K465裝機(jī)培訓(xùn)資料

---K465裝機(jī)培訓(xùn)●K465簡介

K465為美國Veeco公司的GaN機(jī)臺(tái)，現(xiàn)公司有兩臺(tái)（X爐和U爐），K465的最大優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)能大，操作簡單，維護(hù)少，很適合公司大規(guī)模生產(chǎn)。缺點(diǎn)是源耗大，均勻性與TS比稍差。●機(jī)臺(tái)硬件手套箱反應(yīng)室源電源叉子CBAElectrical/CircuitBreakerAssembly(ECA)ELECTRICRACKSDA/SourceDeliveryAssemblyRHA/ReactorHousingAssemblyTHA/TransferHousingAssemblyPEA/ProcessExhaustAssembly尾氣處理給八個(gè)電流源供電1.PowerSupplyUnit(電源)K465一共有8個(gè)電源箱，分別給Inner、Middle和Outer加熱絲供電:InnerPowerSupply（40/250）（Inner加熱絲較?。㎝iddleMasterPowerSupply(60/250)MiddleSlave1PowerSupply(60/250)MiddleSlave2PowerSupply(60/250)MiddleSlave3PowerSupply(60/250)（Middle加熱絲較大）OuterMasterPowerSupply(60/250)OuterSlave1PowerSupply(60/250)OuterSlave2PowerSupply(60/250)●“60/250”表示電源能提供的最大電壓和電流，即最大功率；●相同功率的電源箱可以互換；InnerMiddleOuter2.Sourcegas（源）源材料：MO源：TMGa、TEGa、TMAl、TMIN、CP2Mg載氣：H2，N2特氣：NH3，SiH4恒溫槽溫度：TMGa：液態(tài)，5°CTEGa：液態(tài)，25°CTMAl:液態(tài)，25°CTMIn:固態(tài)，30°C（兩瓶TMIn，串聯(lián)）Cp2Mg：固態(tài),30°C恒溫槽3.Reactor（反應(yīng)室）反應(yīng)室冷卻水管chiller循環(huán)水，灰進(jìn)黃出廠務(wù)循環(huán)水，黑進(jìn)紅出里外兩個(gè)RT，中間DRTshutterMainHydrideAlkylMiddle加熱絲的電極反應(yīng)室基座和加熱絲Outer加熱絲Middle加熱絲鎳支架Inner加熱絲Spindle耐高溫陶瓷反應(yīng)室基座反應(yīng)室頂蓋Alkyl/III族Hydride/V族CenterpurgeHydrideAlkyl蓋子內(nèi)部結(jié)構(gòu)Robot（叉子）K465機(jī)臺(tái)是用叉子來實(shí)現(xiàn)反應(yīng)室-手套箱反應(yīng)室-loadlock第一天1.把MOCVD設(shè)備部件搬入車間2.確定設(shè)備放置位置3.把Loadlock和GV的框架相連第二天1.安裝Hub，調(diào)節(jié)Hub的高度與GloveBox的高度一致，利用水平儀校準(zhǔn)2.把Hub與GloveBox對接，對接后用水平儀校準(zhǔn)，保證Hub水平，用卡子把兩邊，在檢漏口連接檢漏儀，對Hub進(jìn)行檢漏3.裝上兩個(gè)EbaraPump，用波紋管把出氣、進(jìn)氣管道相連（O-ring和卡套），調(diào)節(jié)高度4.連接Ebara泵的電源線、干泵的電源線及Ebara的冷卻水管道（下進(jìn)水黑色，上出水紅色）5.把反應(yīng)室與Loadlock對接，用卡子固定，檢漏6.連接chiller的冷卻水管道7.安裝MO源恒溫槽，連接每臺(tái)的冷卻水8.安裝電腦PLC

chillerbathGrowthdataRT主機(jī)第三天1.調(diào)試新叉車2.用叉車吧反應(yīng)室頂蓋拆下3.拆開隔熱板包裝，安裝Inner加熱絲，安放陶瓷絕緣支柱4.把隔熱板放入反應(yīng)室，然后安放加熱絲支架，安裝陶瓷絕緣塊5.在反應(yīng)室上部的Alk五路管路上纏繞加熱線6.安裝反應(yīng)室底部的Heaterbasecoil#1和#2冷卻水管道用黑色的O-ring密封7.安裝反應(yīng)室底部電極冷卻水管道接口8.拆開Hub頂蓋9.通電，檢查電路10.定位叉子位置（從Loadlock到Glovebox和從Loadlock到Hub）第四天1.把Ebarapump的冷卻水管接好，尾氣管道聯(lián)結(jié)至排風(fēng)口，給泵通電，同時(shí)把N2隔離氣流量調(diào)至最小2.開泵，同時(shí)打開設(shè)備主控機(jī)器，把rebotfock歸位，然后通過操作軟件把插板閥門打開3.定位Robotfock在反應(yīng)室的位置，然后按各個(gè)位置的高位地位檢查了一遍，確認(rèn)fock的運(yùn)行準(zhǔn)確無誤。4.測量inner，middle和outer加熱絲的電阻，確認(rèn)阻值在0.5歐姆左右，測量inner，middle和outer的電極對地電阻，確認(rèn)各個(gè)電極沒有短路5.首先安裝outer的6根電纜線6.連接電極冷卻水管路，連接basecoil#1和#2的冷卻水管路，連接paro冷卻水管路等7.連接inner和middle的電纜8，連接各水路的進(jìn)出口快速接頭到總路接口上，并確認(rèn)無誤。1.通冷卻循環(huán)水，檢查各水路是否有漏。此時(shí)發(fā)現(xiàn)outer電極冷卻水管接口處漏水，拆下重裝，再檢查，無漏。2.繼續(xù)纏繞反應(yīng)室上蓋ALK加熱線3.發(fā)現(xiàn)outer加熱絲的電源線已作更改，變?yōu)樽筘?fù)右正，拆下重裝。4.裝反應(yīng)室后的尾氣管道與過濾器連接的Y管.(注意水平)

5.調(diào)節(jié)MO源恒溫槽冷卻水的流量.

6.將纏好加熱帶的反應(yīng)室蓋蓋上并檢漏及檢漏Y管.

第五天第六天1.檢漏反應(yīng)室，關(guān)閉蝶閥后，可以抽到5e-10，大噴之后，掉至5e-9，下午重新抽低壓，關(guān)閉蝶閥，保持在2.2e-9Pam3/s，微漏檢查無漏，大噴，5分鐘后升至4.5e-9

2.給水浴槽通電，設(shè)置溫度，檢查是否能正常工作3.給heatexchanger加水，通電，再加滿水，檢查是否工作正常，是否漏水，是否水管溫度上升，水是否流動(dòng)4.設(shè)置水浴槽的泵速，通訊地址，接口模式等，其中泵速設(shè)置為4，接口模式選擇為485，通訊地址按順序設(shè)置TMAl=1，TEGa=2，TMGa#1=3，TMGa#2=3，Cp2Mg=4，TMIn#2=5，TMIn#1=6，并進(jìn)入電腦系統(tǒng)文件進(jìn)行更改6.連接馬達(dá)數(shù)據(jù)線，電源線，測試馬達(dá)工作生否正常7.檢查所有氣動(dòng)閥是否能正常工作第七天1.安裝mainhydride的N2、H2和NH3的MFC

2.安裝各有機(jī)源的管腳，并針對outline纏繞加熱線3.對反應(yīng)室之前的所有管路進(jìn)行檢漏，分三個(gè)部分：a,檢漏口24，對SiH4