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文檔簡(jiǎn)介
一、設(shè)備概 二、應(yīng)用范 三、產(chǎn)品工作描 熱盤單 冷盤單 控制軟/硬 四、基本配置及技術(shù)參 1、機(jī)器框架平 2、基片規(guī) 3、盒站部 4、傳片單 5、熱盤單 6、冷盤單 7、系統(tǒng)控 8、廠務(wù)系 13、外形尺寸及重 五、主操作界面（參考 六、設(shè)備布置圖（參考 七、設(shè)備外觀圖（參考 八、設(shè)備性能及工藝驗(yàn)收指 適用于受熱更均勻，先進(jìn)PID溫度控制，溫度控制更穩(wěn)定。0.1mm間隙，制功能執(zhí)行情況；工藝參數(shù)數(shù)字化檢測(cè)控制，分等級(jí)、嚴(yán)重緊急情況、超限；自由編制、修改、編輯、、調(diào)用工藝程序；故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長(zhǎng)期保存?zhèn)洳?；操作?jiǎn)便，故障提示材21050℃～120℃120.1℃～180℃：218～28℃ 1 1 1 2套、1套、Φ100mm L=1413
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