn)品，該項(xiàng)目于2017年4月獲環(huán)評(píng)批復(fù)?？傮w來(lái)看，我國(guó)三氟化硼生產(chǎn)企業(yè)與海外廠商差距較大，電子級(jí)尚未形成大規(guī)模產(chǎn)能，且在11B同位素分離方面距產(chǎn)業(yè)化尚有距離，短時(shí)間內(nèi)或仍將依

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