制造原理和流程

（優(yōu)選）制造原理和流程現(xiàn)在是1頁\一共有71頁\編輯于星期六2目錄一、液晶顯示器(LCD)的基礎(chǔ)

1.1液晶材料及液晶顯示器的基本定義

1.2液晶顯示器的基礎(chǔ)及原理二、TFT-LCD制造基本流程及設(shè)備

2.1制造流程概要2.2ARRAY工藝流程及設(shè)備2.3CELL工藝流程及設(shè)備2.4Module工藝流程及設(shè)備現(xiàn)在是2頁\一共有71頁\編輯于星期六3一、液晶顯示器(LCD)的基礎(chǔ)1.1液晶材料及液晶顯示器的基本定義液晶的發(fā)現(xiàn)1888年，奧地利植物學家F.Reinitzer在測量某些有機物熔點時發(fā)現(xiàn)：1889年，德國物理學家O.Lehmann發(fā)現(xiàn)：這類不透明的物體外觀上屬液體，但具有晶體特有的雙折射性質(zhì)，于是將其命名為“液態(tài)晶體”固態(tài)不透明渾濁狀態(tài)透明液態(tài)加熱冷卻加熱冷卻現(xiàn)在是3頁\一共有71頁\編輯于星期六4一、液晶顯示器(LCD)的基礎(chǔ)液晶:

一種液體狀結(jié)晶性物質(zhì)，介于固體(結(jié)晶)以及液體(非結(jié)晶)之間的第四狀態(tài)(中間狀態(tài))，具有流動性以及各向異性(光學各向異性，如雙折射效應(yīng)).液晶顯示器:

利用外加電壓以及液晶材料本身光學各向異性(如雙折射效應(yīng)以及旋光特性)，進而顯示所需要的數(shù)字、文字、圖形以及影像等功能的一種人機界面的信息、通訊、網(wǎng)絡(luò)的系統(tǒng)。1.1液晶材料及液晶顯示器的基本定義現(xiàn)在是4頁\一共有71頁\編輯于星期六5一、液晶顯示器(LCD)的基礎(chǔ)擴散?光學薄膜導(dǎo)光板熒光管接續(xù)電路基板驅(qū)動用LSITCPCF基板偏光板液晶盒Array基板液晶顯示器的構(gòu)造模式斷面圖1.2液晶顯示器的基礎(chǔ)及原理現(xiàn)在是5頁\一共有71頁\編輯于星期六6一、液晶顯示器(LCD)的基礎(chǔ)封框膠信號配線端子Gate配線端子ＴＦＴ基板CF基板Ag電極配向膜液晶面板的構(gòu)造平面圖(TFT型)1.2液晶顯示器的基礎(chǔ)及原理現(xiàn)在是6頁\一共有71頁\編輯于星期六7一、液晶顯示器(LCD)的基礎(chǔ)偏光板CF基板盒墊料轉(zhuǎn)移電極(Ag)封框膠封框膠墊料取向膜TFT基板偏光板液晶BGRITOBM液晶面板的構(gòu)造斷面圖(TN型)1.2液晶顯示器的基礎(chǔ)及原理現(xiàn)在是7頁\一共有71頁\編輯于星期六8一、液晶顯示器(LCD)的基礎(chǔ)彩膜空間混色法實現(xiàn)TFT－LCD彩色化TFT基板彩膜的結(jié)構(gòu)

偏光板TFT背光源偏光板液晶黑色矩陣提高對比度降低Ioff1.2液晶顯示器的基礎(chǔ)及原理現(xiàn)在是8頁\一共有71頁\編輯于星期六9二、TFT-LCD制造基本流程及設(shè)備２．CELL工程３．MODULE工程ＴＦＴ基板玻璃基板1100×1300成膜→光刻（反復(fù)）ＴＦＴ基板貼合彩膜取向→液晶滴下→貼合→切斷(15型16片)面板端子接續(xù)電路基板安裝背光源面板外框組裝液晶面板完成2.1制造流程概要現(xiàn)在是9頁\一共有71頁\編輯于星期六10二、TFT-LCD制造基本流程及設(shè)備2.2ARRAY工藝流程及設(shè)備Ｇ工程Active

&S/Ｄ工程Ｃ工程ＰＩ工程檢查(TN-1)檢查(TN-2)ＴＮ：４MaskProcessCell工程Ｇate工程Active工程鈍化層工程ITO工程檢查(SFT-2)ＴＮ：５MaskProcess檢查(SFT-1)Cell工程S/Ｄ工程Repair(TN-1)Repair(TN-2)Repair(SFT-1)Repair(SFT-2)Glass購入,洗凈后使用Glass購入,洗凈后使用現(xiàn)在是10頁\一共有71頁\編輯于星期六11ARRAY制造流程圖現(xiàn)在是11頁\一共有71頁\編輯于星期六12TFTArray組成材料現(xiàn)在是12頁\一共有71頁\編輯于星期六13TFT–GATE電極形成現(xiàn)在是13頁\一共有71頁\編輯于星期六14TFT–Active(島狀半導(dǎo)體形成)現(xiàn)在是14頁\一共有71頁\編輯于星期六15TFT–S/D源漏電極形成現(xiàn)在是15頁\一共有71頁\編輯于星期六16TFT–鈍化層及接觸孔形成現(xiàn)在是16頁\一共有71頁\編輯于星期六17TFT–ITO像素電極形成現(xiàn)在是17頁\一共有71頁\編輯于星期六182.2ARRAY工藝流程及設(shè)備裝料周轉(zhuǎn)盒機械手傳送裝置UV藥液噴淋刷洗高壓噴射MS氣刀傳送裝置機械手卸料洗浄現(xiàn)在是18頁\一共有71頁\編輯于星期六192.2ARRAY工藝流程及設(shè)備洗浄ＵＶ藥液刷子高圧ＭＳＡ／ＫＰＤＡ排水Ｐ排水Ｐ純水ＤＡ洗凈

功能洗凈對象作用ＵＶ藥液刷洗高壓

噴射ＭＳ氧化分解溶解機械剝離機械剝離機械剝離

有機物(浸潤性改善)有機物

微粒子

(大徑)微粒子(中徑)

微粒子

(小徑)ＵＶ/Ｏ３溶解接觸壓水壓加速度cavitation現(xiàn)在是19頁\一共有71頁\編輯于星期六20PVD（濺射）：物理氣相沉積(PhysicalVaporDeposition)2.2ARRAY工藝流程及設(shè)備工藝室Ａ工藝室Ｂ搬送室工藝室Ｃ加熱室進料室卸料室自動移栽裝置現(xiàn)在是20頁\一共有71頁\編輯于星期六21PVD：物理氣相沉積PVD(PhysicalVaporDeposition)陰極靶材陽極腔體泵基板2.2ARRAY工藝流程及設(shè)備現(xiàn)在是21頁\一共有71頁\編輯于星期六222.2ARRAY工藝流程及設(shè)備PECVD：電漿輔助化學氣相沉積PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition現(xiàn)在是22頁\一共有71頁\編輯于星期六232.2ARRAY工藝流程及設(shè)備PECVD：電漿輔助化學氣相沉積PlasmaEnhancedChemicalVaporDepositionプロセスヒートトランスファーＬＬ／ＵＬローダー加熱腔工藝腔裝載臺納入(大氣到真空)/送出腔(真空到大氣)機械手現(xiàn)在是23頁\一共有71頁\編輯于星期六242.2ARRAY工藝流程及設(shè)備PECVD：電漿輔助化學氣相沉積PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition除害裝置（scrubber）ＭＦＣＭＦＣＭＦＣ汽缸cabinet氣體BOX氣體吹出電極（陰極）ヒーター等離子體Ｍ．ＢＯＸＰ控制ＲＦ電源下部電極（陽極）壓力計節(jié)流閥干泵氣體供給流量控制ＲＦpower壓力控制真空排氣特氣對應(yīng)工藝腔體（電極部）現(xiàn)在是24頁\一共有71頁\編輯于星期六252.2ARRAY工藝流程及設(shè)備INCVEUVNCVETCHZONEDIRINSEUNITA/Kdry2dry1液刀風簾干燥風刀置換液刀OutCVWET簡介--濕刻設(shè)備構(gòu)成現(xiàn)在是25頁\一共有71頁\編輯于星期六262.2ARRAY工藝流程及設(shè)備設(shè)備主要工藝單元：EUVunit:祛除玻璃表面有機殘留物。Etchzone:刻蝕區(qū)域Rinseunit:水洗單元Dryunit：干燥單元液刀：主要起預(yù)濕（置換），沖刷的效果。風簾：主要是吹掉玻璃上殘余的藥液風刀：干燥的玻璃的效果。WET簡介--各工藝單元功能現(xiàn)在是26頁\一共有71頁\編輯于星期六272.2ARRAY工藝流程及設(shè)備WET簡介--工程概念圖現(xiàn)在是27頁\一共有71頁\編輯于星期六282.2ARRAY工藝流程及設(shè)備光阻剝膜DEY簡介—干刻現(xiàn)在是28頁\一共有71頁\編輯于星期六292.2ARRAY工藝流程及設(shè)備DEY簡介—設(shè)備原理現(xiàn)在是29頁\一共有71頁\編輯于星期六302.2ARRAY工藝流程及設(shè)備壓力控制氣體供給控制臺除害裝置（scrubber）汽缸cabinetGasbox上部電極氣體吹出ＲＦ電源（ＰＥ場合）下部電極APC閥泵流量控制RFpower壓力檢出真空排氣特氣對應(yīng)ＭＦＣＭＦＣＭＦＣAPC控制C/M控制C/M等離子體工藝腔體M.BoxDEY簡介—工程示意圖現(xiàn)在是30頁\一共有71頁\編輯于星期六312.2ARRAY工藝流程及設(shè)備PHOTO-曝光顯影蝕刻基本概念現(xiàn)在是31頁\一共有71頁\編輯于星期六322.2ARRAY工藝流程及設(shè)備PHOTO-顯影現(xiàn)在是32頁\一共有71頁\編輯于星期六33PHOTO-顯影2.2ARRAY工藝流程及設(shè)備現(xiàn)在是33頁\一共有71頁\編輯于星期六342.2ARRAY工藝流程及設(shè)備TEST–AOI(ADI&AEI)–Autoopticalinspectionconfiguration自動光學檢查現(xiàn)在是34頁\一共有71頁\編輯于星期六352.2ARRAY工藝流程及設(shè)備←2160mm→←2400mm→

3GB×44unit=132GBG８SizeTheCCDsensordetectthesubstrate,Imagebytheprocessunit.DefectcanbereviewedpreciselyCCD探測產(chǎn)品表面,生成的圖象通過處理單元,缺陷會精確的反映出來.AOI–Autoopticalinspectionconfiguration自動光學檢查設(shè)備-圖形處理單元現(xiàn)在是35頁\一共有71頁\編輯于星期六362.2ARRAY工藝流程及設(shè)備O/StestdesignPanelstructureforO/STestEverydatalineextandsoutoftheactiveareaconnectwithO/SpadOntheothersidealldatalineconnectedtogetherbyShortingbar現(xiàn)在是36頁\一共有71頁\編輯于星期六372.2ARRAY工藝流程及設(shè)備ArrayTester?Teststation?Electricalcabinet?Operatorconsole?EnvironmentalEnclosure現(xiàn)在是37頁\一共有71頁\編輯于星期六382.2ARRAY工藝流程及設(shè)備Arraytester

ArraytesterUsinginstructionsintheselectedprocessingrecipe,thepatterngeneratorsendstestsignalstotheprobeframe.Theilluminatoristurnedon,abiasvoltageappliedtothemodulatorandanimagecapturedbytheCCDcamera.Theimageissenttotheimageprocessingcomputer(IPPC)andpanelflawsareidentifiedandstoredinthedefectfilebytheSunhostcomputer.ArraytesteropticalpartLightfromtheilluminatorisreflectedbythemodulatorandtheimagecapturedontheCCDcamera.Theimageisthenprocessedandanalyzedfordefects.現(xiàn)在是38頁\一共有71頁\編輯于星期六39TEST-TEGTESTER現(xiàn)在是39頁\一共有71頁\編輯于星期六40TEST-TEGMeasurementStructureMeasurementStructure現(xiàn)在是40頁\一共有71頁\編輯于星期六41TEST-Arraylaserrepair現(xiàn)在是41頁\一共有71頁\編輯于星期六42TEST-Arraylaserconfiguration

LASEROSCILLATOR:DIODE-PUMPEDQ-SWITCHEDLASERMATERIAL:Nd:YAGWAVELENGTH:1064nm/532nm/355nmPULSEREPETITIONRATE:1ppsTO100PPSOUTPUTSTABILITY:LESSTHAN±3%現(xiàn)在是42頁\一共有71頁\編輯于星期六43TEST--CDC現(xiàn)在是43頁\一共有71頁\編輯于星期六44TEST--CDCCDMeasurementTotalPitchMeasurementOverlayMeasurement現(xiàn)在是44頁\一共有71頁\編輯于星期六452.3CELL工藝流程及設(shè)備真空貼合UV照射封框膠熱固化外觀檢查/包裝切割/切條/切粒Visual

test偏光片貼附2次V/T基板洗凈/干燥配向膜印刷配向膜固化摩擦取向摩擦洗凈/干燥墊料散布Ag涂布液晶滴下封框膠涂布墊料固著基板洗凈/干燥配向膜印刷配向摸固化摩擦取向摩擦洗凈/干燥PI&摩擦ODF（cell后工程）cell-制盒流程示意圖TFT側(cè)CF側(cè)ARRAY基板CF基板消泡激光切線現(xiàn)在是45頁\一共有71頁\編輯于星期六462.3CELL工藝流程及設(shè)備DoctorRollPI液噴頭UV洗凈單元AniloxRoll流片方向移載機械手預(yù)干燥單元走行/升降式印刷臺印刷版（版胴）CELL前工程（配向膜印刷）現(xiàn)在是46頁\一共有71頁\編輯于星期六472.3CELL工藝流程及設(shè)備印刷臺面PI

dispenserDoctor滾輪金屬板滾輪印刷版版胴預(yù)干燥部印刷部加熱盤基板非接觸式(Pin)加熱干燥方式PinＰＩ

dispenserAnilox滾輪印刷版版胴印刷臺面Doctor滾輪印刷原理CELL前工程（配向膜印刷）現(xiàn)在是47頁\一共有71頁\編輯于星期六482.3CELL工藝流程及設(shè)備摩擦滾輪空氣洗凈單元摩擦頭(升降式)流向摩擦平臺（走行式）＋移載機械手＋空氣洗凈單元CELL前工程（摩擦取向）現(xiàn)在是48頁\一共有71頁\編輯于星期六492.3CELL工藝流程及設(shè)備配向材分子（無規(guī)方向）摩擦滾輪玻璃基板摩擦滾輪布摩擦平臺摩擦方式CELL前工程（摩擦取向）現(xiàn)在是49頁\一共有71頁\編輯于星期六502.3CELL工藝流程及設(shè)備真空槽上基板液晶Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ液晶下基板Ｓｅａｌ/Au

ＤｉｓｐｅｎｓｅｒUV硬化貼合本硬化滴下ＤｉｓｐｅｎｓｅｒＳｐａｃｅｒ散布Ｓｐａｃｅｒ固著下基板ODFLine現(xiàn)在是50頁\一共有71頁\編輯于星期六512.3CELL工藝流程及設(shè)備CELL中工程(墊料散布)設(shè)備外観イメージ図０５０排氣墊料

輸送部散布腔體清潔和檢查組合上流下流噴嘴基板真空洗凈檢查攝像頭監(jiān)視器平臺ＳＵＳ配管(使墊料帶負電)現(xiàn)在是51頁\一共有71頁\編輯于星期六522.3CELL工藝流程及設(shè)備爐子構(gòu)造和加熱方式無塵恒溫箱過濾網(wǎng)ＨＥＡＴＥＲ風扇ＣｅｎｔｅｒＢｌｏｗＳｉｄｅＢｌｏｗ基板冷卻方式冷卻搬送單元搬運機械手搬運單元Spacer固著裝置圖CELL中工程(Spacer固著)現(xiàn)在是52頁\一共有71頁\編輯于星期六532.3CELL工藝流程及設(shè)備ＡｌｉｇｎｍｅｎｔＣａｍｅｒａSealDispenser放大圖BaseFrameTransferRobotStageSeal印刷裝置圖0.0010.001涂布Table散布單元高度傳感器單元對位攝像頭基板高度傳感器噴嘴Seal材CELL中工程(Seal印刷)現(xiàn)在是53頁\一共有71頁\編輯于星期六542.3CELL工藝流程及設(shè)備ＤｉｓｐｅｎｓｅｒＣｏｎｔｏｌｌｏｒ固定壓力方式

基板驅(qū)動方式：４軸X、Y、ΘStage＋NozzleＺ軸金屬Ｓｙｒｉｎｇｅ追從傳感器CELL中工程(Ag膠涂布單元)現(xiàn)在是54頁\一共有71頁\編輯于星期六552.3CELL工藝流程及設(shè)備

CELL中工程(液晶滴下)AlignmentCamera液晶Dispenser

TransferRobotStage滴下量計量Unit現(xiàn)在是55頁\一共有71頁\編輯于星期六562.3CELL工藝流程及設(shè)備CELL中工程(真空貼合)下Chamber對位攝像頭UVSpotLamp上ChamberBaseFrameTransferRobot真空泵上定盤ESC下定盤ESC現(xiàn)在是56頁\一共有71頁\編輯于星期六572.3CELL工藝流程及設(shè)備CELL中工程(Seal硬化)加熱Base樹脂三次元架橋現(xiàn)在是57頁\一共有71頁\編輯于星期六582.3CELL工藝流程及設(shè)備MetalHalide輔助反射鏡照射平臺冷卻水＜ＵＶ照射ユニット＞＜ＵＶ照射ユニット＞Lamp冷卻Filter?冷卻＜ＬＤ?ＵＬＤ部＞＜ＬＤ?ＵＬＤ部＞NEC鹿兒島K2生產(chǎn)線裝置構(gòu)成Mask遮蓋紅外線和深層紫MetalHalideLamp輔助反射鏡冷卻水＜ＵＶ照射ユニット＞?＜ＬＤ?ＵＬＤ部＞＜ＬＤ?ＵＬＤ部＞NECK2生產(chǎn)線裝置Mask遮蓋＜ＵＶ照射單元＞?＜ＬＤ?ＵＬＤ部＞NEC生產(chǎn)線裝置MaskMask遮蓋紅外線和深層紫外線隔斷生產(chǎn)線裝置示意圖冷卻水Lamp冷卻Filter冷卻＜ＬＤ?ＵＬＤ部＞CELL中工程(UV硬化)注：Seal本硬化裝置和Spacer固著裝置基本相同現(xiàn)在是58頁\一共有71頁\編輯于星期六592.3CELL工藝流程及設(shè)備cell后段制程示意圖CELL切斷①CELL端面?研磨2次V/T偏光板貼附cell檢查裝置〔ＣＦ面貼附〕〔ＴＦＴ面貼附〕貼附滾輪偏光板高浸透刀頭Scribeline大型基板砥石屏研磨水噴嘴Spindlecell檢查裝置Visualtest激光切線外觀檢查包裝現(xiàn)在是59頁\一共有71頁\編輯于星期六602.3CELL工藝流程及設(shè)備CELL切斷設(shè)備構(gòu)成示意圖

②第一切斷部④第二切斷部③旋回部⑤除材部①給材部⑥Process

Check部LDCELL后工程(Cell切斷)現(xiàn)在是60頁\一共有71頁\編輯于星期六612.3CELL工藝流程及設(shè)備CELL后工程(端面研磨)給材部除材部面取部角面取部控制盤上游設(shè)備（切斷裝置）下游設(shè)備（洗凈裝置）屏流方向屏磨石研削水噴嘴磨石屏研削水噴嘴現(xiàn)在是61頁\一共有71頁\編輯于星期六622.3CELL工藝流程及設(shè)備CELL后工程(偏光片貼附)偏光板供給偏光板洗凈偏光板準位面板的位置決定屏反轉(zhuǎn)貼合屏送出屏受入貼合現(xiàn)在是62頁\一共有71頁\編輯于星期六632.3CELL工藝流程及設(shè)備屏屏chucktable貼附滾輪貼附移動方向滾輪旋轉(zhuǎn)貼附角度貼附壓力偏光板chucktable升降動作■動作流程①偏光板臺面下降③面板臺面移動②偏光板臺子吸著ＯＦＦ屏和偏光板接觸貼附動作

主要部分構(gòu)成和動作概要

CELL后工程(偏光片貼附)現(xiàn)在是63頁\一共有71頁\編輯于星期六642.3CELL工藝流程及設(shè)備屏檢裝置CellPro