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力扭矩壓力的測(cè)量第1頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.1應(yīng)力應(yīng)變的測(cè)量應(yīng)變、應(yīng)力、力之間存在函數(shù)關(guān)系常用敏感元件為電阻應(yīng)變片,測(cè)量應(yīng)變,輸出電壓通過(guò)標(biāo)定可計(jì)算出應(yīng)力、力與電壓之間的關(guān)系第2頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.1應(yīng)力應(yīng)變的測(cè)量測(cè)量應(yīng)變需用電阻應(yīng)變儀:1、功能:調(diào)幅放大、解調(diào)、濾波等2、可接由電阻、電容和電感組成的電橋3、分類(lèi):靜態(tài)電阻應(yīng)變儀(200Hz以下)動(dòng)態(tài)電阻應(yīng)變儀(0-2kHz)超動(dòng)態(tài)電阻應(yīng)變儀(0-20kHz)4、應(yīng)變儀的電橋特性與電橋的和差特性相似第3頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.1應(yīng)力應(yīng)變的測(cè)量應(yīng)變片的布置與橋接方式基本原則:選擇主應(yīng)力最大部位貼片充分利用電橋和差特性進(jìn)行補(bǔ)償,并保證靈敏度和線(xiàn)性度是貼片位置應(yīng)變與外載荷成線(xiàn)性關(guān)系第4頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.1應(yīng)力應(yīng)變的測(cè)量應(yīng)變片的布置與橋接方式基本原則:選擇主應(yīng)力最大部位貼片,同時(shí)考慮應(yīng)力狀態(tài)主應(yīng)力方向不定,可采用花片(報(bào)告)充分利用電橋和差特性進(jìn)行補(bǔ)償,并保證靈敏度和線(xiàn)性度是貼片位置應(yīng)變與外載荷成線(xiàn)性關(guān)系詳細(xì)講解表9-2第5頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日常用的力測(cè)量方法是用應(yīng)變片和應(yīng)變儀測(cè)量構(gòu)件的表面應(yīng)變,根據(jù)應(yīng)變和應(yīng)力、力之間的關(guān)系,確定構(gòu)件的受力狀態(tài)。應(yīng)變儀采用交流電橋時(shí),輸出特性與直流電橋(直流電橋的輸出特性)類(lèi)似。應(yīng)變片的布置和電橋組接(布片組橋)應(yīng)根據(jù)被測(cè)量和被測(cè)對(duì)象受力分布來(lái)確定。還應(yīng)利用適當(dāng)?shù)牟计M橋方式消除溫度變化和復(fù)合載荷作用的影響。6.1應(yīng)力應(yīng)變的測(cè)量第6頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日測(cè)量拉伸(壓縮)布片組橋方式測(cè)量拉伸(壓縮)應(yīng)變時(shí)要采用適當(dāng)?shù)牟计M橋方式,以便達(dá)到:溫度補(bǔ)償(測(cè)軸向拉(壓)時(shí)的溫度補(bǔ)償)消除彎矩影響(用雙工作片消除彎矩的影響)提高測(cè)量靈敏度(用四工作片提高測(cè)量的靈敏度)的目的。常用應(yīng)力測(cè)量的布片和組橋方式:
第7頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日溫度補(bǔ)償沿構(gòu)件表面的軸線(xiàn)方向貼工作片R1,在溫度補(bǔ)償板上貼補(bǔ)償片Rt,組成半橋即可測(cè)得軸向應(yīng)變e。電橋的輸出為溫度補(bǔ)償滿(mǎn)足條件:補(bǔ)償板和試件的材料相同;工作片、補(bǔ)償片完全相同,放在完全相同溫度場(chǎng)中,接在相臨橋臂。
圖中沿軸向貼一片應(yīng)變片,沿橫向貼另一片,為工作片補(bǔ)償法。第8頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日在拉(壓)應(yīng)變測(cè)量中消除彎矩的影響用對(duì)稱(chēng)雙工作片測(cè)軸向拉(壓)應(yīng)變。工作片在上、下表面對(duì)稱(chēng)粘貼,由加減特性可知,這樣可消除因加載偏心而造成的附加彎矩。其中全橋接法的輸出是半橋接法的二倍。第9頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日用多工作片提高應(yīng)變測(cè)量的靈敏度左圖(用四工作片測(cè)拉(壓)應(yīng)變)中,布片時(shí)省去了溫度補(bǔ)償板。這種方法可得到最大輸出應(yīng)變值,即也可以消除因加載偏心而造成的附加彎矩。
第10頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.1應(yīng)力應(yīng)變的測(cè)量應(yīng)變片的選擇:1、試件測(cè)試要求:精度、應(yīng)變均勻性等2、試件工況:高溫、高濕3、應(yīng)變片的粘貼:錄像第11頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.1力的測(cè)量測(cè)量方法可歸納為利用力的靜力效應(yīng)和動(dòng)力效應(yīng)兩種。靜力效應(yīng)測(cè)力
力的靜力效應(yīng)使物體產(chǎn)生變形,通過(guò)測(cè)定物體的變形量或用與內(nèi)部應(yīng)力相對(duì)應(yīng)參量的物理效應(yīng)來(lái)確定力值。如可用差動(dòng)變壓器、激光干涉等方法測(cè)定彈性體變形達(dá)到測(cè)力的目的;也可利用與力有關(guān)的物理效應(yīng)如壓電效應(yīng)、壓磁效應(yīng)等。動(dòng)力效應(yīng)測(cè)力
力的動(dòng)力效應(yīng)使物體產(chǎn)生加速度,測(cè)定了物體的質(zhì)量及所獲得的加速度大小就測(cè)定了力值。在重力場(chǎng)中地球的引力使物體產(chǎn)生重力加速度,因而可以用已知質(zhì)量的物體在重力場(chǎng)某處的重力來(lái)體現(xiàn)力值。例如基準(zhǔn)測(cè)力機(jī)等。
第12頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.1.2電阻應(yīng)變式測(cè)力裝置測(cè)量力時(shí)可以直接在被測(cè)對(duì)象上布片組橋,也可以在彈性元件上布片組橋,使力通過(guò)彈性元件傳到應(yīng)變片。常用的彈性元件有柱式、梁式、環(huán)式、輪輻等多種形式。第13頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日柱式彈性元件通過(guò)柱式彈性元件表面的拉(壓)變形測(cè)力。應(yīng)變片的粘貼和電橋的連接應(yīng)盡可能消除偏心和彎矩的影響,一般將應(yīng)變片對(duì)稱(chēng)地貼在應(yīng)力均勻的圓柱表面中部。柱式力傳感器可以測(cè)量0.1~3000噸的載荷,常用于大型軋鋼設(shè)備的軋制力測(cè)量。第14頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日梁式彈性元件
類(lèi)型有等截面梁、等強(qiáng)度梁和雙端固定梁等,通過(guò)梁的彎曲變形測(cè)力,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,靈敏度較高。等截面梁式彈性元件等截面梁式彈性元件為一端固定的懸臂梁,當(dāng)力作用在自由端時(shí),剛性端截面的應(yīng)力最大,而自由端撓度最大,在距受力點(diǎn)為l0的上下表面,沿l向貼電阻應(yīng)變片R1,R2和R3,R4。粘貼應(yīng)變片處的應(yīng)變?yōu)榈?5頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日等強(qiáng)度梁(等強(qiáng)度梁式力傳感器),梁厚為h,梁長(zhǎng)為l,固定端寬為b0,自由端寬為b。梁的截面成等腰三角形,集中力F作用在三角形頂點(diǎn)。梁內(nèi)各橫截面產(chǎn)生的應(yīng)力是相等的,表面上任意位置的應(yīng)變也相等,因此稱(chēng)為等強(qiáng)度梁,其應(yīng)變?yōu)橛昧菏綇椥栽谱鞯牧鞲衅鬟m于測(cè)量5,000N以下的載荷,最小可測(cè)幾克重的力。這種傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,加工容易,靈敏度高,常用于小壓力測(cè)量中。第16頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日雙端固定梁
雙端固定梁的二端都固定,中間加載荷F,梁寬為b,梁厚為h,梁長(zhǎng)為l,應(yīng)變片粘貼在中間位置,則梁的應(yīng)變?yōu)檫@種梁的結(jié)構(gòu)在相同力F的作用下產(chǎn)生的撓度比懸臂梁小。第17頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日環(huán)式彈性元件
分為圓環(huán)式和八角環(huán)式。它也是通過(guò)元件的彎曲變形測(cè)力,結(jié)構(gòu)較緊湊。實(shí)際應(yīng)用如切削測(cè)力儀。圓環(huán)式在圓環(huán)上施加徑向力Fy時(shí),圓環(huán)各處的應(yīng)變不同,與作用力成39.6°處(圖中B點(diǎn))應(yīng)變等于零。在水平中心線(xiàn)上則有最大的應(yīng)變R為圓環(huán)外徑,h為圓環(huán)壁厚,b為圓環(huán)寬度第18頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日?qǐng)A環(huán)式和八角環(huán)式將應(yīng)變片貼在1、2、3和4處,1、3處受拉;2、4處受壓。如果圓環(huán)一側(cè)固定,另一側(cè)受切向力Fx時(shí),與受力點(diǎn)成90°處(A點(diǎn))應(yīng)變等于零。將應(yīng)變片貼在與垂直中心線(xiàn)成39.6°的5、6、7、8處,則5、7處受拉,6、8處受壓。這樣,當(dāng)圓環(huán)上同時(shí)作用著Fx和Fy時(shí),將1~4處和5~8處的應(yīng)變片分別組成電橋,就可以互不干擾地測(cè)力Fx和Fy。第19頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日八角環(huán)式圓環(huán)方式不易加緊固定,實(shí)際上常用八角環(huán)代替,如圖所示。八角環(huán)厚度為h,平均半徑為r。當(dāng)h/r較小時(shí),零應(yīng)變點(diǎn)在39.6°附近。當(dāng)h/r=0.4時(shí),零應(yīng)變點(diǎn)在45°處,故一般八角環(huán)測(cè)力Fx時(shí),應(yīng)變片貼在45°處。第20頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日切削測(cè)力儀當(dāng)測(cè)力儀受進(jìn)給抗力Fx作用,則應(yīng)變片R5、R7受拉應(yīng)力,R6、R8受壓應(yīng)力。當(dāng)圓環(huán)同時(shí)受Fy、Fx作用時(shí),把應(yīng)變片R1~R4,R5~R8組成如圖所示的電橋,就可互不干擾地分別測(cè)得Fy和Fx。當(dāng)測(cè)力儀受主切削力Fz的作用時(shí),其八角環(huán)既受到垂直向下的力,又受到由于Fz引起的彎矩Mz的作用。力Fz與各應(yīng)變片軸向垂直不起作用,Mz使測(cè)力儀上部環(huán)受拉應(yīng)力,下部環(huán)受壓應(yīng)力,因此將應(yīng)變片組成如圖所示電橋就可測(cè)出Fz。第21頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.1.3其它測(cè)力傳感器電容式力傳感器在矩形的特殊彈性元件上,加工若干個(gè)貫通的圓孔,每個(gè)圓孔內(nèi)固定兩個(gè)端面平行的丁字形電極,每個(gè)電極上貼有銅箔,構(gòu)成由多個(gè)平行板電容器并聯(lián)組成的測(cè)量電路。在力F作用下,彈性元件變形使極板間矩發(fā)生變化,從而改變電容量。
第22頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日壓電式力傳感器
前面章節(jié)介紹過(guò)壓電式傳感器的原理和壓電式振動(dòng)加速度傳感器,測(cè)力傳感器的結(jié)構(gòu)類(lèi)似。其特點(diǎn)是體積小,動(dòng)態(tài)響應(yīng)快,但是也存在電荷泄漏,不適宜靜態(tài)力的測(cè)量。使用中應(yīng)防止承受橫向力和施加予緊力。第23頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日某些鐵磁材料受到外力作用時(shí),引起導(dǎo)磁率變化現(xiàn)象,稱(chēng)作壓磁效應(yīng),其逆效應(yīng)稱(chēng)作磁致伸縮效應(yīng)。硅鋼受壓縮時(shí)其導(dǎo)磁率沿應(yīng)力方向下降,而沿應(yīng)力的垂向增加;在受拉伸時(shí),導(dǎo)磁率變化正好相反。壓磁式測(cè)力裝置第24頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日在硅鋼疊片上開(kāi)4個(gè)對(duì)稱(chēng)的通孔,孔中分別繞互相垂直的兩個(gè)線(xiàn)圈,一個(gè)線(xiàn)圈為勵(lì)磁繞組,另一個(gè)為測(cè)量繞組。無(wú)外力作用時(shí),磁力線(xiàn)不和測(cè)量繞組交鏈,測(cè)量繞組不產(chǎn)生感應(yīng)電勢(shì)。當(dāng)受外力作用時(shí),磁力線(xiàn)分布發(fā)生變化,部份磁力線(xiàn)和測(cè)量繞組交鏈,并在繞組中產(chǎn)生感應(yīng)電勢(shì),且作用力愈大,感應(yīng)電勢(shì)愈大。硅鋼材料受力面加大后,可測(cè)量數(shù)千噸的力,且輸出電勢(shì)較大,無(wú)需放大處理。常用于大型軋鋼機(jī)的軋制力測(cè)量。壓磁式測(cè)力裝置第25頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日差動(dòng)變壓器式測(cè)力傳感器
差動(dòng)變壓器式力傳感器的彈性元件是簿壁圓筒,在外力作用下,變形使差動(dòng)變壓器的鐵芯介質(zhì)微位移,變壓器次極產(chǎn)生相應(yīng)電信號(hào)。其特點(diǎn)是工作溫度范圍較寬,為了減小橫向力或偏心力的影響,傳感器的高徑比應(yīng)較小。第26頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日彎矩測(cè)量當(dāng)試件受到彎矩作用時(shí),其上、下表面會(huì)分別產(chǎn)生拉應(yīng)變或壓應(yīng)變??赏ㄟ^(guò)應(yīng)變測(cè)量求得彎矩,布片接橋時(shí)要注意利用電橋特性,在輸出中保留彎應(yīng)變的影響,消除軸向拉、壓力產(chǎn)生的應(yīng)變成分。第27頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.2扭矩的測(cè)量以
測(cè)量轉(zhuǎn)軸應(yīng)變測(cè)量轉(zhuǎn)軸兩橫截面相對(duì)扭轉(zhuǎn)角的方法最常用
第28頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.2.1應(yīng)變式扭矩測(cè)量當(dāng)受扭矩作用時(shí),軸表面有最大剪應(yīng)力tmax。軸表面為純剪應(yīng)力狀態(tài),與軸線(xiàn)成45°的方向上有最大正應(yīng)力s1和s2,其值為s1=s2=tmax。相應(yīng)的變形為e1和e2,當(dāng)測(cè)得應(yīng)變后,便可算出tmax。測(cè)量時(shí)應(yīng)變片沿與軸線(xiàn)成45°的方向粘貼。
若測(cè)得沿45°方向的應(yīng)變e1,則相應(yīng)的剪應(yīng)變?yōu)榈?9頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.2.1應(yīng)變式扭矩測(cè)量于是,軸的扭矩為對(duì)于實(shí)心圓軸Wn=pD3/16測(cè)扭時(shí),電阻應(yīng)變計(jì)須沿主應(yīng)變e1及e2的方向(與軸線(xiàn)成45°及135°夾角)。應(yīng)變計(jì)的布置及組橋方式應(yīng)考慮靈敏度、溫度補(bǔ)償及抵消拉、壓及彎曲等非測(cè)量因素干擾的要求。第30頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日測(cè)量扭矩時(shí)應(yīng)變片的布置和組橋方式(a)
雙片集中軸向?qū)ΨQ(chēng)(橫八字)布置,應(yīng)變片R1及R2互相垂直,組成半橋的相鄰兩臂。貼片及引線(xiàn)較為簡(jiǎn)單,但不能完全抵消橫向剪力影響。(b)
雙集中徑向?qū)ΨQ(chēng)(豎八字)布置,與(a)之不同之處僅在于R1及R2處于同一截面周邊的鄰近兩個(gè)點(diǎn)上,其適用條件同(a)。第31頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日測(cè)量扭矩時(shí)應(yīng)變片的布置和組橋方式(c)
四片徑端對(duì)稱(chēng)的雙橫八字布置,互相垂直的兩個(gè)應(yīng)變片的中心共線(xiàn),四片可組成半橋或全橋。組成全橋時(shí),輸出靈敏度為(a)的二倍。無(wú)論組成半橋或全橋皆可抵消拉(壓)及彎曲的影響及橫向剪力。第32頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日測(cè)量扭矩時(shí)應(yīng)變片的布置和組橋方式(d)
四片徑端對(duì)稱(chēng)的雙豎八字布置,可視為(b)的復(fù)合。應(yīng)變片分別處于同一截面同一直徑兩個(gè)端點(diǎn)的鄰近部位,在軸體表面展開(kāi)圖中四個(gè)敏感柵的中心共線(xiàn)。(e)
四片均布的雙豎八字布置,與(d)的區(qū)別僅在于四片圓周均布。(d)與(e)可組成全橋或半橋方式,其靈敏度及抵抗非測(cè)力因素的性能同(c)。第33頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.2.2扭矩測(cè)量信號(hào)的傳輸
扭矩測(cè)量的集電裝置
旋轉(zhuǎn)件的應(yīng)變測(cè)量,要解決信號(hào)傳送的問(wèn)題。粘貼在旋轉(zhuǎn)件上的應(yīng)變片和電橋?qū)Ь€(xiàn)隨旋轉(zhuǎn)件轉(zhuǎn)動(dòng),而應(yīng)變儀等測(cè)量記錄儀器是固定的。除采用遙測(cè)方式以外,需要有集電裝置。無(wú)線(xiàn)傳輸方式
分為電波收發(fā)方式和光電脈沖傳輸方式,這兩種方式取消了中間接觸環(huán)節(jié)。電波收發(fā)方式測(cè)量系統(tǒng)要求可靠的發(fā)射、接收和遙測(cè)裝置,且其信號(hào)容易受到干擾(數(shù)字化后傳輸可解決);光電脈沖測(cè)量抗干擾能力較強(qiáng),將測(cè)試數(shù)據(jù)數(shù)字化后以光信號(hào)的形式從轉(zhuǎn)動(dòng)的測(cè)量盤(pán)傳送到固定的接收器上,然后經(jīng)解碼器后還原為所需的信號(hào)。第34頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日
6.2.3其它扭矩測(cè)量方法
壓磁式扭矩傳感器
磁電感應(yīng)式扭矩傳感器光電式扭矩傳感器第35頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日壓磁式扭矩傳感器
鐵磁材料的轉(zhuǎn)軸受扭矩作用時(shí),導(dǎo)磁率發(fā)生變化。壓磁式扭矩傳感器中鐵芯的開(kāi)口端與轉(zhuǎn)軸表面保持1-2mm空隙,當(dāng)A-A線(xiàn)圈通入交流電,形成過(guò)轉(zhuǎn)軸的交變磁場(chǎng)。當(dāng)轉(zhuǎn)軸不受扭矩時(shí),磁力線(xiàn)和B-B線(xiàn)圈不交鏈;轉(zhuǎn)軸受扭矩作用時(shí),轉(zhuǎn)軸材料導(dǎo)磁率變化,沿正應(yīng)力方向磁阻減小,沿負(fù)應(yīng)力方向磁阻增大,從而使磁力線(xiàn)分布改變,使部分磁力線(xiàn)與B-B線(xiàn)圈交鏈,在B-B線(xiàn)圈產(chǎn)生感應(yīng)電勢(shì)。第36頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日壓磁式扭矩傳感器
磁電感應(yīng)式扭矩傳感器中,在轉(zhuǎn)軸上固定兩個(gè)齒輪1和2,它們的材質(zhì)、尺寸、齒形和齒數(shù)均相同。永久磁鐵和線(xiàn)圈組成的磁電式檢測(cè)頭3和4對(duì)著齒頂安裝。當(dāng)轉(zhuǎn)軸不受扭矩時(shí),兩線(xiàn)圈輸出信號(hào)相同,相位差為零。轉(zhuǎn)軸承受扭矩后,相位差不為零,且隨兩齒輪所在橫截面之間相對(duì)扭轉(zhuǎn)角的增加而加大,其大小與相對(duì)扭轉(zhuǎn)角、扭矩成正比。
第37頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日光電式扭矩傳感器光電式扭矩傳感器在轉(zhuǎn)軸4上固定兩只圓盤(pán)光柵3,在不承受扭矩時(shí),兩光柵的明暗區(qū)正好互相遮擋,光源1的光線(xiàn)沒(méi)有透過(guò)光柵照射到光敏元件2,無(wú)輸出信號(hào)。當(dāng)轉(zhuǎn)軸受扭矩后,轉(zhuǎn)軸變形將使兩光柵出現(xiàn)相對(duì)轉(zhuǎn)角,部份光線(xiàn)透過(guò)光柵照射到光敏元件上產(chǎn)生輸出信號(hào)。扭矩愈大,扭轉(zhuǎn)角愈大,穿過(guò)光柵的光通量愈大,輸出信號(hào)愈大,從而可實(shí)現(xiàn)扭矩測(cè)量。通過(guò)兩光柵之間相對(duì)扭轉(zhuǎn)角來(lái)測(cè)量扭矩。
第38頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.3壓力的測(cè)量
6.3.1壓力測(cè)量的彈性元件壓力測(cè)量彈性元件通常有波登管、膜片、波紋管等。在流體壓力作用下,彈性元件產(chǎn)生應(yīng)變,其應(yīng)變可以由應(yīng)變片或微位移傳感器及相應(yīng)測(cè)量電路轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出,有時(shí)也可通過(guò)杠桿或齒輪副把應(yīng)變轉(zhuǎn)化成指針偏轉(zhuǎn)角來(lái)表示被測(cè)壓力的大小。第39頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日彈性元件的結(jié)構(gòu)形式及輸出特性第40頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日波登管
波登管,是橫截面為空心橢圓形或扁圓形的金屬管。當(dāng)管的固定端通入有一定壓力的流體時(shí),管內(nèi)外的壓力差(管外一般為大氣壓力)迫使管截面趨于圓形,這種變形導(dǎo)致波登管封閉的自由端產(chǎn)生線(xiàn)位移或角位移。aC型波登管b螺旋型波登管c扭轉(zhuǎn)型波登管第41頁(yè),共46頁(yè),2023年,2月20日,星期日6.3.2壓力測(cè)量裝置
應(yīng)變式壓力傳感器膜片應(yīng)變式壓力傳感器的主要元件是采用擴(kuò)散工藝制成的含有半導(dǎo)體應(yīng)變片的特殊膜片,利用
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