北京凱碩恒盛科技有限公司減薄機HRG說明書

[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-序言⊙警告位置零件警告說明A主軸，皮帶，電機旋轉(zhuǎn)BOscillationMotor旋轉(zhuǎn)，移動C工作砂輪旋轉(zhuǎn)D修整砂輪旋轉(zhuǎn)，移動E修整輪的電機旋轉(zhuǎn)，移動F工作臺旋轉(zhuǎn)，移動G工作軸電機旋轉(zhuǎn)，移動H進給工作軸電機旋轉(zhuǎn)，移動K控制面板電氣危險LNFB，效用提高電氣危險M電氣柜電氣危險⊙一般注釋你必須定期的執(zhí)行這個過程以保持設(shè)備的狀態(tài)良好.但有些工作包含非常危險的部分.所以你必須小心、集中精力去做這項工作.最重要的是“保證安全及事故預(yù)防”你必須仔細閱讀并認真遵守這個章節(jié)里面的內(nèi)容.⊙關(guān)于設(shè)備的運輸至于有關(guān)設(shè)備的裝載和卸載，說明書中的運輸部分已經(jīng)給出說明，一定要按照其中的操作規(guī)程去做.包裝上面的說明和符號一定要接受.警告:設(shè)備舉起后，不要在下面行走和停留；設(shè)備不要舉過頭頂⊙關(guān)于進入操作和操作過程中的注意事項在連接設(shè)備的電氣線路之前，必需檢查目前的主電源電壓是否和輸入的電壓一致.主電源線路不是單獨裝有保險絲的，所以要提供一個合適的保險盒.連接主要的電纜后檢查旋轉(zhuǎn)方向是否正確（電力上的）.反復(fù)緊固設(shè)備上的電氣終端元件.開始工作前,必需檢查工作砂輪是否已經(jīng)用螺絲緊固.當(dāng)所有的安全裝置裝好后，例如安全門、蓋子及機殼等才能啟動設(shè)備.當(dāng)從鋒利的工作砂輪上裝卸工作零件時要格外小心.關(guān)于設(shè)備的維護保養(yǎng)操作說明書中已經(jīng)說明了設(shè)備檢查、維護和保養(yǎng)期間的注意事項，要嚴(yán)格遵守.要有兩個或以上人員從事維護保養(yǎng)工作，工作的各方面都要正確的裝卸.電氣系統(tǒng)部分在進行所有檢查、維護和保養(yǎng)之前，一定要將設(shè)備的主開關(guān)置于“OFF”位置.當(dāng)管路系統(tǒng)或裝置工作時，保證恰當(dāng)?shù)牟考ㄩy，閥門）保持關(guān)閉.壓縮空氣管路的壓力應(yīng)該是安全的.冷卻水管路里面應(yīng)該是空的.不要修復(fù)破損的管路，應(yīng)該及時更換新的.當(dāng)出現(xiàn)多孔或裂縫時，立即更換軟管.為防止有螺絲的接頭漏泄，應(yīng)在沒有壓力下擰緊.設(shè)備和輔助設(shè)備之間的彈性軟管不能扭結(jié)，避免受到損害.工作時使用正確合適的工具.立即更換有故障的零件,任何不得不拆卸的部分必須相應(yīng)的標(biāo)明記號.當(dāng)移動蓋子，鉸鏈蓋，電氣封閉塞時,在任何封閉現(xiàn)場標(biāo)明記號.重新裝配前清潔密封面.作為一個基本原理，緊固件應(yīng)該時常更新，主要是指螺絲、螺母、彈簧墊圈、普通墊圈等.有螺紋的接口裝配時應(yīng)使用適當(dāng)?shù)臐櫥瑒┗蛎芊鈩?潤滑之前徹底地清潔內(nèi)接頭.當(dāng)更換油或油脂時，應(yīng)確保所用的油脂是廠商指定或推薦使用的.警告:處理清潔原料和溶劑、黏結(jié)劑、潤滑劑時,必須遵守事故預(yù)防有關(guān)條例進行處理，以防事故和火災(zāi)的發(fā)生.由于嚴(yán)格禁止雜物或碎屑落下，所以設(shè)備經(jīng)常清潔.清洗時不要把噴射水對準(zhǔn)曲經(jīng)密封面（防止磨削碎屑進入主軸部分）.保證設(shè)備周圍地面的清潔和干凈.當(dāng)移除潤滑劑清潔劑和溶劑或油之類等廢棄物時，必需遵守環(huán)境保護相關(guān)的規(guī)章制度.當(dāng)進行電氣方面的操作時，主電源的開關(guān)要關(guān)閉并鎖緊，并在醒目的位置標(biāo)明危險字樣.關(guān)閉電氣部分的主開關(guān)后，在進行下一步工作前，先檢查各元件（包括損壞的和能正常工作的）的上面是否存在電壓.在沒有電的情況下才允許把插頭拔出來.連接設(shè)備的電纜不要拉的太緊，不要用拉電纜的方法把插頭從插座中拔出來.額外的電氣裝置或系統(tǒng)只能用插座連接，不能在電氣柜里面接.Afteruse,refitclosurecapstosocketstopreventingressofdirtandmoisture..不要把廢舊電池扔火里：有爆炸的危險.只能使用同一型號的電池，當(dāng)丟棄廢舊電池時,遵守環(huán)境保護的相關(guān)規(guī)定.多余的在塑料容器里低溫干燥保存，不能在包裝里面保存超過6個月.⊙維護保養(yǎng)完成后注意事項當(dāng)完成維護保養(yǎng)后，請按照下面的操作進行：正確安裝所有的擋板.檢查設(shè)備、電氣系統(tǒng)和附屬的裝置和系統(tǒng)以確保正常功能.其余細節(jié)會在操作說明書中適當(dāng)?shù)恼鹿?jié)做說明，小的冊子是關(guān)于連接設(shè)備的附屬裝置或系統(tǒng)的說明書.緒論導(dǎo)言HRG-150HRG-150臥式旋轉(zhuǎn)研磨機有如下幾個特征：安全,整潔、高效率研磨及人性化的操作面板.有很高的精度（平面度：1?，厚度：±2?）操作簡單易學(xué)，即使初次使用的也能很好的掌握.THEIN-PROCESS修整系統(tǒng)讓你實現(xiàn)更高的性能.HRG-150提醒!!請在仔細閱讀本手冊后再啟動運行設(shè)備.除指定的人員外其余人員不得操作設(shè)備.否則會出現(xiàn)報警信息或造成設(shè)備的損壞.如果您遇到任何問題，請立即給我們打電話：+82-31-319-1906，或發(fā)郵件：amt@amtechnology.co.kr感謝您使用我們的設(shè)備.第一章．控制面板(Ⅰ)[HRG-150][AM[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-Ⅰ)啟動設(shè)備前的預(yù)防措施??！啟動設(shè)備前，請按照下面的提示認真檢查.0.5[MPa]？--我們經(jīng)常設(shè)定壓縮空氣壓力為0.5～0.6[MPa](5～6kg/)(2)連接設(shè)備的軟管是否緊固？（）(3)?NoFunction..65%500rpm位置顯示：當(dāng)工作軸置于回復(fù)位置時/關(guān)/關(guān)：?+⑩→.B/W:?菜單模式+此按鈕→修整砂輪會移向工作軸直到按F/W按鈕或傳感器（附在汽缸上面的）已經(jīng)探測到.（修整砂輪的位置傳感器探測到修整砂輪的反向移動）F/W:?→B/W鈕//S/W/關(guān)S/W:.進給速度高低選擇器S/W:[手動]模式選?+按下[F5]按鈕+ or →工作主以此速度移.JOG(+)按鈕：[手動]?+[F5]+→工作軸移向砂輪軸.JOG(-)]?+[F5]→.壓力[START]]模式選擇?Doorsensor（門已經(jīng)關(guān)閉你可以用這個按鈕打開工作壓力.[STOP]..復(fù)位按鈕：[手動]模式選擇?+按JOG(+)(-)按鈕 or +這個按鈕→當(dāng)前工軸位置數(shù)據(jù)變?yōu)樗俣葦?shù)據(jù)并且移動到起始位.如果已經(jīng)選擇[修整模式]在?,那么當(dāng)前位置的數(shù)據(jù)不會在RAPIDPOSITION中保存下來.緊急按鈕S/W.向右轉(zhuǎn)動開關(guān)就可以使它復(fù)位，工作軸也會回到原始位置. R.P.M..(Thesetdatahavefunction)第二章.數(shù)據(jù)的設(shè)定2-1.操作面板(Ⅱ)2-2.菜單模式的說明2-3.詳述各個模式的作用2-4.減薄研磨的操作步驟2-1.(Ⅱ)啟動設(shè)備前的預(yù)防措施!!啟動設(shè)備前，請按下面的提示認真檢查.(1)干燥空氣壓力是否大于0.5[MPa]？--我們經(jīng)常設(shè)定空氣壓力為0.5～0.6[MPa](5～6kg/?)(2)管路的連接是否緊固(冷卻水、空氣)電氣方面的供給是否符合要求？按下啟動按鈕.注意！在設(shè)備關(guān)閉后不要立即啟動設(shè)備.請稍候十幾秒鐘.REVISIONL,.下面內(nèi)容只能顯示3秒鐘.AMTECHNOLOGYLTD.MODELNO:HRG-150AMTECHNOLOGYLTD.MODELNO:HRG-150ELECTRICSOURCE:220V3PHASE30AS/N:01A102EPROGRAMBYAMTECHNOLOGYLTDREV7.1[HRG-150][AM[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-2-2..AMAMTECHNOLOGYLTD.GRINDM/CNO=01POS=000.000MMWORKDATADRESSMODESETHOMEADDWORKJOGMODEESCAUTO這是初始菜單的顯示屏幕.NO.:屏幕上顯示晶片的順序號：NO.1 NO.2 NO.3當(dāng)自動運行步驟啟動后，這個數(shù)字加1.DuringAddWorkModeprocess,thefigurewillnotincreased.自動修整后，這個數(shù)字自動回復(fù)為"1".2-2-1.POS=000.0000MM顯示當(dāng)前位置的坐標(biāo).因此，當(dāng)設(shè)備由關(guān)→開時，你最好按F3設(shè)定HOME.2-2-2.工作數(shù)據(jù)若你按F1，你可以修改工作數(shù)據(jù).操作者可進行存儲切削量，切削進給速度，磨削拋光時間和刀具校正的輸入.這些數(shù)據(jù)會一直保存在存儲器中.2-2-3.修整模式若你按F2，允許你設(shè)定修整步驟的有關(guān)參數(shù)。你可以修改切削量(DWP)，切削進給速度(DWV)和快速移動的位置(DRP).這些數(shù)據(jù)也被保存在存儲器中.2-2-4.SETHOME當(dāng)你按F3，工作臺會移動到自動尋找的中心位置，中心位置的發(fā)光二極管點亮。不管你何時啟動設(shè)備或設(shè)備出現(xiàn)錯誤，在啟動設(shè)備前都要把工作臺恢復(fù)原位.注意：復(fù)位之前不要開動設(shè)備.否則會發(fā)生事故.2-2-5.ADDWORKMODE在AUTORUNMODEADDWORKMODE.在ADDWORKMODE中，rapidposition就是AUTOUNMODE中的最終.在這種情況下，你可以用ADDWORKMODE工作.2-2-6.JOGMODEJOGMODEF5鍵，.用這個可以在砂輪和工件間找到接觸點.找到接觸點后，按下[HOME]按鈕.這時，如果你選擇[MANUAL考點（rapidmovementposition）[AUTOMODE]或SMODE]，那么工作軸就會在沒有保存相對于參考點的位置而移動到零位置。2-2-7.AUTORUNMODEF6，允許你自動反復(fù)的運行設(shè)備。[MANUAL/AUTO/DRESS]選擇開關(guān)上選擇[AUTO[DRESSDRPP)時，工作軸稍后3秒鐘做磨削拋光時間，然后工作軸回到中心位置，汽缸也到 達最 原 始 的 位 置 。 我 們把 這一 步 驟稱為SEMI-AUTODRESSINGPROCESS。[AUTOMODE],，當(dāng)你按下開始按鈕后，那么平常的工作步驟就會進行.2-3.各個模式的作用2-3-1.WORKDATA當(dāng)你按下F1時，你能看到下面的顯示畫面。AMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CWORKPOSITIONMOVEDATACHANGE你可以輸入存儲切削量，移動速度，磨削時間和TC（刀具校正）。AMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CWORKPOSITIONMOVEDATACHANGEPOS1=0.300VEL1=1SK1=30RP1=49.290POS2=0.300VEL2=1SK2=30RP2=49.290POS1,VEL1,SK1,RP1POS2是存儲的新的存儲磨削量。單位是[mm].例如，若你想要300?的磨削量，你只要輸入0.3按[ENTER]即可。如果你只是按[ENTER]而沒有改變數(shù)值，那么就會顯示以前的數(shù)值，光標(biāo)也會移動到VEL2位置。現(xiàn)在光標(biāo)停留在VEL2位置。VEL2允許你設(shè)定進給速度，單位是[?/sec]。例如，如果你想要1?/sec，只要輸入1然后按下[ENTER]即可。如果你只是按[ENTER]而沒有改變數(shù)值，那么就會顯示以前的數(shù)值光標(biāo)也會移動到SK2位置?，F(xiàn)在光標(biāo)停留在SK2位置SK2表示SPARK-OUTTIME.你可以在[SECOND]部分設(shè)定數(shù)值。例如，你想輸入30，這表示SPARK-OUT是30秒。如果你只是按[ENTER]而沒有改變數(shù)值，那么就會顯示以前的數(shù)值并且光標(biāo)也會移動到PR2位置。[HRG-150][AM[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-RP2位置。RP2允許你設(shè)定參考點（接觸點）單位是[ /sec]這個數(shù)據(jù)會被自動保存下來。首先，選擇[MANUALMODE].按[F5]功能鍵選擇[JOGMODE]。用[JOGHIGH/LOWSPEED],[JOG+],[JOG-]按鈕移動工作軸。當(dāng)你找到參考點后，按下[HOME]按鈕。RP2如果這時你選擇[AUTOMODE]或[DRESSMODE]，那么工作軸移動到‘0’位置而不會保存這個當(dāng)前位置在RP2中。如果你只是按[ENTER]而沒有改變數(shù)值，那么以前的數(shù)值就會顯示顯示屏幕也會變?yōu)樽畛醯娘@示屏幕。請謹慎的輸入新的數(shù)據(jù)再次檢查Ifyoudomis-inputdata,[ENTER]MENUScreen選擇F1WORKDATA然后再次編輯數(shù)據(jù)。輸入錯誤數(shù)據(jù)如果在DRESSMODE(DRP+DWP)中的最終位置比在AUTORUNMODE中的大，則顯示信息“WRONGDATAINPUT”，當(dāng)你選擇F6[AUTORUNMODE]時。DRP+DWP>POS+RP => "WRONGDATAINPUT"->當(dāng)這個信息顯示時，你不能進行操作步驟。改變DRP然后開始工作步驟。DRP+DWP>40mm => "CHECKDRESSSTONE"->當(dāng)這個信息顯示時，你不能進行操作步驟。更換心的修整砂輪并找到修整砂輪的參考位置(DRP).當(dāng)工作砂輪是新的的時候決定設(shè)定的數(shù)據(jù)，修整用的磨石剩余2mm。[HRG-150][AM[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-2-3-2.修整模式AMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CDRESSAXISMOVINGDATASETTINGMODEAMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CDRESSAXISMOVINGDATASETTINGMODEWP=0.200WV=5DRP=25.036TC=10CNT=02EN=1WP=0.200WV=5DRP=25.036TC=10CNT=02EN=1F2.WP,WV,DRP是關(guān)于修整方面的參數(shù)。輸入數(shù)據(jù)的方法和WORKDATA中提到的相同。WP表示修整砂輪的存儲磨削量單位是[mm].WV表示修整輪到達DRP位置直到工作軸到達修整的最終位置(WP+DRP)的進給速度。單位是[um/sec]DRP 表示位于前進位置的修整砂輪軸下的修整用砂輪磨石的theRapidapproachingposition單位是[mm].你可以象這樣找到這個DRP位置.看右邊的圖片。選擇ManualMode.按[F5][JOG。按F/W按鈕用來移動修整輪的軸向前面方向移動。用JOG(+),JOG(-)在[A].JOGMODEPOS=006.260MM記下currentpositionJOGMODEPOS=006.260MM[AutoMode][DressMode].按[HOME][AutoMode][DresscurrentpositionRP1[F1]中。按[F2]功能鍵并輸入上面的位置數(shù)據(jù)到DRP請認真仔細的檢查數(shù)值!!如果你有兩個這樣的數(shù)值,JOGMODE再次確認證實一下。TCRP1(Rapidapproachingpositionforwafer;見2-3-1)llbeaddedwiththisdistance.10um.單位是[um]CNT:Whenthecountofwaferreachedtothisparameter,thenafteryoupushedSTARTbuttoninthenextAutoRunMode,theAutoDressingprocesswillbestartedautomatically.Thisparameterwillbecountintheprogram,andwillnotcountinAddWorkMode.Maximumis99.ENCNT功能。CNT例如，"2","3","4"...,那么不使用CNT功能。2-3-3.SETHOME任何時候你啟動設(shè)備或遇到錯誤的情況下，按F3鍵再次設(shè)定MECHANICALHOMEPOSITION。F3HOMEPOSITION.Afterthat,thescreenwillbechangedwithMENUSCREEN.[HOMELED]點亮。AMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CRETURNTOHOMEPOSITIONAMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CRETURNTOHOMEPOSITIONPOS=000.000MMPLEASEWAIT2-3-4.JOGMODEJOGMODE用來手動研磨工件或者是尋找砂輪表面和工件表面的接觸點。JOGMODEPOS=000.000MMF5JOGSPEEDSELECTORJOGMODEPOS=000.000MM如果你想要找到工作輪和工件之間的接觸點：ManualMode和高的JogSpeed.JOG(+)andJOG(-)0.5mm。選擇LOWSPEED.再次移動工作臺到砂輪頭直到工作砂輪和工件有接觸。旋轉(zhuǎn)砂輪頭檢查接觸點。[HOME]按鈕。RAPIDmovementposition.程序里面。（你不能對它做修改）。工作軸回到‘0’位置。YoucancheckthissavedcontactpositionafterthescreenchangedtoMenuScreenandselectedAUTOMODEandpressedF6forAutoRunMode.(forexample,RP=54.230)如果你不想在上面第6步保存當(dāng)前位置在RAPIDmovementposition中，選擇[Auto]或[Dress]MODE然后按[HOME]前位置在程序中。[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-2-3-5.ADDWORKMODEAUTORUNMODEandADDWORKarerapidposition度。因此，如果你用ADDWORKMODE，你可以節(jié)省時間.[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-選擇ADDWORKMODEF4.那么在[W/D]輸入數(shù)據(jù)，單位為[mm]。輸入[W/D]數(shù)據(jù)后按[ENTER]，則屏幕顯示如下。檢查therapidposition[RP],finalposition[FP],Dressrapidposition[DP].其余要做的和AUTORUNWORK請查閱2-3-6。2-3-6.自動退出當(dāng)你按F6鍵時，屏幕顯示如下。AUTOAUTORUNWORKMODEPRESSSTARTKEYNO=01POS=+000.000MMFP=10.100RP=10.000WP=0.100DP=6.030例如上面顯示的屏幕遵照下面的輸入方法輸入數(shù)據(jù)。工作數(shù)據(jù) POS=0.1,VEL=1,SK=30,RP1=10.000修整模式下的數(shù)據(jù) WP=0.200,WV=3,DRP=6.030,TC=10,CNT=2,EN=1FP表示finalposition,R/P+W/P.RP表示RAPIDAPPROACHPOSITION.WP表示W(wǎng)ORKDATAPOSITION，和STOCKREMOVAL相同。DPtherapidapproachingposition。[START]按鈕，你可以看到下面的屏幕顯示。AUTOAUTORUNWORKMODERAPID1STEPNO=01POS=+009.900MMFP=10.100RP=10.000WP=0.100DP=6.030屏幕顯示的是RAPIDAPPROACHoperation.AUTORUNWORKMODERAPID2STEPNO=01POS=+010.000MMFP=10.100RP=10.000WP=0.100DP=6.030工作臺僅向前移動10-0.1mm=9.9mmwithRAPIDSPEED.(ThisrapidspeedandAUTORUNWORKMODERAPID2STEPNO=01POS=+010.000MMFP=10.100RP=10.000WP=0.100DP=6.030下一個屏幕顯示9.900和10.000之間的速度近似值。這個接近速度在程序中也被確定下來。當(dāng)工作臺接近10.00，如上面顯示要暫停1秒鐘。AUTOAUTORUNWORKMODEWORKINGNO=01POS=+010.078MMFP=10.100RP=10.000WP=0.022DP=6.030這個屏幕顯示研磨步驟的百分比。當(dāng)我們輸入WORKDATAPOSITION0.1[mm]，設(shè)備以1[ /sec]的進給速度研磨工件0.1[mm]。AUTOAUTORUNWORKMODESPKOUT:30NO=01POS=+010.100MMFP=10.100RP=10.000WP=0.000DP=6.03030(assettimes)然后工作臺回到起始位置，顯示屏幕返回原始的菜單顯示。AMAMTECHNOLOGYLTD.GRINDM/CPOS=000.000MMWORKDATADRESSMODESETHOMEADDWORKJOGMODEESCAUTOAfteryouworking1moreAutoRun,thentheRun,theautodressingprocedurewillbedonebeforestartgrinding.2-4.減薄研磨的操作步驟上面的圖片顯示的是操作的面板。2-4-1.放置工件當(dāng)接觸到夾盤上的夾具后打開真空。然后檢查真空測量表是否到達60mm/Hg.如果達到60mm/Hg，[VACUUMLED]點亮。如果沒有，請檢查工件和夾盤之間是否存在雜質(zhì)，然后重試一次。2-4-2.設(shè)定原始位置按F3鍵，檢查[HOMELED]是否點亮?！鶾RESET][STOP][EMG]鈕。(見2-3-3中的描述)2-4-3.設(shè)定研磨的參考點（接觸點）模式。放置工件后把真空打開。按JOGMODE顯示屏幕。JOG(+),JOG(-)以高和低的速度移動工作軸直到工作砂輪和工件接觸。按[HOME]當(dāng)前位置會被自動保存在RAPIDPOSITION數(shù)據(jù)中[RP1](見2-3-4)這時，當(dāng)你找到接觸位置后如果你選擇[AutoMode]或[DressMode]，按下[HOME]按鈕，則當(dāng)前位置就不會被保存在程序中。2-4-4.設(shè)定工作數(shù)據(jù)選擇F1鍵，輸入工作數(shù)據(jù)變量。用數(shù)字鍵和回車鍵輸入POS2(STOCKREMOVALAMOUNT),VEL2(REMOVALSPEED),SK2(SPARK-OUTTIME)和RP2(REFERENCEPOSITION)。(見2-3-1中的描述)2-4-5.檢查修整模式數(shù)據(jù)請查閱2-3-2中描述的方法檢查這個模式中的數(shù)據(jù)。如果有錯誤的數(shù)據(jù)，和編輯工作數(shù)據(jù)的方法一樣編輯這些數(shù)據(jù)。2-4-6.EXECUTIONAUTORUNMODE選擇AUTO模式。按F6鍵。蓋上蓋子。檢查FP,RP,WPDP[START]按鈕。設(shè)備自動實現(xiàn)研磨操作。(見2-3-4中的描述)[HRG-150][AM[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-2-4-7.SEMI-AUTODRESSING適用94%氧化鋁薄片，首先我們需要修整。當(dāng)你找到修整用的砂輪磨石和工作砂輪之間的接觸點時[DRP]，關(guān)閉前蓋。修整軸是否已經(jīng)位于反轉(zhuǎn)位置？修整用的磨石是否有足夠的剩余用于修整？選擇[DressMode]按下[START]按鈕。則修整軸移動到前進位置然后再移動到DRP位置。修整工序后，工作軸回到‘0’位置，完成。2-4-8.AUTO-DRESSINGAfterSemi-dressingprocedure,workingthewaferwithAutoRunIfyousetthedataTC=10,CNT=2,EN=1ThenafterthisAutoRunprocedure,theNOintheInitialMenuscreenwillbe‘1’.ThendoAddWorkandmakethewaferthicknesswhatyouwantto.Afterthis1stwafer,loadingthenew2ndwafer.SelectAutoRunMode,andpress[START]buttontostartworking.Afterthis1stAutoRunprocedure,theNOintheInitialMenuscreenwillbe‘2’.ThendoAddWorkandmakethewaferthicknesswhatyouwantto.Afterthis2ndwafer,loadingthenew3rdwafer.SelectAutoRunMode,andpress[START]buttontostartworking.Atthismoment,afteryoupress[START]button,DressaxismovetoForwardpositiontostartauto-dressingprocessbecausetheCNT=2andEN=1.Atthismoment,iftheENisnotequaledto‘1’(2,3,4…),thentheauto-dressingprocessdoesn’toccurred.ThentheworkaxismovetotheDRPpositionanddodressingprocedure.Afterdressingprocess,thedressingaxisreturnedtoBackwardposition.AndtheworkaxismovetoRP2position.Atthismoment,theRP2positionwillbechangedto[RP2+TC]AfterthisAutoRunprocess,theNOintheInitialMenuscreenwillbe‘1’.[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-2-4-9.其余按鍵的功能.[RESET]按鈕：當(dāng)出現(xiàn)異常情況或錯誤的時候按下這個按鈕。一旦按下這個按鈕，工作輪的運動控制器和伺服傳動器也要重新設(shè)定。[STOP]按鈕 ：此鍵停止所有的電機工作。研磨工作中你按下這個按鈕，工作軸就回到’位置。[EMERGENCY]開關(guān)：此鍵停止所有的操作系統(tǒng)回復(fù)開關(guān)，向右旋轉(zhuǎn)開關(guān)，工作軸會回到‘0’位置。然后按下[RESET]按鈕?！绻惆聪耓STOP]按鈕或[EMG]開關(guān)，請再次按下[RESET]按鈕和[SETHOME]F3。如果你想按下START按鈕開始工作，必須真空傳感器已經(jīng)探測到（真空壓力超過60mmHg）門傳感器已經(jīng)探測到(門必須關(guān)閉)工作軸的力學(xué)內(nèi)部傳感器必須開啟。CHAPTER3. 維護保養(yǎng)3-1.細述工作臺的圖紙3-2.如何調(diào)整工作臺的角度3-3.更換砂輪3-4.改變每個部分的旋轉(zhuǎn)速度3-5.冷卻器3-6.OSCILLATEFUNCTION3-7.皮帶張力3-8.修整砂輪3-9.廢氣排放壓力3-10.油脂3-11.真空傳感器[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-3-1.細述工作臺的圖紙①(19mm)活扳手截面②⑤⑥?M12固定軸殼的扳手螺栓③④⑧⑩M6改變砂輪頭方向的M6固定螺絲⑦DialIndicator⑨M10hexagonal-boltforoscillation?M10固定砂輪的扳手螺母?工作軸?工作空間的照明?門傳感器[HRG-150][AM[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-3-2.如何調(diào)整工作臺的角度Untighten3piecesofboltswithM12wrench.Itmeansoneofboltsmustbetightened.Next,Thenturnthewheel-headtoproperanglebyused③④⑧⑩,M6setscrews.SeetheDialindicatorforreference. B CA殼A：A點比其它各點要高首先，松③④⑧⑩螺栓直到它和主軸底板沒有接觸為止。 D EMethod1Method2

→Fixedthebolt⑤,untighten②⑥?.→Screwinthesetscrewnumber③.→Fixedthebolt?,untighten②⑤⑥.→Screwinthesetscrewnumber③.殼B：A點比其它各點要低首先，松開③④⑧⑩固定螺絲直到它和底板沒有接觸為止。Method1Method2Method3

→Fixedthebolt⑤,untighten②⑥?.→Screwthesetscrewnumber⑧.→Fixedthebolt?,untighten②⑤⑥.→Screwthesetscrewnumber⑧.→Fixedthebolt②,untighten⑤⑥?.→Screwthesetscrewnumber④.※以這些說明作為參考。你可以用⑦檢查砂輪頭的改變，千分表。OK②⑤⑥?螺釘。※請確定檢查所有的干擾后小心的移動砂輪頭使砂輪末端和工作臺中心相一致。3-3.更換工作砂輪把?19mm①。逆時針旋轉(zhuǎn)扳手。那么你就可以把它拆卸下來。從軸上把砂輪取下來。更換砂輪并重新把它擰緊。用千分表檢查砂輪的徑向跳動。設(shè)定徑向跳動在0.02mm3-4.每個部分的旋轉(zhuǎn)速度你可以通過控制面板上的VR(VolumeResister)開關(guān)來改變修整砂輪的旋轉(zhuǎn)速度。修整砂輪※65%大概相當(dāng)于500rpm.V/R改變速度工作砂輪※主輪的旋轉(zhuǎn)速度(工作)由2速度確定.工作時，它是用參數(shù)No.9(大概2250rpm)來設(shè)定假如是修整時,它的旋轉(zhuǎn)速度的設(shè)定由參數(shù)No.8(大概1150rpm)決定.因此你可以從伺服放大器來改變旋轉(zhuǎn)速度。Pleaserefertotheattachedmanualfortheservoamp.工作軸※工作軸的旋轉(zhuǎn)速度確定為560RPM. 你可以從逆變器中改變旋轉(zhuǎn)速度.3-5.冷卻器右圖顯示的是冷卻器的控制面板如果你想改變冷卻液的溫度A打開電源(按④按鈕)按①)用②③來改變數(shù)據(jù)①。完成功能①設(shè)定]按鈕②向上的按鈕KOREANENGLISHSETUP③向下的按鈕DOWN④主電源開/關(guān)POWER3-6.振動功能※振動原理⑨M10六角螺母。Next,movethespinguidewhatyouwanttoandtightbolt⑨againsecurely.Weusuallyrecommendedthiseccentricityrateas0～2.5[mm].3-7.如何控制每條皮帶的張緊程度出廠時我們已經(jīng)使皮帶張緊。因此,如果不是需要,不要更改皮帶的松緊程度.3-7-1.工作軸(BELTSPEC.:7M630-POLYMAXBELT)首先，松開圖中顯示的4個螺釘。然后移動電機使皮帶張緊。重新把4個螺釘固定好。(BELTSPEC.:184MXL-9[mm]TIMINGBELT)首先松開圖中顯示的4個螺釘。然后移動電機使皮帶張緊。重新固定好4個螺釘。(BELTSPEC.:7M1750-POLYMAXBELT)首先，松開圖中的4個螺釘。然后移動電機使皮帶張緊。重新固定好4個螺釘。3-8.修整砂輪當(dāng)你購買了一個新的砂輪用于工作時，需要修整Forthetruingprocess,usethedressingwheelattachedwithjigwhichrecommendedbyworkingwheelsupplier3-8-1.精密修整Markingonthesurfaceofworkingwheel.選擇MANUALMODE(usetheMANU/AUTOselectorswitch)F5[JOGMODE]FindthetouchpointbyusedJogspeedHigh/LowandJog(+),Jog(-)button.按[HOME]按鈕F1來輸入工作數(shù)據(jù)。輸入數(shù)據(jù)。POS2=0.5mm,VEL2=3um/sec,SK2=3sec選擇AUTO模式按下F6[START]按鈕。這一步驟完成后，checkthemarkingontheworkingwheel.Ifthepenmarkhaserased,truingiscompleted,elsetrytruingagain.Thetruinganddressingprocessisverysimilar,buttheTruingprocessneedjustonetimeifthewheelisanewone.3-8-2.修整砂輪有3個途徑用來修整工作砂輪。Ⅰ.UsethedressingwheelattachedtotheJig.ThiswayissamewithtruingprocedureexceptPOS2=0.2mm.選擇MANUALMODE(usetheMANU/AUTOselectorswitch)按F5[JOGMODE]FindthetouchpointbyusedJogspeedHigh/LowandJog(+),Jog(-)button.[HOME]按鈕F1輸入工作數(shù)據(jù)。輸入數(shù)據(jù)。POS2=0.200mm,VEL2=3um/sec,SK2=3secAUTO模式按F6[START]按鈕。Afterfinishedthisprocess,takeoutthedressingjigandgoaheadworkingprocess.Ⅱ.Semi-Autodressingprocedure(Option)

Inthisway,wedon'tusethedressingjig,usethedressingwheelattachedtothemachine.檢查修整軸是否在回程位置。Off(65%).選擇修整模式( 使用MANU/AUTO/DRES')DRESSMODE(F2key).[START]按鈕完成WP=0.200WV=3TC=10CNT=2EN=1WP=0.200WV=3TC=10CNT=2EN=1AMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CDRESSAXISMOVINGDATASETTINGMODE?怎樣設(shè)定工作輪和修整輪之間的接觸點，lAMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CDRESSAXISMOVINGDATASETTINGMODEPleaserefertothenextpagedrawings.?現(xiàn)在設(shè)備的情況如圖[Semi-AutoProcedure1]所示。ManualModeF/W按鈕使修整軸移向前進位置。?則修整軸向前移動如圖[Semi-AutoProcedure2]所示。按F5forJOGMODEscreenJOG(+),JOG(-)andJOGSPEEDHIGH/LOW接觸。?則修整輪向前移動如圖[Semi-AutoProcedure3]所示。Justrememberthecurrentpositionasshowninthescreen.ThispositionmustbeinputtedatDRPinF2DRESSMODE.B/W.?則修整軸移動到前進位置如圖[Semi-AutoProcedure4]所示。DressMode按HOME按鈕?[Semi-AutoProcedure1]所示。?如果你在第七步?jīng)]有選擇DRESSMODE，那么我們在第五步中取得的位置willbesavedfortheRAPIDPOSITIONforAutoRunMode.按DRP數(shù)據(jù)。DRP數(shù)據(jù)。開始Semi-Auto修整操作步驟。DRESSMODE。顯示屏幕時，按F6自動運行模式。按START按鈕。修整輪移向前進位置，工作輪移動到DRP位置開始修整。當(dāng)修整操作步驟完成后，修整輪移向回程位置，工作軸回到‘0’位置。現(xiàn)在，theSemi-AutoDressing步驟已經(jīng)完成。Semi-AutoProcedure1Semi-AutoProcedure2Semi-AutoProcedure3Semi-AutoProcedure4Semi-AutoProcedure1Semi-AutoProcedure2Semi-AutoProcedure3Semi-AutoProcedure4Ⅲ.全自動修整程序(Option)Fully-automaticdressingprocessoccurredduringAutoRunProcess.當(dāng)工作軸的旋轉(zhuǎn)速度低于設(shè)定的速度時，全自動修整操作啟動。.Off(65%).選擇AUTO MODE(use the AUTO/DRES'selectorswitch)DRESSMODE(F2key).真空放置工件。按[START]按鈕。AMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CDRESSAXISMOVINGDATASETTINGMODE完成AMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CDRESSAXISMOVINGDATASETTINGMODEWP=0.200WV=3WP=0.200WV=3TC=10CNT=2EN=1WP=0.200WV=3TC=10CNT=2EN=1F/W,B/WPleaserefertotheAirDiagram.3-9.真空氣流的壓力如果你想要控制真空氣流的壓力，請使用電氣控制柜上面的調(diào)節(jié)器(A,R07)。推薦壓力值為0.1～0.15[MPa]3-10.油脂關(guān)于上油脂下面有幾個要點。每隔6個月都要用油脂槍(No.3)往nippleofLMBlock(3stroke)加油脂.Pastethegreaseeverymonthtopreventthecoolantgointothedressingaxisspindle.3-11.空氣傳感器※當(dāng)空氣壓力達到設(shè)定的壓力值時，傳感器上面的紅色發(fā)光二極管發(fā)亮.當(dāng)空氣壓力值達到40mmHg它就會起作用.你可以通過調(diào)節(jié)傳感器頂部的螺絲來改變傳感器的靈敏度.3-12.清潔排水管每6個月清潔排水管內(nèi)部以保證冷卻液的溢出。清潔軟管內(nèi)部第四章. 故障檢修故障檢修--示意圖①冷卻液進水口②振動電機③電源開關(guān)(NFB)④冷卻泵電機的電源連接器(220V3PHASE)⑤真空管⑥進氣口⑦消音器⑧空氣過濾器&調(diào)節(jié)器(主進氣口)⑨砂輪軸的伺服電機⑩工作臺驅(qū)動的V皮帶(7M650)?B184MXLTIMINGBELT?微型調(diào)速電機?工作空間的照明?門傳感器4-1.當(dāng)工作臺不能前后移動時.請檢查調(diào)速滑輪的滑程?，把它緊一緊4-2.當(dāng)轉(zhuǎn)速在轉(zhuǎn)速儀表上面沒有顯示時.檢查傳感器的距離并重新調(diào)整一下距離4-3.切削液沒有供給.首先，請檢查電源③是否輸入然后檢查泵的電機和接線④.4-4.工作時工作軸不旋轉(zhuǎn).請檢查V形皮帶⑩或是檢查皮帶輪和皮帶是否連接⑩。4-5.全自動化操作情況下修整操作不能正常啟動？請檢查設(shè)定的自動修整的數(shù)據(jù)AMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CDRESSAXISMOVINGDATASETTINGAMTECHNOLOGYLTDGRINDM/CDRESSAXISMOVINGDATASETTINGWP=0.200WV=5DRP=25.036TC=10CNT=02EN=1WP=0.200WV=5DRP=25.036TC=10CNT=02EN=1ENmustbeset‘1’.附錄設(shè)備各部分的圖紙電氣組成的圖紙空氣圖表設(shè)備各部分的圖紙電氣組成圖紙空氣圖表[HRG-150][AM[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-試驗報告?客戶：AVXinIsrael(HRG-150(Serial:01A102D,2001.09),自動修整系統(tǒng))?日期：2003.07.19~08.01?結(jié)果：ModifytheAutoDressingsystem?ModifiedbyI.K.PARKandJ.G.CHOITestresultwitholdprogram(AutoDressingconditiondetectedbyRotaryspeed)SituationSometimes,AutoDressingdidn'toccurredafter2wafer.DuringAutoRunModeprocess,afterAutoDressingprocess,thefinalsizeofwaferbecamelowerwhatweexpected,becausetheworkingwheelcouldgrindbetterafterdressingcomparewithnotdressedcondition.->Makeanewparameter"FP"AfterAutoDressingprocess,thefinalworkingpositionwillbegonebackwardautomatically.->setFP=60umAfterseveralwafer,thereisworkingwheelwear,anditworklikethereferencepositiongobackward.->Makeanewparameter"TC"AfterAutoDressingprocess,theRapidapproachingpositionwillbeaddedwiththisdistanceautomatically.Theunitis[um].SetTC=12umWhenthereisAutoDressinginAddWorkMode,itisverydifficulttoexpectthefinalsize.AndthewafergrindedmorethanwhenitgrindedinAutoRunMode.->NoAutoDressinginAddWorkMode.Accordingtopreviousreason,wecouldnotsurethereisAutoDressingafterevery2wafer.So,wedecidetochangetheprogram.WorkingprocessRotaryspeedofDressingMotor:65% 500rpmAtthebeginningofeveryshift,westartgrindingafterSemi-AutoDressing.AfterAutoRunModework,doAddWorkModetomakethewaferwithfinalsize.Whenthegrindquantityis0.3mmfor94%alumina,settheCNT=2ForGlassWafer,EN=2(DisableCNTfunction)[HRG-150][AM[HRG-150][AMTECHNOLOGYCo.,Ltd.]-Newprogram--F1POS1=0.360VEL1=1SK1=30RP1=49.290POS1:Stockremovalrateforwafer,mmVEL1:Feedspeedforwafer,um/secSK1 :SparkOutTime,SecondRP1 :RapidapproachingPositionforwafer,mm--F2WP=0.200WV=5DRP=26.036TC=10CNT=02EN=1WP :StockremovalrateforDressingstone,mmWV :FeedspeedforDressingstone,um/secDRP:RapidapproachingpositionforDressingstone,mmTC :AfterAutoDressingprocess,RP1(Rapidapproachingpositionforwafer)willbeaddedwiththisdistance.Nowitset10umCNT:Whenthecountofwaferreachedtothisparameter,thenafteryoupushedSTARTbuttoninthenextAutoRunMode,theAutoDressingprocesswillbestartedautomatically.Thisparameterwillbecountintheprogram,andwillnotcountinAddWorkMode.Maximumis99.EN :DecideuseaboveCNTfunctionornot.Whenyouinput"1"forthisparameter,thenitmeansyouwanttouseCNTfunction.But,ifyouinputotherfigurenot"1",forexample,"2","3","4"...,thenitmeansyoudon'twanttouseCNTfunction.NO.:Displaythenumberofwaferinthescreen.NO.1 NO.2 NO.3AftertheAutoRunModeprocessstarted,thefigurewillbeplus1.DuringAddWorkModeprocess,thefigurewillnotincreased.AftertheAutoDressing,thefigurewillbechangedto"1".Changethescreen:AfterAutoRunModeorAddWorkMode,thedisplaywillbechangedtoMenuScreen.Thisfunctionistodecreasethetreatmentofswitch.MessageDRP+DWP>40mm => “CHECKDRESSSTONE"->Whenthismessagedisplayed,youcouldn'tcontinuetheprocess.ChangetheDressingStonewithnewoneandfindthereferencepositionfordressingstone(DRP).Thesetdataisdicidedwhentheworkingwheelisnewone,andDressingStoneremained2mm.DRP+DWP>POS+RP => “WRONGDATAINPUT"->Whenthismessagedisplayed,youcouldn'tcontinuetheprocess.ChangetheDRPandthenstartworkingprocess.PleaserefertoattachedpaperforthetestresultwithnewprogramRemarksCleaninsideoftheDrainpipetopreventoverflowofcoolant.SendtheV-beltforworkaxismotor.7M650->7M640or7M630.2EAPastethegreaseeverymonthtopreventthecoolantgointothedressingaxisspindle.CD-ROMincludedPLCandController'sprogramandsource.SendaupdatedInstructionManualLetknowtheexactSpec.ofSensorforDressingaxiscylinder.(D-A90,SMC)andtimingbeltfordressingaxis(114XL,Mitsubishi)GiveinformaboutNewgrindingwheelfor99%AluminawithlowerbondingpowerComparisonbetweenoldandnewprogramOldprogramPositive:AutoDressingprocessstartedwhentherotaryspeeddroppedundersetrpm.Itmeansthatwecouldworkwiththerealsurfaceconditionofworkingwheel.Negative:AutoDressingprocessdidn'tstartedforsamegrindingrate.AfterAutoDressingprocess,thefinalsizeofwaferwillbethinnerthanwithoutAutoDressing.IfthereisAutoDressingprocessduringAddWorkModeworking,thefinalsizeofwaferwillbethinnerthanduringAutoRunWorkModeworking.IftheAutoDressingconditiondetectedduringSparkOutprocess,thenitignored.Whenthesurfaceconditionofworkingwheelisnotgood,sotheun-grindedpartofwaferbecamethicker,thenwhentheautodressingconditiondetected,itcouldinfluencetothepositiondetectionofcontroller.Program:7950/8000byte(AlmostFull)NewprogramPositive:AutoDressingprocesswillbedoneperiodindependentofthesurfaceconditionofwafer(Stability)Theprocessissimple.Program:7400/8000byte(Couldbeextended)[H