ESD知識(shí)介紹課件

目錄ESD知識(shí)介紹ESD知識(shí)介紹1.認(rèn)識(shí)靜電2.靜電的危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電的防護(hù)及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄ESD知識(shí)介紹認(rèn)識(shí)靜電---靜電現(xiàn)象顯示屏吸塵開門觸電“火星四濺”閃電日常生活中有哪些靜電現(xiàn)象？靜電無處不在ESD=ElectrostaticDischargeESD是20世紀(jì)中期以來形成的以研究靜電的產(chǎn)生、危害及靜電防護(hù)等的學(xué)科。

ESD知識(shí)介紹認(rèn)識(shí)靜電---對(duì)靜電的感知人體能夠感覺到靜電時(shí)一般電壓超過2000V。靜電不易感知的原因：電量小，放電時(shí)間短See5000VHear4500VTouch3000VComponentDamage5-50VESD知識(shí)介紹靜電(Electrostatic)就是物質(zhì)表面電子不均衡分布引起的一種電荷，通常是由兩種物體先接觸后再分離而產(chǎn)生的。認(rèn)識(shí)靜電---靜電概念ESD知識(shí)介紹摩擦起電電荷傳導(dǎo)真空離子轟擊感應(yīng)帶電認(rèn)識(shí)靜電---靜電產(chǎn)生的途徑ESD知識(shí)介紹認(rèn)識(shí)靜電---摩擦起電ESD知識(shí)介紹分離速度42表面的均勻度3接觸壓力、磨力1接觸的程度認(rèn)識(shí)靜電---決定摩擦電壓的因素材料不同摩擦電壓明顯不同。環(huán)境溫度濕度對(duì)摩擦電壓也有顯著影響.ESD知識(shí)介紹4清潔動(dòng)作1人體走動(dòng)2取放物品3設(shè)備的運(yùn)動(dòng)認(rèn)識(shí)靜電---摩擦起電(常見例子)ESD知識(shí)介紹認(rèn)識(shí)靜電---傳導(dǎo)帶電一個(gè)不帶電的物體接觸帶電的物體會(huì)通過傳導(dǎo)帶上相同的電荷(電荷分享)ESD知識(shí)介紹認(rèn)識(shí)靜電---感應(yīng)帶電++++++++接近靜電傳遞+++接地++++++++++離開帶電體產(chǎn)生電場，電場中的導(dǎo)體因電荷轉(zhuǎn)移而帶電ESD知識(shí)介紹認(rèn)識(shí)靜電---真空離子轟擊真空濺射;真空預(yù)清洗等類似工藝常見氬離子(Ar+)轟擊ESD知識(shí)介紹項(xiàng)目靜電直流/交流電現(xiàn)象瞬時(shí)高電壓/大電流,小電量持續(xù)電荷/電壓,大電量放電時(shí)間瞬間放電（皮秒~納秒）可持續(xù)放電能量通常情況下能量很小能量更大人體感覺不易感覺，通常情況下

幾千伏以上才能感覺36V以上的電壓即

可對(duì)人體構(gòu)成危害認(rèn)識(shí)靜電---靜電和直流/交流電區(qū)別1.認(rèn)識(shí)靜電2.靜電危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電的防護(hù)及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄ESD知識(shí)介紹靜電危害---對(duì)微電子工業(yè)造成的損失其他30~50%EOS/ESD歐洲調(diào)查數(shù)據(jù)8~33%ESDalone其他美國ESD協(xié)會(huì)調(diào)查數(shù)據(jù)60~75%EOS/ESD其他日本調(diào)查數(shù)據(jù)EOS:ElectricalOverStress,過電應(yīng)力,ESD是過電應(yīng)力的一種形式.是指元器件承受的電流或電壓應(yīng)力超過其允許的最大范圍靜電在多個(gè)領(lǐng)域造成嚴(yán)重危害。石油化工,航空航天,微電子工業(yè),

印刷,紡織等.ESD知識(shí)介紹靜電危害---對(duì)電子器件IC的破壞即使是相當(dāng)小的靜電放電也可能損壞電子器件ESDdamageFieldfailureHBMsimulationfailureBipolarIC典型癥狀:融化或者擊穿ESD知識(shí)介紹靜電危害---硬盤磁頭破壞Class0levelESD極度敏感元件:硬盤讀寫磁頭,5V靜電放電就可以徹底摧毀它.典型癥狀:短路或者電介質(zhì)擊穿ESD知識(shí)介紹1加速產(chǎn)品老化2改變產(chǎn)品性能參數(shù)3損害產(chǎn)品核心部位靜電危害---ESD破壞分類硬性失效(harddamage)和潛在性失效(latentdamage)是靜電危害中最重要的兩種現(xiàn)象;硬性失效容易判斷檢測;潛在性失效難以判斷,部分流入下一工序/成品/消費(fèi)者手上.ESD知識(shí)介紹1.認(rèn)識(shí)靜電2.靜電的危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電的防護(hù)及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄ESD知識(shí)介紹服裝軟包裝及操作工序地板工作表面芯片載體靜電源生產(chǎn)過程中的靜電來源ESD知識(shí)介紹1.認(rèn)識(shí)靜電2.靜電的危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電防護(hù)及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄ESD知識(shí)介紹靜電的防護(hù)中和靜電屏蔽ESD監(jiān)測

儀器儀表接地

溫濕度材料選擇建立管理體系培訓(xùn)及宣傳靜電防護(hù)工作是一項(xiàng)長期的系統(tǒng)工程,任何環(huán)節(jié)的失誤或疏漏,都將導(dǎo)致靜電防護(hù)工作的失敗,甚至災(zāi)難性的后果.ESD知識(shí)介紹靜電防護(hù)---ESD工作站ESD知識(shí)介紹將靜電/噪聲電流通過接地線或接地裝置傳導(dǎo)泄放到大地,維持工作站等電位要求.基本原理靜電防護(hù)---接地做法：建立機(jī)器設(shè)備接地系統(tǒng)使用靜電導(dǎo)電或靜電耗散材料并接入ESD接地系統(tǒng)人體佩戴手腕帶，并接入ESD接地系統(tǒng)人體穿防靜電衣服及靜電鞋防靜電地板(如果必要)ESD知識(shí)介紹基本原理靜電防護(hù)---中和（離子化）利用尖端放電或者射線,在空氣產(chǎn)生正負(fù)離子，中和靜電。使用對(duì)象絕緣體或不易接地的金屬導(dǎo)體做法：離子風(fēng)機(jī)、離子風(fēng)槍、離子棒ESD知識(shí)介紹靜電防護(hù)---濕度控制基本原理：增加濕度減少靜電的產(chǎn)生,降低摩擦電壓,減少靜電累積.做法：控制濕度在40～65%(結(jié)合實(shí)際狀況)關(guān)注有無對(duì)產(chǎn)品/機(jī)器設(shè)備/夾具的腐蝕ESD知識(shí)介紹靜電防護(hù)---工業(yè)安全防止意外漏電等情況：安全電流：10mA限流電阻：1MΩ漏電斷電保護(hù)器其他安全考慮：出現(xiàn)危險(xiǎn)時(shí)容易脫開無腐蝕，無刺激等ESD知識(shí)介紹ESDS器件警示標(biāo)志ESDS保護(hù)標(biāo)志

共同接地點(diǎn)標(biāo)志靜電防護(hù)---ESD標(biāo)志和標(biāo)注ESD知識(shí)介紹接地點(diǎn)標(biāo)志（一般用于設(shè)備）可能含高電壓的EPA標(biāo)志

防靜電區(qū)（EPA）標(biāo)志

靜電防護(hù)---ESD標(biāo)志和標(biāo)注ESD知識(shí)介紹可回收使用標(biāo)志，常用于包裝上早期的靜電敏感器件標(biāo)志，現(xiàn)在還有少數(shù)產(chǎn)品在用警示標(biāo)帶，可用于多種區(qū)域靜電防護(hù)---ESD標(biāo)志和標(biāo)注ESD知識(shí)介紹培訓(xùn)大綱與人員培訓(xùn)防靜電工藝和設(shè)計(jì)文件規(guī)章制度和操作規(guī)程靜電防護(hù)---培訓(xùn)及宣傳ESD知識(shí)介紹建立管理體系(文件)/(小組)/(支持)定期審核和檢查(內(nèi)部的)/(客戶的)/(第三方的)ESD標(biāo)準(zhǔn)更新(來自客戶的要求)/(來自產(chǎn)品的要求)(行業(yè)的要求)靜電防護(hù)---管理體系ESD知識(shí)介紹靜電檢測---ESD測量項(xiàng)目人體接地狀況;地板檢測及其性能監(jiān)測;工廠整體接地方案監(jiān)測;機(jī)器接地狀況;關(guān)鍵工序噪聲電壓/電流監(jiān)測;非金屬材料檢測及其性能監(jiān)測;產(chǎn)品包裝材料檢測;離子風(fēng)機(jī)評(píng)估及其定期監(jiān)測;溫度濕度監(jiān)測.ESD知識(shí)介紹1.認(rèn)識(shí)靜電2.靜電的危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電防護(hù)及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄ESD知識(shí)介紹手腕帶*所有與靜電釋放敏感產(chǎn)品和設(shè)施有直接接觸的人員在加工中或在成品處理中必須佩戴腕帶；*作業(yè)員在每班開始前必須用腕帶測試儀檢查其連續(xù)使用性,并在ESD日檢表上作記錄。發(fā)現(xiàn)有不合格的須立即進(jìn)行更換，直到檢測合格為止。ESD知識(shí)介紹防靜電服屏蔽作用:防止衣物產(chǎn)生的靜電場通過與身體的接觸，將靜電通過人體－手腕帶－防靜電鞋泄放到大地防靜電服的技術(shù)要求：布片之間相互導(dǎo)通與人體有效接觸覆蓋內(nèi)部衣物ESD知識(shí)介紹防靜電鞋每天在人體綜合阻值測量儀上檢測穿戴后能否達(dá)到要求洗滌后，或被酒精丙酮等溶劑浸漬后檢測電阻值是否符合要求腳束帶、防靜電鞋套佩戴時(shí)導(dǎo)電帶一定要通過緊貼皮膚與人體連接ESD知識(shí)介紹離子風(fēng)機(jī)

離子風(fēng)機(jī)是通過離子化空氣,產(chǎn)生正、負(fù)離子，中和物體表面的靜電，從而達(dá)到防止并消除靜電危害。分類:直流式和交流式,以及射線等幾種.ESD知識(shí)介紹防靜電臺(tái)墊耗散層表面電阻為106~109Ω/sq，導(dǎo)電層表面電阻為103~105Ω/sq衰減時(shí)間為小于0.1秒防靜電臺(tái)墊是用來降低/隔離普通桌面對(duì)產(chǎn)品ESD影響;使用時(shí)必須正確可靠接地。ESD知識(shí)介紹防靜電包裝袋屏蔽袋、防潮袋－－最安全的包裝袋導(dǎo)電袋，一般為永久性防靜電材料暫時(shí)性防靜電材料制成的包裝袋，需要定期評(píng)估注意：防靜電包裝袋應(yīng)標(biāo)注防靜電標(biāo)志，以示區(qū)別！ESD知識(shí)介紹防靜電產(chǎn)品---靜電椅

系統(tǒng)電阻：106～108ΩESD知識(shí)介紹ESDA(ESDAssociation）美國防靜電協(xié)會(huì),是全球最權(quán)威的ESD標(biāo)準(zhǔn)制定組織之一.成立于1982年.附錄:ESD重要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)及組織主要指導(dǎo)性標(biāo)準(zhǔn):ANSI/ESDS20.20靜電防護(hù)體系標(biāo)準(zhǔn)ESDADV2.0ESD手冊(cè)IEC(TheInternationalElectrotechnicalCommission)